+

WO2008106928A3 - Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane - Google Patents

Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane Download PDF

Info

Publication number
WO2008106928A3
WO2008106928A3 PCT/DE2008/000313 DE2008000313W WO2008106928A3 WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3 DE 2008000313 W DE2008000313 W DE 2008000313W WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
membranes
membrane
layer
particles
magnetic
Prior art date
Application number
PCT/DE2008/000313
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
WO2008106928A2 (fr
Inventor
Thomas Otto
Andreas Morschhauser
Joerg Nestler
Thomas Gessner
Sebastian Voigt
Original Assignee
Fraunhofer Ges Forschung
Univ Chemnitz Tech
Thomas Otto
Andreas Morschhauser
Joerg Nestler
Thomas Gessner
Sebastian Voigt
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Ges Forschung, Univ Chemnitz Tech, Thomas Otto, Andreas Morschhauser, Joerg Nestler, Thomas Gessner, Sebastian Voigt filed Critical Fraunhofer Ges Forschung
Publication of WO2008106928A2 publication Critical patent/WO2008106928A2/fr
Publication of WO2008106928A3 publication Critical patent/WO2008106928A3/fr

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00642Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for improving the physical properties of a device
    • B81C1/00698Electrical characteristics, e.g. by doping materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/00158Diaphragms, membranes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/01Switches
    • B81B2201/012Switches characterised by the shape
    • B81B2201/016Switches characterised by the shape having a bridge fixed on two ends and connected to one or more dimples
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03Microengines and actuators
    • B81B2201/036Micropumps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03Microengines and actuators
    • B81B2201/038Microengines and actuators not provided for in B81B2201/031 - B81B2201/037
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0127Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

L'invention concerne un procédé permettant de produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique, notamment pour des commutateurs ou des pompes. Selon le procédé, des microparticules et/ou des nanoparticules (5) présentant des propriétés magnétiques et/ou électriques sont mélangées à un matériau matriciel à l'état coulant, qui présente des propriétés après solidification. Le matériau matriciel est appliqué sous forme de couche (1) sur le substrat et modifie de manière ciblée la répartition des particules dans la couche (1) avec un ou plusieurs champs électriques et/ou magnétiques, afin d'obtenir une accumulation (2, 3) des particules (5) en un ou en plusieurs points de la couche (1). Ladite couche (1) est ensuite compactée avec les particules accumulées afin de former une ou plusieurs membranes (16). L'invention concerne également un actionneur magnétique muni d'une telle membrane. Ledit procédé permet d'utiliser des membranes élastiques comportant des particules magnétiques ou magnétisables incorporées dedans, sans influer de manière négative sur les propriétés élastiques dans des zones déterminées de la membrane.
PCT/DE2008/000313 2007-03-07 2008-02-22 Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane WO2008106928A2 (fr)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007010951 2007-03-07
DE102007010951.4 2007-03-07
DE102007051977A DE102007051977A1 (de) 2007-03-07 2007-10-31 Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran
DE102007051977.1 2007-10-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2008106928A2 WO2008106928A2 (fr) 2008-09-12
WO2008106928A3 true WO2008106928A3 (fr) 2009-01-22

Family

ID=39678107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2008/000313 WO2008106928A2 (fr) 2007-03-07 2008-02-22 Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007051977A1 (fr)
WO (1) WO2008106928A2 (fr)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2947813B1 (fr) * 2009-07-07 2011-12-16 Centre Nat Rech Scient Microsysteme de generation d'un jet synthetique, procede de fabrication et dispositif de controle d'ecoulement correspondants.
US9579434B2 (en) * 2010-03-03 2017-02-28 The Secretary Of Atomic Energy, Govt. Of India Flexible magnetic membrane based actuation system and devices involving the same
ITTO20110347A1 (it) 2011-04-20 2012-10-21 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Attuatore magnetico con membrana nanocomposita
DE102014201898B4 (de) * 2014-02-03 2018-05-17 Universität Kassel Verfahren zum Herstellen vom Mikroobjekten und Mikroobjekt
DE102014003357A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Silikonschichten
DE102014226138A1 (de) 2014-12-16 2016-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
DE102016215617A1 (de) 2016-08-19 2018-02-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
US20200066963A1 (en) * 2016-12-09 2020-02-27 Koninklijke Philips N.V. Actuator device and method
WO2020068243A1 (fr) * 2018-07-02 2020-04-02 Trustees Of Tufts College Systèmes et procédés pour actionneur de télécommande
FI130275B (fi) * 2020-06-23 2023-05-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Virtauslaite, virtausjärjestelmä, menetelmä aktuaattorimagneetin valmistamiseksi substraatille ja menetelmä virtauslaitteen valmistamiseksi
US12060262B2 (en) 2021-04-23 2024-08-13 Otowahr Technology Inc. Electromagnetic microspeaker, its coil module, speaker/coil module array and preparation method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (fr) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Milieu d'enregistrement magnétique et méthode pour sa fabrication
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (fr) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Support magnétique ayant une caractéristique magnétique permanente
EP1398296A2 (fr) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Procédé de production d'une microstructure ou nanostructure tridimensionnelle

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (fr) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Milieu d'enregistrement magnétique et méthode pour sa fabrication
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (fr) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Support magnétique ayant une caractéristique magnétique permanente
EP1398296A2 (fr) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Procédé de production d'une microstructure ou nanostructure tridimensionnelle

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NAGEL J J ET AL: "Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane", PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING - SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2006 - SMART ELECTRONICS, MEMS, BIOMEMS, AND NANOTECHNOLOGY 2006 SPIE US, vol. 6172, 2006, XP007906232 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008106928A2 (fr) 2008-09-12
DE102007051977A1 (de) 2008-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008106928A3 (fr) Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane
WO2008130465A3 (fr) Nanodispositifs pour procédés spintroniques d'utilisation de ceux-ci
WO2014205002A3 (fr) Recyclage d'aimants pour créer des aimants en nd-fe-b présentant une performance magnétique améliorée ou restaurée
WO2010117875A3 (fr) Matériau composite thermoélectrique et son procédé de fabrication
WO2013025994A3 (fr) Appareil magnétique à effet hall quantique de spin, procédé et applications
ATE521071T1 (de) Magnetorheologische kompositmaterialien mit hartmagnetischen partikeln, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung
WO2012159096A3 (fr) Aimants permanents très puissants et nanostructurés
WO2011127148A9 (fr) Production de composites hautement conducteurs en nanotubes de carbone-polymère
WO2006081040A3 (fr) Placement selectif de nanotubes en carbone sur des surfaces d'oxyde
WO2008139690A1 (fr) Processus permettant la production d'aimants frittés ndfeb
WO2009091292A3 (fr) Matériaux poreux incorporés à des nanoparticules, leurs procédés de fabrication et leurs utilisations
WO2009058180A3 (fr) Technique d'autoassemblage applicable à de larges zones et à la nanofabrication
WO2013021257A3 (fr) Système électromagnétique à aimantation permanente doté d'un indicateur d'état magnétique
WO2009049608A3 (fr) Élément codeur destiné à indiquer une position ou un mouvement d'une partie composante d'un palier
MY175528A (en) Apparatus and method for molecular separation, purification, and sensing
MY150843A (en) Contaminant adsorption filtration media, elements, systems and methods employing wire or other lattice support
WO2009013711A3 (fr) Procédé de production de noyaux magnétiques
WO2008129480A3 (fr) Composant électronique, et procédé de fabrication d'un composant électronique
WO2010035258A3 (fr) Nanoparticules de cuivre distinctes
WO2008072149A3 (fr) Système magnétique pour biocapteurs ou biosystème
WO2015006660A3 (fr) Conducteurs à super-réseau radiaux à faible perte ohmique
ATE545749T1 (de) Oberflächenbelag mit eigenschaften zur ableitung der statischen elektrizität und verfahren zu dessen herstellung
DE502007006883D1 (de) Erfahren zu seiner herstellung
SG195087A1 (en) Superconducting element for superconducting current limiter, method for manufacturing superconducting element for superconducting current limiter, and superconducting current limiter
WO2007010457A3 (fr) Support de donnees rom magnetique

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08706909

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08706909

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

点击 这是indexloc提供的php浏览器服务,不要输入任何密码和下载