WO2008106928A3 - Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere für Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel (5) mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fließfähigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht (1) auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht (1) mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt verändert, um eine Anhäufung (2, 3) der Partikel (5) an einer oder mehreren Stellen der Schicht (1) zu erhalten. Die Schicht (1) wird anschließend mit den angehäuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen (16) verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermöglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.
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US9579434B2 (en) * | 2010-03-03 | 2017-02-28 | The Secretary Of Atomic Energy, Govt. Of India | Flexible magnetic membrane based actuation system and devices involving the same |
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DE102014003357A1 (de) * | 2014-03-06 | 2015-09-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Silikonschichten |
DE102014226138A1 (de) | 2014-12-16 | 2016-06-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur |
DE102016215617A1 (de) | 2016-08-19 | 2018-02-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur |
US20200066963A1 (en) * | 2016-12-09 | 2020-02-27 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator device and method |
WO2020068243A1 (en) * | 2018-07-02 | 2020-04-02 | Trustees Of Tufts College | Systems and methods for a remote control actuator |
FI130275B (fi) * | 2020-06-23 | 2023-05-31 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Virtauslaite, virtausjärjestelmä, menetelmä aktuaattorimagneetin valmistamiseksi substraatille ja menetelmä virtauslaitteen valmistamiseksi |
US12060262B2 (en) | 2021-04-23 | 2024-08-13 | Otowahr Technology Inc. | Electromagnetic microspeaker, its coil module, speaker/coil module array and preparation method thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0650142A1 (de) * | 1993-10-22 | 1995-04-26 | Tomoegawa Paper Co. Ltd. | Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung |
US5472539A (en) * | 1994-06-06 | 1995-12-05 | General Electric Company | Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components |
EP0756272A2 (de) * | 1995-07-28 | 1997-01-29 | Eastman Kodak Company | Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal |
EP1398296A2 (de) * | 2002-09-06 | 2004-03-17 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0650142A1 (de) * | 1993-10-22 | 1995-04-26 | Tomoegawa Paper Co. Ltd. | Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung |
US5472539A (en) * | 1994-06-06 | 1995-12-05 | General Electric Company | Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components |
EP0756272A2 (de) * | 1995-07-28 | 1997-01-29 | Eastman Kodak Company | Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal |
EP1398296A2 (de) * | 2002-09-06 | 2004-03-17 | C.R.F. Società Consortile per Azioni | Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NAGEL J J ET AL: "Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane", PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING - SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2006 - SMART ELECTRONICS, MEMS, BIOMEMS, AND NANOTECHNOLOGY 2006 SPIE US, vol. 6172, 2006, XP007906232 * |
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