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WO2008106928A3 - Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran - Google Patents

Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran Download PDF

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Andreas Morschhauser
Joerg Nestler
Thomas Gessner
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere für Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel (5) mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fließfähigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht (1) auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht (1) mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt verändert, um eine Anhäufung (2, 3) der Partikel (5) an einer oder mehreren Stellen der Schicht (1) zu erhalten. Die Schicht (1) wird anschließend mit den angehäuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen (16) verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermöglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.
PCT/DE2008/000313 2007-03-07 2008-02-22 Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran WO2008106928A2 (de)

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2947813B1 (fr) * 2009-07-07 2011-12-16 Centre Nat Rech Scient Microsysteme de generation d'un jet synthetique, procede de fabrication et dispositif de controle d'ecoulement correspondants.
US9579434B2 (en) * 2010-03-03 2017-02-28 The Secretary Of Atomic Energy, Govt. Of India Flexible magnetic membrane based actuation system and devices involving the same
ITTO20110347A1 (it) 2011-04-20 2012-10-21 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Attuatore magnetico con membrana nanocomposita
DE102014201898B4 (de) * 2014-02-03 2018-05-17 Universität Kassel Verfahren zum Herstellen vom Mikroobjekten und Mikroobjekt
DE102014003357A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Silikonschichten
DE102014226138A1 (de) 2014-12-16 2016-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
DE102016215617A1 (de) 2016-08-19 2018-02-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
US20200066963A1 (en) * 2016-12-09 2020-02-27 Koninklijke Philips N.V. Actuator device and method
WO2020068243A1 (en) * 2018-07-02 2020-04-02 Trustees Of Tufts College Systems and methods for a remote control actuator
FI130275B (fi) * 2020-06-23 2023-05-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Virtauslaite, virtausjärjestelmä, menetelmä aktuaattorimagneetin valmistamiseksi substraatille ja menetelmä virtauslaitteen valmistamiseksi
US12060262B2 (en) 2021-04-23 2024-08-13 Otowahr Technology Inc. Electromagnetic microspeaker, its coil module, speaker/coil module array and preparation method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (de) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (de) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal
EP1398296A2 (de) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (de) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (de) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal
EP1398296A2 (de) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NAGEL J J ET AL: "Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane", PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING - SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2006 - SMART ELECTRONICS, MEMS, BIOMEMS, AND NANOTECHNOLOGY 2006 SPIE US, vol. 6172, 2006, XP007906232 *

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