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WO2018034363A8 - Dispositif de nettoyage collecteur de poussière ayant une structure pour éviter les interférences - Google Patents

Dispositif de nettoyage collecteur de poussière ayant une structure pour éviter les interférences Download PDF

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WO2018034363A8
WO2018034363A8 PCT/KR2016/009090 KR2016009090W WO2018034363A8 WO 2018034363 A8 WO2018034363 A8 WO 2018034363A8 KR 2016009090 W KR2016009090 W KR 2016009090W WO 2018034363 A8 WO2018034363 A8 WO 2018034363A8
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황창배
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Abstract

La présente invention concerne un dispositif de nettoyage collecteur de poussière qui possède une structure qui permet d'éviter les interférences et, plus particulièrement, un dispositif de nettoyage collecteur de poussière qui possède une structure qui permet d'éviter les interférences et qui permet d'éliminer les matières étrangères sous diverses formes, générées pendant un processus de traitement de surface d'un substrat au moyen d'un appareil optique tel qu'un laser. Le dispositif de nettoyage collecteur de poussière ayant une structure qui permet d'éviter les interférences comprend : des boîtiers collecteurs de poussière (11a, 11b, 21) ayant des espaces ouverts (12, 22) formés sur la partie centrale de ceux-ci dans la direction verticale par rapport à un objet à traiter ; des unités de lame d'air (15a, 15b, 25) disposées au-dessous des boîtiers collecteurs de poussière (11a, 11b, 21) ; un trajet collecteur de poussière (DP) formé à l'avant des unités de lame d'air (15a, 15b, 25), un gaz qui s'écoule dans l'espace ouvert (12) et qui est pulvérisé depuis le dessus de celui-ci et à partir des unités de lame d'air (15a, 15b, 25) s'écoulant dans le trajet collecteur de poussière (DP).
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