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WO2009008032A1 - Procédé pour produire un panneau d'affichage plasma - Google Patents

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WO2009008032A1
WO2009008032A1 PCT/JP2007/000754 JP2007000754W WO2009008032A1 WO 2009008032 A1 WO2009008032 A1 WO 2009008032A1 JP 2007000754 W JP2007000754 W JP 2007000754W WO 2009008032 A1 WO2009008032 A1 WO 2009008032A1
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WO
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oxide film
magnesium oxide
exposed
atmosphere
display panel
Prior art date
Application number
PCT/JP2007/000754
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English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Harada
Original Assignee
Hitachi, Ltd.
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Publication date
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    • H01J11/40—Layers for protecting or enhancing the electron emission, e.g. MgO layers
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    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

L'invention porte sur un procédé pour produire un panneau d'affichage plasma (1) ayant un film d'oxyde de magnésium (18). Dans toutes les étapes allant du dépôt d'un film d'oxyde de magnésium (18) à la fermeture de l'espace interne, le film d'oxyde de magnésium (18) est isolé de l'air. Le procédé comprend un traitement (71) dans lequel le film d'oxyde de magnésium (18) déposé est exposé à une atmosphère à base d'oxygène ayant une pression d'oxygène partielle supérieure à celle lors du dépôt de film et un traitement (73) dans lequel le film d'oxyde de magnésium (18) exposé à l'atmosphère à base d'oxygène est exposé à une atmosphère basse pression ayant un degré de vide supérieur à l'atmosphère à base d'oxygène. Après que le film d'oxyde de magnésium (18) a été exposé à l'atmosphère basse pression, l'espace interne est fermé.
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