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WO2009066573A1 - Robot de transport, boîtier nettoyé localement muni du robot de transport et dispositif de fabrication de composants à semi-conducteur muni du boîtier - Google Patents

Robot de transport, boîtier nettoyé localement muni du robot de transport et dispositif de fabrication de composants à semi-conducteur muni du boîtier Download PDF

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Takahiro Umezaki
Katsuhiko Shimada
Hideo Yamamoto
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Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
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Abstract

L'invention porte sur un robot de transport approprié à un montage sur un boîtier nettoyé localement. Le robot de transport comporte un corps (14) muni d'une plaque mince (28), d'un mécanisme de levage (20) et d'une unité de mouvement (48). La plaque mince (28) présente une extrémité supérieure placée sous la partie la plus basse d'un premier bras (12) et une surface verticale pourvue d'une section de fixation (49) à laquelle le robot de transport (8) est fixé dans une position verticale. Le mécanisme de levage (20) est installé sur la surface verticale. L'unité de mouvement (48) supporte en rotation le premier bras (12) et peut être élevée et abaissée le long de la surface verticale par le mécanisme de levage (20).
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