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WO2009066573A1 - 搬送ロボット、それを備えた局所クリーン化された筐体、及びそれを備えた半導体製造装置 - Google Patents

搬送ロボット、それを備えた局所クリーン化された筐体、及びそれを備えた半導体製造装置 Download PDF

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Abstract

　局所クリーンの筐体に設置するのに最適な搬送ロボットを構成すること。 　胴体（１４）が、上端が第１アーム（１２）の最下部より下方となるよう位置するとともに、搬送ロボット（８）が垂直になるよう固定させる固定部（４９）が設けられた垂直面を有する薄板状のプレート（２８）と、垂直面に設けられた昇降機構（２０）と、第１アーム（１２）を回転自在に支持し、昇降機構（２０）によって垂直面を昇降可能な移動ユニット（４８）と、から構成された搬送ロボットとした。
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