WO2013012194A3 - Procédé de fabrication d'un substrat pour diode électroluminescente, substrat pour diode électroluminescente fabriqué au moyen du procédé et procédé de fabrication d'une diode électroluminescente comprenant un substrat pour diode électroluminescente - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat pour une diode électroluminescente, un substrat pour une diode électroluminescente fabriquée au moyen du procédé, et un procédé de fabrication d'une diode électroluminescente comprenant le substrat pour une diode électroluminescente. Le procédé de fabrication d'un substrat pour une diode électroluminescente, selon la présente invention, comprend les étapes qui consistent à: recouvrir la surface supérieure d'un élément substrat prédéterminé avec une nanostructure qui comprend un matériau qui est plus à même d'être gravée à sec que l'élément substrat; à former une partie inégale de surface supérieure sur la surface supérieure de l'élément substrat par gravure à sec de la nanostructure et de l'élément substrat; à utiliser la nanostructure en tant que masque: à recouvrir la surface inférieure de l'élément substrat avec la nanostructure; et à former une partie inégale de surface inférieure sur la surface inférieure de l'élément substrat par gravure à sec de la nanostructure et de l'élément substrat, en utilisant la nanostructure en tant que masque. La présente invention permet de fabriquer le substrat pour une diode électroluminescente qui comprend la partie inégale formée facilement par le dépôt de la nanostructure et l'utilisation de cette dernière en tant que masque pour la gravure à sec, plutôt que par la formation de motifs par photolithographie qui présente un coût de fabrication élevé et qui est compliquée, ceci permettant de réduire le temps de fabrication et le coût du substrat pour une diode électroluminescente.
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