WO2006035703A1 - マクロ検査装置及びマクロ検査方法 - Google Patents

Abstract

　このマクロ検査装置は、検査を受ける基板を保持する基板ホルダと；前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と；前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と；前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と；前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と；この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と；この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と；を備える。    

Description

明 細 書

マクロ検査装置及びマクロ検査方法

技術分野

[0001] 本発明は、ガラス基板等の大型基板の外観検査に用いられるマクロ検査装置と、こ のマクロ検査装置を用いたマクロ検査方法とに関する。

本出願は、特願 2004— 279990号と、特願 2004— 279991号と、特願 2004— 2 79992号とを基礎出願とし、それらの内容を取り込むものとする。

背景技術

[0002] 液晶ディスプレイ（LCD)などのフラットパネルディスプレイ（FPD)の製造工程では 、各製造工程で製造される透明基板 (例えばマスターガラス基板。以降、単にガラス 基板と呼ぶ）の外観を目視で検査 (マクロ検査)する検査工程がある。この検査工程 では、ガラス基板を保持した基板ホルダを所定角度に立ち上げた状態で上方力ゝらマ クロ照明光を照射することにより同ガラス基板上の欠陥検査を可能にする、基板外観 検査装置が用いられる。

[0003] 下記特許文献 1に記載のマクロ検査装置は、矩形状のガラス基板よりも若干小さな 開口部を有する矩形枠状のフレームカゝらなる基板ホルダと；この基板ホルダを観察者 側に向けるように所定の角度に立ち上げるための上下方向の回転、及び基板ホルダ を揺動 ·反転させるための左右方向の回転を可能にする 2軸回転機構と；を備えて!/、 る。このマクロ検査装置では、基板ホルダの上面で、基板裏面の周縁部を支持する。 基板ホルダの上面には、ガラス基板を挟持して位置決めを行う整列機構が設けられ ている。この整列機構は、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する 2辺に沿って 固定されるガラス基板の、互いに隣接する 2辺の基準位置を規制する複数本の基準 ピンと;これら基準ピンと対向し、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する他の 2 辺に沿って設けられ、前記各基準ピン側に移動可能な押し付けピンと;を備えている 。基板ホルダ上にガラス基板を載置した状態で、各押し付けピンをガラス基板側に押 し付けることにより、ガラス基板の 2辺がそれぞれの基準ピンに押し当てられ、その結 果、基板ホルダ上の基準位置に位置決めされる。 [0004] 下記特許文献 2に記載のマクロ検査装置は、ガラス基板を保持する基板ホルダと、 この基板ホルダの中央部に連結された押し上げ駆動部とを備え、基板ホルダの前端 部と後端部とを持ち替えることにより、基板ホルダを表面側又は裏面側に回動させて いる。このマクロ検査装置では、基板ホルダを表面側に回動させるとともに上方から マクロ照明を行うことで表面の目視観察を行い、裏面側に回動させるとともにバックラ イト照明を行うことで裏面の目視観察を行なうことができる。

[0005] 下記特許文献 3に示すマクロ検査装置は、 FPD用ガラス基板 (2000mm)に比べ て 200mm、 300mmと非常に小さなウェハ基板を目視検査するための検査装置で ある。このマクロ検査装置は、ベースに水平方向に回転自在に連結されたアームの 先端にひねり回転自在な手首部を備えたロボットを備えて 、る。前記手首部の先端 には、ウェハ基板を把持して自転するウェハホルダが取り付けられている。ウェハ出 入機により搬送されたウェハ基板の周縁をウェハホルダで把持し、手首部をひねり回 転させることによってウェハ基板を表面側又は裏面側に自転させて姿勢制御すること により、ウェハ基板の位置決めとその表裏面の目視観察ができる。

[0006] 特許文献 1 :特開平 7— 306153号公報

特許文献 2：特開平 11― 94752号公報

特許文献 3：特開平 8 - 125004号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0007] し力しながら、 FPD用のマクロ検査装置においては、基板サイズが年々大型化し、 現在では一辺が 2000mmを超えて 3000mmに近 、ガラス基板が出現して!/、る。ガ ラス基板の大型化に伴って基板ホルダも大型化する必要があるが、基板ホルダが大 型化すると、基板ホルダを回転 '摇動させる基板ホルダ駆動機構に力かる負荷が大 きくなるという問題があった。特に、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボット を用い、この多関節アームロボットにより基板ホルダを片持ちで支持し、基板ホルダを 所定角度に立ち上げて目視で検査するマクロ検査装置を実現しょうとした場合、多 関節アームロボットに大きな負荷が加わるため、実現が困難であった。また、基板ホ ルダのサイズが大きくなると、基板ホルダを揺動させるためのスペースも大きくする必 要があるので、装置が大型化するという問題があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダを回転 '揺動させる基板 ホルダ駆動機構に力かる負担を低減することを目的とする。また、装置の大型化を防 ぐことも目的とする。

[0008] また、従来のマクロ検査装置では、基板ホルダの一辺に回動軸を設けて片持ち支 持しているため、基板ホルダの大型化に伴い、重たい基板ホルダを回動させて停止 させる際に、基板ホルダの先端部が大きく振動してしまう問題が生じる。基板ホルダ の停止時に振動が発生すると、静止するまでにかなりの時間を要する。そのため、基 板ホルダが静止するまで、搬送装置による基板の受け渡しができなくなり、待機時間 が増えた分、検査に要するタクトタイムが増えてしまうという問題が生じる。特に、多関 節アームロボットによって基板ホルダを片持ち支持するマクロ検査装置を実現しようと した場合、多関節アームロボットによって基板ホルダを基板の受け渡し位置に停止さ せる際に、基板ホルダの先端部に大きな回転モーメントが加わって基板ホルダが振 動するため、実現が困難であった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダ駆動機構により回転自 在-揺動自在に支持された基板ホルダを基板の受け渡し位置に迅速に静止させるこ とにより基板の受け渡しの円滑ィ匕を図り、タクトタイムを短縮して検査の効率ィ匕を図る ことを目的とする。また、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことによ り、タクトタイムを短縮して検査の効率ィ匕を図ることも目的とする。

[0009] また、基板ホルダの姿勢を自由に制御できるように、多関節アームロボットで基板ホ ルダを片持ちで支持するマクロ検査装置の実用化が進められて 、る。ウェハ基板の ように小型で軽量な基板では、上記引用文献 3で示したように、基板ホルダを片持支 持したとしても、基板ホルダの停止時における基板ホルダの振動による影響も少なく 、また連結箇所に加わる負荷も小さいため、問題なく扱うことができる。しかし、 FPD 用の大型ガラス基板を保持する基板ホルダは、大型 ·重量ィ匕の傾向にある。したがつ て、この基板ホルダを片持ち支持する多関節アームロボットを用いて基板ホルダを多 方向に姿勢制御しょうとすると、多関節アームロボットのアームと基板ホルダとの連結 部から基板ホルダ先端までの距離が基板サイズに比例して長くなるため、基板ホル ダの先端側に大きくバランスが偏り、停止時の回転モーメントによって基板ホルダが 大きく振動するとともに、アームと基板ホルダとの連結部に大きな負荷が加わるという 問題が新たに生じる。

このような種々の問題から、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を容易に 実現することができな力つた。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、基板ホルダを移動させる基板 ホルダ駆動機構 (多関節アームロボットを備えた検査用ロボット）の駆動部への負担 を軽減し、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することを目的とする 課題を解決するための手段

[0010] 上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用した。

すなわち、本発明のマクロ検査装置は、検査を受ける基板を保持する基板ホルダと ；前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と;前記基板ホルダを支持するとと もに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する 基板ホルダ駆動機構と;前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬 送機構と；前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを 行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上カゝら浮き上がらせる基板浮上機構と;こ の基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に 位置決めする基板位置決め機構と;この基板位置決め機構により位置決めされた前 記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と；を備える。

[0011] このマクロ検査装置では、基板受け渡し位置に待機している基板ホルダに対し、基 板搬送機構が基板を載置する。このようにして載置された基板は、基板浮上機構の エアーの吹き付けによって基板ホルダ上力も浮き上がる。そして、この浮上状態にあ る基板を基板位置決め機構により基準位置に位置決めした後、基板固定機構により 固定する。このようにして基板ホルダ上への基板の固定が完了した後、基板ホルダ駆 動機構によって基板ホルダの姿勢制御を行うことで、観察者がマクロ観察を行 、や すいように基板の移動制御を行う。したがって、このマクロ検査装置によれば、基板ホ ルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮し て検査の効率ィ匕を図ることが可能になる。

前記基板ホルダ駆動機構力 多関節アームロボットを備えてもよ!、。

[0012] 前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられて!/ヽてもよ!/ヽ。

この場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホル ダを小型化、軽量化させることができる。したがって、基板ホルダの移動を速やかに 行えるようになり、検査時間を短縮することができる。また、基板ホルダの姿勢を制御 する基板ホルダ駆動機構を小型化することができ、マクロ検査装置全体を小型化、 軽量ィ匕することができる。

[0013] 前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置 決めを行うようにしてもよい。

前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置 に固定された位置決め部材と;前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付 勢装置と;を備えてもよい。

[0014] 前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第 1の切り欠き を形成してもよい。

この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機 構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに形 成された第 1の切り欠きによって基板ホルダに干渉するのを回避することができる。

[0015] 前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達し た際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板ホルダ以 外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と ；を備えても良い。

この場合、基板受け渡し位置に待機させた基板ホルダ上に基板ホルダを載置し、 その後、付勢装置によって基板を位置決め部材に押し付けることで、基板を基準位 置に位置決めすることができる。し力も、付勢装置は基板ホルダ外に設けられている ので、付勢装置を基板ホルダに設ける場合に比較して基板ホルダを軽量ィ匕すること ができる。その結果、基板ホルダ駆動機構にカゝかる負荷 (すなわち、基板ホルダの回 転モーメント）を低減させることができる。したがって、基板ホルダ駆動機構を小型化 できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。

[0016] 前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記 基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾 斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材 を、前記基板位置決め機構に備えてもよい。

この場合、受け渡し位置において基板を基板ホルダで受け取った後、基板浮上機 構によるエアーの吹き付けにより基板を基板ホルダ上力 浮き上がらせた状態で、基 板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させる。すると、基板ホルダの傾斜に沿つ て基板が自重により移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、 基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのため に基板を移動させる構成要素を省略することができる。

[0017] 前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法を、前記基板を正面視した場合の外 形寸法より/ J、さくしてもよい。

この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機 構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに干 渉するのを回避することができる。

[0018] 前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板 ホルダを停止させる静止機構をさらに備えてもよい。

この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダを、予め待機している静止機 構によって停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単 純に停止させた場合に比較して、基板ホルダの振れが抑制、又は防止できる。その 結果、基板ホルダを所定位置にて極めて迅速に静止させることができるので、基板 受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したが つて、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを 大幅に短縮して検査の効率ィ匕を図ることができる。

[0019] 前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの 基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備えてもよい。

前記静止機構が、軸線が基板ホルダに略垂直をなすように定位置に固定されたス プリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体を設けてもよい。 前記基板ホルダの側部に第 2の切り欠きを形成し;前記静止機構に、前記受け渡し 位置に達した際の前記基板ホルダの前記第 2の切り欠きに係止する係止部を備えさ せてもよい。

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟 持手段を備えてもよい。

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹 部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向力う方向に沿って回動する回 動部材と；この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達 した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と;を備えてもよい。

[0020] 前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止 め位置と、この受け止め位置力 離間した待避位置との間で移動するようにしてもよ い。

この場合、検査実施中の基板ホルダが静止機構と干渉するのを確実に回避するこ とがでさる。

なお、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動する ようにしてもよい。

または、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動す るようにしてちょい。

[0021] 前記基板ホルダ駆動機構力 前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第 1の 軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し;前記第 1の軸線を回転中心 として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するウェイトが、前記基板ホルダに設 けられるようにしてもよい。

この場合、第 1の軸線を回転中心として、基板ホルダとウェイトとが釣り合うため、ゥ エイトを備えない場合に比較して、基板ホルダ駆動機構に力かる負荷 (すなわち、基 板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機 構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、基 板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。 [0022] 前記ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第 1の軸線に直交するとともに前 記基板ホルダがなす平面に平行な第 2の軸線回りに回動可能に支持し;前記基板ホ ルダの重心位置と、前記第 1の軸線及び前記第 2の軸線間の交点と、前記ウェイトの 重心位置とが略一直線上に配置されるようにしてもよ!ヽ。

この場合、第 1の軸線回りのモーメントバランスと、第 2の軸線回りのモーメントバラン スとを調整することができるので、基板ホルダ駆動機構に力かる負荷 (すなわち、基 板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機 構を確実に小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。

[0023] 前記ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第 1の軸線に直交するとともに前 記基板ホルダがなす平面に平行な第 2の軸線回りに回動可能に支持し;前記ウェイ トが、前記第 2の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けるようにしてもよ!/ヽ この場合、一対のウェイトを第 2の軸線を間に挟んで互いに接近するように設けるの で、第 2の軸線回りの回転モーメントを小さくすることができる。

[0024] 本発明のマクロ検査方法は、検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停 止させる基板ホルダ停止ステップと；前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板 載置ステップと；前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上 カゝら浮き上がらせる基板浮上ステップと;浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ 上の基準位置に位置決めする基板位置決めステップと；前記基板位置決めステップ 後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定ステップと；を有する。

このマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行う ことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率ィ匕を図ることが可能になる。 なお、前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することによ り、前記位置決めを行ってもよい。

[0025] 前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダ に設け；前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材 に当接させるように前記基板ホルダを傾斜させてもよい。

この場合、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させると、基板ホルダの傾 斜に沿って基板が移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基 準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために 基板を移動させる構成要素を省略することができる。

[0026] 前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの 振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。

この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダの振動を減衰させることにより 基板ホルダを停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に 単純に停止させた場合に比較して、極めて迅速に静止させることができる。したがつ て、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能にな る。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクト タイムを大幅に短縮して検査の効率ィ匕を図ることができる。

[0027] 前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを 挟持することにより、前記基板ホルダを停止させてもょ ヽ。

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを 定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させてもょ ヽ。

[0028] 前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを 発生させるウェイトにより相殺してもよ 、。

この場合、基板ホルダによる回転モーメントとウェイトによる回転モーメントとが釣り 合うため、ウェイトを備えない場合に比較して、基板ホルダの姿勢制御を行うための 駆動機構に力かる負荷 (すなわち、基板ホルダの回転モーメント）を低減させることが できる。その結果、前記駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型 ィ匕をも図ることができる。また、駆動機構として多関節アームロボットを採用することも 可會 になる。

発明の効果

[0029] 本発明のマクロ検査装置及びマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基 板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率ィ匕を 図ることが可能になる。

また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設 けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダ を小型化、軽量ィ匕することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構に力かる負担 を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全 体を小型化、軽量ィ匕することができる。

また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にカゝかる負担を低減す ることができるので、駆動機構として多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を 実現することが可能になる。

図面の簡単な説明

[図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面 図である。

[図 2]図 2は、同マクロ検査装置に備えられている基板ホルダが水平位置にあるときの 平面図を示す図であって、図 1の Π— II線矢視図である。

[図 3]図 3は、同マクロ検査装置に備えられている基板支持部を、図 2の III— III線， I V— IV線に沿って見た断面図である。紙面右図は、吸着部の位置における基板支 持部の断面図、紙面左図は、支持ピンの位置における基板支持部の断面図を示す

[図 4]図 4は、同マクロ検査装置の図 1に相当する図であって、リフトピンを上昇させて 基板を支持させた状態を示す側面図である。

[図 5]図 5は、同マクロ検査装置に備えられている搬送用ロボットを示す平面図である

[図 6]図 6は、本発明の第 2実施形態に係るマクロ検査装置の要部を示す図であって 、図 2に相当する平面図である。

[図 7]図 7は、本発明の第 3実施形態に係るマクロ検査装置の要部を示す図であって

、静止機構によって保持された基板ホルダの側面図である。

[図 8]図 8は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。

[図 9]図 9は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。

[図 10]図 10は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。

[図 11]図 11は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 [図 12]図 12は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。

[図 13]図 13は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。

[図 14]図 14は、同マクロ検査装置の基板ホルダの他の例を示す図であって、図 2に 相当する平面図である。

[図 15]図 15は、同基板ホルダの側面図である。

[図 16]図 16は、本発明の第 4実施形態に係るマクロ検査装置の基板ホルダを示す図 であって、図 2に相当する平面図である。

[図 17]図 17は、同基板ホルダの側面図である。

[図 18]図 18は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。

[図 19]図 19は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。

[図 20]図 20は、同基板ホルダの側面図である。

[図 21]図 21は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。

[図 22]図 22は、同基板ホルダの側面図である。

符号の説明

1 マクロ検査装置

3 光源 (マクロ照明光学系）

6, 81 基板ホルダ

7e 係合溝 (第 2の切り欠き）

9, 11, 84 吸着部 (基板固定機構）

15 検査用ロボット（基板ホルダ駆動機構，多関節アームロボット）

20 整列手段 (基板位置決め機構）

21 シリンダ (付勢装置）

28 搬送用ロボット (基板搬送機構）

42a, 42b 基準ピン (位置決め部材）

43a, 43b 切り欠き（第 1の切り欠き）

50 静止機構

52 弾性体

55 振動減衰部 (スプリング） 56 係合ピン (係止部）

61, 62 固定ブラケット，可動ブラケット (挟持手段）

72 当接部（回動部材）

74 ストツバピン（回動規制部材）

90 バランスウェイト（ウェイト）

W 基板

X 連結軸 (第 1の軸線）

Y 中心軸 (第 2の軸線）

発明を実施するための最良の形態

[0032] 本発明のマクロ検査装置の各実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。

[第 1実施形態]

図 1は、本発明の第 1実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面図で ある。

マクロ検査装置 1は、クリーンルーム内に配置され、上面及び下面が開放された空 間の周囲を囲む側壁を有する装置本体 2を備える。この装置本体 2の上面には、装 置本体 2内のクリーン度を高めるためのフィルタ（図示略）が取り付けられている。また 、装置本体 2の上部には、マクロ照明光学系として、例えばメタルハライドランプゃナ トリウムランプなどのマクロ照明用の光源 3と、この光源 3から出射される照明光の光 軸上に設けられた反射ミラー 4とが設置されている。反射ミラー 4の下方には、光源 3 力 の照明光を収束させて基板 Wに導くフレネルレンズ 5が配置されている。フレネ ルレンズ 5は、光源 3からの発散光を収束光にする。さらに、光源 3からの発散光を均 一な面光源に変更する散乱機能を有する透過型液晶散乱板力 フレネルレンズ 5に 近接して配置されている。マクロ照明光学系は、液晶ディスプレイやプラズマディスプ レイ等の透明基板の全体を一括照明しても良ぐまた部分的に照明し、照明光を一 次元方向又は二次元方向に走査させるようにしても良 、。

[0033] 基板 Wは、透明な平板カゝらなるフラットパネルディスプレイ (FPD)用の透明基板で 、基板搬送装置 (搬送ロボット）により、図 1中に仮想線で示すように、水平に配置され た基板ホルダ 6上に搬入される。マクロ検査装置で検査される透明基板としては、 FP D用の矩形パネルを複数枚製造できる多面取りのマスターガラス基板があり、外形が 矩形に形成され、周縁よりも若干内側に矩形状のパターン領域が形成されている。 以下、基板周縁と矩形パターンとの間を「基板の周縁部」と呼ぶ。

[0034] 図 2に示すように、基板ホルダ 6は、基板 Wの外形よりも小さな矩形の開口部 8が形 成された矩形枠状のホルダ本体 7を有する。ホルダ本体 7は、互いに平行な一対の 長辺部 7a, 7bのそれぞれの両端部が一対の短辺部 7c, 7dによって連結されること で、開口部 8を形成している。開口部 8の大きさは、基板 Wの外形寸法よりも小さぐ 前記矩形パターン領域よりも若干大きな矩形寸法に形成されている。そして、ホルダ 本体 7の内周側周縁部で、基板 Wの裏面の周縁部を支持する。ホルダ本体 7の内周 側周縁部で基板 Wと重なる領域には、吸着部 (基板固定機構) 9が所定間隔をお 、 て複数配設されている。これら吸着部 9は、ホルダ本体 7の上面よりも若干突出して、 吸着時にホルダ本体 7の上面と略面一となるように設定された吸着パッドと;この吸着 ノ^ドに形成された貫通孔に通気管を介して接続された吸引用流体ポンプと;から構 成されている（以上、図示略)。

[0035] 吸着部 9には、基板 Wの位置決めの際に、基板 Wをエアーの吹き付けにより浮上さ せて基板ホルダ 6に対する接触抵抗 (摩擦抵抗)を低減させる基板浮上手段として、 例えば、前記通気管に切り替えバルブを介して、エアーを吹出す排気用流体ポンプ が接続されている（以上、図示略)。これにより、前記各吸着パッド 9から圧搾エアー の吹き出しが可能となっており、前記バルブの切換えによって吸引と吹き出しとを択 一的に行えるようになつている。このように、吸引と吹き出し (基板浮上機構)とが可能 な構成を、全ての吸着部 9に持たせても良いが、一部の吸着部 9のみに持たせるよう にしても良い。また、吸着部 9とは別に、基板浮上手段として、エアー吹出し用のノズ ル孔を有する吹上部をホルダ本体 7に設け、エアー吸引とエアー吹出しとを別系統 にしても良い。

[0036] ホルダ本体 7の開口部 8内には、複数の基板支持部 10力 互いに十分な間隔をお いて固定されている。各基板支持部 10は、金属製であり、図 3の左右両図に示すよう に、その概略断面形状が、幅寸法に比べて長い高さ寸法の縦長棒状 (桟状）になつ ており、ホルダ本体 7に比べて小型かつ軽量となっている。これら基板支持部 10の詳 細断面形状は、同じく図 3の左右両図に示すように、縦長の六角形形状を有しており 、上端及び下端のうち少なくとも上端には、基板 Wを透過した照明光が基板支持部 1 0の上端で反射して観察の妨げにならないよう、前記照明光を観察視野外に向けて 反射する傾斜面 10b, 10dが形成されている。本実施形態では、各基板支持部 10の 上端と下端の両方に、傾斜面 10b, 10bが形成されている。

[0037] これら基板支持部 10の上部には、稜線の一部を平坦に切欠いて形成した取付面 1 Oaに、基板 Wの裏面に吸着する吸着部 (基板固定機構） 11 (図 3の右図）と、基板 W の裏面に当接する支持ピン 12 (図 3の左図）とが垂直に突設されている。これら吸着 部 11及び支持ピン 12は、図 2に示すように、同一基板支持部 10上に交互に配置し ても良ぐまた、各基板支持部 10の全てに吸着部 12を配置しても良ぐさらには各基 板支持部 10の交互に支持ピン 12又は吸着部 11を配置しても良 、。

[0038] 吸着部 11は、基板支持部 10の上面に立設されたロッド 11aと、ロッド 11aの先端に 取り付けられた吸着パッド 1 lbとを備えて 、る。ロッド 1 la及び吸着パッド 1 lbには、 エアー流通孔（図示略）が形成されており、このエアー流通孔に通気管を介して前記 吸引用流体ポンプが接続されている（以上、図示略)。

[0039] 吸着部 11には、基板 Wの位置決めの際に、基板 Wをエアーの吹き付けにより浮上 させて基板ホルダ 6に対する接触抵抗 (摩擦抵抗)を低減させる基板浮上手段として 、例えば、前記通気管に切り替えバルブを介してエアーを吹出す排気用流体ポンプ が接続されている（以上、図示略)。これにより、吸着パッド l ibから圧搾エアーが吹き 出し可能となり、前記バルブの切換えにより吸引と吹き出しとを択一的に行うことがで きる。このように、吸引と吹き出しとが可能な構成を、全ての吸着部 11に持たせても良 いし、一部の吸着部 11のみに持たせても良い。また、吸着部 11とは別に、基板浮上 機構として、エアー吹出し用のノズル孔を有する吹上部をホルダ本体 7に設け、エア 一吸引とエアー吹出しとを別系統にしても良い。

[0040] 支持ピン 12は、基板支持部 10の上面に立設されたロッド 12bと、ロッド 12bの先端 にテフロン (登録商標)等のガラス基板よりも硬度が小さく耐磨耗性に優れた減摩材 力 なる略球形の当接部 12aが設けられて 、る。吸着部 11の上端位置及び支持ピン 12の上端位置は、共に、吸着部 9の上面位置と略等しくなるように高さ調整されてい る。

[0041] 図 1及び図 2に示すように、基板ホルダ 6を回転 '摇動させる基板ホルダ駆動機構と して、例えば、多方向（図示 A, B, C, Dの方向）に自由に動ぐ複数のアームを連結 した多関節アームロボットである検査用ロボット 15が装置本体 1の下部に配置されて いる。

図 2に示すように、ホルダ本体 7の一方の長辺部 7aは、検査用ロボット 15の先端ァ ーム 16に連結されている。検査用ロボット 15は、不図示の制御装置によって、例え ば、図 1に仮想線で示すように、基板ホルダ 6が水平に姿勢保持される基板受け渡し 位置から、図 1に実線で示す所定の傾斜角度まで基板ホルダ 6を矢印 A方向に回転 させたり、基板ホルダ 6を先端アーム 16の軸線回りの矢印 C方向（図 2)に回転させた り、基板ホルダ 6を矢印 B (図 1)方向に上下移動させたり、基板ホルダ 6を矢印 D方向 (図 2)に左右移動たりすることができる。

[0042] この検査用ロボット 15を用いることにより、基板ホルダ 6を、マクロ照明下での観察に 適した角度に立ち上げた状態で、基板ホルダ 6を上下左右に移動させることができ、 基板 Wの全面に対してマクロ照明光を走査させることができる。マクロ照明光学系を XY方向に移動可能に設けた場合には、検査用ロボット 15として、基板ホルダ 6を矢 印 A方向に回転又は揺動させる一軸方式の基板ホルダ駆動機構や、基板ホルダ 6を 矢印 A方向と矢印 C方向に回転させる二軸方式の基板ホルダ駆動機構を採用しても 良い。

なお、起き上がらせたときの基板ホルダ 6の前面の位置に対応するように、装置本 体 2には開口（図示略)が形成されており、起き上がらせた状態の基板 Wの外観を観 察者が目視観察できるようになつている。

[0043] 図 2に示すように、基板 Wを受け入れるために基板受け渡し位置に基板ホルダ 6を 水平に姿勢制御した状態では、基板ホルダ 6の周囲にフレーム 17が配置されるよう になっている。フレーム 17は、検査用ロボット 15が揺動可能な範囲を除いて、ホルダ 本体 7の各辺部 7a, 7b, 7c, 7dに沿って、ホルダ本体 7の周囲を囲むように装置本 体 2に対して固定されている。このフレーム 17の上部には、基板 Wをホルダ本体 7上 の基準位置に位置決めする基板位置決め機構として複数の整列手段 20が、ホルダ 本体 7の周囲力も離間して取り付けられている。これら整列手段 20は、ホルダ本体 7 の長辺部 7a, 7b及び短辺部 7dに対向する位置にあるフレーム 17には 2つずつ設け られ、基板ホルダ Wの短辺部 7cと対向する位置のフレーム 17には 1つ設けられて！/、 る。短辺部 7d側、長辺部 7a, 7b側に配設されている各整列手段 20は、基板 Wの各 隅部に対向するように設けられている。ただし、短辺部 7c側に配設された整列手段 2 0は、基板 Wの左短辺の中心付近に対向するように設けられて 、る。

[0044] 各整列手段 20は、フレーム 17に固定されたシリンダ 21等力もなる駆動部と、シリン ダ 21に進退自在に支持されたロッド状の押し付けピン 22等力もなる押圧部材とを備 える。押し付けピン 22の先端には、テフロン (登録商標)等のガラス基板よりも硬度が 小さぐ耐磨耗性に優れた減摩材カ なる円柱形の当接部 22aが設けられている。各 押し付けピン 22は、基板ホルダ 6の上面位置よりも若干上方位置に配置され、これら 押し付けピン 22の当接部 22aがガラス基板 Wの側面に押し当てられる整列位置 (基 準位置）と；図 2に仮想線で示すように、押し付けピン 22の当接部 22aがホルダ本体 7 よりも外側に向力つて離間した退避位置と；に移動可能になっている。

[0045] 整列手段 20は、シリンダ駆動の構成に限定されず、例えば、モータ (駆動部）にリン ク機構 (押圧部材)を介して当接部 22aを進退させる構成を採用しても良い。また、ホ ルダ本体 7を、基板 Wの周縁部がホルダ本体 7から若干飛び出すように、ホルダ本体 7の外形寸法を基板 Wの外形寸法よりも若干小さく形成し、ホルダ本体 7から飛び出 した基板 Wの周縁に、各押し付けピン 22の当接部 22aを押し付けるようにしても良い

[0046] 図 1に示すように、水平に姿勢制御された基板ホルダ 6の下方には、リフト装置 24 が配置されている。リフト装置 24は、図 5に示すように、平面視した場合に基板ホルダ 6の各基板支持部 10と基板搬送用ロボット 28の櫛歯状のフィンガ 31とが干渉しな ヽ 複数箇所に配置されたリフトピン 25と；図 1に示すように、これらのリフトピン 25を支持 するリフトピン支持バー 26と；このリフトピン支持バー 26を昇降させるァクチユエータ 部 27と；を備えている。

各リフトピン 25は、図 4に示すような、基板ホルダ 6の上面位置よりも高い位置まで 突出するリフト位置と、図 1に示すような、基板ホルダ 6の下面位置よりも下がった退 避位置とに移動可能である。各リフトピン 25の先端には、テフロン (登録商標)等のガ ラス基板よりも硬度が小さくて耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部が 設けられている。

[0047] 図 5に、搬送用ロボット 28を示す。搬送用ロボット 28は、基板ホルダ 6に基板 Wを搬 入したり、基板ホルダ 6から基板 Wを搬出したりする際に使用され、多関節アームロボ ットを備えている。この搬送ロボット 28の先端アーム 29にロボットハンド 30が取り付け られている。ロボットハンド 30は、櫛歯状に配設された複数本のフィンガ 31を備えて おり、各フィンガ 31の上面には、吸着部 32が等間隔配置され、基板 Wを吸着保持す る。

図 2に示すように、ロボットハンド 30は、装置本体 2の基板揷入口 2aを通して基板ホ ルダ 6の上方に挿入されたときに、整列手段 20やリフトピン 25を避けるように、フィン ガ 31の形状や配置が設定されている。

[0048] 本実施形態のマクロ検査装置 1の動作について以下に説明する。

まず、各整列手段 20の押し付けピン 22を前記退避位置に退避させてから、検査用 ロボット 15により基板ホルダ 6を基板 Wの搬入出に適した水平な基板受け渡し位置 に待機させる。搬送用ロボット 28は、図示しないカセットより基板 Wを一枚吸着保持し て取り出して基板ホルダ 6の上方に移送してから、基板 Wに対する吸着を解除する。 その後、リフト装置 24は、ァクチユエータ部 27を駆動させ、リフトピン 25を搬送用ロボ ット 28のフィンガ 31よりも上方に移動させて基板 Wを受け取る。このときのリフトピン 2 5は、ホルダ本体 7、各基板支持部 10、及び搬送用ロボット 28の櫛歯状のフィンガ 31 に干渉しないように配設されているので、ホルダ本体 7の開口部 8を通り、搬送用ロボ ット 28の各フィンガ 31の間を通り抜けて基板 Wを持ち上げる。これにより、搬送用口 ボット 28に載置された基板 Wは、搬送用ロボット 28のフィンガ 31からリフトピン 25に 移載される。この状態で、搬送用ロボット 28によりロボットハンド 30をホルダ本体 7に 接触しな!ヽ位置まで降下させた後、ロボットノヽンド 30を基板ホルダ 6の移動経路上か ら退避させる。

[0049] 次に、ァクチユエータ部 27を駆動してリフトピン 25を前記退避位置まで降下させる と、基板 Wの裏面がホルダ本体 7の吸着部 9と、基板支持部 10の吸着部 11及び支 持ピン 12とに当接し、リフトピン 25から基板ホルダ 6に基板 Wが移載される。基板 W を基板ホルダ 6上に載置させたら、基板浮上機構として機能する吸着部 9, 11から圧 搾エアーを吹き出して基板 Wをホルダ本体 7から僅か〖こ浮上させる。基板 Wをエアー で浮かせた状態で、各整列手段 20を駆動して各押し付けピン 22を基板 Wに向かつ て突出させる。その結果、基板 Wは、各押し付けピン 22により挟持されて基準位置に 整列される。基板 Wが位置決めされた状態で、吸着部 9, 11からの圧搾エアー供給 を停止させ、基板 Wをホルダ本体 7及び各基板支持部 10の上に載置する。この後、 吸着部 8, 11により吸引を開始して、位置決めされた基板 Wを吸着保持する。

[0050] なお、基板 Wを位置決めする際、ホルダ本体 7の対角線を挟んで一方側に配置さ れる整列手段 20を位置決め基準用に設定し、この基準用整列手段 20の当接部 22a をホルダ本体 7の基準位置に固定し、他方側に配置される整列手段 20を基板押し付 け用に設定し、この押し付け用整列手段 20の当接部 22aにより基板 Wを基準用整列 手段 20の当接部 22aに押し付けて位置決めするようにしても良い。

[0051] 基板 Wをホルダ本体 7上の基準位置に位置決めして吸着保持させたら、検査用口 ボット 15が基板ホルダ 6を水平位置から、図 1に実線で示したように、基板 Wが観察 者に向力 ように起き上がらせる。この状態で、光源 3からの照明光によって基板 Wを その上方から照らし、観察者によるマクロ検査が行われる。この際、検査用ロボット 15 により、基板ホルダ 6を微小角度で上下方向又は左右方向に揺動させ、基板 Wに対 して照明光の入射角度を変化させながらマクロ検査を行うようにしても良い。基板 W の裏面のマクロ検査を行なう場合には、検査用ロボット 15により基板 Wを反転させ、 基板 Wの裏面を照明方向に向けてマクロ検査を行うようにしても良い。さらに、不図 示のノ ックライト装置を設けて、基板 Wをその裏面側から照らしながら観察を行うよう にしても良い。

[0052] マクロ検査が終了したら、基板ホルダ 6を水平位置まで戻した後、吸着部 9, 11によ る吸着保持を解除する。再び、リフト装置 25のァクチユアータ部 27を駆動し、リフトピ ン 25を上昇させ、基板 Wを基板ホルダ 6からリフトピン 25上に移載する。この状態で 、搬送用ロボット 28は、ロボットハンド 30を水平に移動させてフィンガ 31をホルダ本 体 7と基板 Wとの間に挿入し、ロボットハンド 30を上昇させてリフトピン 25から基板 W を受け取り、基板 Wを吸着部 32により吸着保持した後、ロボットハンド 30を後退させ て前記カセットに向けて搬出する。

[0053] 以上説明のように、本実施形態のマクロ検査装置 1は、検査を受ける基板 Wを保持 する基板ホルダ 6と;基板 Wに照明光を照射する光源 (マクロ照明光学系） 3と;基板 ホルダ 6を支持するとともに基板 Wが照明光で照らされた状態で基板ホルダ 6の姿勢 を制御する検査用ロボット (基板ホルダ駆動機構） 15と;基板ホルダ 6との間で基板 W の受け渡しを行う搬送用ロボット (基板搬送機構) 28と;基板ホルダ 6上に受け渡され た基板 Wに対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板 Wを基板ホルダ 6上か ら浮き上がらせる前記通気管，前記切り替えバルブ，前記排気用流体ポンプを有す る基板浮上機構と;この基板浮上機構により浮上状態にある基板 Wを基板ホルダ 6上 の基準位置に位置決めする整列手段 (基板位置決め機構) 20と;この整列手段 20に より位置決めされた基板 Wを基板ホルダ 6に固定する吸着部 (基板固定機構) 9, 11 と；を備える。

[0054] そして、本実施形態のマクロ検査装置 1によれば、基板 Wを整列させる位置決め機 構として機能する整列手段 20を基板ホルダ 6とは別体に設けたので、基板ホルダ 6 上に駆動部を有する整列手段 20を設ける必要がなくなる。この大きな取り付けスぺ ースを要する整列手段 20をホルダ本体 7上力も分離することにより、整列手段 20を 配置するスペース分だけホルダ本体 7の幅寸法を小さくでき、基板ホルダ 6を軽量ィ匕 できる。さら〖こ、基板ホルダ 6の軽量ィ匕により、基板ホルダ 6を駆動させる検査ロボット 5にかかる負荷を低減させることできる。その結果、検査用ロボット 15に小型の多関 節アームロボットを使用することが可能になる。さら〖こは、これら基板ホルダ 6及び検 查用ロボット 15の小型化により、マクロ検査装置 1を小型化でき、クリーンルームの設 置スペースを小さくできる。

[0055] なお、ホルダ本体 7は、基板 Wの周縁部がホルダ本体 7から若干飛び出すように、 ホルダ本体 7の外形寸法を基板 Wの外形寸法よりも若干小さくして 、るので、押し付 け用整列手段 20の押し付けピン 22の進退時に、押し付けピン 22とホルダ本体 7との 干渉を防止できる。さらには、押し付けピン 22の先端に取り付けられる当接部 22aを 大きくすることができるので、ホルダ本体 7が上下方向に多少ずれても、これら当接部 22aを確実に基板 Wに接触させて押圧することができる。さら〖こ、ホルダ本体 7の外 形寸法を、基板外形寸法内に小型化することができ、更なる軽量ィ匕を図ることができ る。

[0056] [第 2実施形態]

本発明のマクロ検査装置の第 2実施形態について、図面を参照しながら以下に説 明する。なお、上記第 1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を 省略する。

図 6に示すように、検査用ロボット 15の先端アーム 16が取り付けられているホルダ 本体 7の長辺部 7a上面には、基準用整列手段 (基準用基板位置決め機構)である基 準ピン 42aが 2つ固定され、短辺部 7c上面には、基準ピン 42bが固定されている。各 基準ピン 42aは、基板 Wの隅部に対応する位置に配置され、基準ピン 42bは、基板 Wの左側縁の中央部に対応する位置に配置されている。

[0057] 装置本体 2には、ホルダ本体 7の長辺部 7b及び短辺部 7dに沿うように、フレーム 44 及びフレーム 45が取り付けられ、これらフレーム 44, 45には、基板 Wを各基準ピン 4 2a, 42bに押し付けるための押し付け用整列手段 (押し付け用基板位置決め機構) 2 0が 2つずつ設けられて!/、る。

基板ホルダ本体 7の長辺部 7b及び短辺部 7dには、押し付け用整列手段 20に対応 した位置に切欠き 43a, 43bが基板ホルダ本体 7の外周面から開口部 8に向力つて凹 むように形成されている。これら切欠き 43a, 43bは、図 6に示すように、基板 Wの内 側へ数ミリ程度の入り込む位置まで切り欠かれている。

[0058] 本実施形態では、上記第 1実施形態で説明した構成から、ホルダ本体 7の長辺部 7 a及び短辺部 7cに沿って設けられたそれぞれのフレームを省略している。そして、こ の省略したフレームに固定されていたシリンダ等の駆動部を有する位置決め用整列 手段 20を、駆動部の無い基準ピン 42a、 42bに代えている。さらに、ホルダ本体 7の、 各押し付け用整列手段 20と対向する位置に切欠き 43a, 43bを設けている。以上説 明の点以外の構成は、上記第 1実施形態の構成と同じであり、重複する説明は省略 する。

[0059] 本実施形態のマクロ検査装置 1の動作について以下に説明する。 本実施形態は、上記第 1実施形態に対して、基板 Wの位置決めの仕方だけが異な つている。この異なる位置決めの仕方について以下に説明する。図 5に示したような 搬送用ロボット 28で搬入された基板 Wを基板ホルダ 6上に載置した後、基板浮上機 構として機能する吸着部 9, 11から圧搾エアーを吹き出して基板 Wを浮上させる。次 に、各整列手段 20が押し付けピン 22を基板 Wに向けて突出させると、基板 Wの側面 が押され、基板 Wの反対側の側面が基準ピン 42a, 42bに押し付けられて位置決め される。基板 Wが位置決めされた状態で、吸着部 9, 11からの圧搾エアーの供給を 停止させて基板 Wをホルダ本体 7及び各基板支持部 10の上に載置する。この後、吸 着部 9, 11により吸引を開始して、位置決めされた基板 Wを吸着保持する。

[0060] 以上説明の本実施形態のマクロ検査装置によれば、基板 Wを整列させる基準用整 列手段を、駆動部の無い安価な基準ピン 42a, 42bに代えることにより、装置の製造 コストを低減させることができる。さらに、ホルダ本体 7の長辺部 7a及び短辺部 7cに沿 つて配置されるフレームを減らすことができるので、検査用ロボット 15及び搬送用ロボ ット 28がフレームと干渉しに《なり、検査用ロボット 15及び搬送用ロボット 28の動作 が広がる。

また、ホルダ本体 7に切り欠き 43a, 43bを形成したので、押し付け用整列手段 20 の押し付けピン 22の進退時に、押し付けピン 22及びホルダ本体 7間の干渉を防止で きる。切欠き 43a, 43bを設けることにより、押し付けピン 22の先端に取り付けられた 当接部 22aのサイズを大きくすることができるので、ホルダ本体 7が上下方向に多少 ずれても基板 Wに接触し、確実に基板 Wを押圧することができる。また、ホルダ本体 7に基準ピン 42a, 42bを固定するとともに、押し付け用整列手段 20にのみ駆動機構 を備えたことにより、上記第 1実施形態のように全ての整列手段に駆動機構を備えた ものに比べて、位置決め制御が簡単になる。すなわち、上記第 1実施形態では、全て の整列手段を正解に位置決め制御する必要があるが、本実施形態では、押し付け 用整列手段 20によって基板 Wを基準ピン 42a、 42bに押し付け、所定押圧力に達し たら押し付けを停止させるという簡単な位置決め制御で済むため、位置決めをさらに 速やかに行なうことができる。その他の効果は、上記第 1実施形態と同じである。

[0061] なお、本発明は、上記第 2実施形態に限定されずに広く応用することができる。 例えば、機構部をさらに減らして装置をさらに小型化、軽量化することを目的として

、図 6に示す基板ホルダ 6において、押し付け用整列手段 20及び切り欠き 43a, 43b を設けずに、基板 Wの基準位置を規制する基準ピン 42a, 42bのみを設けるようにし ても良い。

この場合、基板 Wを搬入するときには、リフトピン 25で基板 Wを基板ホルダ 6に移載 したら、基板 Wを、基板浮上機構として機能する吸着部 9, 11からエアーを吹き付け て浮上させた状態で、検査用ロボット 15を駆動し、最初に、長辺部 7aに対して長辺 部 7bが少し高くなるようにホルダ本体 7を傾斜させる。これにより、浮上した基板 Wは 、自重によりホルダ本体 7に沿って長辺部 7a側に移動し、基準ピン 42aに当接して基 板 Wの下側の位置が定まる。この状態で、検査用ロボット 15を駆動して、短辺部 7c に対して短辺部 7bが少し高くなるようにホルダ本体 7を傾斜させる。これにより、浮上 した基板 Wは、 2つの基準ピン 42aに当接したままの状態で、短辺部 7c側に移動し、 基準ピン 42bに当接して基板 Wの右側の位置が定まる。このように、ホルダ本体 7を、 基準ピン 42a, 42bが下になるように少し傾斜させることで、基板 Wの自重により基板 Wを基準ピン 42a, 42bに当接させて位置決めすることが可能になる。

[0062] 検査用ロボット 15に、多方向に姿勢制御可能な多関節アームロボットを採用して、 基板 Wの整列を行うようにした場合には、基板 Wを整列させる整列手段のうち、駆動 部を必要としない基準用整列手段を、駆動機構部の無い安価な基準ピン 42a, 42b のみで構成することができる。その場合、さらに価格の低減を図ることができると共に 、ホルダ本体 7の周辺から、整列手段を取り付けるためのフレームを全て省略すること ができ、装置全体の小型化を図ることができる。その他の効果は、上記第 1実施形態 と同じである。

[0063] 前記多関節アームロボットを採用して基板 Wの整列を行う場合、検査用ロボット 15 は、一度に長辺部 7aと短辺部 7cとの隅部が最も低くなるように、ホルダ本体 7を傾斜 させ、基板 Wをその自重により、ホルダ本体 7の両辺に設けられた基準ピン 42a, 42a , 42bに向けて移動させるようにしても良い。この場合、ワンアクションで基板 Wを整 歹 IJさせることができる。

また、上述のいずれかの場合において、検査用ロボット 15により、基板ホルダ 6を微 小に揺らすように駆動させても良い。基板ホルダ 6が揺れることで、基板 Wが速やか に移動して整列する。この場合には、エアーの吹き付けによる浮上を必ずしも行わな くても良い。

[0064] また、機構部を減らして、装置をさらに小型化、軽量ィ匕及び価格低化させるために 、リフト装置 24から昇降機構を取り除き、このリフト装置 24を図 1に示したような所定 位置に固定しても良い。この場合には、リフトピン 25の長さは、その先端部 27aが、水 平位置にある基板ホルダ 6の下面よりも低い位置に固定されるように設定する。基板 Wの搬入搬出を行う際には、検査用ロボット 15を駆動させ、基板ホルダ 6をリフトピン 25よりも低くなるように下降させる。これにより、リフトピン 25の先端部が基板ホルダ 6 の上面から突出するので、搬送用ロボット 28により基板 Wをリフトピン 25上に移載し、 搬送用ロボット 28を退避させた後に、検査用ロボット 28により基板ホルダ 8を上昇さ せることにより、搬送用ロボット 28から検査用ロボット 15への基板 Wの受け渡しが可 能になる。その後、検査用ロボット（多関節ロボット） 15が基板ホルダ 6を上昇させると 、基板 Wがリフトピン 25から基板ホルダ 6に移載される。基板 Wの位置決め、吸着、 及びマクロ観察は、前記と同様にして行う。基板 Wを搬出する際には、リフトピン 25よ りも少し高い位置で、基板 Wの吸着保持を解除してから、基板ホルダ 6をリフトピン 25 の先端よりも低い位置まで下降させる。その結果、リフトピン 25に基板 Wが移載され るので、搬送用ロボット 28で基板 Wを搬出することが可能になる。

[0065] このような構成を採用した場合、基板 Wの受け渡し位置にぉ ヽて、基板 Wを載置し た状態で水平に昇降させるリフト装置の昇降機能を、検査用ロボット 15に兼用させる ことにより、リフトピン 25を昇降させる機構を設ける必要がなくなる。その結果、装置の 小型化、軽量ィ匕を図ることができる。その他の効果は上記第 1実施形態と同じである

[0066] 基板ホルダ 6は、その短辺部が検査用ロボット（多関節ロボット） 15の先端アーム 16 に取り付けられて ヽても良 、。

図 6に示した基板ホルダ 6から、切り欠き 43a, 43bを省略しても良い。また、図 1に 示す基板ホルダ 6に対し、整列手段 20の配置にあわせて切り欠き 43a, 43bを形成 しても良い。 [0067] [第 3実施形態]

本発明のマクロ検査装置の第 ₃実施形態について、図面を参照しながら以下に説 明する。なお、上記第 1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を 省略する。

本実施形態では、基板ホルダ 6を回転 ·揺動させる基板ホルダ駆動機構として検査 用多関節アームロボット（検査用ロボット 15)を採用している。そして、この検査用ロボ ット 15によって回転 ·揺動自在に支持した基板ホルダ 6を、基板受け渡し位置におい て迅速に静止させて基板 Wの受け渡しを円滑に行い、タクトタイムを短縮して検査効 率を向上させるために、静止機構 50を備えている。この静止機構 50を設けた以外は 、上記第 1実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。

[0068] 検査用ロボット 15の先端アーム 16に連結された基板ホルダ 6は、図 7に示すように 、基板受け渡し位置において水平に姿勢保持される。静止機構 50は、基板ホルダ 6 を基板受け渡し位置に規制するストツバ機能を有しており、基板ホルダ 6の先端側 ( 自由端側）に配置されている。この静止機構 50は、基板ホルダ 6の衝撃を吸収して振 動を抑える静止機能をさらに有する。

図 7に示す静止機構 50は、鉛直方向に立設された支柱 51の先端部（上端部）に、 例えば、ゴムあるいはスポンジなどの榭脂系の弾性体 52が取り付けられたストッパ 53 を備えており、弾性体 52の上面が当接部 54とされている。この静止機構 50は、基板 受け渡し位置に配置されたホルダ本体 7の先端下方に設けられて ヽる。ホルダ本体 7 は、水平に姿勢保持される基板受け渡し位置に配置された際に、その先端部下面が ストッパ 53の当接部 54に当接する。

[0069] 上記第 1実施形態で説明したように、基板ホルダ 6は、検査用ロボット 15による基板 Wの搬入時と、マクロ検査後の基板 Wの搬出時に、搬送用ロボット 28との間の基板 受け渡し位置に移動される。

[0070] 検査用ロボット 15により、基板ホルダ 6がマクロ観察による所定角度力も基板受け渡 し位置の水平角度に移動（回転)されると、ホルダ本体 7の先端部下面がストツバ 53 の当接部 54に当接する。これにより、ホルダ本体 7は、先端部に振れを生じることなく 、基板受け渡し位置に迅速に静止する。このとき、検査用ロボット 15を高速で回転さ せ、基板受け渡し位置の手前で回転を減速させてホルダ本体 7をストッパ 53にゆつく り当接させることで、ストッパ 53に対するホルダ本体 7の衝撃力を和らげるとともに、基 板ホルダ 6の高速移動によって基板 Wの受け渡しに要する時間を短縮することがで きる。

[0071] 基板受け渡し位置に移動したホルダ本体 7が静止した力否かの判断としては、例え ば、振動センサなどを用いても良いが、所定時間が経過した力否かによって判断す るようにしても良い。ホルダ本体 7が静止したことをセンサや時間により確認した後、 搬送用ロボット 28を駆動制御して、基板ホルダ 6からの基板 Wの受け渡しを行なう。 なお、本実施形態では、静止機構 50でホルダ本体 7の先端部を支持することにより 基板ホルダ 6の振れを止めたが、基板ホルダ 6の支持箇所としては、先端部に限らず 、その他の箇所を採用しても良い。具体的には、基板ホルダ 6の重心に対し、そのホ ルダ本体 7の、駆動アーム 16による支持箇所とは反対側、すなわち、前記重心の位 置力 前記先端部の位置までの間であれば良い。

[0072] 以上説明のように、静止機構 50を備えた本実施形態のマクロ検査装置 1によれば、 基板受け渡し位置へ移動される基板ホルダ 6の重心に対し、そのホルダ本体 7の、駆 動アーム 16による支持箇所とは反対側がストツバ 53によって保持されるので、基板ホ ルダ 6を基板受け渡 Lf立置において極めて迅速に静止させることができ、基板受け渡 し位置における基板 Wの受け渡し動作を速やかに行わせることが可能となる。

これにより、基板 Wの検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板 Wの検査 のタクトタイムを大幅に短縮し、検査の効率ィ匕を図ることができる。

また、基板受け渡し位置において、予め位置決めされた静止機構 50にホルダ本体 7を当接させることで、基板ホルダ 6を精度良く水平に支持させることができ、基板 W の受け渡しを円滑に行うことができる。

[0073] 静止機構 50としては、例えば、支柱 51を伸縮可能として当接部 54の高さ位置を上 下に調整可能とするのが好ましい。この場合、基板受け渡 Lf立置における当接部 54 の高さ位置の精度を向上させることができる。また、基板受け渡し位置の変更などに 対して容易に対応することができる。

また、当接部 54に吸着部あるいは磁石を設け、ホルダ本体 7が当接した際に、この ホルダ本体 7の下面を真空吸着ある!/ヽは磁力により吸着することにより、さらに迅速か つ確実に基板ホルダ 6を基板受け渡し位置に静止させることができる。

[0074] なお、静止機構 50としては、上記構造のものに限定されず、各種の構造のものが 適用可能である。

ここで、静止機構 50の他の例について説明する。

図 8に示す静止機構 50は、支柱 51の先端部にダンバ及びスプリング力もなる振動 減衰部 55を設けた場合の例である。

このような振動減衰部 55を設けた場合、当接部 54に当接するホルダ本体 7からの 振動及び衝撃を確実に受け止め、基板ホルダ 6を迅速に静止させることができる。

[0075] 図 9に示す静止機構 50は、支柱 51の先端部に、当接部として係合ピン 56を有する 係合部 57を備えた場合の例である。係合ピン 56は、ホルダ本体 7側に向かって突出 しており、ホルダ本体 7の先端部に形成された係合溝 7eに係合可能とされている。係 合ピン 56は、先端が半球状に形成された円柱形状を有し、図示しないコイルパネに 接続された状態で、係合部 57の穴内に挿入されている。その結果、係合ピン 56は、 前記穴に対して出没可能に設けられている。

静止機構 50では、ホルダ本体 7が基板受け渡し位置に移動すると、このホルダ本 体 7の係合溝 7eに係合ピン 56が係合する。その結果、基板ホルダ 6を基板受け渡し 位置に迅速に静止させることができる。

[0076] 図 10に示す静止機構 50は、支柱 51の先端部に、側面視コ字状に形成されて一端 側が互いに回動可能に連結された固定ブラケット 61及び可動ブラケット 62と、可動 ブラケット 62を回動させる駆動機構（図示略)とを備えている。固定ブラケット 61は、 支柱 51に固定され、可動ブラケット 62との連結側と反対側の他端部に弾性体 64が 設けられ、その表面が当接部 65とされている。可動ブラケット 62の他端部にも弾性体 66が設けられ、その表面が挟持部 67とされている。

[0077] そして、この静止機構 50では、可動ブラケット 62が、図 10の仮想線に示す位置に 配置された状態で、ホルダ本体 7が基板受け渡し位置へ移動される。そして、ホルダ 本体 7の先端部下面が固定ブラケット 61の当接部 65に当接すると、前記駆動機構に よって可動ブラケット 62が時計回り（図中矢印 α方向）へ回動される。これにより、ホ ルダ本体 7は、その先端部が、固定ブラケット 61の当接部 65と可動ブラケット 62の挟 持部 67とによって挟持され、基板ホルダ 6が基板受け渡し位置にて迅速に静止させ ることがでさる。

[0078] 図 11に示す静止機構 50は、支柱 51の先端部に回動可能に支持された支持ブラ ケット 71を備えている。この支持ブラケット 71は、側面視 V字状に形成され、 V字を形 成する内側の面がそれぞれ当接部 72とされている。

この静止機構 50では、支持ブラケット 71が、図中仮想線にて示す位置に配置され た状態で、ホルダ本体 7が基板受け渡し位置に移動され、その先端部が支持ブラケ ット 71に接触すると、支持ブラケット 71が回転軸 73を中心として時計回り（図中矢印 β方向）に回動され、ストツバピン 74に当接して図中実線に示す位置に停止する。こ れにより、ホルダ本体 7は、その先端部における上下の角部が支持ブラケット 71のそ れぞれの当接部 72に当接されるので、基板ホルダ 6が基板受け渡し位置に迅速に 静止される。

[0079] 図 12に示す静止機構 50は、その下部に移動機構 75を備えている。この移動機構 75は、ストッパ 53を不図示のレールに沿って直線的に移動させることにより、基板ホ ルダ 6が当接する当接部 54を、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体 7の先端 部下方位置カゝら外れた位置（図中仮想線にて示す位置）〖こ配置させることができる。 この移動機構 75を備えた静止機構 50では、ホルダ本体 7が基板受け渡 Lf立置に 移動するときだけストツバ 53が基板受け渡し位置側に移動し、当接部 54にホルダ本 体 7が当接して静止される。

[0080] つまり、この静止機構 50は、検査時のホルダ本体 7に対してストッパ 53が干渉する ことがないように、必要時以外のときは移動機構 75によってストッパ 53を待避位置（ 図中仮想線にて示す位置）に移動させる。

なお、必要時以外のときにストッパ 53を待避位置へ移動させる機構としては、直線 的に水平移動させるものに限らず、所定の軸を中心として回転させることによりストツ パ 53を平面視で円弧状に移動させる回転式を採用しても良い。

[0081] 図 13に示す静止機構 50は、ストツバ 53を構成する支柱 51が途中で分割されてお り、その分割箇所よりも上部のストツバ 53が下部に対して回動可能に連結されている この静止機構 50では、ホルダ本体 7が基板受け渡 Lf立置に移動するときだけ、支 柱 51が直線状をなし、当接部 54上にホルダ本体 7が当接して静止される。

つまり、この静止機構 50の場合も、検査時のホルダ本体 7に対してストッパ 53が干 渉することがな 、ように、必要時以外のときは支柱 51が連結箇所にて屈曲されて待 避位置（図中仮想線にて示す位置）にストッパ 53が移動する。

[0082] なお、本実施形態では、枠状に形成された基板ホルダ 6を備えたマクロ検査装置 1 を例にとって説明した力 基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論 である。

図 14及び図 15は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。これら の図に示す基板ホルダ 81は、複数本の細長い基板支持部 82を櫛歯状に配設した ホルダ本体 83を備えており、各基板支持部 82の上面には、前述した吸着部 9と同様 の吸着部 84が互いに間隔をあけて配置されている。そして、この基板ホルダ 81では 、ホルダ本体 83上に載置された基板 Wを、各基板支持部 82上の各吸着部 84によつ て真空吸着して保持する。

[0083] このような構造の基板ホルダ 81を採用した場合、基板受け渡し位置に移動される 基板ホルダ 81の各基板支持部 82の先端部下面側力 静止機構 50のストツバ 53に よって保持され、迅速に静止される。

特に、上記構造の基板ホルダ 81によれば、枠状の基板ホルダと比較して軽量化と ともに外形寸法の小型化が図られるので、基板受け渡し位置における振れの発生自 体を抑えることができ、さらに迅速に静止させることができる。

[0084] [第 4実施形態]

本発明のマクロ検査装置の第 4実施形態について、図面を参照しながら以下に説 明する。なお、上記第 1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を 省略する。

図 16及び図 17は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。本実 施形態では、この基板ホルダ 6を回転 '摇動させる駆動機構として検査用多関節ァー ムロボット (検査用ロボット 15)を採用しており、検査用ロボット 15の駆動部への負担 を軽減し、装置全体の小型化を図ることを目的としてバランスウェイト 90を備えている 。このノ ランスウェイト 90を設けたこと以外は上記第 1実施形態と同じであり、重複す る説明は省略する。

[0085] ホルダ本体 7の一端側に形成された連結部 7fには、検査用多関節アームロボット（ 基板ホルダ駆動機構)を採用した検査用ロボット 15の先端アーム 16が、連結軸 Xを 中心として回動可能に連結されている。これにより、この基板ホルダ 6が検査用ロボッ ト 15によって片持ち支持されている。検査用ロボット 15は、例えば、図 1に仮想線で 示したような水平に姿勢保持される位置から、図 1に実線で示したような所定の傾斜 角度まで起き上がった位置まで、基板ホルダ 6を揺動させたり、回転させたりすること が可能になっている。

[0086] 基板ホルダ 6には、検査用ロボット 15の先端アーム 16が連結された連結側端部に 、一対のバランスウェイト 90が取り付けられている。これらバランスウェイト 90は、基板 ホルダ 6の両側部近傍に固定された支持アーム 91の先端に支持されており、先端ァ ーム 16との連結軸 Xに対して基板ホルダ 6とは反対側に配置されている。

[0087] これらバランスウェイト 90は、先端アーム 16との連結箇所を通る基板ホルダ 6の中 心軸 Yを挟んだ両側にそれぞれ振り分けて設けられ、しカゝも、連結軸 Xを境に基板ホ ルダ 6の重心 Gの反対側にそれぞれ配置されている。

これにより、連結軸 Xには、基板ホルダ 6の重量により生じる回転モーメントが、バラ ンスウェイト 90の重量により生じる回転モーメントで減じられている。なお、基板ホル ダ 6の重量により生じる回転モーメントを略釣り合わせて相殺させるように、ノ《ランスゥ エイト 90の重量及び配置を設定しても良い。

[0088] 以上説明の構成を有する本実施形態のマクロ検査装置 1によれば、検査用ロボット 15の先端アーム 16との連結側端部に、先端アーム 16との連結軸 Xに対して重心 Gと 反対側にバランスウェイト 90を設けたので、基板ホルダ 6の重量により生じる連結軸 X回りの回転モーメントを、ノ《ランスウェイト 90の重量により生じる連結軸 X回りの回転 モーメントで減少させることができる。

その結果、基板ホルダ 6を揺動自在に片持ち支持する検査用ロボット 15の駆動部 への負荷を大幅に低減し、装置全体の小型化を図ることができる。 [0089] また、各バランスウェイト 90を、先端アーム 16との連結箇所を通る基板ホルダ 6の 中心軸 Yを挟んだ両側にそれぞれ振り分けて設けたので、先端アーム 16との連結箇 所に対する各バランスウェイト 91による回転モーメントのバランスも釣り合わせること ができ、これにより、中心軸 Yを中心とした基板ホルダ 6の回動を円滑に行うことがで きる。

[0090] なお、バランスウェイト 90は、検査用ロボット 15の先端アーム 16との連結箇所を通 る基板ホルダ 6の中心軸 Yに沿って位置調節が可能にしても良い。この場合、ノラン スウェイト 90の位置を調節することにより、ホルダ本体 7の重さの変化や傾斜角度な どに合わせて連結軸 Xにおける回転モーメントのバランスをさらに高精度に制御する ことができる。

[0091] バランスウェイト 90の取り付け位置は、連結軸 X回りの回転モーメントを減少させる ことができる位置であれば、本実施形態の位置に限定されない。バランスウェイト 90 の取り付け位置が異なる他の例について、以下に説明する。

図 18は、一対のバランスウェイト 90を、連結部 7fに近接配置した場合を示す。 この場合、中心軸 Y回りの基板ホルダ 6の慣性モーメントを極力小さくすることがで き、中心軸 Yを中心とした基板ホルダ 6の回動を円滑に行うことができる。

[0092] 図 19及び図 20は、先端アーム 16が連結される連結部 7fを、連結軸 Xに対してホ ルダ本体 7とは反対側に延在させた支持アーム 91と、この支持アーム 91に支持され た一つのバランスウェイト 90とを備えた場合を示す。ノ ランスウェイト 90は、基板ホル ダ 6の中心軸 Y上に配設されて 、る。

上記構造によれば、中心軸 Y回りにおける基板ホルダ 6の慣性モーメントをさらに小 さくすることができ、中心軸 Yを中心とした基板ホルダ 6の回動をさらに円滑に行うこと ができる。

[0093] なお、この場合、先端アーム 16が支持アーム 91及びバランスウェイト 90に干渉しな いように、例えば、ホルダ本体 7の連結部 7fに対して駆動アーム 16が略直交するよう に連結させ、可動範囲が極力制限されな 、ようにするのが好ま 、。

[0094] なお、本変形例では、枠状に形成された基板ホルダ 6を備えたマクロ検査装置 1を 例にとって説明したが、基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論で ある。

図 21、及び図 22に示すものは、図 14に示したものと同じ基板ホルダ 81であり、複 数の細長い基板支持部 82を櫛歯状に配設し、各基板支持部 82の上面には、各吸 着部 84が互いに間隔をあけて設けられて 、る。

[0095] そして、この基板ホルダ 81にも、先端アーム 16とホルダ本体 83の連結部 83aとの 連結側端部に、一対の支持アーム 91を介して一対のバランスウェイト 90が取り付け られており、これらバランスウェイト 90力 連結軸 Xを境に基板ホルダ 81の重心 Gの 反対側に配置されている。

これにより、連結軸 X回りにおいて、基板ホルダ 81の重量により生じる回転モーメン トと、ノ《ランスウェイト 90の重量により生じる回転モーメントとが略釣り合って相殺され る。

[0096] 特に、上記構造の基板ホルダ 81によれば、枠状の基板ホルダと比較して小型軽量 ィ匕が図られるので、バランスウェイト 90としても軽量なものを用いることができ、さらな る装置の小型化を図ることができる。

産業上の利用可能性

[0097] 本発明によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができる ので、タクトタイムを短縮して検査の効率ィ匕を図ることが可能になる。

また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設 けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダ を小型化、軽量ィ匕することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構に力かる負担 を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全 体を小型化、軽量ィ匕することができる。

また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にカゝかる負担を低減す ることができるので、駆動機構として多関節アームロボットによるマクロ検査装置を実 現することが可能になる。

Claims

請求の範囲

[1] 検査を受ける基板を保持する基板ホルダと；

前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と；

前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前 記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と；

前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と； 前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことに より、この基板を前記基板ホルダ上カゝら浮き上がらせる基板浮上機構と；

この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置 に位置決めする基板位置決め機構と；

この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定す る基板固定機構と；

を備えたことを特徴とするマクロ検査装置。

[2] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板ホルダ駆動機構力 多関節アームロボットを備える。

[3] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられて！/ヽる。

[4] 請求項 3に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置 決めを行う。

[5] 請求項 3に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置 に固定された位置決め部材と;前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付 勢装置と;を備える。

[6] 請求項 3に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第 1の切り欠き が形成されている。

[7] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、 前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達し た際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板ホルダ以 外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と ；を備える。

[8] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記 基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾 斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材 力 前記基板位置決め機構に備えられている。

[9] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法が、前記基板を正面視した場合の 外形寸法よりも小さい。

[10] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板 ホルダを停止させる静止機構をさらに備える。

[11] 請求項 10に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの 基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備える。

[12] 請求項 11に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、軸線が基板ホルダに略垂直をなすように定位置に固定されたス プリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体が設けられている。

[13] 請求項 10に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板ホルダの側部に第 2の切り欠きが形成され；

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第 2の切 り欠きに係止する係止部を備える。

[14] 請求項 10に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟 持手段を備える。

[15] 請求項 10に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹 部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向力う方向に沿って回動する回 動部材と；この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達 した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と;を備える。

[16] 請求項 10に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止 め位置と、この受け止め位置力も離間した待避位置との間で移動する。

[17] 請求項 16に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動する。

[18] 請求項 16に記載のマクロ検査装置であって、

前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動する。

[19] 請求項 1に記載のマクロ検査装置であって、

前記基板ホルダ駆動機構力 前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第 1の 軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し；

前記第 1の軸線を回転中心として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するゥ エイトが、前記基板ホルダに設けられている。

[20] 請求項 19に記載のマクロ検査装置であって、

前記ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第 1の軸線に直交するとともに前 記基板ホルダがなす平面に平行な第 2の軸線回りに回動可能に支持し；

前記基板ホルダの重心位置と、前記第 1の軸線及び前記第 2の軸線間の交点と、 前記ウェイトの重心位置とが略一直線上に配置されている。

[21] 請求項 19に記載のマクロ検査装置であって、

前記ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第 1の軸線に直交するとともに前 記基板ホルダがなす平面に平行な第 2の軸線回りに回動可能に支持し；

前記ウェイトが、前記第 2の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けられ ている。

[22] 検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停止させる基板ホルダ停止ステ ップと；

前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板載置ステップと；

前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上力 浮き上が らせる基板浮上ステップと；

浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位 置決めステップと；

前記基板位置決めステップ後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定 ステップと；

を有するマクロ検査方法。

[23] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前 記位置決めを行う。

[24] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダ に設け；

前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材に当接 させるように前記基板ホルダを傾斜させる。

[25] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの 振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させる。

[26] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを 挟持することにより、前記基板ホルダを停止させる。

[27] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを 定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させる。

[28] 請求項 22に記載のマクロ検査方法であって、

前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを 発生させるウェイトにより相殺する。