WO2006046545B1 - 弾性表面波素子及び通信装置 - Google Patents
弾性表面波素子及び通信装置Info
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Abstract
圧電基板２上のＩＤＴ電極３は、チタンもしくはチタン合金又はクロムもしくはクロム合金から成る第１の金属層31a,31bとアルミニウムもしくはアルミニウム合金又は銅もしくは銅合金又は金もしくは金合金から成る第２の金属層32a,32bとが交互に積層された電極で形成されている。第１の金属層31a,31b及び第２の金属層32a,32bは、圧電基板２の表面に最も近い層31a,32aおける配向性が上層における配向性よりも高い。従来のように第１の金属層31a,31b及び第２の金属層32a,32bにおける配向性を考慮しない場合に比べて、ＩＤＴ電極３の耐電力性を大幅に改善することができる。
Claims
[ 1 ] (補正後） 圧 m¾板と、
板上に、 チタンもしくはチタン合金又はクロムもしくはクロム合 金から成る複数の第 1の鍋層と、 アルミニウムもしくはァノレミユウム合金 又〖 同もしくは銅合金又は金もしくは金合金から成る少なくとも 1つの第 2の金属層と力 それぞれ一層ずつ交互に ¾Sされて开滅された によつ て構成された I D Tttとを具備し、
嫌 反の表面に最も近レ、 tilt己第 1の金属層における配向性が、 それ より 板の表面から »た tin己第 1の金属層における配向性よりも 高い、 弾性表面波素子。
[ 2 ] 嫌己第 2の 層が複数あり、
tfflsms板の表面に最も近い編己第 2の金属層における配向性が、 それ より lijffiEEmS板の表面から »た fijf己第 2の金属層における配向性よりも 高い、 請求項 1纖の弾性表面波素子。
[ 3 ] 前記第 1の m層がチタンもしくはチタン合金であり、 前記第 2の金属層 がアルミニゥムもしくはァノレミニゥム合金である請求項 1記載の弾性表面波 素子。
[4] 前記第 1の金属層の前Bi£電基板の表面に最も近レ、層の層厚が 30〜80Aで ある請求項 3記載の弾性表面波素子。
[ 5] (補正後） 圧 m¾¾と、 ' ^
言 王 mffl友上に、 チタンもしくはチタン合金又はクロムもしくはクロム合 金から成る少なくとも 1つの第 1の 層と、 ァノレミニゥムもしくはァノレミ ニゥム合金又は銅もしくは銅合金又は金もしくは金合金から成る複数の第
2の金属層とが、 それぞれ一層ずつ交互に漏されて形成された こよつ て構成された I DTffiとを具備し、
Ιβϊ^ϊί反の表面に最も近レ、 tilt己第 2の金属層における配向性が、 それ より肅 flEE«£板の表面から »た歸己第 2の金属層における配向性よりも 高い、 弾性表面波素子。
[ 6 ] 前記第 1の^ M層がチタンもしくはチタン合金であり、 前記第 2の金属層 力 Sアルミニウムもしくはアルミニウム合金である請求項 5記載の弾性表面波 素子。
[ 7] 前記第 1の金属層の前記圧電基板の表面に最も近レ、層の層厚が 30〜80Aで ある
捕正された用紙 （条約第 19条)
29
請求項 6記載の弹性表面波素子。
[8] tin己第 2の金属層は、 圧 板の表面に遠い面から、 圧電難の表面に近 レ、面にわたって、 結晶粒が連続して形成されてレ、る請求項 1記載の弾性表面 波素子。
[ 9] 編酷晶粒の主面方向の大きさは、 肅己金属層の厚みよりも大きいものが 多く被する請求項 8纖の弾性表面波素子。
[10] 請求項 1記載の弾性表面波素子を分波器として用レ、た通信装
[11] 請求項 5記載の弾性表面波素子を分波器として用レ、た通信装
捕正された用紙 （条約第 19条)
条約第 1 9条 （1 ) に基づく説明書 請求の範囲第 1項の 「第 2の金属層と力 交互に積層されて」 の記載を、 「第 2の金属層とが、 それぞれ一層ずつ交互に積層されて」 と補正する。 請求の範囲第 5項の 「第 2の金属層と力 交互に積層されて」 の記載を、 「第 2の金属層とが、 それぞれ一層ずつ交互に積層されて」 と補正する。
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