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WO1996017971B1 - Appareil de pulverisation avec module de service embarque - Google Patents

Appareil de pulverisation avec module de service embarque

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WO1996017971B1 PCT/US1995/014436 US9514436W WO9617971B1 WO 1996017971 B1 WO1996017971 B1 WO 1996017971B1 US 9514436 W US9514436 W US 9514436W WO 9617971 B1 WO9617971 B1 WO 9617971B1
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Abstract

Cette invention se rapporte à un système (50) pour l'application d'une couche de revêtement sur un substrat (42) par pulvérisation. Ce système comprend un logement central (12) comportant au moins un module de traitement (20, 22, 24) servant à former la couche de revêtement, ce module de traitement se trouvant en communication fluide avec le logement central (12) et comprenant un premier dispositif utilisé de façon conjointe avec l'opération de formation de la couche de revêtement sur le substrat (42). Ce système (50) comprend en outre au moins un module de service (52) en communication fluide avec le logement central (12), ce module de service (52) comprenant au moins un dispositif de remplacement servant à remplacer le premier dispositif. Le logement central (12) contient un élément robotique (40) servant à transporter le premier dispositif du module de traitement (20, 22, 24) au module de service (52) et servant à transporter le dispositif de remplacement du module de service (52) au module de traitement (20, 22, 24), afin de remplacer le premier dispositif. Le module de service (52) comprend en outre une pompe spécialisée (60) qui sert à faire le vide dans le module de service (52) à un niveau de vide élevé, afin de réduire le dégazage de surface du dispositif de remplacement jusqu'à un niveau désiré avant l'utilisation.
PCT/US1995/014436 1994-12-08 1995-11-09 Appareil de pulverisation avec module de service embarque WO1996017971A1 (fr)

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