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WO2018131818A1 - Sensor - Google Patents

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Publication number
WO2018131818A1
WO2018131818A1 PCT/KR2017/015121 KR2017015121W WO2018131818A1 WO 2018131818 A1 WO2018131818 A1 WO 2018131818A1 KR 2017015121 W KR2017015121 W KR 2017015121W WO 2018131818 A1 WO2018131818 A1 WO 2018131818A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sensing electrode
sensing
electrode
antenna pattern
sensor
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/015121
Other languages
French (fr)
Korean (ko)
Inventor
김현철
이명원
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020170154814A external-priority patent/KR102024608B1/en
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to EP17891892.6A priority Critical patent/EP3570019A4/en
Priority to US16/473,212 priority patent/US10996181B2/en
Priority to CN201780082997.1A priority patent/CN110168357B/en
Publication of WO2018131818A1 publication Critical patent/WO2018131818A1/en

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
    • G01N27/07—Construction of measuring vessels; Electrodes therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/12—Supports; Mounting means
    • H01Q1/22—Supports; Mounting means by structural association with other equipment or articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/36—Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith
    • H01Q1/38—Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith formed by a conductive layer on an insulating support
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    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
    • G01N27/127—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising nanoparticles

Definitions

  • the present invention relates to a sensor of the printing method for sensing the change in the impedance of the target material in order to determine the degree of denaturation of salinity, sugar measurement and edible oil.
  • Conventional sensors for determining the degree of denaturation of salinity, sugar measurement and edible oils and fats are generally provided in the form of a terminal.
  • the sensor of the terminal type has the advantage that it is possible to output the measurement and the measurement content without an additional device, but it must be provided with a separate power supply, there is a problem that the volume and weight increases.
  • a vacuum deposition method is generally used to form a conductive region such as a sensing electrode.
  • the vacuum deposition method may bring about deformation of a substrate due to process conditions that need to be formed at a high temperature. This can cause a price increase.
  • An object of the present invention is to solve the problems of the above-described problems of the terminal-type sensor is not light and simple and the problem of high manufacturing cost and manufacturing completeness of the sensor manufactured by the deposition method to replace the sensor manufactured by the printing method .
  • an object of the present invention is to solve a problem of corrosion of a sensing electrode, a durability problem, and the like, which may occur in a printing sensor.
  • a sensing electrode connected to the antenna pattern through a circuit wiring line, the sensing electrode sensing a change in impedance caused by contact of a sensing target material, and a coating electrode stacked on the sensing electrode to remove noise generation of the impedance change.
  • the sensing electrode and the coating electrode provides a sensor each comprising a plurality of conductive particles forming a void and a binder filling the void between the plurality of conductive particles.
  • the conductive particles of the sensing electrode provides a sensor, characterized in that it comprises silver (Ag).
  • the conductive particles of the coating electrode provides a sensor characterized in that it comprises a carbon nanotube (CNT).
  • CNT carbon nanotube
  • the conductive particles of the coating electrode provides a sensor characterized in that it further comprises graphite (Graphite) and carbon black (Carbon black).
  • the graphite and carbon black provides a sensor, characterized in that composed of 10% or more of the total mass of the coating electrode.
  • the binder is a polyethylene oxide (PEO), oleic acid (Oleic acid), acrylate (Acrylate), acetate (Acetate) or epoxy-based resin (Resin) It provides one of the sensors characterized in that.
  • the conductive particles provide a sensor consisting of a combination of flake (sphere) or spherical.
  • the antenna pattern, the circuit wiring and the sensing electrode is made of the same material, is provided on the same layer, the coating electrode is a sensor characterized in that it is provided laminated on the sensing electrode to provide.
  • the sensing electrode includes two electrodes spaced apart from each other, and the coating electrode includes a first region and a second region covering the spaced two electrodes, respectively,
  • the shortest distance of the second region is 10 ⁇ m
  • the thickness of the coating electrode from the top of the sensing electrode is 10 ⁇ m.
  • the sensing electrode includes two electrodes spaced apart, and the distance between the two electrodes provides a sensor, characterized in that 30 ⁇ m more than 3000 ⁇ m.
  • the antenna pattern, the sensing electrode and the circuit wiring provides a sensor having a thickness of 0.5 ⁇ m 15 ⁇ m.
  • the substrate provides a sensor comprising any one of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS) and polyethylene naphthalate (PEN).
  • PET polyethylene terephthalate
  • PI polyimide
  • PS polystyrene
  • PEN polyethylene naphthalate
  • the antenna pattern has a width of 500 ⁇ m more than 1500 ⁇ m, provides a sensor, characterized in that the adjacent distance of the antenna pattern is 300 ⁇ m more than 700 ⁇ m.
  • a sensor that forms an opening for exposing at least one region of the sensing electrode, and further comprising a passivation layer (surface energy) larger than the substrate.
  • a sensor further comprising a protective layer stacked on the substrate to protect the conductive layer and the passivation layer.
  • a sensor is connected to an antenna pattern and includes a sensing electrode configured to sense a change in impedance caused by contact of a sensing target material, and a conjugated polymer layer including a conductive polymer that is patterned or absorbed by the sensing electrode.
  • a non-conductive substrate and a conductive layer that is electronically printed on one surface of the substrate, the conductive layer, the antenna pattern and circuit wiring for transmitting and receiving a wireless signal with an external device
  • a sensing electrode connected to the antenna pattern and configured to sense a change in impedance due to contact of the sensing target material, wherein the sensing electrode is compressed through a rolling process.
  • the senor at a low temperature has the advantage that it is possible to reduce the probability of failure rate caused by deformation.
  • the senor can be manufactured at a low cost through the electronic printing method.
  • FIG. 1 is a front view of an embodiment of a sensor according to the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the sensor of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1.
  • FIG. 4 is an enlarged view of a portion of a cross section taken along the line AA ′ of FIG.
  • FIG. 5 is a view illustrating an embodiment in which a sensor of the present invention works with an external device.
  • FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a circuit wiring, a sensing electrode, a coating electrode, and a passivation layer.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a sensor according to the present invention.
  • FIG. 8 is a flow chart related to another method of manufacturing a sensor according to the present invention.
  • 9 (a) and 9 (b) show a graph of measuring the change in ADC according to the number of measurements for each of the conventional sensor and the sensor related to the present invention.
  • FIG. 1 is a front view of an embodiment of a sensor 100 according to the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the sensor 100 of FIG. 1.
  • FIGS. 1 and 2 For convenience of description, reference is made to FIGS. 1 and 2 together.
  • the sensor 100 may be composed of a substrate 110, a conductive layer 120, and an insulating layer.
  • the conductive layer 120 may include an antenna pattern 121, a sensing electrode 122, and a circuit wiring 124.
  • Substrate 110 constitutes a non-conductive layer.
  • the substrate 110 serves as a counterpart on which the conductive layer 120 is mounted.
  • the substrate 110 may include a plastic layer 111 and a silica layer 112.
  • the plastic layer 111 is made of flexible plastic (polymer compound or synthetic resin).
  • the plastic may include at least one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS), and polyethylene naphthalate (PEN).
  • the silica layer 112 may be coated on one surface of the plastic layer 111.
  • the silica layer 112 may be formed between the plastic layer 111 and the conductive layer 120.
  • the silica layer 112 enables fast spreading of the sensing target material 10, in particular a solution, stabilization of the sensing target material 10, and enhanced adhesion strength of the conductive layer 120.
  • the silica layer 112 may have a thickness of several tens to several tens of nm.
  • the conductive layer 120 may be provided on one surface of the substrate 110.
  • the conductive layer 120 may include the antenna pattern 121, the circuit wiring 124, and the sensing electrode 122.
  • the sensing electrode 122 causes an impedance change by contact of the sensing target material 10.
  • the impedance change may refer to a state of the sensing target material 10.
  • sensing electrode 122 Specific features of the sensing electrode 122 will be described later.
  • the antenna pattern 121 transmits and receives a wireless signal with an external device. For example, a function of receiving a sensing command signal of an external device to measure the impedance change of the sensing target material 10 or transmitting the measured impedance change value to the external device.
  • the circuit wiring 124 electrically connects the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122 to form a passage for transmitting a signal.
  • the conductive layer 120 may be integrally formed. Meaning that the antenna pattern 121, the sensing electrode 122, and the circuit wiring 124 of the conductive layer 120 is integrally formed is only functionally different from each other, structurally the same material, in the same process in terms of manufacturing process It can mean that it can be formed by. However, in some cases, the coating electrode 123 of the conductive layer 120 may be implemented as a release material or a separate process, unlike other components. Details will be described later.
  • the conductive layers 120 may not be integrally formed, but may be separately formed by separate processes.
  • the conductive layer 120 integrally provided may not be physically separated in principle.
  • the conductive layer 120 may be formed on the substrate 110 by electronic printing.
  • the conductive layer 120 is formed by vacuum deposition.
  • the formation of the conductive layer 120 by the vacuum deposition method has an advantage of having a stable structure, it requires a lot of manufacturing and material costs in that it requires an additional process such as etching after vacuum deposition, and the substrate 110 is made at a high temperature. It can bring about the deformation of the shape.
  • the electronic printing process of the conductive layer 120 may be performed by any one of gravure offset, gravure printing, or screen printing.
  • At least a portion of the conductive layer 120 may be formed of the same layer. At least a portion of the conductive layer 120 formed of the same material and the same layer may mean that the conductive layer 120 is printed on the substrate 110 by one printing process in terms of a manufacturing process. When provided by a single printing process can bring about a simplification of the manufacturing process can minimize the manufacturing cost and time.
  • the region of the conductive layer 120 formed of the same layer may include all or part of the antenna pattern 121, the circuit wiring 124, and the sensing electrode 122. Details will be described later.
  • the antenna pattern 121 transmits and receives a signal with an external device.
  • the external device may mean an electronic device having a communication function.
  • an electronic device having a communication function there are a smartphone, a computer, a digital broadcasting terminal, a PDA, and the like.
  • the antenna pattern 121 generates a DC power by receiving a wireless signal from an external device, and the generated DC power is used to drive the measurement of the sensor 100.
  • the measured impedance difference of the sensing target material 10 may be transmitted to the external device through the antenna pattern 121 again.
  • the sensor 100 may not be provided with a separate power supply unit. This may result in minimization of the light and small size of the sensor 100 and the manufacturing cost.
  • the antenna pattern 121 may be formed in one dimension on one surface of the substrate 110. In particular, it is provided along the outer edge of the substrate 110 to secure the antenna length, it may be provided spirally wound a plurality of times according to the required length. The shape and pattern of the antenna pattern 121 may be variously changed to implement the function of the antenna.
  • the antenna pattern 121 may have a line width of 500 ⁇ m to 1500 ⁇ m in order to have a high inductance.
  • An interval between adjacent lines of the antenna pattern 121 wound a plurality of times may be 300 to 700 ⁇ m to have an appropriate capacitance component.
  • the antenna pattern 121 may include a pattern region for performing an antenna function, and a connection region for electrically connecting the pattern region with the circuit wiring 124 or the sensing electrode 122.
  • the pattern region and the connection region may be provided in the same layer, but may be provided in different layers in order to facilitate electrical connection with other components. To this end, an insulation region may be additionally provided to prevent unintentional electrical connection between different layers. Details will be described later.
  • the antenna pattern 121 may operate as a radiator of a near field communication (NFC) antenna.
  • the NFC antenna may exchange information using a communication standard of 13.56 MHz.
  • the circuit wiring 124 electrically connects the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122.
  • the circuit wiring 124 may be electrically connected to the element 150 that controls the sensor 100. That is, the circuit wiring 124 may mean all regions of the conductive layer 120 except for the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122.
  • the passivation layer 131 prevents the sensing material 10 from leaking into the substrate 110 region. Therefore, the sensing target material 10 flows into the circuit wiring 124 or the like to prevent the sensor 100 from malfunctioning. In addition, the passivation layer 131 may have a constant height to prevent the flow of the sensing target material 10. The sensing target material 10 may be collected as the sensing electrode 122.
  • the passivation layer 131 may have a surface energy that is greater than that of the substrate 110 so that the sensing target material 10 may form a liquid crystal in the passivation layer 131 area so as not to spread to the substrate 110.
  • the passivation layer 131 may include a first opening 131a exposing at least one region of the sensing electrode 122. Only a portion of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a may be used.
  • the total length A of the sensing electrode 122 may be 400 to 5000 ⁇ m, and the length exposed through the first opening 131a may be 50 to 5000 ⁇ m. In some cases, the entire length of the sensing electrode 122 and the length exposed through the first opening 131a may be the same, or only a part of the sensing electrode 122 may be exposed through the first opening 131a.
  • the exposure length of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a affects the resolution of the sensor 100, the print reproducibility according to mass production, and the reliability of the sensor 100. As the exposure length of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a is shorter, the resolution of the sensor 100 may be improved.
  • Width B of the sensing electrode 122 may be provided in the range of 50 ⁇ 1000 ⁇ m. As the width B of the sensing electrode 122 is narrower, the resolution of the sensor 100 may be improved. However, too narrow a width of the sensing electrode 122 may make the printing process of the conductive layer 120 unstable. For the stable printing process, the width B of the sensing electrode 122 is preferably 50 to 200 ⁇ m.
  • the distance C between the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b is 50. It may be provided in the range of ⁇ 3000 ⁇ m.
  • the sensing target material forms a droplet to contact both the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b.
  • the distance C between the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b is preferably provided within a range of 900 to 1500 ⁇ m.
  • the height D of the sensing electrode 122 may be 700 nm to 15 ⁇ m.
  • the height D of the sensing electrode 122 may affect the thickness of the sensor 100 and the durability and reliability of the sensing electrode 122.
  • the height D of the sensing electrode 122 is lower than 700 nm, a problem of loss of the sensing electrode 122 may occur as the sensing is repeated.
  • the height of the sensing electrode 122 is preferably lower than 15 ⁇ m.
  • the antenna insulation layer 132 and the antenna bridge 140 form a structure for connecting the antenna pattern 121 to the circuit wiring 124.
  • the antenna pattern 121 is spirally wound around the substrate 110 a plurality of times, one end of the antenna pattern 121 must extend in the direction in which the other end of the antenna pattern 121 is provided.
  • the antenna bridge 140 forms such an extended area, and the antenna insulation layer 132 has the antenna bridge 140 and the antenna so that the antenna bridge 140 and the antenna pattern 121 printed by the existing printing process do not interfere with each other. It may be provided between the patterns 121.
  • the protective layer 160 is formed of an insulating material and is disposed to face one surface of the substrate 110 to cover all components mounted on the substrate 110 such as the substrate 110, the conductive layer 120, and the passivation layer 131. It can serve to protect the components electrically and physically.
  • the protection layer 160 may include a second opening 160a exposing the first opening 131a of the passivation layer 131.
  • the device 150 may be mounted on the substrate 110 and electrically connected to the circuit wiring 124.
  • the electronic configuration may include, for example, a power generator, a controller, a converter, a communicator, and the like.
  • the wireless signal received through the antenna pattern 121 is transmitted to the device 150 through the circuit wiring 124.
  • the element 150 may generate the supplied DC power as AC power and input the DC power to the sensing electrode 122.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1
  • FIG. 4 is an enlarged view of a portion of the cross section along the line AA ′ of FIG. 1.
  • FIGS. 3 and 4 For convenience of description, reference is made to FIGS. 3 and 4 together.
  • the sensing electrode 122 is in direct contact with the sensing target material 10.
  • a material such as platinum (Pt) or gold (Au) may be used for only the sensing electrode 122 region.
  • Pt platinum
  • Au gold
  • This problem may be solved by replacing the sensing electrode 122 with a material such as silver (Ag), copper (Cu), aluminum (Al), or the like.
  • silver, copper, and aluminum may be provided as main components of the sensing electrode 122 among the sensing electrodes 122.
  • the sensing electrode 122 may be formed by combining a conductive particle 1221 such as silver, copper, and aluminum and a binder 1222 formed of an organic material.
  • the conductive particles 1221 may have a spherical shape or flake shape. Flake-shaped conductive particles 1221 may have a relatively high conductivity compared to the spherical case.
  • the conductive particles 1221 may have a size of several tens of nm to 20 ⁇ m to secure a reaction specific surface area.
  • the sensing electrode 122 reacts with the sensing target material 10 to cause an impedance change, and a capacitance component and a resistance component are present in the impedance. If the reaction specific surface area of the conductive particles 1221 is wide, the capacitance component also increases. When the reaction specific surface area of the conductive particles 1221 is wide, oxidation or corrosion of the sensing electrode 122 may be suppressed by the reaction, and the life of the sensor 100 may be extended.
  • the binder 1222 supports the conductive particles 1221.
  • the binder 1222 may serve to improve durability and reliability of the sensing electrode 122.
  • the binder 1222 may be formed of at least one resin selected from the group consisting of polyethylene oxide (PEO), oleic acid, acrylate, acetate, and epoxy resin).
  • PEO polyethylene oxide
  • oleic acid oleic acid
  • acrylate acrylate
  • acetate acrylate
  • epoxy resin epoxy resin
  • the sensing electrode 121 may have pores 1213.
  • the pores 1213 may have a size of several nm to several tens of micrometers.
  • the sensing electrode 121 has pores 1213, the sensor 100 may not be easily damaged by repeated mechanical deformation, thereby improving reliability of the sensor 100.
  • the sensing electrode 122 may form an acute angle with the substrate 110. That is, the edge region of the sensing electrode 122 forms a gentle inclination from the substrate 110 so that the sensing electrode 122 is not easily peeled off due to the bending of the substrate 110.
  • the sensing electrode 122 when the sensing electrode 122 is exposed as it is in contact with the sensing target material 10, the standard reduction potential of materials such as silver, copper, and aluminum is low, which may cause corrosion. Corrosion of the sensing electrode 122 interferes with the contact between the sensing target material 10 and the sensing electrode 122 to cause noise in impedance measurement.
  • the surface area of the sensing material material 10 is reduced, and the reduction of the contact surface area also reduces the accuracy of sensing.
  • the coating electrode 123 may be provided outside the sensing electrode 122.
  • the coating electrode 123 may be additionally provided on the outer surface of the sensing electrode 122 through an electronic printing method to perform a sensitization treatment on the sensing electrode 122.
  • the coating electrode 123 reduces the possibility of noise generation due to the impedance change sensed by the sensing electrode 122. That is, the coating electrode 123 serves to increase the electrical conductivity between the sensing target material 10 and the sensing electrode 122.
  • the coating electrode 123 may be formed in a configuration similar to that of the sensing electrode 122. That is, the conductive particles 1231 and the binder 1232 may be provided in a combined configuration.
  • the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may include carbon nanotubes (CNTs).
  • the binder 1232 of the coating electrode 123 may connect the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 to minimize the formation of the voids 1233.
  • the binder of the coating electrode 123 is similar to the binder 1222 of the sensing electrode 122, and may include polyethylene oxide, oleic acid, acrylate, acetate and epoxy. Epoxy) may include at least one resin (resin) selected from the group consisting of.
  • the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may further have graphite. It may include. Graphite serves to increase the conductivity of the sensing electrode 122.
  • the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may include carbon black. Carbon black serves to enhance the durability or wear resistance of the sensing electrode 122.
  • Graphite and carbon black may consist of at least 10% of the total mass of the conductive material of the coating electrode 123.
  • the carbon nanotubes, graphite, and carbon black of the conductive particles 1231 may not perform each function independently, but may be organically linked to each other to perform the functions.
  • the coating electrode 123 may be provided to cover the outer surface of the sensing electrode 122.
  • the pores 1223 of the sensing electrode 122 serve to have durability against mechanical deformation of the sensor 100 as described above, but on the contrary, lower the conductivity of the sensing electrode 122 to prevent accurate impedance measurement.
  • the provision of the coating electrode 123 fills the pores 1223 of the sensing electrode 122 to have a high conductivity to enable accurate impedance measurement.
  • the sensing electrode 122 has two electrodes 122a and 122b spaced apart from and in contact with the sensing target material 10, and the same applies to the coating electrode 123.
  • the interval between the first coating electrode 123a and the second coating electrode 123b may be 10 ⁇ m apart. This value is only an approximate value and does not require that it be exactly 10 ⁇ m.
  • the thickness of the coating electrode 123 that is, the thickness from the top of the sensing electrode 122 to the top of the coating electrode 123 may be 10 ⁇ m or less.
  • the passivation layer 131 described above may be provided outside the coating electrode 123. That is, the sensing electrode 122, the coating electrode 123, and the passivation layer 131 may be sequentially stacked outward from the substrate 110. Therefore, the length condition of the coating electrode 123 may be the same as the length condition of the sensing electrode 122 described above. Therefore, the coating electrode 123 may be exposed to the outside through the first opening 131a by the same length as the sensing electrode 122.
  • a conjugated polymer layer may be used unlike the above-described coating electrode.
  • the conjugated polymer layer may be made of a material such as a conductive polymer (PEDOT: PSS / P3HT).
  • the conjugated polymer layer may be implemented as a patterning process on the sensing electrode 122, or may be subjected to a process of removing after the elapsed time to be absorbed by the sensing electrode 122 in a state where only the entire surface is coated.
  • the sensing electrode 122 may be compressed through a rolling process.
  • the predetermined temperature may be increased, and the sensing electrode 122 may be compressed through the roller while the elevated temperature is maintained.
  • a rolling process may be performed by forming a groove in the roller.
  • FIG 5 is a view illustrating an embodiment in which the sensor 200 of the present invention interworks with an external device 20.
  • the external device 20 may be in various forms, but it will be described as an example of a mobile terminal, especially a smartphone.
  • the sensor 200 receives a wireless signal with the external device 20 through the antenna pattern 221.
  • the sensor 200 generates DC power through the power generation unit 251 to drive the circuit unit 250.
  • the sensor 200 of the present invention does not have a configuration for supplying power by itself, and generates DC power using a wireless signal received from the external device 20, and the controller 252 by the generated DC power.
  • the converter 253, the communicator 254, and the sensing electrode 222 operate.
  • the controller 252 is driven by receiving DC power.
  • the controller 252 generates an AC voltage and inputs it to the sensing electrode 222.
  • the sensing electrode 222 may refer to a concept including the coating electrode 123 (see FIG. 3).
  • the sensing electrode 222 described later may include a coating electrode.
  • the sensing electrode 222 When the sensing electrode 222 reacts with the sensing target material, the sensing electrode 222 causes a change in impedance.
  • the impedance change of the sensing electrode 222 is represented by the change of the AC voltage generated by the controller 252.
  • the material to be sensed may be classified according to the range of output values.
  • the change in AC voltage can be converted into a digital signal.
  • the converter 252 converts a change in AC voltage, which is displayed based on a change in impedance of the sensing electrode 222, into a digital signal.
  • the communication unit 254 transmits the digitized signal to the external device 20 through the antenna pattern.
  • the communication unit 254 may be an NFC tag IC.
  • the external device 20 receives the digitized signal from the sensor 200 to generate, store and manage information.
  • the external device 20 may display information through a display.
  • FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a circuit wiring 324, a sensing electrode 322, a coating electrode 323, and a passivation layer 331.
  • Sensors are formed by printing, heat drying and curing processes.
  • a process error in particular, an alignment error may occur, and an error may occur due to shrinkage of the substrate even in a heat drying process.
  • the resolution of the sensor may be determined according to the exposure lengths of the first and second sensing electrodes 322a and 322b.
  • the overall length and the exposure length of the first and second sensing electrodes 322a and 322b are very small, 5,000 ⁇ m or less, which greatly increases the probability of generating a process error. Therefore, it is necessary to have a structure that can minimize the process error.
  • the first sensing electrode 322a, the second sensing electrode 322b, the first coating electrode 323a, the second coating electrode 323b, the circuit wiring 324 and the passivation layer 331 are all formed by a printing process. Can be.
  • the passivation layer 331 is disposed to cover the first sensing electrode 322a, the second sensing electrode 322b, the first coating electrode 323a, the second coating electrode 323b, and the circuit wiring 324.
  • the passivation layer 331 is formed after the sensing electrodes 322a and 322b, the coating electrodes 323a and 323b and the circuit wiring 324 are printed. Therefore, a process error may occur during the repetition of the printing process and the heat drying process, and thus the sensing electrodes 322a and 322b or the coating electrodes 323a and 323b may be exposed or hidden unlike the design intention.
  • the sensing electrodes 322a and 322b and the coating electrodes 323a and 323b may be divided into three parts along the length direction. This is defined as a first end 322a1, 322b1, 323a1, 323b1, a second end 322a2, 322b2, 323a2, 323b2 and a central portion 322a3, 322b3, 323a3, 323b3.
  • the passivation layer 331 covers the first ends 322a1, 322b1, 323a1, 323b1 and the second ends 322a2, 322b2, 323a2, 323b2, and the first openings 331a have a central portion 322a3, 322b3, 323a3, 323b3. ).
  • the sensing electrode 322 and the coating electrode 323 are formed longer than the length of the first opening 331a.
  • the first opening 331a may control the exposure length of the sensing electrode 322 and the coating electrode 323. Therefore, the error can be reduced by precisely adjusting the length G of the first opening 331a of the passivation layer 331.
  • the width H of the first opening 331a is wider than the distance between the first electrodes 322a and 323a and the second electrodes 322b and 323b of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 and does not exceed 5000 ⁇ m. It is preferable. This is because, if the width H of the first opening 331a is too wide, the target sensing material that will come into contact with the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 may spread without forming droplets.
  • the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 The shorter the length of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 exposed through the first opening 331, the narrower the width of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323, the two electrodes The wider the interval, the better the resolution.
  • the sensing electrode 322 and the coating electrode 323 are designed only for the purpose of improving resolution, problems such as durability and reliability may occur. Therefore, the structures of the sensing electrode 322 and the coating electrode 323 should be designed in consideration of resolution, durability, and reliability.
  • FIG. 7 and 8 are flowcharts illustrating a manufacturing method of a sensor according to the present invention.
  • the conductive layer is printed on the substrate through a printing process (S100).
  • the conductive layer includes an antenna pattern, sensing electrode, coated electrode and circuit wiring.
  • the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring are made of the same material
  • the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring among the conductive layers may be simultaneously formed by one printing process (S110). This can therefore result in a reduction of material and manufacturing costs.
  • This is defined as a first printing process for convenience. Due to the first printing process, the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring may be provided on the same layer.
  • the coating electrode may be printed on the outer surface of the sensing electrode (S120). Since the coating electrode is made of a material different from the sensing electrode, it may be formed through an additional second printing process.
  • the coating electrode constitutes a release layer stacked on top of the layer on which the sensing electrode is provided.
  • the printing process of the conductive layer uses powder ink or paste.
  • the composition of the powder ink or paste may be 40 to 70 wt% of the conductive particles and 30 to 60 wt% of the organic material including a solvent. This can minimize oxidation and corrosion of the sensing electrode or coating electrode.
  • the conductive particles of the sensing electrode may be made of at least one of silver (Ag), copper (Cu), and aluminum (Al). Meanwhile, the conductive particles of the coating electrode may be made of at least one of carbon nanotubes (CNT), graphite, and carbon black.
  • CNT carbon nanotubes
  • the conductive particles of the sensing electrode or the conductive particles of the coating electrode may have a spherical or flake shape.
  • the solvent for mixing the conductive particles and the binder is at least one selected from the group consisting of acetone, allyl alcohol, acetic acid, acetol, methyl alcohol and benzene. It may include.
  • the process of printing the conductive layer may be any one of a screen, an offset, and gravure.
  • the conductive layer may be cured through heat drying (S200). Heat drying may be performed at 80 ⁇ 200 °C. The solvent described above may be evaporated in the heat drying process. In order to enable a low temperature process of 200 ° C. or less, it is preferable that the conductive particles have a size of several tens of nm to 20 ⁇ m in powder form.
  • the heat drying may be performed after the first printing process for printing the sensing electrode and the second printing process for printing the coating electrode.
  • the coating electrode may be introduced between the pores of the sensing electrode, so that the sensing electrode and the coating electrode may be more tightly coupled.
  • the conductivity is increased, and the high bonding force may prevent the coating electrode from being easily peeled off from the substrate or the sensing electrode.
  • the heat drying process may be performed first, and then the second printing process may be performed on the coating electrode.
  • the passivation layer and the antenna insulation layer may be printed (S300).
  • the passivation layer and the antenna insulation layer may be made of the same material, and thus may be simultaneously formed through one printing process. That is, the passivation layer and the antenna insulating layer may form the same layer on the conductive layer.
  • the printed passivation layer and the antenna insulation layer may undergo a curing process (S400). Curing of the passivation layer and antenna insulation layer may be by ultraviolet (UV).
  • UV ultraviolet
  • the antenna insulation layer may have a plurality of printing processes in order to ensure reliable insulation reliability (S500).
  • the first printed antenna insulating layer may be defined as the first antenna insulating layer
  • the subsequently printed antenna insulating layer may be defined as the second antenna insulating layer.
  • the curing process may be performed once more as in the curing process of the first antenna insulation layer (S600).
  • an antenna insulation layer may be additionally printed in addition to the first antenna insulation layer and the second antenna insulation layer.
  • the same hardening process is performed as the process of forming the first antenna insulation layer or the second antenna insulation layer.
  • the antenna bridge is printed on the antenna insulation layer (S700).
  • the antenna bridge may be made of the same material as the conductive layer.
  • the antenna bridge may be heat dried in the same manner as the conductive layer (S800). Details of the thermal drying conditions are the same as described for the thermal drying of the conductive layer.
  • the device may be bonded to the substrate (S900).
  • the device is electrically connected with the circuit wiring.
  • the protective layer is covered with the substrate to protect the components mounted on the substrate (S1000).
  • 9 (a) and 9 (b) show a graph of measuring the change in ADC according to the number of measurements for each of the conventional sensor and the sensor related to the present invention.
  • the present invention can be applied in whole or in part to all sensors.

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Abstract

Provided is a sensor comprising: a non-conductive substrate; and a conductive layer electronically printed on one side of the substrate, wherein the conductive layer comprises: an antenna pattern for transmitting and receiving a radio signal with an external device; a sensing electrode connected to the antenna pattern via a circuit wiring for sensing an impedance change due to contact with a sensing target material; and a coating electrode stacked on the sensing electrode for removing an occurrence of noise of the impedance change. Accordingly, the present invention solves the problem of a sensor, in the form of a terminal, not being compact and the problem of high manufacturing costs and low manufacturing quality of a sensor manufactured using a deposition method in order to replace such sensor with a sensor manufactured by a printing method, and solves a corrosion problem of a sensing electrode, a durability problem etc. that may occur in the sensor of the printing method.

Description

센서sensor
본 발명은 염도, 당도 측정 및 식용 유지의 변성 정도를 판단하기 위해 대상 물질의 임피던스 변화를 센싱하고 이를 전송하여 간단히 확인하기 위한 인쇄 방식의 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a sensor of the printing method for sensing the change in the impedance of the target material in order to determine the degree of denaturation of salinity, sugar measurement and edible oil.
염도, 당도 측정 및 식용 유지의 변성 정도를 판단하기 위한 종래의 센서는 단말기의 형태로 구비되는 것이 일반적이다.Conventional sensors for determining the degree of denaturation of salinity, sugar measurement and edible oils and fats are generally provided in the form of a terminal.
단말기 형태의 센서는 별도의 추가 장치 없이 측정 및 측정 내용의 출력 등이 가능하다는 장점이 있으나, 별도의 전원공급부를 구비해야 하며, 이로 인해 부피 및 무게 등이 커진다는 문제점이 있다.The sensor of the terminal type has the advantage that it is possible to output the measurement and the measurement content without an additional device, but it must be provided with a separate power supply, there is a problem that the volume and weight increases.
특히, 최근 스마트폰과 같은 이동 단말기를 필수적으로 소지하는 인구가 늘어나는 추세에 따라 스마트폰의 전원공급부와 출력부 등을 이용하여 센서의 일부 기능을 대신할 수 있는 방안이 고려되고 있다.In particular, in recent years, as the population of the mobile terminal such as a smart phone is essential, a method of replacing some functions of the sensor by using a power supply unit and an output unit of the smart phone has been considered.
따라서 물질을 측정하는 기능만을 수행하고 이를 외부 기기에 전송하거나 센싱 신호를 수신하는 휴대용 센서가 요구된다.Therefore, there is a need for a portable sensor that performs only a function of measuring a substance and transmits it to an external device or receives a sensing signal.
다만, 이러한 휴대용 센서를 구비함에 있어서, 작은 크기를 만족하면서도 정확한 측정치를 얻기 위한 재료 및 구조의 고려가 필요하다.However, in providing such a portable sensor, it is necessary to consider the material and structure to satisfy the small size and to obtain accurate measurements.
이를 구현하기 위한 종래의 휴대용 센서에 있어서 센싱 전극 등의 도전 영역을 형성하기 위해 진공 증착법이 사용되는 경우가 일반적인데, 진공 증착법은 고온에서 형성되어야 하는 공정 조건에 의해 기판의 변형을 가져올 수도 있고 제조 단가 상승의 원인이 된다.In a conventional portable sensor for realizing this, a vacuum deposition method is generally used to form a conductive region such as a sensing electrode. The vacuum deposition method may bring about deformation of a substrate due to process conditions that need to be formed at a high temperature. This can cause a price increase.
따라서 이를 대체하기 위해 인쇄 방식을 통해 제조된 센서를 고려할 수 있다. 나아가, 이러한 인쇄 방식의 센서에 있어서 발생할 수 있는 부식의 문제, 및 내구성 저하 등의 신뢰도 문제를 해결할 필요가 있다.Therefore, in order to replace this, it is possible to consider a sensor manufactured through a printing method. Furthermore, it is necessary to solve the problem of reliability such as corrosion problems and durability deterioration which may occur in such a printing type sensor.
본 발명은 전술한 문제인 단말기 형태의 센서의 경박단소하지 못한 문제점과 증착 방식을 이용하여 제조하는 센서의 높은 제조 비용 및 제조 완성도의 문제를 해결하여 인쇄 방식으로 제조되는 센서로 대체하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the problems of the above-described problems of the terminal-type sensor is not light and simple and the problem of high manufacturing cost and manufacturing completeness of the sensor manufactured by the deposition method to replace the sensor manufactured by the printing method .
또한 인쇄 방식의 센서에 있어서 발생할 수 있는 문제점인 센싱 전극의 부식 문제, 내구성 문제 등을 해결하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to solve a problem of corrosion of a sensing electrode, a durability problem, and the like, which may occur in a printing sensor.
상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 비전도성의 기판 및 상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어를 포함하고, 상기 전도성 레이어는, 외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴, 회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극 및 상기 센싱 전극에 적층 구비되어 상기 임피던스 변화의 노이즈 발생을 제거하는 코팅 전극을 포함하는 센서를 제공한다.According to an aspect of the present invention to achieve the or another object, including a non-conductive substrate and a conductive layer that is electronically printed on one surface of the substrate, the conductive layer, the antenna pattern for transmitting and receiving radio signals with an external device And a sensing electrode connected to the antenna pattern through a circuit wiring line, the sensing electrode sensing a change in impedance caused by contact of a sensing target material, and a coating electrode stacked on the sensing electrode to remove noise generation of the impedance change. to provide.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 센싱 전극 및 코팅 전극은, 공극을 형성하는 복수의 전도성 입자 및 상기 복수의 전도성 입자를 머금어 사이의 상기 공극을 메꾸는 바인더를 각각 포함하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the sensing electrode and the coating electrode provides a sensor each comprising a plurality of conductive particles forming a void and a binder filling the void between the plurality of conductive particles. .
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 센싱 전극의 전도성 입자는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the invention, the conductive particles of the sensing electrode provides a sensor, characterized in that it comprises silver (Ag).
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 코팅 전극의 전도성 입자는 탄소 나노 튜브(CNT)를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the conductive particles of the coating electrode provides a sensor characterized in that it comprises a carbon nanotube (CNT).
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 코팅 전극의 전도성 입자는 그라파이트(Graphite) 및 카본 블랙(Carbon black)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the conductive particles of the coating electrode provides a sensor characterized in that it further comprises graphite (Graphite) and carbon black (Carbon black).
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 그라파이트 및 카본 블랙은 상기 코팅 전극 전체 질량의 10% 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the graphite and carbon black provides a sensor, characterized in that composed of 10% or more of the total mass of the coating electrode.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 바인더는 폴리에틸렌 옥사이드(PEO) 계열, 올레산(Oleic acid) 계열, 아크릴레이트(Acrylate) 계열, 아세테이트(Acetate) 계열 또는 에폭시(Epoxy) 계열의 레진(Resin) 중 하나인 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the binder is a polyethylene oxide (PEO), oleic acid (Oleic acid), acrylate (Acrylate), acetate (Acetate) or epoxy-based resin (Resin) It provides one of the sensors characterized in that.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 전도성 입자는 프레이크(flake) 또는 구형의 조합으로 구성되는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the invention, the conductive particles provide a sensor consisting of a combination of flake (sphere) or spherical.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 안테나 패턴, 회로 배선 및 센싱 전극은 동일한 물질로 구성되며, 동일한 레이어에 구비되고, 상기 코팅 전극은 상기 센싱 전극에 적층되어 구비되는 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the antenna pattern, the circuit wiring and the sensing electrode is made of the same material, is provided on the same layer, the coating electrode is a sensor characterized in that it is provided laminated on the sensing electrode to provide.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 센싱 전극은 이격된 두 전극을 포함하고, 상기 코팅 전극은 상기 이격된 두 전극을 각각 덮는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 최단 거리는 10㎛이고, 상기 센싱 전극 상단으로부터 상기 코팅 전극의 두께는 10㎛인 센서를 제공한다.According to another aspect of the present invention, the sensing electrode includes two electrodes spaced apart from each other, and the coating electrode includes a first region and a second region covering the spaced two electrodes, respectively, The shortest distance of the second region is 10 μm, and the thickness of the coating electrode from the top of the sensing electrode is 10 μm.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 센싱 전극은 이격된 두 전극을 포함하고, 상기 두 전극의 간격은 30㎛ 이상 3000㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the sensing electrode includes two electrodes spaced apart, and the distance between the two electrodes provides a sensor, characterized in that 30㎛ more than 3000㎛.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 안테나 패턴, 상기 센싱 전극 및 상기 회로 배선은 0.5㎛ 이상 15㎛ 이하의 두께를 갖는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the antenna pattern, the sensing electrode and the circuit wiring provides a sensor having a thickness of 0.5㎛ 15㎛.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 기판은 폴리에틸렌 테리프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리스타이렌(PS) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 중 어느 하나를 포함하는 센서를 제공한다.Further, according to another aspect of the present invention, the substrate provides a sensor comprising any one of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS) and polyethylene naphthalate (PEN).
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 안테나 패턴은 500㎛ 이상 1500㎛ 이하의 너비를 갖고, 안테나 패턴의 인접한 거리는 300㎛ 이상 700㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, the antenna pattern has a width of 500㎛ more than 1500㎛, provides a sensor, characterized in that the adjacent distance of the antenna pattern is 300㎛ more than 700㎛.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 센싱 전극의 적어도 일 영역을 노출시키는 개구부를 형성하고, 표면 에너지가 상기 기판보다 큰 패시베이션 레이어(passivation layer)를 더 포함하는 센서를 제공한다.Further, according to another aspect of the present invention, there is provided a sensor that forms an opening for exposing at least one region of the sensing electrode, and further comprising a passivation layer (surface energy) larger than the substrate.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 기판 위에 적층되어 상기 전도성 레이어 및 상기 패시베이션 레이어를 보호하는 보호 레이어를 더 포함하는 센서를 제공한다.Further, according to another aspect of the present invention, there is provided a sensor further comprising a protective layer stacked on the substrate to protect the conductive layer and the passivation layer.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 비전도성의 기판 및 상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어를 포함하고, 상기 전도성 레이어는, 외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴, 회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극 및 상기 센싱 전극에 패터닝 또는 흡수되어 구비되는 전도성 폴리머를 포함하는 공액 고분자층을 포함하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, a non-conductive substrate and a conductive layer that is electronically printed on one surface of the substrate, the conductive layer, the antenna pattern for transmitting and receiving a wireless signal with an external device, through the circuit wiring A sensor is connected to an antenna pattern and includes a sensing electrode configured to sense a change in impedance caused by contact of a sensing target material, and a conjugated polymer layer including a conductive polymer that is patterned or absorbed by the sensing electrode.
또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 비전도성의 기판 및 상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어를 포함하고, 상기 전도성 레이어는, 외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴 및 회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극을 포함하고, 상기 센싱 전극은 롤링 공정을 통해 압착된 것을 특징으로 하는 센서를 제공한다.In addition, according to another aspect of the present invention, a non-conductive substrate and a conductive layer that is electronically printed on one surface of the substrate, the conductive layer, the antenna pattern and circuit wiring for transmitting and receiving a wireless signal with an external device And a sensing electrode connected to the antenna pattern and configured to sense a change in impedance due to contact of the sensing target material, wherein the sensing electrode is compressed through a rolling process.
본 발명에 따른 센서의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the effect of the sensor according to the present invention.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 외부 기기와 연동되는 경박단소한 센서를 구비할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments of the present invention, there is an advantage that it can be provided with a light and simple sensor that is linked to the external device.
또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 저온에서 센서의 제조가 가능하여 변형에 의한 불량률 발생 확률을 줄일 수 있다는 장점이 있다.In addition, according to at least one of the embodiments of the present invention, it is possible to manufacture the sensor at a low temperature has the advantage that it is possible to reduce the probability of failure rate caused by deformation.
또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 여러 도전 구성에 대해 최소의 레이어로 제조 가능하여 제조 비용의 감소를 가져올 수 있다는 장점이 있다.In addition, according to at least one of the embodiments of the present invention, there is an advantage that can be manufactured in a minimum layer for the various conductive configurations can lead to a reduction in manufacturing cost.
또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 전자 인쇄 방식을 통해 적은 비용으로 센서를 제조할 수 잇다는 장점이 있다.In addition, according to at least one of the embodiments of the present invention, there is an advantage that the sensor can be manufactured at a low cost through the electronic printing method.
본 발명의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 해당 기술 분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 본 발명의 바람직한 실시 예와 같은 특정 실시 예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다.Further scope of the applicability of the present invention will become apparent from the following detailed description. However, various changes and modifications within the spirit and scope of the present invention can be clearly understood by those skilled in the art, and therefore, specific embodiments, such as the detailed description and the preferred embodiments of the present invention, are given by way of example only. Should be.
도 1은 본 발명과 관련된 센서의 일 실시 예에 관한 정면도이다.1 is a front view of an embodiment of a sensor according to the present invention.
도 2는 도 1의 센서의 분해 사시도이다.2 is an exploded perspective view of the sensor of FIG. 1.
도 3은 도 1의 A-A' 영역 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1.
도 4은 도 1의 A-A' 영역 단면 일부 확대도이다.FIG. 4 is an enlarged view of a portion of a cross section taken along the line AA ′ of FIG.
도 5는 본 발명의 센서가 외부 기기와 연동하는 일 실시 예에 관한 것이다.5 is a view illustrating an embodiment in which a sensor of the present invention works with an external device.
도 6는 회로 배선, 센싱 전극, 코팅 전극 및 패시베이션 레이어의 구조를 보인 개념도이다.6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a circuit wiring, a sensing electrode, a coating electrode, and a passivation layer.
도 7은 본 발명과 관련된 센서의 제조 방법에 관한 흐름도이다.7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a sensor according to the present invention.
도 8은 본 발명과 관련된 센서의 또 다른 제조 방법에 관한 흐름도이다.8 is a flow chart related to another method of manufacturing a sensor according to the present invention.
도 9(a) 및 도 9(b)는 종래의 센서와 본 발명과 관련된 센서 각각에 대한 측정 횟수에 따른 ADC 변화를 측정한 그래프를 도시한 것이다.9 (a) and 9 (b) show a graph of measuring the change in ADC according to the number of measurements for each of the conventional sensor and the sensor related to the present invention.
도 1은 본 발명과 관련된 센서(100)의 일 실시 예에 관한 정면도이고, 도 2는 도 1의 센서(100)의 분해 사시도이다. 설명의 편의를 위해 도 1 및 도 2를 함께 참조한다.1 is a front view of an embodiment of a sensor 100 according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the sensor 100 of FIG. 1. For convenience of description, reference is made to FIGS. 1 and 2 together.
센서(100)는 크게 기판(110), 전도성 레이어(120) 및 절연층으로 구성될 수 있다. 이때 전도성 레이어(120)는 안테나 패턴(121), 센싱 전극(122) 및 회로 배선(124)을 포함할 수 있다.The sensor 100 may be composed of a substrate 110, a conductive layer 120, and an insulating layer. In this case, the conductive layer 120 may include an antenna pattern 121, a sensing electrode 122, and a circuit wiring 124.
기판(110)은 비전도성의 레이어를 구성한다. 기판(110)은 전도성 레이어(120)가 실장되는 상대물 역할을 수행한다. 일 예로, 기판(110)은 플라스틱 레이어(111)와 실리카 레이어(112)를 포함할 수 있다. Substrate 110 constitutes a non-conductive layer. The substrate 110 serves as a counterpart on which the conductive layer 120 is mounted. For example, the substrate 110 may include a plastic layer 111 and a silica layer 112.
플라스틱 레이어(111)는 연성을 갖는 플라스틱(고분자화합물 또는 합성수지)으로 이루어진다. 플라스틱은 폴리에틸렌 테리프탈레이트(polyethylene erephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리스타이렌(polystyrene, PS) 및 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate, PEN)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The plastic layer 111 is made of flexible plastic (polymer compound or synthetic resin). The plastic may include at least one selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS), and polyethylene naphthalate (PEN).
실리카 레이어(112)는 플라스틱 레이어(111)의 일면에 코팅될 수 있다. 실리카 레이어(112)는 플라스틱 레이어(111)와 전도성 레이어(120)의 사이에 형성될 수 있다. 실리카 레이어(112)는 센싱 대상 물질(10), 특히 용액의 빠른 퍼짐, 센싱 대상 물질(10)의 안정화, 전도성 레이어(120)의 부착 강도 강화를 가능하게 한다. 실리카 레이어(112)는 수~수십nm의 두께를 가질 수 있다.The silica layer 112 may be coated on one surface of the plastic layer 111. The silica layer 112 may be formed between the plastic layer 111 and the conductive layer 120. The silica layer 112 enables fast spreading of the sensing target material 10, in particular a solution, stabilization of the sensing target material 10, and enhanced adhesion strength of the conductive layer 120. The silica layer 112 may have a thickness of several tens to several tens of nm.
전도성 레이어(120)는 기판(110)의 일면에 구비될 수 있다.The conductive layer 120 may be provided on one surface of the substrate 110.
전도성 레이어(120)는 전술한 바와 같이 안테나 패턴(121), 회로 배선(124) 및 센싱 전극(122)을 포함할 수 있다.As described above, the conductive layer 120 may include the antenna pattern 121, the circuit wiring 124, and the sensing electrode 122.
센싱 전극(122)은 센싱 대상 물질(10)의 접촉에 의해 임피던스 변화를 일으킨다. 임피던스 변화는 센싱 대상 물질(10)의 상태를 의미할 수 있다.The sensing electrode 122 causes an impedance change by contact of the sensing target material 10. The impedance change may refer to a state of the sensing target material 10.
센싱 전극(122)의 구체적인 특징들은 후술하도록 한다.Specific features of the sensing electrode 122 will be described later.
안테나 패턴(121)은 외부 기기와 무선 신호를 송수신한다. 예를 들어, 외부 기기의 센싱 명령 신호를 수신하여 센싱 대상 물질(10)의 임피던스 변화를 측정하거나, 측정된 임피던스 변화 값을 외부 기기로 송신하는 기능을 수행할 수 있다.The antenna pattern 121 transmits and receives a wireless signal with an external device. For example, a function of receiving a sensing command signal of an external device to measure the impedance change of the sensing target material 10 or transmitting the measured impedance change value to the external device.
회로 배선(124)은 안테나 패턴(121)과 센싱 전극(122)을 전기적으로 연결하여 신호를 전달하는 통로를 형성한다.The circuit wiring 124 electrically connects the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122 to form a passage for transmitting a signal.
전도성 레이어(120)는 일체로 형성될 수 있다. 전도성 레이어(120)의 안테나 패턴(121), 센싱 전극(122) 및 회로 배선(124)이 일체로 형성된다는 의미는 기능적으로 상호 구분될 뿐, 구조적으로 동일한 물질, 제조 공정의 측면에서 동일한 공정에 의해 형성될 수 있음을 의미할 수 있다. 다만, 경우에 따라 전도성 레이어(120) 중 코팅 전극(123)은 다른 구성과 달리 이형 물질 또는 구분되는 공정으로 구현될 수 있다. 자세한 사항은 후술한다.The conductive layer 120 may be integrally formed. Meaning that the antenna pattern 121, the sensing electrode 122, and the circuit wiring 124 of the conductive layer 120 is integrally formed is only functionally different from each other, structurally the same material, in the same process in terms of manufacturing process It can mean that it can be formed by. However, in some cases, the coating electrode 123 of the conductive layer 120 may be implemented as a release material or a separate process, unlike other components. Details will be described later.
또는 필요에 따라 전도성 레이어(120)는 일체로 형성되지 않고 별도의 공정에 의해 각각 따로 형성될 수 있다.Alternatively, if necessary, the conductive layers 120 may not be integrally formed, but may be separately formed by separate processes.
일체로 구비된 전도성 레이어(120)는 원칙상 물리적으로 분리되지 않을 수 있다.The conductive layer 120 integrally provided may not be physically separated in principle.
전도성 레이어(120)는 기판(110)에 전자 인쇄 방식으로 형성될 수 있다.The conductive layer 120 may be formed on the substrate 110 by electronic printing.
종래에는 전도성 레이어(120)가 진공 증착법에 의해 형성되었다. 진공 증착법에 의한 전도성 레이어(120)의 형성은 안정적인 구조를 가지는 장점이 있으나, 진공 증착 이후 에칭 등의 추가 공정을 거쳐야 한다는 점에서 제조 및 재료 비용이 많이 요구되며, 고온에서 이루어지므로 기판(110)의 형태 변형 등을 가져올 수 있다.Conventionally, the conductive layer 120 is formed by vacuum deposition. Although the formation of the conductive layer 120 by the vacuum deposition method has an advantage of having a stable structure, it requires a lot of manufacturing and material costs in that it requires an additional process such as etching after vacuum deposition, and the substrate 110 is made at a high temperature. It can bring about the deformation of the shape.
전도성 레이어(120)의 전자 인쇄 공정은 그라비어 오프셋(Gravure offset), 그라비어 인쇄(Gravure printing) 또는 스크린 인쇄(Screen printing) 중 어느 하나의 방식으로 행해질 수 있다.The electronic printing process of the conductive layer 120 may be performed by any one of gravure offset, gravure printing, or screen printing.
전도성 레이어(120)의 적어도 일부는 동일한 레이어로 형성될 수 있다. 전도성 레이어(120)의 적어도 일부가 동일한 물질 및 동일한 레이어로 형성된다는 것은 제조 공정의 측면에서 1회의 인쇄 공정에 의해 기판(110)에 인쇄되는 것을 의미할 수 있다. 1회의 인쇄 공정에 의해 구비되는 경우 제조 공정의 단순화를 가져올 수 있어 제조 비용 및 시간을 최소화 할 수 있다.At least a portion of the conductive layer 120 may be formed of the same layer. At least a portion of the conductive layer 120 formed of the same material and the same layer may mean that the conductive layer 120 is printed on the substrate 110 by one printing process in terms of a manufacturing process. When provided by a single printing process can bring about a simplification of the manufacturing process can minimize the manufacturing cost and time.
구체적으로, 동일한 레이어로 형성되는 전도성 레이어(120)의 영역은, 안테나 패턴(121)의 전부 또는 일부, 그리고 회로 배선(124), 그리고 센싱 전극(122)을 포함할 수 있다. 자세한 내용은 후술하도록 한다.In detail, the region of the conductive layer 120 formed of the same layer may include all or part of the antenna pattern 121, the circuit wiring 124, and the sensing electrode 122. Details will be described later.
안테나 패턴(121)은 외부 기기와 신호를 송수신한다.The antenna pattern 121 transmits and receives a signal with an external device.
외부 기기란 통신 기능을 가진 전자 기기를 의미할 수 있다. 예를 들어, 스마트폰, 컴퓨터, 디지털 방송용 단말기, PDA 등이 있다.The external device may mean an electronic device having a communication function. For example, there are a smartphone, a computer, a digital broadcasting terminal, a PDA, and the like.
안테나 패턴(121)은 외부 기기로부터 무선 신호를 수신하여 직류 전원을 생성하고, 생성된 직류 전원은 센서(100)의 측정 구동에 이용된다. 측정된 센싱 대상 물질(10)의 임피던스 차이는 다시 안테나 패턴(121)을 통해 외부 기기로 송신될 수 있다.The antenna pattern 121 generates a DC power by receiving a wireless signal from an external device, and the generated DC power is used to drive the measurement of the sensor 100. The measured impedance difference of the sensing target material 10 may be transmitted to the external device through the antenna pattern 121 again.
안테나 패턴(121)에 의해 직류 전원이 생성되므로 센서(100)에는 별도의 전원 공급부가 구비되지 않을 수 있다. 이는 센서(100)의 경박단소 및 제조 비용의 최소화를 가져올 수 있다.Since DC power is generated by the antenna pattern 121, the sensor 100 may not be provided with a separate power supply unit. This may result in minimization of the light and small size of the sensor 100 and the manufacturing cost.
안테나 패턴(121)은 기판(110)의 일면에 2차원으로 형성될 수 있다. 특히, 안테나 길이를 확보하기 위해 기판(110)의 외측 모서리를 따라 구비되고, 필요한 길이에 따라 복수회 감겨 나선형으로 구비될 수 있다. 안테나 패턴(121)의 형상 및 패턴은 안테나의 기능 구현을 위해 다양하게 변경될 수 있다.The antenna pattern 121 may be formed in one dimension on one surface of the substrate 110. In particular, it is provided along the outer edge of the substrate 110 to secure the antenna length, it may be provided spirally wound a plurality of times according to the required length. The shape and pattern of the antenna pattern 121 may be variously changed to implement the function of the antenna.
안테나 패턴(121)은 높은 인덕턴스를 갖기 위해 500~1500㎛의 선폭을 가질 수 있다. 복수회 감긴 안테나 패턴(121)의 인접한 라인간의 간격은 300~700㎛을 가져 적절한 커패시턴스 성분을 갖도록 할 수 있다.The antenna pattern 121 may have a line width of 500 μm to 1500 μm in order to have a high inductance. An interval between adjacent lines of the antenna pattern 121 wound a plurality of times may be 300 to 700 μm to have an appropriate capacitance component.
안테나 패턴(121)은 안테나 본연의 기능을 수행하기 위한 패턴 영역과, 패턴 영역과 회로 배선(124) 또는 센싱 전극(122)과 전기적으로 연결하기 위한 연결 영역을 포함할 수 있다. 패턴 영역 및 연결 영역은 동일한 레이어에 구비될 수도 있으나, 다른 구성과의 전기적 연결을 원활하게 수행하기 위해 서로 다른 레이어에 구비될 수도 있다. 이를 위해 서로 다른 레이어 간의 의도하지 않은 전기적 연결을 방지하기 위해 절연 영역이 추가적으로 구비될 수 있다. 자세한 내용은 후술하도록 한다.The antenna pattern 121 may include a pattern region for performing an antenna function, and a connection region for electrically connecting the pattern region with the circuit wiring 124 or the sensing electrode 122. The pattern region and the connection region may be provided in the same layer, but may be provided in different layers in order to facilitate electrical connection with other components. To this end, an insulation region may be additionally provided to prevent unintentional electrical connection between different layers. Details will be described later.
안테나 패턴(121)은 NFC(Near Field Communication) 안테나의 방사체로 작동할 수 있다. NFC 안테나는 13.56MHz의 통신 규격을 이용하여 정보의 교환이 이루어질 수 있다.The antenna pattern 121 may operate as a radiator of a near field communication (NFC) antenna. The NFC antenna may exchange information using a communication standard of 13.56 MHz.
회로 배선(124)은 안테나 패턴(121)과 센싱 전극(122)을 전기적으로 연결한다. 또 회로 배선(124)은 센서(100)를 제어하는 소자(150)와 전기적으로 연결할 수 있다. 즉, 회로 배선(124)은 전도성 레이어(120) 중 안테나 패턴(121)과 센싱 전극(122)을 제외한 모든 영역을 의미할 수 있다.The circuit wiring 124 electrically connects the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122. In addition, the circuit wiring 124 may be electrically connected to the element 150 that controls the sensor 100. That is, the circuit wiring 124 may mean all regions of the conductive layer 120 except for the antenna pattern 121 and the sensing electrode 122.
패시베이션 레이어(131)는 센싱 대상 물질(10)이 기판(110) 영역으로 누설되는 것을 방지한다. 따라서 센싱 대상 물질(10)이 회로 배선(124) 등으로 흘러 센서(100)가 오작동을 일으키는 것을 방지한다. 또한 패시베이션 레이어(131)는 일정한 높이를 가져 센싱 대상 물질(10)의 유동을 방지할 수도 있다. 센싱 대상 물질(10)을 센싱 전극(122)으로 모을 수 있다.The passivation layer 131 prevents the sensing material 10 from leaking into the substrate 110 region. Therefore, the sensing target material 10 flows into the circuit wiring 124 or the like to prevent the sensor 100 from malfunctioning. In addition, the passivation layer 131 may have a constant height to prevent the flow of the sensing target material 10. The sensing target material 10 may be collected as the sensing electrode 122.
패시베이션 레이어(131)는 표면 에너지가 기판(110)보다 커서 센싱 대상 물질(10)이 패시베이션 레이어(131) 영역 내에 액정을 형성하여 기판(110)으로 퍼지지 않도록 할 수 있다.The passivation layer 131 may have a surface energy that is greater than that of the substrate 110 so that the sensing target material 10 may form a liquid crystal in the passivation layer 131 area so as not to spread to the substrate 110.
패시베이션 레이어(131)는 센싱 전극(122)의 적어도 일 영역을 노출시키는 제1 개구부(131a)를 구비할 수 있다. 센싱 전극(122)은 제1 개구부(131a)를 통해 노출된 일부 영역만 사용될 수 있다.The passivation layer 131 may include a first opening 131a exposing at least one region of the sensing electrode 122. Only a portion of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a may be used.
센싱 전극(122)의 전체 길이 A는 400~5000㎛ 이고, 제1 개구부(131a)를 통해 노출되는 길이는 50~5000㎛가 될 수 있다. 경우에 따라 센싱 전극(122)의 전체 길이와 제1 개구부(131a)를 통해 노출되는 길이는 동일할 수도 있고, 또는 센싱 전극(122)의 일부만 제1 개구부(131a)를 통해 노출될 수도 있다.The total length A of the sensing electrode 122 may be 400 to 5000 μm, and the length exposed through the first opening 131a may be 50 to 5000 μm. In some cases, the entire length of the sensing electrode 122 and the length exposed through the first opening 131a may be the same, or only a part of the sensing electrode 122 may be exposed through the first opening 131a.
제1 개구부(131a)를 통해 노출되는 센싱 전극(122)의 노출 길이는 센서(100)의 분해능과, 대량 생산에 따른 인쇄 재현성, 센서(100)의 신뢰성에 영향을 미친다. 제1 개구부(131a)를 통해 노출되는 센싱 전극(122)의 노출 길이가 짧을수록 센서(100)의 분해능은 향상될 수 있다.The exposure length of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a affects the resolution of the sensor 100, the print reproducibility according to mass production, and the reliability of the sensor 100. As the exposure length of the sensing electrode 122 exposed through the first opening 131a is shorter, the resolution of the sensor 100 may be improved.
센싱 전극(122)의 폭 B는 50~1000㎛ 범위 내에서 구비될 수 있다. 센싱 전극(122)의 폭 B가 좁을수록 센서(100)의 분해능이 향상될 수 있다. 그러나 지나치게 좁은 센싱 전극(122)의 폭은 전도성 레이어(120)의 인쇄 공정을 불안정하게 만들 수 있다. 안정적인 인쇄 공정을 위해 센싱 전극(122)의 폭 B는 50~200㎛인 것이 바람직하다.Width B of the sensing electrode 122 may be provided in the range of 50 ~ 1000㎛. As the width B of the sensing electrode 122 is narrower, the resolution of the sensor 100 may be improved. However, too narrow a width of the sensing electrode 122 may make the printing process of the conductive layer 120 unstable. For the stable printing process, the width B of the sensing electrode 122 is preferably 50 to 200 μm.
센싱 전극(122)의 양 극 각각을 제1 센싱 전극(122a) 및 제2 센싱 전극(122b)이라 할 때, 제1 센싱 전극(122a)과 제2 센싱 전극(122b) 사이의 간격 C는 50~3000㎛ 범위 내에서 구비될 수 있다.When each positive electrode of the sensing electrode 122 is referred to as the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b, the distance C between the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b is 50. It may be provided in the range of ~ 3000㎛.
다만 제1 센싱 전극(122a)과 제2 센싱 전극(122b) 사이의 간격 C가 만약 지나치게 멀고, 센싱 대상 물질의 양이 충분하지 않은 경우에는 정확한 측정이 어려울 수 있다. 즉, 센싱 대상 물질은 액적을 형성하여 제1 센싱 전극(122a)과 제2 센싱 전극(122b)에 모두 접촉해야 한다. 이 점을 고려하여 제1 센싱 전극(122a)와 제2 센싱 전극(122b) 사이의 간격 C는 900~1500㎛ 범위 내에서 구비되는 것이 바람직하다.However, if the distance C between the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b is too far and the amount of the material to be sensed is not sufficient, accurate measurement may be difficult. That is, the sensing target material forms a droplet to contact both the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b. In consideration of this point, the distance C between the first sensing electrode 122a and the second sensing electrode 122b is preferably provided within a range of 900 to 1500 μm.
센싱 전극(122)의 높이 D는 700nm~15㎛가 될 수 있다. 센싱 전극(122)의 높이 D는 센서(100)의 두께와 센싱 전극(122)의 내구성과 신뢰성에 영향을 줄 수 있다. 센싱 전극(122)의 높이 D가 700nm보다 낮으면 센싱의 반복에 따라 센싱 전극(122)의 소실 문제가 발생할 수 있다. 인쇄 공정의 한계 및 센서(100)의 두께 증가를 방지하기 위해, 센싱 전극(122)의 높이는 15㎛보다 낮은 것이 바람직하다.The height D of the sensing electrode 122 may be 700 nm to 15 μm. The height D of the sensing electrode 122 may affect the thickness of the sensor 100 and the durability and reliability of the sensing electrode 122. When the height D of the sensing electrode 122 is lower than 700 nm, a problem of loss of the sensing electrode 122 may occur as the sensing is repeated. In order to limit the printing process and increase the thickness of the sensor 100, the height of the sensing electrode 122 is preferably lower than 15 μm.
안테나 절연층(132) 및 안테나 브릿지(140)는 안테나 패턴(121)이 회로 배선(124)과 연결되기 위한 구조를 형성한다. 안테나 패턴(121)이 기판(110)에 복수회 감겨 나선형으로 형성되는 경우 부득이 하게 안테나 패턴(121)의 일단은 안테나 패턴(121)의 타단이 구비된 방향으로 연장되어야 한다. 안테나 브릿지(140)는 이러한 연장 영역을 형성하고, 안테나 브릿지(140)와 기존 인쇄 공정을 통해 인쇄된 안테나 패턴(121)이 서로 간섭하지 않도록 안테나 절연층(132)이 안테나 브릿지(140)와 안테나 패턴(121) 사이에 구비될 수 있다.The antenna insulation layer 132 and the antenna bridge 140 form a structure for connecting the antenna pattern 121 to the circuit wiring 124. When the antenna pattern 121 is spirally wound around the substrate 110 a plurality of times, one end of the antenna pattern 121 must extend in the direction in which the other end of the antenna pattern 121 is provided. The antenna bridge 140 forms such an extended area, and the antenna insulation layer 132 has the antenna bridge 140 and the antenna so that the antenna bridge 140 and the antenna pattern 121 printed by the existing printing process do not interfere with each other. It may be provided between the patterns 121.
보호 레이어(160)는 절연 소재로 형성되어 기판(110)의 일면을 마주보도록 배치되어 기판(110), 전도성 레이어(120) 및 패시베이션 레이어(131) 등 기판(110)에 실장된 모든 구성들을 덮어 해당 구성들을 전기적, 물리적으로 보호하는 역할을 수행할 수 있다. 다만 보호 레이어(160)는 패시베이션 레이어(131)의 제1 개구부(131a)를 노출시키는 제2 개구부(160a)를 구비할 수 있다.The protective layer 160 is formed of an insulating material and is disposed to face one surface of the substrate 110 to cover all components mounted on the substrate 110 such as the substrate 110, the conductive layer 120, and the passivation layer 131. It can serve to protect the components electrically and physically. However, the protection layer 160 may include a second opening 160a exposing the first opening 131a of the passivation layer 131.
소자(150)는 기판(110)에 실장되어 회로 배선(124)과 전기적으로 연결될 수 있다.The device 150 may be mounted on the substrate 110 and electrically connected to the circuit wiring 124.
센서(100)의 작동과 관련된 각종 전자적 구성들은 소자(150)에 의해 구현될 수 있다. 전자적 구성은 예를 들어 전원생성부, 제어부, 변환부, 통신부 등을 포함할 수 있다.Various electronic components related to the operation of the sensor 100 may be implemented by the element 150. The electronic configuration may include, for example, a power generator, a controller, a converter, a communicator, and the like.
안테나 패턴(121)을 통해 수신된 무선 신호는 회로 배선(124)을 통해 소자(150)로 전달된다. 소자(150)는 공급 받은 직류 전원을 교류 전원으로 생성하여 센싱 전극(122)에 입력할 수 있다.The wireless signal received through the antenna pattern 121 is transmitted to the device 150 through the circuit wiring 124. The element 150 may generate the supplied DC power as AC power and input the DC power to the sensing electrode 122.
도 3은 도 1의 A-A' 영역 단면도이고, 도 4은 도 1의 A-A' 영역 단면 일부 확대도이다. 설명의 편의상 도 3 및 도 4를 함께 참조한다.3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1, and FIG. 4 is an enlarged view of a portion of the cross section along the line AA ′ of FIG. 1. For convenience of description, reference is made to FIGS. 3 and 4 together.
센싱 전극(122)은 센싱 대상 물질(10)이 직접적으로 접하는 것으로, 진공 증착 방식을 통해 형성되는 경우 센싱 전극(122) 영역 만을 백금(Pt)이나 금(Au)과 같은 물질을 사용하면 족하다. 하지만 상술한 바와 같이 전자 인쇄 방식을 통해 안테나 패턴 및 회로 배선 등을 동일 레이어로 구성하는 경우에는 재료 비용이 과도하게 증가한다.The sensing electrode 122 is in direct contact with the sensing target material 10. When the sensing electrode 122 is formed through a vacuum deposition method, a material such as platinum (Pt) or gold (Au) may be used for only the sensing electrode 122 region. However, as described above, when the antenna pattern, the circuit wiring, and the like are formed in the same layer through the electronic printing method, the material cost is excessively increased.
이러한 문제점은 센싱 전극(122)을 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 등과 같은 물질로 대체함으로써 해결할 수 있다.This problem may be solved by replacing the sensing electrode 122 with a material such as silver (Ag), copper (Cu), aluminum (Al), or the like.
즉, 은, 구리 및 알루미늄은 센싱 전극(122) 중 센싱 전극(122)의 주요 구성으로 구비될 수 있다.That is, silver, copper, and aluminum may be provided as main components of the sensing electrode 122 among the sensing electrodes 122.
센싱 전극(122)은 은, 구리 및 알루미늄과 같은 전도성 입자(1221)와 유기물로 구성된 바인더(Binder, 1222)의 결합 구성으로 이루어질 수 있다. 전도성 입자(1221)는 구형 또는 플레이크(flake, 편상)의 형상을 가질 수 있다. 플레이크 형상의 전도성 입자(1221)는 구형인 경우에 비해 상대적으로 높은 전도도를 가질 수 있다.The sensing electrode 122 may be formed by combining a conductive particle 1221 such as silver, copper, and aluminum and a binder 1222 formed of an organic material. The conductive particles 1221 may have a spherical shape or flake shape. Flake-shaped conductive particles 1221 may have a relatively high conductivity compared to the spherical case.
전도성 입자(1221)는 반응 비표면적 확보를 위해 수십nm~20㎛의 크기를 가질 수 있다. 센싱 전극(122)은 센싱 대상 물질(10)과 반응하여 임피던스 변화를 일으키는데, 임피던스에는 커패시턴스(capacitance) 성분과 저항 성분이 존재한다. 전도성 입자(1221)의 반응 비표면적이 넓으면 커패시턴스 성분도 커진다. 전도성 입자(1221)의 반응 비표면적이 넓으면 반응에 의한 센싱 전극(122)의 산화 또는 부식이 억제될 수 있으며, 센서(100)의 수명이 연장될 수 있다.The conductive particles 1221 may have a size of several tens of nm to 20 μm to secure a reaction specific surface area. The sensing electrode 122 reacts with the sensing target material 10 to cause an impedance change, and a capacitance component and a resistance component are present in the impedance. If the reaction specific surface area of the conductive particles 1221 is wide, the capacitance component also increases. When the reaction specific surface area of the conductive particles 1221 is wide, oxidation or corrosion of the sensing electrode 122 may be suppressed by the reaction, and the life of the sensor 100 may be extended.
바인더(1222)는 전도성 입자(1221)를 지지한다. 바인더(1222)는 센싱 전극(122)의 내구성 및 신뢰성을 향상시키는 역할을 할 수 있다.The binder 1222 supports the conductive particles 1221. The binder 1222 may serve to improve durability and reliability of the sensing electrode 122.
바인더(1222)는 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene oxide, PEO) 계열, 올레산(Oleic acid) 계열, 아크릴레이트(Acrylate) 계열, 아세테이트(Acetate) 계열 및 에폭시(Epoxy) 계열로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 수지(resin)를 포함할 수 있다.The binder 1222 may be formed of at least one resin selected from the group consisting of polyethylene oxide (PEO), oleic acid, acrylate, acetate, and epoxy resin).
센싱 전극(121)은 기공(1213)을 가질 수 있다. 기공(1213)은 수nm-수십㎛의 크기를 가질 수 있다. 센싱 전극(121)이 기공(1213)을 가지면, 반복적인 기계적 변형에 의해 쉽게 파손되지 않으므로 센서(100)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The sensing electrode 121 may have pores 1213. The pores 1213 may have a size of several nm to several tens of micrometers. When the sensing electrode 121 has pores 1213, the sensor 100 may not be easily damaged by repeated mechanical deformation, thereby improving reliability of the sensor 100.
센싱 전극(122)은 기판(110)과 예각을 형성할 수 있다. 즉, 센싱 전극(122)의 가장자리 영역은 기판(110)으로부터 완만한 경사를 이루어 기판(110)의 휘어짐 등에 의해 센싱 전극(122)이 쉽게 박리되지 않도록 한다.The sensing electrode 122 may form an acute angle with the substrate 110. That is, the edge region of the sensing electrode 122 forms a gentle inclination from the substrate 110 so that the sensing electrode 122 is not easily peeled off due to the bending of the substrate 110.
다만, 센싱 전극(122)이 그대로 노출되어 센싱 대상 물질(10)과 접촉하는 경우 은, 구리 및 알루미늄과 같은 물질의 표준 환원 전위가 낮아 부식 우려가 있다. 센싱 전극(122)의 부식은 센싱 대상 물질(10)과 센싱 전극(122)의 접촉을 방해하여 임피던스 측정의 노이즈 발생 원인이 된다.However, when the sensing electrode 122 is exposed as it is in contact with the sensing target material 10, the standard reduction potential of materials such as silver, copper, and aluminum is low, which may cause corrosion. Corrosion of the sensing electrode 122 interferes with the contact between the sensing target material 10 and the sensing electrode 122 to cause noise in impedance measurement.
또한 센싱 전극(122)의 입자 크기들로 인해 센싱 대상 물질(10)과 닿는 표면적이 작아지게 되고, 이러한 접촉 표면적의 감소 또한 센싱의 정확도를 감소시키는 요인이 된다.In addition, due to the particle sizes of the sensing electrode 122, the surface area of the sensing material material 10 is reduced, and the reduction of the contact surface area also reduces the accuracy of sensing.
상기 센싱 전극(122)의 구성으로 인한 전도성 향상, 전도성 센싱의 신뢰도 및 내구성 강화를 위한 세 가지 실시 예 방안을 후술하도록 한다.Three embodiments of the present invention for improving conductivity, enhancing reliability of conductive sensing, and durability due to the configuration of the sensing electrode 122 will be described below.
- 실시 예 1 -Example 1
센싱 전극(122)의 외측에 코팅 전극(123)을 구비할 수 있다.The coating electrode 123 may be provided outside the sensing electrode 122.
코팅 전극(123)은 전자 인쇄 방식을 통해 센싱 전극(122)의 외측면에 추가적으로 구비되어 센싱 전극(122)에 민감화 처리를 할 수 있다.The coating electrode 123 may be additionally provided on the outer surface of the sensing electrode 122 through an electronic printing method to perform a sensitization treatment on the sensing electrode 122.
코팅 전극(123)으로 인해 센싱 전극(122)이 센싱하는 임피던스 변화의 노이즈 발생 가능성이 감소한다. 즉, 코팅 전극(123)은 센싱 대상 물질(10)과 센싱 전극(122)이 전기 전도도를 상승시키는 역할을 한다.The coating electrode 123 reduces the possibility of noise generation due to the impedance change sensed by the sensing electrode 122. That is, the coating electrode 123 serves to increase the electrical conductivity between the sensing target material 10 and the sensing electrode 122.
나아가, 센싱 전극(122)의 내구성 및 내마모성을 높일 수 있다.In addition, durability and wear resistance of the sensing electrode 122 may be improved.
코팅 전극(123)은 센싱 전극(122)과 유사한 구성으로 이루어질 수 있다. 즉, 전도성 입자(1231)와 바인더(1232)의 결합 구성으로 구비될 수 있다.The coating electrode 123 may be formed in a configuration similar to that of the sensing electrode 122. That is, the conductive particles 1231 and the binder 1232 may be provided in a combined configuration.
코팅 전극(123)의 전도성 입자(1231)는 탄소 나노 튜브(CNT)를 포함할 수 있다.The conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may include carbon nanotubes (CNTs).
코팅 전극(123)의 바인더(1232)는 코팅 전극(123)의 전도성 입자(1231)를 연결시켜 공극(1233)이 형성되는 것을 최소화 할 수 있다. 코팅 전극(123)의 바인더는 센싱 전극(122)의 바인더(1222)와 마찬가지로 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene oxide) 계열, 올레산(Oleic acid) 계열, 아크릴레이트(Acrylate) 계열, 아세테이트(Acetate) 계열 및 에폭시(Epoxy) 계열로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 수지(resin)를 포함할 수 있다.The binder 1232 of the coating electrode 123 may connect the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 to minimize the formation of the voids 1233. The binder of the coating electrode 123 is similar to the binder 1222 of the sensing electrode 122, and may include polyethylene oxide, oleic acid, acrylate, acetate and epoxy. Epoxy) may include at least one resin (resin) selected from the group consisting of.
다만, 코팅 전극(123)의 전도성 입자(1231)가 탄소 나노 튜브만으로 구비되는 경우, 저항이 높아 센싱 분해능이 떨어지기 때문에, 코팅 전극(123)의 전도성 입자(1231)는 추가적으로 그라파이트(Graphite)도 포함할 수 있다. 그라파이트는 센싱 전극(122)의 전도성을 높이는 역할을 한다.However, when the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 are provided with only carbon nanotubes, since the resistance is high and the sensing resolution decreases, the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may further have graphite. It may include. Graphite serves to increase the conductivity of the sensing electrode 122.
또한, 코팅 전극(123)의 전도성 입자(1231)는 카본 블랙(Carbon black)을 포함할 수도 있다. 카본 블랙은 센싱 전극(122)의 내구성 또는 내마모성을 강화시키는 역할을 한다.In addition, the conductive particles 1231 of the coating electrode 123 may include carbon black. Carbon black serves to enhance the durability or wear resistance of the sensing electrode 122.
그라파이트 및 카본 블랙은 코팅 전극(123)의 전도 물질 총 질량의 10% 이상으로 구성될 수 있다.Graphite and carbon black may consist of at least 10% of the total mass of the conductive material of the coating electrode 123.
전도성 입자(1231)의 탄소 나노 튜브, 그라파이트 및 카본 블랙은 독립적으로 각 기능을 수행하는 것이 아니라 상호 유기적으로 연계하여 상기 기능들을 수행하게 된다.The carbon nanotubes, graphite, and carbon black of the conductive particles 1231 may not perform each function independently, but may be organically linked to each other to perform the functions.
코팅 전극(123)은 센싱 전극(122)의 외측면을 덮는 형태로 구비될 수 있다. 센싱 전극(122)의 기공(1223)은 상술한 바와 같이 센서(100)의 기계적 변형에 대한 내구성을 갖도록 하는 역할을 하지만, 반대로 센싱 전극(122)의 전도도를 낮춰 정확한 임피던스 측정을 방해한다. 코팅 전극(123)의 구비는 이러한 센싱 전극(122)의 기공(1223)을 채워 높은 전도도를 갖도록 하여 정확한 임피던스 측정이 가능하도록 한다.The coating electrode 123 may be provided to cover the outer surface of the sensing electrode 122. The pores 1223 of the sensing electrode 122 serve to have durability against mechanical deformation of the sensor 100 as described above, but on the contrary, lower the conductivity of the sensing electrode 122 to prevent accurate impedance measurement. The provision of the coating electrode 123 fills the pores 1223 of the sensing electrode 122 to have a high conductivity to enable accurate impedance measurement.
전술한 바와 같이 센싱 전극(122)은 센싱 대상 물질(10)과 접촉하기 위해 이격된 두 전극(122a, 122b)을 가지고, 이는 코팅 전극(123)에도 동일하게 적용된다.As described above, the sensing electrode 122 has two electrodes 122a and 122b spaced apart from and in contact with the sensing target material 10, and the same applies to the coating electrode 123.
코팅 전극(123)의 이격된 두 전극 제1 코팅 전극(123a) 및 제2 코팅 전극(123b)의 간격은 10㎛ 이격될 수 있다. 이 수치는 대략적인 값에 해당할 뿐, 정확하게 10㎛일 것을 요구하는 것은 아니다.Two electrodes spaced apart from the coating electrode 123 The interval between the first coating electrode 123a and the second coating electrode 123b may be 10 μm apart. This value is only an approximate value and does not require that it be exactly 10 μm.
그리고 코팅 전극(123)의 두께, 즉 센싱 전극(122)의 최상단으로부터 코팅 전극(123)의 최상단까지의 두께는 10㎛ 이하가 될 수 있다.The thickness of the coating electrode 123, that is, the thickness from the top of the sensing electrode 122 to the top of the coating electrode 123 may be 10 μm or less.
코팅 전극(123)의 외측에는 상술한 패시베이션 레이어(131)가 구비될 수 있다. 즉, 기판(110)으로부터 외측으로 센싱 전극(122), 코팅 전극(123) 및 패시베이션 레이어(131)가 차례대로 적층되어 구비될 수 있다. 따라서 코팅 전극(123)의 길이 조건은 상술한 센싱 전극(122)의 길이 조건 등과 동일하게 적용될 수 있다. 따라서 코팅 전극(123)은 센싱 전극(122)과 동일한 길이만큼 제1 개구부(131a)를 통해 외부로 노출될 수 있다.The passivation layer 131 described above may be provided outside the coating electrode 123. That is, the sensing electrode 122, the coating electrode 123, and the passivation layer 131 may be sequentially stacked outward from the substrate 110. Therefore, the length condition of the coating electrode 123 may be the same as the length condition of the sensing electrode 122 described above. Therefore, the coating electrode 123 may be exposed to the outside through the first opening 131a by the same length as the sensing electrode 122.
- 실시 예 2 -Example 2
센싱 전극(122)의 전도성 향상을 위해, 상술한 코팅 전극과 달리 공액 고분자층이 사용될 수도 있다. 공액 고분자층은 전도성 폴리머(PEDOT:PSS/P3HT)와 같은 물질로 구성될 수 있다. 공액 고분자층은 센싱 전극(122)에 패터닝 공정으로 구현될 수도 있고, 또는 전면만 코팅된 상태에서 센싱 전극(122)에 일정 시간 흡수되도록 경과한 후 제거하는 공정을 거칠 수도 있다.In order to improve conductivity of the sensing electrode 122, a conjugated polymer layer may be used unlike the above-described coating electrode. The conjugated polymer layer may be made of a material such as a conductive polymer (PEDOT: PSS / P3HT). The conjugated polymer layer may be implemented as a patterning process on the sensing electrode 122, or may be subjected to a process of removing after the elapsed time to be absorbed by the sensing electrode 122 in a state where only the entire surface is coated.
- 실시 예 3 -Example 3
센싱 전극(122)의 전도성을 향상시키고 측정 신뢰도를 유지하기 위해, 센싱 전극(122)은 롤링 공정을 통해 압착될 수 있다. 센싱 전극(122)이 인쇄된 상태에서, 일정 온도를 상승시키고, 상승된 온도가 유지되는 상태에서 롤러를 통해 센싱 전극(122)을 압착할 수 있다.In order to improve conductivity of the sensing electrode 122 and maintain measurement reliability, the sensing electrode 122 may be compressed through a rolling process. In the state in which the sensing electrode 122 is printed, the predetermined temperature may be increased, and the sensing electrode 122 may be compressed through the roller while the elevated temperature is maintained.
다만, 롤링 공정을 통해 센싱 전극(122)이 압착되는 경우, 압력에 의해 센싱 전극(122)의 결합이 깨질 수 있다. 이러한 현상을 최소화 하기 위해, 롤러에 홈을 형성하여 롤링 공정을 수행할 수도 있다.However, when the sensing electrode 122 is compressed through the rolling process, the coupling of the sensing electrode 122 may be broken by the pressure. In order to minimize this phenomenon, a rolling process may be performed by forming a groove in the roller.
도 5는 본 발명의 센서(200)가 외부 기기(20)와 연동하는 일 실시 예에 관한 것이다.5 is a view illustrating an embodiment in which the sensor 200 of the present invention interworks with an external device 20.
이하에서는 별도의 언급이 없는 한 실시 예 1의 센서 형태를 전제로 기술한다. 다만, 모순되지 않는 범위 내에서 실시 예 2 및 3의 경우도 동일하게 적용될 수 있다.Hereinafter, unless otherwise stated, descriptions will be made on the assumption that the sensor form of the first embodiment is described. However, the same may be applied to the case of Examples 2 and 3 within a range that does not contradict.
외부 기기(20)는 여러 형태가 될 수 있으나 이동 단말기, 특히 스마트폰인 것을 일 예로 설명한다.The external device 20 may be in various forms, but it will be described as an example of a mobile terminal, especially a smartphone.
센서(200)는 안테나 패턴(221)을 통해 외부 기기(20)와 무선 신호를 수신한다.The sensor 200 receives a wireless signal with the external device 20 through the antenna pattern 221.
센서(200)는 회로부(250)를 구동하기 위해 전원생성부(251)를 통해 직류 전원을 생성한다. 이와 같이 본 발명의 센서(200)는 스스로 전력 공급을 위한 구성을 갖는 것이 아니라, 외부 기기(20)로부터 수신된 무선 신호를 이용하여 직류 전원을 생성하며, 생성된 직류 전원에 의해 제어부(252), 변환부(253), 통신부(254) 및 센싱 전극(222)이 작동하게 된다.The sensor 200 generates DC power through the power generation unit 251 to drive the circuit unit 250. As described above, the sensor 200 of the present invention does not have a configuration for supplying power by itself, and generates DC power using a wireless signal received from the external device 20, and the controller 252 by the generated DC power. The converter 253, the communicator 254, and the sensing electrode 222 operate.
제어부(252)는 직류 전원을 공급받아 구동된다. 제어부(252)는 교류 전압을 생성하여 센싱 전극(222)에 입력한다. 실시 예 1의 경우를 전제로, 센싱 전극(222)은 코팅 전극(123, 도 3 참조)까지 포함하는 개념을 지칭할 수 있다. 후술하는 센싱 전극(222)은 코팅 전극을 포함할 수 있다.The controller 252 is driven by receiving DC power. The controller 252 generates an AC voltage and inputs it to the sensing electrode 222. In the case of the first embodiment, the sensing electrode 222 may refer to a concept including the coating electrode 123 (see FIG. 3). The sensing electrode 222 described later may include a coating electrode.
센싱 전극(222)과 센싱 대상 물질이 반응하게 되면, 센싱 전극(222)은 임피던스 변화를 일으키게 된다. 센싱 전극(222)의 임피던스 변화는 제어부(252)에서 생성한 교류 전압의 변화로 나타나게 된다. 출력 값의 범위에 따라 센싱 대상 물질을 구분할 수도 있다.When the sensing electrode 222 reacts with the sensing target material, the sensing electrode 222 causes a change in impedance. The impedance change of the sensing electrode 222 is represented by the change of the AC voltage generated by the controller 252. The material to be sensed may be classified according to the range of output values.
교류 전압의 변화는 디지털 신호로 변환될 수 있다. 변환부(252)는 센싱 전극(222)의 임피던스 변화에 근거하여 나타나는 교류 전압의 변화를 디지털 신호로 변환한다. 그리고 통신부(254)는 디지털화 된 신호를 안테나 패턴을 통해 외부 기기(20)로 송신한다. 여기서 통신부(254)는 NFC Tag IC가 될 수 있다.The change in AC voltage can be converted into a digital signal. The converter 252 converts a change in AC voltage, which is displayed based on a change in impedance of the sensing electrode 222, into a digital signal. The communication unit 254 transmits the digitized signal to the external device 20 through the antenna pattern. The communication unit 254 may be an NFC tag IC.
외부 기기(20)는 센서(200)로부터 디지털화된 신호를 전송받아 정보를 생성하고 저장 및 관리하게 된다.The external device 20 receives the digitized signal from the sensor 200 to generate, store and manage information.
외부 기기(20)는 디스플레이를 통해 정보를 표시할 수도 있다.The external device 20 may display information through a display.
도 6는 회로 배선(324), 센싱 전극(322), 코팅 전극(323) 및 패시베이션 레이어(331)의 구조를 보인 개념도이다.6 is a conceptual diagram illustrating a structure of a circuit wiring 324, a sensing electrode 322, a coating electrode 323, and a passivation layer 331.
센서는 인쇄, 열건조 및 경화 과정에 의해 형성된다. 특히, 인쇄 공정을 반복하는 경우 공정 오차, 특히 alignment 오차가 발생할 수 있으며, 열건조 과정에서도 기판의 수축으로 인해 오차가 발생할 수 있다.Sensors are formed by printing, heat drying and curing processes. In particular, when the printing process is repeated, a process error, in particular, an alignment error may occur, and an error may occur due to shrinkage of the substrate even in a heat drying process.
센서의 분해능은 제1 및 제2 센싱 전극(322a, 322b)의 노출 길이에 따라 결정될 수 있다. 제1 및 제2 센싱 전극(322a, 322b)의 전체 길이와 노출 길이는 5,000㎛ 이하로 매우 작아 공정 오차의 발생 확률이 크다. 따라서 공정 오차를 최소화 할 수 있는 구조를 가지는 것이 필요하다.The resolution of the sensor may be determined according to the exposure lengths of the first and second sensing electrodes 322a and 322b. The overall length and the exposure length of the first and second sensing electrodes 322a and 322b are very small, 5,000 μm or less, which greatly increases the probability of generating a process error. Therefore, it is necessary to have a structure that can minimize the process error.
제1 센싱 전극(322a), 제2 센싱 전극(322b), 제1 코팅 전극(323a), 제2 코팅 전극(323b), 회로 배선(324) 및 패시베이션 레이어(331)는 모두 인쇄 공정에 의해 형성될 수 있다. 패시베이션 레이어(331)는 제1 센싱 전극(322a), 제2 센싱 전극(322b), 제1 코팅 전극(323a), 제2 코팅 전극(323b) 및 회로 배선(324)을 덮도록 배치된다. 따라서 패시베이션 레이어(331)는 센싱 전극(322a, 322b), 코팅 전극(323a, 323b) 및 회로 배선(324)의 인쇄 후에 형성된다. 따라서 인쇄 공정의 반복과 열건조 과정에서 공정 오차가 발생할 수 있으며, 따라서 센싱 전극(322a, 322b) 또는 코팅 전극(323a, 323b)이 설계 의도와 달리 노출되거나 가려질 수 있다.The first sensing electrode 322a, the second sensing electrode 322b, the first coating electrode 323a, the second coating electrode 323b, the circuit wiring 324 and the passivation layer 331 are all formed by a printing process. Can be. The passivation layer 331 is disposed to cover the first sensing electrode 322a, the second sensing electrode 322b, the first coating electrode 323a, the second coating electrode 323b, and the circuit wiring 324. Thus, the passivation layer 331 is formed after the sensing electrodes 322a and 322b, the coating electrodes 323a and 323b and the circuit wiring 324 are printed. Therefore, a process error may occur during the repetition of the printing process and the heat drying process, and thus the sensing electrodes 322a and 322b or the coating electrodes 323a and 323b may be exposed or hidden unlike the design intention.
센싱 전극(322a, 322b) 및 코팅 전극(323a, 323b)은 길이 방향을 따라 세 부분으로 구분될 수 있다. 이를 제1 단부(322a1, 322b1, 323a1, 323b1), 제2 단부(322a2, 322b2, 323a2, 323b2) 및 중앙부(322a3, 322b3, 323a3, 323b3)로 정의한다. 패시베이션 레이어(331)는 제1 단부(322a1, 322b1, 323a1, 323b1)와 제2 단부(322a2, 322b2, 323a2, 323b2)를 덮고, 제1 개구부(331a)는 중앙부(322a3, 322b3, 323a3, 323b3)를 노출시킨다.The sensing electrodes 322a and 322b and the coating electrodes 323a and 323b may be divided into three parts along the length direction. This is defined as a first end 322a1, 322b1, 323a1, 323b1, a second end 322a2, 322b2, 323a2, 323b2 and a central portion 322a3, 322b3, 323a3, 323b3. The passivation layer 331 covers the first ends 322a1, 322b1, 323a1, 323b1 and the second ends 322a2, 322b2, 323a2, 323b2, and the first openings 331a have a central portion 322a3, 322b3, 323a3, 323b3. ).
센싱 전극(322) 및 코팅 전극(323)은 제1 개구부(331a)의 길이보다 길게 형성된다. 제1 개구부(331a)는 센싱 전극(322) 및 코팅 전극(323)의 노출 길이를 제어할 수 있다. 따라서 패시베이션 레이어(331)의 제1 개구부(331a)의 길이 G를 정밀하게 조절함으로써 오차를 낮출 수 있다.The sensing electrode 322 and the coating electrode 323 are formed longer than the length of the first opening 331a. The first opening 331a may control the exposure length of the sensing electrode 322 and the coating electrode 323. Therefore, the error can be reduced by precisely adjusting the length G of the first opening 331a of the passivation layer 331.
제1 개구부(331a)의 폭 H는 센싱 전극(322) 또는 코팅 전극(323)의 제1 전극(322a, 323a) 및 제2 전극(322b, 323b)의 사이 간격 보다는 넓고, 5000㎛을 넘지 않는 것이 바람직하다. 제1 개구부(331a)의 폭 H가 지나치게 넓으면 센싱 전극(322) 또는 코팅 전극(323)에 접촉하게 될 대상 센싱 물질이 액적을 형성하지 않고 퍼질 수 있기 때문이다.The width H of the first opening 331a is wider than the distance between the first electrodes 322a and 323a and the second electrodes 322b and 323b of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 and does not exceed 5000 μm. It is preferable. This is because, if the width H of the first opening 331a is too wide, the target sensing material that will come into contact with the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 may spread without forming droplets.
실험 결과를 통해 제1 개구부(331)를 통해 노출되는 센싱 전극(322) 또는 코팅 전극(323)의 길이가 짧을수록, 센싱 전극(322) 또는 코팅 전극(323)의 폭이 좁을수록, 두 전극 사이의 간격이 넓을수록 분해능은 향상된다. 그러나, 오직 분해능 향상만을 목적으로 센싱 전극(322) 및 코팅 전극(323)을 설계하게 되면, 내구성 및 신뢰성 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서 분해능, 내구성 및 신뢰성 등을 고려하여 센싱 전극(322) 및 코팅 전극(323)의 구조가 설계되어야 한다.The shorter the length of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323 exposed through the first opening 331, the narrower the width of the sensing electrode 322 or the coating electrode 323, the two electrodes The wider the interval, the better the resolution. However, when the sensing electrode 322 and the coating electrode 323 are designed only for the purpose of improving resolution, problems such as durability and reliability may occur. Therefore, the structures of the sensing electrode 322 and the coating electrode 323 should be designed in consideration of resolution, durability, and reliability.
도 7 및 도 8은 본 발명과 관련된 센서의 제조 방법에 관한 흐름도이다.7 and 8 are flowcharts illustrating a manufacturing method of a sensor according to the present invention.
도 7을 참조하면, 전도성 레이어는 인쇄 공정을 통해 기판에 인쇄된다(S100). 전도성 레이어는 안테나 패턴, 센싱 전극, 코팅 전극 및 회로 배선을 포함한다.Referring to FIG. 7, the conductive layer is printed on the substrate through a printing process (S100). The conductive layer includes an antenna pattern, sensing electrode, coated electrode and circuit wiring.
안테나 패턴, 센싱 전극 및 회로 배선을 동일 물질로 구성하는 경우, 한 번의 인쇄 공정에 의해 전도성 레이어 중 안테나 패턴, 센싱 전극 및 회로 배선이 동시에 형성될 수 있다(S110). 따라서 이는 재료 및 제조 비용의 절감을 가져올 수 있다. 이를 편의상 제1 인쇄 공정으로 정의한다. 제1 인쇄 공정으로 인해 안테나 패턴, 센싱 전극 및 회로 배선은 동일한 레이어에 구비될 수 있다.When the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring are made of the same material, the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring among the conductive layers may be simultaneously formed by one printing process (S110). This can therefore result in a reduction of material and manufacturing costs. This is defined as a first printing process for convenience. Due to the first printing process, the antenna pattern, the sensing electrode, and the circuit wiring may be provided on the same layer.
이후 센싱 전극의 외측면에 코팅 전극이 인쇄될 수 있다(S120). 코팅 전극은 센싱 전극과 다른 물질로 구성되므로 추가적인 제2 인쇄 공정을 통해 형성될 수 있다.Thereafter, the coating electrode may be printed on the outer surface of the sensing electrode (S120). Since the coating electrode is made of a material different from the sensing electrode, it may be formed through an additional second printing process.
따라서 코팅 전극은 센싱 전극이 구비되는 레이어의 상단에 적층된 이형 레이어를 구성하게 된다.Therefore, the coating electrode constitutes a release layer stacked on top of the layer on which the sensing electrode is provided.
전도성 레이어의 인쇄 공정은 분말 잉크 또는 페이스트를 이용한다. 분말 잉크 또는 페이스트의 조성은 전도성 입자 40~70 중량%, 용매를 포함하는 유기물 30~60 중량%로 이루어질 수 있다. 이를 통해 센싱 전극 또는 코팅 전극의 산화 및 부식을 최소화 할 수 있다.The printing process of the conductive layer uses powder ink or paste. The composition of the powder ink or paste may be 40 to 70 wt% of the conductive particles and 30 to 60 wt% of the organic material including a solvent. This can minimize oxidation and corrosion of the sensing electrode or coating electrode.
전술한 바와 같이, 센싱 전극의 전도성 입자는 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다. 한편 코팅 전극의 전도성 입자는 탄소 나노 튜브(CNT), 그라파이트(Graphite) 및 카본 블랙(Carbon black) 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다.As described above, the conductive particles of the sensing electrode may be made of at least one of silver (Ag), copper (Cu), and aluminum (Al). Meanwhile, the conductive particles of the coating electrode may be made of at least one of carbon nanotubes (CNT), graphite, and carbon black.
센싱 전극의 전도성 입자 또는 코팅 전극의 전도성 입자는 구형 또는 플레이크(flake) 형상을 가질 수 있다.The conductive particles of the sensing electrode or the conductive particles of the coating electrode may have a spherical or flake shape.
전도성 입자 및 바인더를 섞는 용매는 아세톤(Acetone), 알릴알코올(Allyl alcohol), 아세트산(Acetic acid), 아세톨(Acetol), 메틸알코올(Methyalcohol) 및 벤젠(Benzene)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The solvent for mixing the conductive particles and the binder is at least one selected from the group consisting of acetone, allyl alcohol, acetic acid, acetol, methyl alcohol and benzene. It may include.
전도성 레이어를 인쇄하는 공정은 스크린(Screen), 오프셋(Offset), 그라비어(Gravure) 중 어느 하나가 될 수 있다.The process of printing the conductive layer may be any one of a screen, an offset, and gravure.
인쇄 공정 이후 열건조를 통해 전도성 레이어를 경화시킬 수 있다(S200). 열건조는 80~200℃에서 이루어질 수 있다. 열건조 과정에서 상술한 용매는 증발될 수 있다. 200℃ 이하의 저온 공정이 가능하기 위해서는 전도성 입자가 분말 형태로 수십nm~20㎛의 크기를 갖는 것이 바람직하다.After the printing process, the conductive layer may be cured through heat drying (S200). Heat drying may be performed at 80 ~ 200 ℃. The solvent described above may be evaporated in the heat drying process. In order to enable a low temperature process of 200 ° C. or less, it is preferable that the conductive particles have a size of several tens of nm to 20 μm in powder form.
특히, 열건조는 센싱 전극을 인쇄하는 제1 인쇄 공정과 코팅 전극을 인쇄하는 제2 인쇄 공정 이후에 수행될 수 있다. 열건조 이전에 센싱 전극 위에 코팅 전극을 인쇄함으로써 코팅 전극이 센싱 전극의 공극 사이로 유입되어 센싱 전극과 코팅 전극이 좀 더 밀하게 결합될 수 있다. 센싱 전극과 코팅 전극이 밀하게 결합하는 경우 전도도가 높아지며, 높은 결합력에 의해 코팅 전극이 기판 또는 센싱 전극으로부터 쉽게 박리되는 것을 방지할 수 있다.In particular, the heat drying may be performed after the first printing process for printing the sensing electrode and the second printing process for printing the coating electrode. By printing the coating electrode on the sensing electrode prior to heat drying, the coating electrode may be introduced between the pores of the sensing electrode, so that the sensing electrode and the coating electrode may be more tightly coupled. When the sensing electrode and the coating electrode are tightly coupled, the conductivity is increased, and the high bonding force may prevent the coating electrode from being easily peeled off from the substrate or the sensing electrode.
또는 도 8과 같이, 센싱 전극의 제1 인쇄 공정 이후 1차적으로 열건조 공정을 거치고, 이후 코팅 전극에 대한 제2 인쇄 공정을 수행할 수도 있다.Alternatively, as shown in FIG. 8, after the first printing process of the sensing electrode, the heat drying process may be performed first, and then the second printing process may be performed on the coating electrode.
제1 인쇄 공정 및 제2 인쇄 공정 모두에 대한 열건조 공정이 끝난 이후 패시베이션 레이어 및 안테나 절연층을 인쇄할 수 있다(S300).After the heat drying process for both the first printing process and the second printing process is finished, the passivation layer and the antenna insulation layer may be printed (S300).
패시베이션 레이어와 안테나 절연층은 동일한 소재로 이루어질 수 있고, 따라서 하나의 인쇄 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 즉, 패시베이션 레이어와 안테나 절연층은 전도성 레이어 위에 동일 레이어를 형성할 수 있다.The passivation layer and the antenna insulation layer may be made of the same material, and thus may be simultaneously formed through one printing process. That is, the passivation layer and the antenna insulating layer may form the same layer on the conductive layer.
인쇄된 패시베이션 레이어와 안테나 절연층은 경화 과정을 거칠 수 있다(S400). 패시베이션 레이어와 안테나 절연층의 경화는 자외선(UV)에 의해 될 수 있다.The printed passivation layer and the antenna insulation layer may undergo a curing process (S400). Curing of the passivation layer and antenna insulation layer may be by ultraviolet (UV).
안테나 절연층은 확실한 절연 신뢰도를 보장받기 위해 복수회의 인쇄 공정을 가질 수 있다(S500). 이때 먼저 인쇄된 안테나 절연층을 제1 안테나 절연층, 이후에 인쇄된 안테나 절연층을 제2 안테나 절연층으로 정의할 수 있다. 제2 안테나 절연층의 인쇄 이후 제1 안테나 절연층의 경화 과정과 마찬가지로 경화 과정을 한번 더 거칠 수 있다(S600).The antenna insulation layer may have a plurality of printing processes in order to ensure reliable insulation reliability (S500). In this case, the first printed antenna insulating layer may be defined as the first antenna insulating layer, and the subsequently printed antenna insulating layer may be defined as the second antenna insulating layer. After the printing of the second antenna insulation layer, the curing process may be performed once more as in the curing process of the first antenna insulation layer (S600).
필요에 따라, 제1 안테나 절연층 및 제2 안테나 절연층에 더하여 추가적으로 안테나 절연층이 인쇄될 수 있다. 이 경우 제1 안테나 절연층 또는 제2 안테나 절연층이 형성된 공정과 동일한 경화 과정을 거친다.If necessary, an antenna insulation layer may be additionally printed in addition to the first antenna insulation layer and the second antenna insulation layer. In this case, the same hardening process is performed as the process of forming the first antenna insulation layer or the second antenna insulation layer.
안테나 절연층 위에는 안테나 브릿지가 인쇄된다(S700). 안테나 브릿지는 전도성 레이어와 동일한 소재로 이루어질 수 있다.An antenna bridge is printed on the antenna insulation layer (S700). The antenna bridge may be made of the same material as the conductive layer.
안테나 브릿지는 전도성 레이어와 동일한 방식으로 열건조 될 수 있다(S800). 열건조 조건에 관한 자세한 사항은 전도성 레이어의 열건조 과정에서 설명한 것과 동일하다.The antenna bridge may be heat dried in the same manner as the conductive layer (S800). Details of the thermal drying conditions are the same as described for the thermal drying of the conductive layer.
다음으로 기판에 소자를 본딩할 수 있다(S900). 소자는 회로 배선과 전기적으로 연결된다.Next, the device may be bonded to the substrate (S900). The device is electrically connected with the circuit wiring.
이후 보호 레이어가 기판에 덮어져 기판에 실장된 구성들을 보호할 수 있다(S1000).After that, the protective layer is covered with the substrate to protect the components mounted on the substrate (S1000).
도 9(a) 및 도 9(b)는 종래의 센서와 본 발명과 관련된 센서 각각에 대한 측정 횟수에 따른 ADC 변화를 측정한 그래프를 도시한 것이다.9 (a) and 9 (b) show a graph of measuring the change in ADC according to the number of measurements for each of the conventional sensor and the sensor related to the present invention.
보는 바와 같이, 종래의 센서와 달리 본 발명의 센서를 통해 Nacl 및 음식물을 연속적으로 측정했을 때, 측정 횟수에 따른 ADC 값이 변화 없이 일정하게 유지됨을 알 수 있다. 따라서 센서를 사용함에 따라 부식 또는 내구성의 문제 없이 높은 신뢰도의 결과 값을 얻을 수 있음을 알 수 있다.As can be seen, it can be seen that, unlike conventional sensors, when continuously measuring Nacl and food through the sensor of the present invention, the ADC value according to the number of measurements is kept constant without change. Therefore, it can be seen that as the sensor is used, high reliability results can be obtained without problems of corrosion or durability.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 해당 기술 분야의 통상의 기술자에게 자명하다.It is apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit and essential features of the present invention.
상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.The above detailed description should not be construed as limiting in all respects but should be considered as illustrative. The scope of the invention should be determined by reasonable interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalent scope of the invention are included in the scope of the invention.
상술한 바와 같이, 본 발명은 모든 센서에 전체 또는 부분적으로 적용될 수 있다.As mentioned above, the present invention can be applied in whole or in part to all sensors.

Claims (20)

  1. 비전도성의 기판; 및Non-conductive substrates; And
    상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어;를 포함하고,And a conductive layer electronically printed on one surface of the substrate,
    상기 전도성 레이어는,The conductive layer,
    외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴;An antenna pattern for transmitting and receiving a wireless signal with an external device;
    회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극; 및A sensing electrode connected to the antenna pattern through a circuit wiring and configured to sense a change in impedance caused by contact of a sensing target material; And
    상기 센싱 전극에 적층 구비되어 상기 임피던스 변화의 노이즈 발생을 제거하는 코팅 전극을 포함하는 센서.And a coating electrode disposed on the sensing electrode to remove noise generated from the impedance change.
  2. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 센싱 전극 및 코팅 전극은,The sensing electrode and the coating electrode,
    공극을 형성하는 복수의 전도성 입자; 및A plurality of conductive particles forming voids; And
    상기 복수의 전도성 입자를 머금어 사이의 상기 공극을 메꾸는 바인더를 각각 포함하는 센서.And a binder filling the voids between the plurality of conductive particles, respectively.
  3. 제2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 센싱 전극의 전도성 입자는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서.Sensor, characterized in that the conductive particles of the sensing electrode comprises silver (Ag).
  4. 제2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 코팅 전극의 전도성 입자는 탄소 나노 튜브(CNT)를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서.The conductive particle of the coating electrode is characterized in that it comprises a carbon nanotube (CNT).
  5. 제4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein
    상기 코팅 전극의 전도성 입자는 그라파이트(Graphite) 및 카본 블랙(Carbon black)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 센서.The conductive particles of the coating electrode is characterized in that it further comprises a graphite (Graphite) and carbon black (Carbon black).
  6. 제5 항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 그라파이트 및 카본 블랙은 상기 코팅 전극 전체 질량의 10% 이상으로 구성되는 것을 특징으로 하는 센서.The graphite and carbon black is a sensor, characterized in that composed of more than 10% of the total mass of the coating electrode.
  7. 제2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 바인더는 폴리에틸렌 옥사이드(PEO) 계열, 올레산(Oleic acid) 계열, 아크릴레이트(Acrylate) 계열, 아세테이트(Acetate) 계열 또는 에폭시(Epoxy) 계열의 레진(Resin) 중 하나인 것을 특징으로 하는 센서.The binder is a polyethylene oxide (PEO) -based, oleic acid (Oleic acid), acrylate (Acrylate), acetate (Acetate) or epoxy (Epoxy) sensor characterized in that one of the resin (Resin).
  8. 제2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 전도성 입자는 프레이크(flake) 또는 구형의 조합으로 구성되는 센서.The conductive particle is composed of a flake or a combination of spheres.
  9. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 안테나 패턴, 회로 배선 및 센싱 전극은 동일한 물질로 구성되며, 동일한 레이어에 구비되고, 상기 코팅 전극은 상기 센싱 전극에 적층되어 구비되는 것을 특징으로 하는 센서.The antenna pattern, the circuit wiring, and the sensing electrode are made of the same material and are provided on the same layer, and the coating electrode is stacked on the sensing electrode.
  10. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 센싱 전극은 이격된 두 전극을 포함하고,The sensing electrode includes two electrodes spaced apart from each other,
    상기 코팅 전극은 상기 이격된 두 전극을 각각 덮는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고,The coating electrode includes a first region and a second region respectively covering the spaced two electrodes,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 최단 거리는 10um이고, 상기 센싱 전극 상단으로부터 상기 코팅 전극의 두께는 10um인 센서.The shortest distance between the first region and the second region is 10um, the thickness of the coating electrode from the sensing electrode top is 10um.
  11. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 센싱 전극은 이격된 두 전극을 포함하고,The sensing electrode includes two electrodes spaced apart from each other,
    상기 두 전극의 간격은 30um 이상 3000um 이하인 것을 특징으로 하는 센서.The distance between the two electrodes is a sensor, characterized in that more than 30um or less than 3000um.
  12. 제10 항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 안테나 패턴, 상기 센싱 전극 및 상기 회로 배선은 0.5um 이상 15um 이하의 두께를 갖는 센서.The antenna pattern, the sensing electrode and the circuit wiring has a thickness of 0.5um or more and 15um or less.
  13. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 기판은 폴리에틸렌 테리프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI), 폴리스타이렌(PS) 및 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 중 어느 하나를 포함하는 센서.The substrate comprises any one of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polystyrene (PS) and polyethylene naphthalate (PEN).
  14. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 안테나 패턴은 500um 이상 1500um 이하의 너비를 갖고, 안테나 패턴의 인접한 거리는 300um 이상 700um 이하인 것을 특징으로 하는 센서.The antenna pattern has a width of 500um or more and 1500um or less, and the adjacent distance of the antenna pattern is 300um or more and 700um or less.
  15. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 센싱 전극의 적어도 일 영역을 노출시키는 개구부를 형성하고, 표면 에너지가 상기 기판보다 큰 패시베이션 레이어(passivation layer)를 더 포함하는 센서.And an opening for exposing at least one region of the sensing electrode, the passivation layer having a surface energy greater than that of the substrate.
  16. 제15 항에 있어서,The method of claim 15,
    상기 기판 위에 적층되어 상기 전도성 레이어 및 상기 패시베이션 레이어를 보호하는 보호 레이어를 더 포함하는 센서.And a protective layer laminated on the substrate to protect the conductive layer and the passivation layer.
  17. 비전도성의 기판; 및Non-conductive substrates; And
    상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어;를 포함하고,And a conductive layer electronically printed on one surface of the substrate,
    상기 전도성 레이어는,The conductive layer,
    외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴;An antenna pattern for transmitting and receiving a wireless signal with an external device;
    회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극; 및A sensing electrode connected to the antenna pattern through a circuit wiring and configured to sense a change in impedance caused by contact of a sensing target material; And
    상기 센싱 전극에 패터닝 또는 흡수되어 구비되는 전도성 폴리머를 포함하는 공액 고분자층을 포함하는 센서.Sensor comprising a conjugated polymer layer comprising a conductive polymer is patterned or absorbed by the sensing electrode.
  18. 비전도성의 기판; 및Non-conductive substrates; And
    상기 기판의 일면에 전자 인쇄되는 전도성 레이어;를 포함하고,And a conductive layer electronically printed on one surface of the substrate,
    상기 전도성 레이어는,The conductive layer,
    외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴; 및An antenna pattern for transmitting and receiving a wireless signal with an external device; And
    회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극을 포함하고,A sensing electrode connected to the antenna pattern through a circuit wiring and sensing a change in impedance caused by contact of a sensing target material;
    상기 센싱 전극은 롤링 공정을 통해 압착된 것을 특징으로 하는 센서.And the sensing electrode is compressed through a rolling process.
  19. 비전도성 기판에, 외부 기기와 무선 신호를 송수신하는 안테나 패턴 및 회로 배선을 통해 상기 안테나 패턴과 연결되고, 센싱 대상 물질의 접촉에 의한 임피던스 변화를 센싱하는 센싱 전극을 인쇄하는 제1 인쇄 단계;A first printing step of printing, on a non-conductive substrate, a sensing electrode connected to the antenna pattern through an antenna pattern and a circuit wiring for transmitting and receiving a wireless signal with an external device and sensing a change in impedance caused by contact of a sensing target material;
    상기 센싱 전극의 외측에 상기 임피던스 변화의 노이즈 발생을 제거하는 코팅 전극을 인쇄하는 제2 인쇄 단계; 및A second printing step of printing a coating electrode on the outside of the sensing electrode to remove noise generation of the impedance change; And
    상기 인쇄된 안테나 패턴, 센싱 전극 및 코팅 전극을 열건조 하는 건조 단계를 포함하는 센서 제조 방법.And a drying step of thermally drying the printed antenna pattern, the sensing electrode, and the coating electrode.
  20. 제19 항에 있어서,The method of claim 19,
    상기 제1 인쇄 단계 및 제2 인쇄 단계는 그라비어 오프셋(Gravure offset), 그라비어 인쇄(Gravure printing) 또는 스크린 인쇄(Screen printing) 공정 중 어느 하나의 방식으로 인쇄되는 센서 제조 방법.Wherein the first printing step and the second printing step are printed by any one of a gravure offset, gravure printing, or screen printing process.
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