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WO2018123657A1 - 縦結合共振子型弾性波フィルタ - Google Patents

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WO2018123657A1
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和大 瀧川
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株式会社村田製作所
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    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only

Definitions

  • the present invention relates to a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter having narrow pitch electrode fingers.
  • Patent Document 1 discloses a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter using a piston mode.
  • the IDT electrode intersecting region includes a central region and first and second edge regions provided on both sides of the central region in the direction in which the electrode fingers extend.
  • the first electrode finger has a thick portion that is thicker than the remaining electrode finger portion in the second edge region.
  • the second electrode finger has a wide width portion in the first IDT electrode.
  • Patent Document 1 discloses a structure in which the width of the wide width portion in the edge region is different between the narrow pitch electrode finger portion and the remaining electrode finger portions.
  • edge region by providing a mass-added film instead of the wide-width portion.
  • the gap aspect ratio becomes high in the edge region of the narrow pitch electrode finger portion. Therefore, the film quality deteriorates and the weather resistance deteriorates.
  • An object of the present invention is to provide a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter that is unlikely to cause deterioration in power resistance and weather resistance.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter includes a piezoelectric substrate, a plurality of IDT electrodes provided on the piezoelectric substrate, and both sides of the region where the IDT electrodes are provided in the acoustic wave propagation direction.
  • a pair of reflectors arranged, wherein the IDT electrodes are opposed to the first and second bus bars, and a plurality of first electrode fingers having one ends connected to the first bus bars;
  • a plurality of second electrode fingers, one end of which is connected to the second bus bar; and the plurality of first electrode fingers and the plurality of second electrode fingers are interleaved with each other.
  • the IDT electrode has a narrow-pitch electrode finger portion with a narrower pitch between the electrode fingers than the remaining electrode finger portions, and the first electrode finger and the second electrode finger have an acoustic wave propagation
  • the overlapping area is an intersection area when viewed in the direction, the intersection area In the extending direction of the first and second electrode fingers, a central region and first and second edge regions provided outside the central region in the extending direction of the first and second electrode fingers.
  • the first and second electrode fingers in the remaining electrode finger portions are in the first edge region and the second edge region, respectively.
  • the first and second electrode fingers in the narrow-pitch electrode finger portion do not have the thick-width portion.
  • the first electrode finger in the remaining electrode finger portion has the thick portion in the second edge region
  • the second electrode finger in the remaining electrode finger portion has the thick portion in the first edge region
  • the first electrode finger and the second electrode finger in the remaining electrode finger portions are the first edge region and the Both of the second edge regions have the thick portion. In this case, the transverse mode ripple can be more effectively suppressed.
  • the plurality of IDT electrodes include first to third IDT electrodes arranged in order along an elastic wave propagation direction.
  • the plurality of IDT electrodes include first to fifth IDT electrodes arranged in order along an acoustic wave propagation direction.
  • the plurality of IDT electrodes include first to ninth IDT electrodes arranged in order along an elastic wave propagation direction. .
  • the present invention it is possible to provide a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter that suppresses transverse mode ripple and is less likely to deteriorate power durability and weather resistance.
  • FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing a main part of an electrode structure of a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a partially cutaway plan view showing a main part of an electrode structure of a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating filter characteristics of an example of the second embodiment and a comparative example.
  • FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing a main part of an electrode structure of a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a longitudinally coupled body according to the first embodiment. It is a schematic plan view of a resonator type acoustic wave filter.
  • first to third IDT electrodes 3 to 5 are provided on the upper surface 2a of the piezoelectric substrate 2 in order along the elastic wave propagation direction. It has been. Reflectors 6 and 7 are provided on both sides in the elastic wave propagation direction of the region where the first to third IDT electrodes 3 to 5 are provided.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 1 is a 3IDT type longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter having first to third IDT electrodes 3 to 5.
  • the first IDT electrode 3 has first and second bus bars 11 and 12 that face each other.
  • One end of a plurality of first electrode fingers 13 is connected to the first bus bar 11.
  • One end of a plurality of second electrode fingers 14 is connected to the second bus bar 12.
  • the plurality of first electrode fingers 13 and the plurality of second electrode fingers 14 are interleaved with each other.
  • a narrow pitch electrode finger is provided at the end of the second IDT electrode 4 side.
  • the first electrode fingers 13a and the second electrode fingers 14a are alternately arranged along the elastic wave propagation direction at a smaller pitch than the remaining electrode fingers.
  • thick portions 15 and 16 are provided on the first electrode finger 13 and the second electrode finger 14 in the remaining electrode finger portions excluding the narrow pitch electrode finger portions.
  • a region where the first electrode finger 13 and the second electrode finger 14 overlap when viewed in the elastic wave propagation direction is an intersecting region A.
  • the intersection region A includes a central region B located in the center in the extending direction of the first and second electrode fingers 13 and 14, and first and second edge regions C1 provided on both sides of the central region B. , C2.
  • the dimension along the extending direction of the first and second electrode fingers 13 and 14 is the length of the thick portions 15 and 16, and the dimension along the elastic wave propagation direction is the thick portion 15 and 16.
  • the width is 16.
  • the dimension along the direction in which the first and second electrode fingers 13 and 14 extend in the first edge region C1 is the length of the thick portion 16.
  • the dimension along the direction in which the first and second electrode fingers 13 and 14 extend in the second edge region C ⁇ b> 2 is the length of the thick portion 15.
  • the sound speed is lower than that of the central region B where the thick portion is not provided.
  • the second edge region C2 since the thick portion 15 is provided, the sound speed is lower than that of the central region B.
  • a high sound velocity region D1 is provided outside the first edge region C1. In the high sound velocity region D1, the sound velocity is higher than that in the edge region C1. Similarly, a high sound speed region D2 is provided on the second bus bar 12 side.
  • the second IDT electrode 4 has a plurality of first electrode fingers 23 and a plurality of second electrode fingers 24.
  • the plurality of first electrode fingers 23 are provided with wide portions 25.
  • the plurality of second electrode fingers 24 are provided with thick portions 26.
  • the first electrode finger 33 has a thick portion 35.
  • the second electrode finger 34 has a wide width portion 36.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 1 has a piston mode structure, it is possible to suppress a ripple caused by a higher-order transverse mode.
  • the first IDT electrode 3 has a narrow pitch electrode finger portion in which the electrode fingers 13a and 14a are alternately arranged.
  • the second IDT electrode 4 also has narrow pitch electrode fingers at the first IDT electrode 3 side end and the third IDT electrode 5 side end. In the portion where the first IDT electrode 3 and the second IDT electrode 4 are adjacent to each other and the portion where the second IDT electrode 4 and the third IDT electrode 5 are adjacent to each other, the IDT electrode ends. Narrow pitch electrode fingers are provided. By providing this narrow-pitch electrode finger portion, a wider band and improved insertion loss are achieved.
  • a feature of the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 1 is that a narrow-width electrode finger portion is not provided with a thick width portion. More specifically, in the first IDT electrode 3, the first and second electrode fingers 13a and 14a constituting the narrow pitch electrode finger portions are not provided with a wide width portion. Also in the second IDT electrode 4, the first and second electrode fingers 23a and 24a are not provided with a wide width portion. Also in the third IDT electrode 5, the first and second electrode fingers 33a and 34a are not provided with a wide width portion.
  • the pitch between the electrode fingers is smaller than that of the remaining electrode finger portion, that is, the main electrode finger portion.
  • the narrow pitch electrode finger portion when the thick width portion is provided, the interval between the electrode finger adjacent to the thick width portion and the adjacent electrode finger becomes narrow. Therefore, the surge resistance is reduced and the power durability is reduced.
  • the narrow-width electrode finger portion is not provided with a thick width portion. Therefore, power durability can be improved.
  • interval between the 1st electrode finger 13a and the 2nd electrode finger 14a is equivalent to the electrode finger pitch in a narrow pitch electrode finger part, and does not have a wide part. Therefore, it is made large enough. Therefore, power durability can be effectively improved.
  • the first to third IDT electrodes 3 to 5 are provided with a protective film, the quality of the protective film is hardly deteriorated. Therefore, the weather resistance is hardly deteriorated.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating filter characteristics of the example of the second embodiment and the comparative example.
  • first to ninth IDT electrodes are provided along the acoustic wave propagation direction.
  • the second embodiment is the same as the first embodiment except that nine IDT electrodes are provided instead of the three IDT electrodes.
  • the solid line shows the result of the example, and the broken line shows the result of the comparative example.
  • Table 1 shows the design parameters of the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 1 of the example.
  • the main is an electrode finger portion other than the narrow pitch electrode finger portion.
  • Narrow pitch means narrow pitch electrode fingers.
  • the crossing width of the electrode fingers in the first to ninth IDT electrodes was 40.59 ⁇ m.
  • the piezoelectric substrate is a LiNbO 3 substrate having a cut angle of ⁇ 11 °. Further, an 11 nm thick SiO 2 film is laminated on the LiNbO 3 substrate.
  • the laminated structure of the IDT electrode and the reflector is a 10 nm thick NiCr film, a 49 nm thick Pt film, a 10 nm thick Ti film, a 200 nm thick AlCu film, and a 10 nm thick Ti film in order from the bottom. Has a structure.
  • the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter of the comparative example was the same as the above example except that a narrow width portion was also provided with a wide width portion.
  • the filter characteristics of the example are equivalent to the filter characteristics of the comparative example. Therefore, in the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter, transverse mode ripple can be suppressed, good filter characteristics can be obtained, and power resistance and weather resistance are hardly deteriorated.
  • FIG. 3 is a partially cutaway plan view showing the main part of the electrode structure of the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to the third embodiment.
  • the first electrode finger 43 and the second electrode finger 44 are interleaved.
  • the illustration of the narrow pitch electrode fingers is omitted.
  • the first electrode finger 43 has a wide width portion 43a on the tip side. That is, the wide width portion 43a is provided in the second edge region C2. Further, a thick width portion 43b is also provided in the first edge region C1. Similarly, the second electrode finger 44 has a thick portion 44a provided in the first edge region C1 and a thick portion 44b provided in the second edge region C2.
  • both the first edge region C1 and the second edge region C2 have the first and first edge regions C2.
  • a thick portion is provided on the electrode fingers of 2.
  • the wide-width portion is not provided in the narrow-pitch electrode finger portion, as in the first embodiment. Therefore, similarly to the first embodiment, the transverse mode ripple can be suppressed, and the power durability and weather resistance are hardly deteriorated.
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the first to fifth IDT electrodes 52 to 56 are sequentially arranged along the acoustic wave propagation direction.
  • Reflectors 57 and 58 are provided on both sides in the elastic wave propagation direction of the region where the first to fifth IDT electrodes 52 to 56 are provided.
  • This embodiment is the same as the longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter 1 of the first embodiment except that five IDT electrodes are provided. That is, the narrow-width electrode finger portions 52a, 53a, 53b, 54a, 54b, 55a, 55b, and 56a are not provided with a wide width portion. The remaining electrode finger portions are provided with thick portions as in the first embodiment.
  • the transverse mode ripple can be effectively suppressed, and the power resistance and weather resistance are hardly deteriorated.
  • a substrate made of a piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 or LiNbO 3 can be used.
  • piezoelectric ceramics may be used.
  • a piezoelectric substrate in which a piezoelectric film is stacked on a support substrate may be used.
  • the piezoelectric film the piezoelectric single crystal or the like can be used as appropriate.
  • the first to third IDT electrodes 3 to 5 and the reflectors 6 and 7 are made of an appropriate metal or alloy. Although not particularly shown, a dielectric film such as SiO 2 or a protective film may be laminated so as to cover the first to third IDT electrodes 3 to 5.

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Abstract

耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い、縦結合共振子型弾性波フィルタを提供する。　圧電性基板２上に、第１～第３のＩＤＴ電極３～５が設けられており、第１～第３のＩＤＴ電極３～５は、複数本の第１の電極指１３，２３，３３と、複数本の第２の電極指１４，２４，３４と有し、ＩＤＴ電極３～５が、残りの電極指部に比べて、電極指間ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有しており、第１～第３のＩＤＴ電極３～５において、交差領域Ａが、中央領域Ｂと、中央領域Ｂの第１及び第２の電極指１３，１４の延びる方向外側に設けられた第１及び第２のエッジ領域Ｃ１，Ｃ２とを有し、狭ピッチ電極指部を除く、残りの電極指部において、第１の電極指１３，２３，３３及び第２の電極指１４，２４，３４が、幅の太い太幅部１５，１６，２５，２６，３５，３６を第１または第２のエッジ領域Ｃ１，Ｃ２において有する、縦結合共振子型弾性波フィルタ１。

Description

縦結合共振子型弾性波フィルタ
　本発明は、狭ピッチ電極指部を有する縦結合共振子型弾性波フィルタに関する。
　従来、ピストンモードを利用することにより、横モードによるリップルの抑圧が図られている。例えば、下記の特許文献１には、ピストンモードを利用した縦結合共振子型弾性波フィルタが開示されている。特許文献１に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタでは、ＩＤＴ電極の交差領域が、中央領域と、中央領域の電極指の延びる方向両側に設けられた第１，第２のエッジ領域とを有する。第１の電極指が、第２のエッジ領域において、残りの電極指部分に比べて太い太幅部を有している。第２の電極指が第１のＩＤＴ電極において太幅部を有している。
　ところで、狭ピッチ電極指部を有するＩＤＴ電極では、狭ピッチ電極指部において、残りの電極指部に比べ、電極指ピッチが狭くなっており、弾性波伝搬方向で弾性波伝搬速度が変化する。電極領域の長さや幅を一定とした構造では、一つの弾性波伝搬速度に対して有効であるが、弾性波の伝搬速度が異なる部分においては、有効ではないため、狭ピッチ電極指部を有するＩＤＴ電極の場合、横モードによるリップルが十分に抑圧できない。そこで、特許文献１では、エッジ領域における太幅部の幅を、狭ピッチ電極指部と残りの電極指部とで異ならせた構造が開示されている。
ＷＯ２０１５／１８２５２２Ａ１
　しかしながら、特許文献１のように、狭ピッチ電極指部において太幅部を設けた場合、太幅部と隣り合う電極指との間の間隔が狭くなる。従って、耐電力性が低下する。
　なお、太幅部ではなく、質量付加膜を設けてエッジ領域を構成することも考えられる。しかしながら、その場合には、狭ピッチ電極指部のエッジ領域において、ギャップアスペクト比が高くなる。よって、膜質が悪化し、耐候性が劣化する。
　本発明の目的は、耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い、縦結合共振子型弾性波フィルタを提供することにある。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタは、圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられた複数のＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の反射器とを備え、前記ＩＤＴ電極が、対向し合う第１及び第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指とを有し、前記複数本の第１の電極指と、前記複数本の第２の電極指とが間挿し合っており、前記ＩＤＴ電極が、残りの電極指部に比べて、電極指間ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が、弾性波伝搬方向にみたときに、重なり合っている領域を交差領域とした場合、前記交差領域が、前記第１及び前記第２の電極指の延びる方向において、中央領域と、前記中央領域の前記第１及び前記第２の電極指の延びる方向外側に設けられた第１及び第２のエッジ領域とを有し、前記残りの電極指部における、前記第１及び前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域において、前記第１及び前記第２の電極指の残りの部分に比べて幅の太い太幅部を有し、前記狭ピッチ電極指部における、前記第１及び前記第２の電極指は前記太幅部を有しない。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタのある特定の局面では、前記残りの電極指部における前記第１の電極指が、前記第２のエッジ領域において、前記太幅部を有し、前記残りの電極指部における前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域において、前記太幅部を有する。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの他の特定の局面では、前記残りの電極指部における前記第１の電極指及び前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域の双方において、前記太幅部を有する。この場合には、横モードリップルをより一層効果的に抑圧することができる。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの他の特定の局面では、前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第３のＩＤＴ電極を有する。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第５のＩＤＴ電極を有する。
　本発明に係る縦結合共振子型弾性波フィルタのさらに他の特定の局面では、前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第９のＩＤＴ電極を有する。
　本発明によれば、横モードリップルを抑圧しつつ、耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い、縦結合共振子型弾性波フィルタを提供することができる。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造の要部を示す部分切欠き平面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。 図３は、本発明の第３の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造の要部を示す部分切欠き平面図である。 図４は、本発明の第４の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。 図５は、第２の実施形態の実施例と比較例のフィルタ特性を示す図である。
　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
　図１は、本発明の第１の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造の要部を示す部分切欠き平面図であり、図２は第１の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。
　図２に示すように、縦結合共振子型弾性波フィルタ１では、圧電性基板２の上面２ａ上に、弾性波伝搬方向に沿って順に、第１～第３のＩＤＴ電極３～５が設けられている。第１～第３のＩＤＴ電極３～５が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に、反射器６，７が設けられている。縦結合共振子型弾性波フィルタ１は、第１～第３のＩＤＴ電極３～５を有する３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。
　図１に示すように、第１のＩＤＴ電極３は、対向し合う第１，第２のバスバー１１，１２を有する。第１のバスバー１１に、複数本の第１の電極指１３の一端が接続されている。第２のバスバー１２に、複数本の第２の電極指１４の一端が接続されている。複数本の第１の電極指１３と、複数本の第２の電極指１４とは、互いに間挿し合っている。
　第１のＩＤＴ電極３では、第２のＩＤＴ電極４側の端部に狭ピッチ電極指部が設けられている。狭ピッチ電極指部では、第１の電極指１３ａと、第２の電極指１４ａとが、残りの電極指部に比べて小さなピッチで弾性波伝搬方向に沿って交互に配置されている。
　第１のＩＤＴ電極３では、狭ピッチ電極指部を除いた残りの電極指部において、第１の電極指１３及び第２の電極指１４に、太幅部１５，１６が設けられている。弾性波伝搬方向にみたときに、第１の電極指１３と、第２の電極指１４とが重なり合っている領域が、交差領域Ａである。この交差領域Ａは、第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向において中央に位置している中央領域Ｂと、中央領域Ｂの両側に設けられた第１，第２のエッジ領域Ｃ１，Ｃ２とを有する。
　太幅部１５，１６において、第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向に沿う寸法を太幅部１５，１６の長さ、弾性波伝搬方向に沿う寸法を、太幅部１５，１６の幅とする。第１のエッジ領域Ｃ１の第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向に沿う寸法は、上記太幅部１６の長さである。第２のエッジ領域Ｃ２の第１，第２の電極指１３，１４の延びる方向に沿う寸法は、太幅部１５の長さである。
　第１のエッジ領域Ｃ１では、太幅部１６が設けられているため、太幅部が設けられていない中央領域Ｂに比べて音速が低い。同様に、第２のエッジ領域Ｃ２では、太幅部１５が設けられているため、音速が、中央領域Ｂよりも低い。そして、第１のエッジ領域Ｃ１の外側には、高音速領域Ｄ１が設けられている。高音速領域Ｄ１では、エッジ領域Ｃ１よりも音速が高い。第２のバスバー１２側においても、同様に、高音速領域Ｄ２が設けられている。
　第２のＩＤＴ電極４も、同様に、複数本の第１の電極指２３及び複数本の第２の電極指２４を有する。そして、複数本の第１の電極指２３には、太幅部２５が設けられている。複数本の第２の電極指２４においては、太幅部２６が設けられている。
　第３のＩＤＴ電極５においても、同様に、第１の電極指３３が、太幅部３５を有している。第２の電極指３４が太幅部３６を有している。
　従って、縦結合共振子型弾性波フィルタ１では、ピストンモード構造を有するため、高次横モードによるリップルを抑圧することができる。
　加えて、第１のＩＤＴ電極３は、電極指１３ａ，１４ａが交互に配置されている狭ピッチ電極指部を有する。第２のＩＤＴ電極４も、第１のＩＤＴ電極３側端部及び第３のＩＤＴ電極５側端部に、狭ピッチ電極指部を有している。第１のＩＤＴ電極３と、第２のＩＤＴ電極４とが隣り合っている部分、及び第２のＩＤＴ電極４と第３のＩＤＴ電極５とが隣り合っている部分において、ＩＤＴ電極端部に、狭ピッチ電極指部が設けられている。この狭ピッチ電極指部を設けることにより、広帯域化および挿入損失の改善が図られている。
　縦結合共振子型弾性波フィルタ１の特徴は、狭ピッチ電極指部に、太幅部が設けられていないことにある。より具体的には、第１のＩＤＴ電極３では、狭ピッチ電極指部を構成している第１，第２の電極指１３ａ，１４ａに太幅部が設けられていない。第２のＩＤＴ電極４においても、第１，第２の電極指２３ａ，２４ａに太幅部が設けられていない。第３のＩＤＴ電極５においても、第１，第２の電極指３３ａ，３４ａに太幅部が設けられていない。
　狭ピッチ電極指部では、電極指間ピッチが残りの電極指部すなわち、メインの電極指部に比べて、電極指間のピッチが小さい。狭ピッチ電極指部において、太幅部を設けると、太幅部と隣り合う電極指が隣り合う電極指との間の間隔が狭くなる。そのため対サージ性が低下し、耐電力性が低下する。
　これに対して、縦結合共振子型弾性波フィルタ１では、狭ピッチ電極指部に太幅部が設けられていない。従って、耐電力性を高めることができる。例えば、第１のＩＤＴ電極３において、第１の電極指１３ａと、第２の電極指１４ａとの間の間隔は、狭ピッチ電極指部における電極指ピッチに相当し、太幅部を有しないため、十分な大きさとされる。従って、耐電力性を効果的に高めることができる。
　第２のＩＤＴ電極４及び第３のＩＤＴ電極５においても同様である。従って、電極指１３ａ，１４ａ上に、第１，第２のエッジ領域Ｃ１，Ｃ２において、質量付加膜が設けられていない。
　また、第１～第３のＩＤＴ電極３～５に保護膜を設けた場合の保護膜の膜質の劣化も生じ難い。よって、耐候性も劣化し難い。
　なお、図５は、第２の実施形態の実施例と比較例のフィルタ特性を示す図である。この実施例の縦結合共振子型弾性波フィルタにおいては、弾性波伝搬方向に沿って、第１～第９のＩＤＴ電極が設けられている。このように３個のＩＤＴ電極に代えて９個のＩＤＴ電極が設けられていることを除いては、第２の実施形態は第１の実施形態と同様である。図５において、実線は実施例の結果を、破線は比較例の結果を示す。実施例の縦結合共振子型弾性波フィルタ１の設計パラメータは表１に示す通りである。表１において、メインは狭ピッチ電極指部以外の電極指部である。狭ピッチは狭ピッチ電極指部を意味する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　なお、第１～第９のＩＤＴ電極における電極指の交差幅は４０．５９μｍとした。圧電基板は、カット角が－１１°のＬｉＮｂＯ３基板である。さらに、ＬｉＮｂＯ３基板上に、１１ｎｍの厚みのＳｉＯ２膜が積層されている。ＩＤＴ電極及び反射器の積層構造は、下から順に、１０ｎｍの厚みのＮｉＣｒ膜、４９ｎｍの厚みのＰｔ膜、１０ｎｍの厚みのＴｉ膜、２００ｎｍの厚みのＡｌＣｕ膜及び１０ｎｍの厚みのＴｉ膜が積層されている構造を有する。
　また、比較例の縦結合共振子型弾性波フィルタとしては、狭ピッチ部にも太幅部を設けたことを除いては、上記実施例と同様とした。
　図５から明らかなように、実施例のフィルタ特性は、比較例のフィルタ特性と同等であることがわかる。従って、縦結合共振子型弾性波フィルタでは、横モードリップルを抑圧し、良好なフィルタ特性を得ることができ、しかも耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い。
　図３は、第３の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの電極構造の要部を示す部分切欠き平面図である。第３の実施形態の縦結合共振子型弾性波フィルタの第１のＩＤＴ電極４１では、第１の電極指４３と第２の電極指４４とが間挿し合っている。図３では、狭ピッチ電極指部の図示は省略している。
　第１の電極指４３は、先端側に太幅部４３ａを有する。すなわち、第２のエッジ領域Ｃ２において、太幅部４３ａが設けられている。さらに、第１のエッジ領域Ｃ１においても、太幅部４３ｂが設けられている。第２の電極指４４も同様に、第１のエッジ領域Ｃ１に設けられた太幅部４４ａと、第２のエッジ領域Ｃ２に設けられた太幅部４４ｂとを有する。
　第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極においても、狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部においては、第１のエッジ領域Ｃ１及び第２のエッジ領域Ｃ２の双方において、第１，第２の電極指に太幅部が設けられている。このように、第１，第２のエッジ領域Ｃ１，Ｃ２の双方に太幅部を設けることにより、横モードリップルの抑制をより効果的に図ることができる。
　第３の実施形態の縦結合共振子型弾性波フィルタにおいても、第１の実施形態と同様に、狭ピッチ電極指部では、太幅部は設けられていない。従って、第１の実施形態と同様に、横モードリップルを抑圧することができ、耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い。
　図４は、本発明の第４の実施形態に係る縦結合共振子型弾性波フィルタの模式的平面図である。第４の実施形態の縦結合共振子型弾性波フィルタ５１では、第１～第５のＩＤＴ電極５２～５６が、弾性波伝搬方向に沿って順に配置されている。第１～第５のＩＤＴ電極５２～５６が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に反射器５７，５８が設けられている。本実施形態は、５個のＩＤＴ電極が設けられていることを除いては、第１の実施形態の縦結合共振子型弾性波フィルタ１と同様である。すなわち、狭ピッチ電極指部５２ａ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ，５５ａ，５５ｂ，５６ａにおいては、太幅部は設けられていない。残りの電極指部には、第１の実施形態と同様に、太幅部が設けられている。
　よって、縦結合共振子型弾性波フィルタ５１においても、横モードリップルを効果的に抑圧することができ、耐電力性や耐候性の劣化が生じ難い。
　なお、圧電性基板２としては、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３などの圧電単結晶からなる基板を用いることができる。なお、圧電単結晶に代えて、圧電セラミックスを用いてもよい。また、支持基板上に、圧電膜が積層されている圧電性基板を用いてもよい。当該圧電膜として、上記圧電単結晶などを適宜用いることができる。
　第１～第３のＩＤＴ電極３～５及び反射器６，７は、適宜の金属もしくは合金からなる。また、特に図示はしないが、第１～第３のＩＤＴ電極３～５を覆うように、ＳｉＯ２などの誘電体膜や保護膜が積層されていてもよい。
１…縦結合共振子型弾性波フィルタ
２…圧電性基板
２ａ…上面
３～５…第１～第３のＩＤＴ電極
６，７…反射器
１１，１２…第１，第２のバスバー
１３，１３ａ，２３，２３ａ，３３，３３ａ，４３…第１の電極指
１４，１４ａ，２４，２４ａ，３４，３４ａ，４４…第２の電極指
１５，１６，２５，２６，３５，３６，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ…太幅部
４１…第１のＩＤＴ電極
５１…縦結合共振子型弾性波フィルタ
５２～５６…第１～第５のＩＤＴ電極
５２ａ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ，５５ａ，５５ｂ，５６ａ…狭ピッチ電極指部
５７，５８…反射器

Claims (6)

  1. 　圧電性基板と、
    　前記圧電性基板上に設けられた複数のＩＤＴ電極と、
    　前記ＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の反射器と、
    を備え、
    　前記ＩＤＴ電極が、
    　対向し合う第１及び第２のバスバーと、
    　前記第１のバスバーに一端が接続されている複数本の第１の電極指と、
    　前記第２のバスバーに一端が接続されている複数本の第２の電極指とを有し、
    　前記複数本の第１の電極指と、前記複数本の第２の電極指とが間挿し合っており、
    　前記ＩＤＴ電極が、残りの電極指部に比べて、電極指間ピッチが狭い狭ピッチ電極指部を有し、
    　前記第１の電極指及び前記第２の電極指が、弾性波伝搬方向にみたときに、重なり合っている領域を交差領域とした場合、前記交差領域が、前記第１及び前記第２の電極指の延びる方向において、中央領域と、前記中央領域の前記第１及び前記第２の電極指の延びる方向外側に設けられた第１及び第２のエッジ領域とを有し、
    　前記残りの電極指部における、前記第１及び前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域において、前記第１及び前記第２の電極指の残りの部分に比べて幅の太い太幅部を有し、
    　前記狭ピッチ電極指部における、前記第１及び前記第２の電極指は前記太幅部を有しない、縦結合共振子型弾性波フィルタ。
  2. 　前記残りの電極指部における前記第１の電極指が、前記第２のエッジ領域において、前記太幅部を有し、前記残りの電極指部における前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域において、前記太幅部を有する、請求項１に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタ。
  3. 　前記残りの電極指部における前記第１の電極指及び前記第２の電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域の双方において、前記太幅部を有する、請求項１又は２に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタ。
  4. 　前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第３のＩＤＴ電極を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタ。
  5. 　前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第５のＩＤＴ電極を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタ。
  6. 　前記複数のＩＤＴ電極として、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された、第１～第９のＩＤＴ電極を有する、請求項１～３のいずれか１項に記載の縦結合共振子型弾性波フィルタ。
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