WO2018180765A1 - テクスチャ構造の製造方法 - Google Patents
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Definitions
- JP 2013-179217 A Japanese Patent Laying-Open No. 2015-18906 Japanese Patent Laid-Open No. 2015-220313
- An object of the present invention is to provide a texture structure manufacturing method capable of solving the above-described problems and simply obtaining a texture structure.
- a method for producing a texture structure according to the present invention includes a light scatterer in which a layer containing nanostructures distributed randomly is grown on one main surface of a substrate, and the nanostructures are embedded therein. And a part or all of the layer including the base material and the nanostructure is removed to expose the surface of the light scatterer.
- FIG. 1 is the 1st schematic diagram for demonstrating the principle of the optical sensor of embodiment
- (b) is the 2nd schematic diagram for demonstrating the principle of the optical sensor of embodiment.
- or (d) is process drawing which shows the manufacturing method of the random texture structure by background art.
- or (f) is sectional drawing for demonstrating the manufacturing process of the semiconductor optical device of FIG. (A) thru
- or (d) is sectional drawing for demonstrating the manufacturing process of the thin film semiconductor optical sensor of FIG. It is sectional drawing of the thin film semiconductor optical sensor manufactured by applying the manufacturing method of the texture structure of 5th Embodiment of this invention.
- or (d) are sectional drawings for demonstrating the manufacturing process of the thin film semiconductor optical sensor of FIG. (A) thru
- FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a thin film semiconductor optical sensor manufactured by applying the texture structure manufacturing method of the embodiment.
- the optical image sensor 1 of this embodiment has a structure in which a first electrode 8, a substrate 2, a light reflector 6, a light absorbing medium 3, and a second electrode 7 are stacked. Incident light 9 is incident on the surface of the light absorbing medium 3 of the optical image sensor 1.
- the direction in which the first electrode 8 of the optical image sensor 1 is present will be described below, and the direction in which the second electrode 7 is present will be described.
- the description in the vertical direction in the following description does not limit the direction in which the optical image sensor 1 is arranged.
- the first electrode 8 is provided in contact with the substrate 2.
- the second electrode 7 is provided in contact with the light absorbing medium 3.
- the bias voltage applied between the first electrode 8 and the second electrode 7 is generally about several volts.
- the light absorbing medium 3 is laminated on the light reflector 6.
- a material having a refractive index that absorbs light of the center wavelength ⁇ targeted by the optical image sensor 1 is used as the light absorption medium 3.
- the thickness of the light absorption medium 3 is sufficiently thinner than the light penetration length (reciprocal of the absorption coefficient).
- the light absorbing medium 3 has a light incident surface texture structure 4 having irregularities on the surface on which the incident light 9 is incident.
- the light absorbing medium 3 also has a back surface texture structure 5 at the interface with the light reflector 6. A typical structural scale of the back surface texture structure 5 is d.
- the average pitch of the irregularities in an arbitrary sample region may be evaluated with various surface roughness measuring instruments.
- the concave depth and the convex height of the light incident surface texture structure 4 and the back surface texture structure 5 are set to about the center wavelength ⁇ .
- the multi-path light absorption enhancement by the optical trap effect and the semiconductor surface reflection prevention by the moth-eye effect are applied to the light incident surface.
- multipath light absorption enhancement by the optical trap effect and semiconductor surface reflection prevention by the moth-eye effect are achieved in a desired wavelength band. Details will be described below.
- Interface texturing is one effective coupling means that couples a transmission mode to a total reflection mode. If scattered reflection of light at the textured interface occurs isotropically on the hemisphere, the probability that the light totally reflected by the textured surface is transmitted through the air without being totally reflected by the next textured surface is 1 / N 2 As a result, light is trapped in the optically thin uniform medium having a refractive index n surrounded by the textured surface, and is emitted into the air after being subjected to interface total reflection n 2 times on average. As a result of the path length until being emitted into the air being multiplied by n 2 , the light intensity in the medium is increased by n 2 times, and the absorption efficiency of the medium is improved. Absorption enhancement occurs due to multipath light absorption.
- the medium has a high refractive index and is optically thin.
- Light scattering and reflection occur isotropically on the hemisphere at the textured interface in order to effectively combine the transmission mode and the total reflection mode.
- the texture surface has a structure in which the surface direction is random, and the light reflection on each surface of the texture structure needs to depend on each surface orientation, so the typical structure scale is incident It needs to be larger than the wavelength order of light.
- the vertical reflectance of air ⁇ medium at the interface of the medium having a refractive index n is ideal from ((n ⁇ 1) / (n + 1)) 2 Is known to have a moth-eye effect that decreases to zero.
- the effect on incident light does not depend on the individual concave or convex surface orientations due to diffraction effects, and the effective refractive index gradually changes from 1 to n. This is because it functions as a kind of refractive index matching layer.
- the probability that light is not totally reflected and transmitted to the outside of the medium is 1 / n 2 .
- the observation light from repeats total reflection of average n 2 times with textured surface is trapped inside the medium, are released into the air.
- FIG. 2B is a second schematic diagram for explaining the principle of the photosensor according to the present embodiment.
- the target central wavelength is externally applied to an absorption medium having a refractive index n and having a typical structure scale d. It is the figure which showed the effect which arises when the light of (lambda) is incident, making (lambda) the horizontal axis. It has been shown that, for an optical wavelength range where d ⁇ ⁇ nd, both reduction of incident light reflectance by the moth-eye effect and multipath light absorption by an optical trap can be achieved.
- the light trap effect and the moth-eye effect are simultaneously enjoyed by a single pitch structure using the above principle, and high photoelectric conversion is achieved by absorption enhancement based on each effect.
- a texture structure with a random surface direction is provided on the light incident surface or back surface of the light absorbing medium, and a typical structure scale d of the texture structure is ( ⁇ / n) ⁇ d ⁇ according to the center wavelength ⁇ of the target light.
- FIG. 3 (c) shows the case after isotropic etching, and shows the case of (infiltration rate into the substrate)> (side etching rate under the mask (edge)).
- an isotropic etchant for example, a solution in which a small amount of Br is dissolved in methanol
- FIG. 3D shows the case after anisotropic etching. If etching is performed using an anisotropic etchant (for example, a mixed solution of ammonia water and hydrogen peroxide solution) with the mask pattern as a rectangular (or polygonal) random opening, FIG. A random structure composed of inverted pyramid-shaped holes is formed as shown in a cross-sectional view.
- an anisotropic etchant for example, a mixed solution of ammonia water and hydrogen peroxide solution
- FIG. 4 is a cross-sectional view of a semiconductor optical device manufactured by the texture structure manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.
- 5 (a) to 5 (f) and FIGS. 6 (a) to 6 (d) are cross-sectional views for explaining a manufacturing process of the semiconductor optical device of FIG.
- the method for manufacturing the texture structure of the present embodiment and the method for manufacturing the semiconductor optical device according to the present embodiment will be described.
- description will be made assuming that GaAs is used as the semiconductor substrate 11, the first semiconductor layer 12, and the third semiconductor layer 14.
- the second semiconductor layer 13 and the semiconductor cover layer 16 will be described assuming a quantum dot layer made of InAs.
- the semiconductor active layer 15 will be described assuming a light absorption layer in the infrared region composed of a plurality of semiconductor layers including InAs quantum dots.
- the present embodiment is merely an example of the present invention, and may be changed within a range in which the effects described in the present embodiment are manifested due to factors such as device structure constituent factors.
- Other semiconductor materials may be used, and nanostructures and other structures may be used.
- the molecular beam epitaxy method is used for manufacturing the semiconductor stacked structure will be described, other methods such as an organometallic thermal decomposition method may be used.
- the etching of the GaAs layer of the semiconductor substrate 11 is thin Al x Ga 1-1. x Stop at the As layer.
- the Al x Ga 1-x As layer exposed in the opening can be selectively removed by etching using dilute hydrochloric acid, and can be easily removed without eroding the GaAs layer.
- the removal of the semiconductor substrate 11 may be performed by dry etching. Further, if the materials of the semiconductor substrate 11 and the first semiconductor layer 12 are different, it is possible to perform selective etching using the difference in etching rate between the two. In the case of wet etching, the etchant can be changed according to the material constituting each layer, and in the case of dry etching, the reaction gas can be changed as appropriate. In the case of the present embodiment, since the semiconductor substrate 11 and the first semiconductor layer 12 are both GaAs and are the same material, the etching amount is controlled by the etching rate and the etching time, and the semiconductor substrate 11 and the first semiconductor layer Etching may be performed up to the boundary of the layer 12.
- the second semiconductor layer 13 exposed in the opening structure 18 is removed by selective etching, and the etching is advanced to the surface of the third semiconductor layer 14 (FIG. 6C).
- the second semiconductor layer 13 is In x Ga 1-x As or InAs and the third semiconductor layer 14 is GaAs
- hydrochloric acid as an etchant.
- this method contrary to dry etching with chlorine gas, In x Ga 1-x As or InAs is etched, but GaAs is hardly etched.
- a hole structure 19 corresponding to the shape of the nanostructure included in the second semiconductor layer 13 as shown in FIG. 6C appears on the surface of the third semiconductor layer 14.
- the surface shape of the pore structure 19 corresponds to the two-dimensional distribution of the nanostructures of the second semiconductor layer 13, the formation positions are random, and the average formation interval of the pores is a typical structural scale d. The value is equivalent to.
- the hole structure 19 and the random texture structure 20 whose size and formation interval are controlled can be easily manufactured on the surface of the third semiconductor layer 14. Further, in the present embodiment, the hole structure 19 and the random texture structure 20 whose sizes and formation intervals are controlled can be easily manufactured on the bottom surface inside the hole structure (ballast structure) from which the semiconductor substrate 11 is partially removed. it can.
- the texture structure manufacturing method of the present embodiment it is possible to manufacture the random texture structure 20 without the need for making a mask with a random pattern. Furthermore, according to the manufacturing method of the texture structure of the present embodiment, the structure of the etching pattern for preparing the texture structure at the stage of manufacturing the wafer in advance is embedded by crystal growth, and even after the hole structure is manufactured, A texture structure can be produced only by etching.
- the pattern of the nanostructures prepared in advance can be controlled by changing the density, size, shape, and structure of the nanostructures by changing the growth conditions for crystal growth. A desired pattern can be designed.
- quantum dot materials / embedding materials include, for example, In x Ga 1-x As / GaAs, In x Al 1-x As / Al x Ga 1-x As, or GaAs, InP / InP / Ga x In 1
- -x As y P 1-y and the like there are -x As y P 1-y and the like, and this embodiment can be realized by using an etching method corresponding to each material system.
- the semiconductor optical device of FIG. 10 includes a third semiconductor layer 14, a semiconductor active layer 15, and a semiconductor cover layer 16.
- a random texture structure 20 is formed on the third semiconductor layer 14.
- the semiconductor optical device of FIG. 10 is a case where the semiconductor substrate is removed over the entire surface.
- each layer including a semiconductor active layer is grown by a crystal growth method. That is, the first semiconductor layer 12 made of GaAs is grown on one main surface of the semiconductor substrate 11 (FIG. 11A).
- the second semiconductor layer 13 is grown (FIG. 11B).
- the third semiconductor layer 14 is grown on the second semiconductor layer 13 (FIG. 11C).
- the semiconductor active layer 15 is grown on the third semiconductor layer 14, and the semiconductor cover layer 16 is grown (FIG. 11D).
- the process until the semiconductor cover layer 16 is grown, which is a wafer manufacturing process, is the same as that in the first embodiment.
- the pore structure 19 and the random texture structure 20 correspond to the distribution of the seed nanostructures.
- the quantum dots are used as the nanostructures, so the formation positions are random. is there.
- the average formation interval of the quantum dots is controlled so as to be a scale equivalent to a typical structural scale d desired to be produced in the first quantum dot production process. Therefore, the unevenness formation position of the texture structure formed on the surface is random, and the average formation interval is a scale equivalent to a typical structure scale d to be produced. As a result, a random texture structure 20 can be obtained.
- a texture structure having a random distribution with an average interval of the structure parameter d is formed on the surface. ing. Depending on the device structure and other conditions, it can be used as a random texture structure in the state before the second semiconductor layer 13 in FIG. 12B or 12C is removed.
- FIG. 13 is an atomic force micrograph of an example of manufacturing a nanostructure having a structure in which several quantum dots are assembled.
- FIG. 13 shows a state in which some of the isolated quantum dots shown in FIG. 8 are combined to form a new nanostructure.
- These three-dimensional structures are not only randomly formed in the same positions as in the first embodiment, but also the number of quantum dots connected is random, so the size (height) of the aggregate is also random. It has become.
- FIG. 14 is an electron micrograph of a manufacturing example of a nanostructure formed by combining a large number of quantum dots.
- FIG. 14 is an electron micrograph of the nanostructure formed when the supply of InAs that is 2 ML or less is further increased and about 100 ML of InAs is supplied when the nanostructure of the first embodiment is manufactured.
- On the surface a structure having a size of about several hundred nm is formed over the entire surface. The surface of these nanostructures is surrounded by a specific crystal plane, and the shape is also random.
- a case will be described in which these structures are used as nanostructures included in the second semiconductor layer.
- a semiconductor substrate 11 made of GaAs is prepared, and a first semiconductor layer 12 made of GaAs is grown on one main surface of the semiconductor substrate 11 according to the same procedure as in the first and second embodiments (FIG. 16).
- the second semiconductor layer 13 is grown as an example of a layer in which nanostructures are randomly distributed and include an uneven surface (FIG. 16B).
- FIG. 16B an example in which the three-dimensional structure shown in FIG. 14 is used as the nanostructure is shown.
- the third semiconductor layer 14 made of GaAs is grown on the second semiconductor layer 13 by several ⁇ m (here, 3 ⁇ m) (FIG. 16C). The growth of the third semiconductor layer 14 can avoid the influence of strain.
- the second semiconductor layer 13 is In x Ga 1-x As or InAs and the third semiconductor layer 14 is GaAs, it is preferable to use wet etching with hydrochloric acid as the etchant. As a result of this etching, a hole structure 19 corresponding to the nanostructure included in the second semiconductor layer 13 appears on the surface of the third semiconductor layer 14 as shown in FIG.
- the pore structure 19 and the random texture structure 20 formed on the surface correspond to the distribution of seed nanostructures, and in this embodiment, a large number of InAs quantum dots are combined as nanostructures. Since the three-dimensional structure formed in this manner is used, the formation position is random, and the average formation interval of the quantum dots becomes a scale equivalent to the typical structural scale d desired to be produced in the first quantum dot production process. Therefore, the unevenness formation position of the texture structure formed on the surface is random, and the average formation interval is a scale equivalent to a typical structure scale d to be produced. As a result, a random texture structure 20 can be obtained.
- the nanostructure of the second semiconductor layer 13 is not a quantum dot as in the first embodiment or the second embodiment, but a three-dimensional structure having a structure in which several quantum dots are assembled. Using the body.
- the formation position is not only random as in the first and second embodiments, but the number of coupled quantum dots is also random.
- the body size (height) is also random.
- the present embodiment is an example in which the above-described texture structure manufacturing method is applied to a more specific method for manufacturing a thin film semiconductor optical sensor or a random texture structure manufacturing process.
- the thin film semiconductor optical sensor in FIG. 18 is a light receiving image sensor 100.
- the light receiving image sensor 100 of FIG. 18 includes a light absorbing medium 103, a second electrode 107, a first electrode 108, a first n-doped layer 109, a passivation film 111, a metal bump 112, a readout circuit chip 113, a thermosetting resin 114, And a random texture structure 115.
- an example of a manufacturing process including integration into a readout circuit is described for an example of an infrared light receiving element using an InAs quantum dot absorption layer formed in a GaAs semiconductor layer as the light absorption medium 103 which is a semiconductor active layer.
- This manufacturing process is merely an example of the manufacturing process of the main components of the thin film semiconductor photosensor element, and the actual thin film semiconductor photosensor element is described in the present embodiment due to other device structure constituent factors. You may change in the range which expresses an effect.
- a GaAs substrate 102 is prepared and introduced into a growth apparatus.
- a molecular beam epitaxy apparatus is used as an example of a growth apparatus.
- the growth apparatus may be another apparatus, for example, an organic metal pyrolysis film forming apparatus, as long as a thin film structure can be produced.
- the natural oxide film on the substrate surface is removed by a normal substrate surface cleaning process such as raising the substrate temperature to about 600 ° C. while irradiating As.
- a nanostructure layer 105 containing In x Ga 1-x As is grown according to the same method as in the third embodiment.
- the average formation interval of the structures of the nanostructure layer 105 is set to a scale equivalent to the typical structure scale d to be manufactured.
- a GaAs layer is formed so as to embed a random pattern of the structure of the nanostructure layer 105, and a second n-doped layer 110 is grown.
- the second n-doped layer 110 is provided to ensure ohmic contact with the first electrode 108 to be formed later.
- the light absorption medium 103 including the InAs quantum dot absorption layer is grown. Specifically, after GaAs layer is grown to about several ⁇ m by irradiating Ga at 580 ° C. in an As atmosphere, In is supplied at a substrate temperature of 480 ° C. by an amount corresponding to 2 to 3 ML to form an InAs quantum dot layer. Grow.
- a light absorption medium 103 including an InAs quantum dot absorption layer is formed. This process may be repeated a plurality of times to produce a quantum dot absorption layer composed of multiple InAs quantum dots. Further, GaAs having a thickness of about several ⁇ m is continuously grown again, and then the growth of the light absorbing medium 103 is finished. Further, a first n-doped layer 109 is grown on the light absorbing medium 103 to obtain a wafer for a thin film semiconductor optical image sensor as shown in FIG. The first n-doped layer 109 is provided to ensure ohmic contact with the second electrode 107 to be formed later.
- the mesa structure 106 is formed by anisotropic etching (for example, a mixed solution of ammonia water and hydrogen peroxide solution) (FIG. 19B).
- a second electrode 107 and a first electrode 108 are deposited on the first n-doped layer 109 on each mesa structure 106 and the second n-doped layer 110 that appears by etching (FIG. 19C).
- a passivation film 111 for example, SiO 2
- metal bumps 112 are formed on the second electrode 107 and the first electrode 108 in the opening of the passivation film 111 (FIG. 20A).
- the wafer is cut into chips to form light receiving chips.
- a readout circuit chip 113 in which a signal readout circuit is integrated corresponding to the cut out light receiving chip is prepared, and the inverted light receiving chip and the readout circuit chip 113 are flip-chip bonded (FIG. 20B).
- a thermosetting resin 114 is filled in the gap between the light receiving chip and the readout circuit chip 113 (FIG. 20C).
- the GaAs substrate 102 of the light receiving chip is removed by selective wet etching (for example, a mixture of citric acid and hydrogen peroxide solution) to expose the nanostructure layer 105 (FIG. 20D). Further, by removing the nanostructure layer 105 by selective wet etching with GaAs (for example, buffered hydrofluoric acid), the GaAs layer 116 in which the random pattern of the quantum dots is buried is exposed, and the nanostructure layer 105 is formed in the vicinity of the light receiving layer.
- the light receiving image sensor 100 in which the random texture structure 115 having a structure in which the shape of the quantum dots of the structure layer 105 is transferred is completed (FIG. 18).
- the random texture structure 115 in which the size and the formation interval are controlled can be easily manufactured in the light receiving image sensor 100.
- the nanostructure layer 105 is grown by the crystal growth method, as in the first to third embodiments. Three-dimensional islands (quantum dots) of the nanostructure are formed at random positions on the growth surface using the self-forming phenomenon of the crystal growth process, and the random texture structure 115 is produced using this.
- the random texture structure 115 can be manufactured without making a mask having a random pattern.
- the light-receiving image sensor 100 including the random texture structure 115 can be manufactured by applying to the manufacturing process of the thin film semiconductor optical sensor.
- the random texture structure 115 can be manufactured very close to the light absorption medium 103 including the InAs quantum dot absorption layer. Thereby, crosstalk due to scattered light can be reduced, and the light receiving image sensor 100 including the random texture structure 115 can be manufactured.
- FIG. 21 is a cross-sectional view of a thin film semiconductor photosensor manufactured by applying the texture structure manufacturing method of the fifth embodiment of the present invention. 22 (a) to 22 (d), 23 (a) to 23 (c), 24 (a), and 24 (b) illustrate the manufacturing process of the thin film semiconductor optical sensor of FIG. FIG.
- the thin film semiconductor optical sensor in FIG. 21 is a light receiving image sensor 200.
- the light receiving image sensor 200 of FIG. 21 is similar to the fourth embodiment in the light absorbing medium 103, the second electrode 107, the first electrode 108, the first n-doped layer 109, the passivation film 111, the metal bump 112, and the readout circuit chip. 113 and thermosetting resin 114. Further, the light receiving image sensor 200 of FIG. 21 includes a random texture structure 215.
- a GaAs layer is formed so as to embed a random pattern of the structure of the nanostructure layer 205, and a second n-doped layer 110 is grown.
- the second n-doped layer 110 is provided to ensure ohmic contact with the first electrode 108 to be formed later.
- a light absorption medium 103 including an InAs quantum dot absorption layer is grown.
- a first n-doped layer 109 is grown on the light absorbing medium 103 to obtain a wafer for a thin film semiconductor optical image sensor as shown in FIG.
- the first n-doped layer 109 is provided to ensure ohmic contact with the second electrode 107 to be formed later.
- the mesa structure 106 is formed by anisotropic etching (FIG. 22B).
- a second electrode 107 and a first electrode 108 are deposited on the first n-doped layer 109 on each mesa structure 106 and the second n-doped layer 110 that appears by etching (FIG. 22C).
- the passivation film 111 is formed so that the opening is located in the electrode portion formed by the second electrode 107 and the first electrode 108 (FIG. 22D).
- metal bumps 112 are formed on the second electrode 107 and the first electrode 108 in the opening of the passivation film 111 (FIG. 23A).
- a readout circuit chip 113 in which signal readout circuits are integrated is prepared corresponding to the cut-out light reception chip, and the inverted light reception chip and readout circuit chip 113 are flip-chip bonded (FIG. 23B).
- a thermosetting resin 114 is filled in the gap between the light receiving chip and the readout circuit chip 113 (FIG. 23C).
- the GaAs substrate of the light receiving chip is removed by selective wet etching (for example, a mixture of citric acid and hydrogen peroxide solution) to expose the nanostructure layer 205 (FIG. 24A). Further, the nanostructure layer 205 is removed.
- the GaAs layer 216 in which the holes filled with the quantum dots are randomly formed at intervals of a typical structural scale d is exposed (FIG. 24B). ).
- anisotropic etching By performing anisotropic etching on this surface, etching proceeds selectively so as to enlarge the hole in which the quantum dots are buried, and a scattering surface with a typical structural scale d can be obtained (FIG. 21). .
- the light receiving image sensor 200 in which the random texture structure 215 is formed using the quantum dot layer is completed.
- the random texture structure 215 whose size and formation interval are controlled can be easily manufactured in the light receiving image sensor 200.
- the nanostructure layer 205 is grown by the crystal growth method, as in the first to fourth embodiments. Three-dimensional islands (quantum dots) of the nanostructure are formed at random positions on the growth surface using the self-forming phenomenon of the crystal growth process, and the random texture structure 215 is produced using this.
- the preferred embodiments and examples of the present invention have been described above, but the present invention is not limited thereto.
- the case where the texture is formed on the semiconductor has been described.
- Any of the density, size, shape, and structure of the nanostructure can be controlled by changing the crystal growth conditions of the nanostructure.
- the nanostructure can be composed of quantum dots, quantum dashes, or a mixture of any of these structures, or a bonded structure.
- the optical device described above may include a light emitting element or a light receiving element.
- the optical device described above may be a quantum dot infrared sensor.
- the said light-scattering body is a conductor, a semiconductor, or an insulator, The manufacturing method of the texture structure as described in any one of additional marks 1 thru
- Appendix 7) A method of manufacturing a semiconductor optical sensor using the texture structure manufacturing method according to any one of appendices 1 to 6, wherein a semiconductor active layer is formed on one main surface of a semiconductor substrate, and the semiconductor A layer containing randomly distributed nanostructures is grown on the active layer to form a light scatterer in which the nanostructures are embedded, and a part or all of the base material and the layers containing the nanostructures are formed.
- the manufacturing method of the semiconductor optical sensor of Additional remark 7 which forms a ballast structure by removing a part of said semiconductor substrate, and forms the texture structure by the said light-scattering body in the bottom part of the said ballast structure.
- Appendix 9 The semiconductor light according to appendix 7 or 8, wherein a mesa structure of a light absorbing medium is formed on one main surface of the light scatterer after forming the light scatterer in which the nanostructure is embedded.
- Sensor manufacturing method. (Additional remark 10)
- the said semiconductor optical sensor is a manufacturing method of the semiconductor optical sensor as described in any one of additional marks 7 thru
- the said semiconductor optical sensor is a quantum dot infrared sensor, The manufacturing method of the semiconductor optical sensor as described in any one of Additional remark 8 thru
- the mesa structure of a light absorbing medium is formed on one main surface of the light scatterer after embedding the uneven surface to form the light scatterer, according to any one of supplementary notes 8 to 11. Manufacturing method for semiconductor optical sensors.
Landscapes
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Abstract
簡素にテクスチャ構造を得ることが可能なテクスチャ構造の製造方法を提供する。テクスチャ構造の製造方法は、基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、上記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、上記基材及び上記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して上記光散乱体の表面を露出させる。
Description
本発明は、テクスチャ構造の製造方法に関する。
光電変換素子や光センサ等の光デバイスにおいて、受光面に光の反射を軽減するための凹凸構造を形成することがある。
特許文献1に記載の太陽電池は、テクスチャ構造を持つ透明導電層の上に、導電性物質によりモスアイ構造を形成する。
特許文献2に記載の撮像素子は、受光した光を電荷に変換する光電変換部と、光電変換部を含む半導体基板とを備え、半導体基板の光が入射する面と光電変換部との間に、半導体基板の屈折率とは異なる屈折率を有する領域が多数形成されている。この領域は、半導体基板に光が入射する面に近い深さでは面積が大きく、面から遠い深さでは面積が小さくなる形状で形成されている。
特許文献3に記載の固体撮像装置では、レジストパターンに従ってドライエッチングすることにより半導体基板を掘り込んで、断面形状がV字型の凹部を形成している。
例えばランダムな光散乱面を持つ化合物半導体を用いた光イメージセンサを作製する場合、散乱された光によるクロストークを低減させる目的で、散乱面は受光層の極めて近傍にあることが望ましい。
また、化合物半導体を用いた光イメージセンサにおいては、受光部を有するチップと、Si-CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)による読み出し回路チップとをフリップチップ接合により貼り合わせた構造をとることが多い。その際、散乱面は受光部の裏面に形成される。そのため、フリップチップ接合前に散乱面を形成してしまうと、受光部を有するチップが非常に薄く、かつ微細な構造を有することから、フリップチップ接合が困難になる。
また、フリップチップ接合後に裏面から受光層近傍まで薄片化し、そこから散乱面形成のためのランダムパターンをフォトリソグラフィなどで形成するとなると、生産性と信頼性を両立させるのは困難である。
本発明の目的は、上述の課題を解決し、簡素にテクスチャ構造を得ることが可能な、テクスチャ構造の製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係るテクスチャ構造の製造方法は、基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、上記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、上記基材及び上記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して上記光散乱体の表面を露出させる。
本発明によれば、テクスチャ構造を有する光デバイスのより簡易な製造方法を提供することができる。
本発明の好ましい実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
本発明の具体的な実施形態について説明する前に、本発明の概要について説明する。図1は、実施形態のテクスチャ構造の製造方法を適用して製造される、薄膜半導体光センサの一例を模式的に示す断面図である。本実施形態の光イメージセンサ1は、第1の電極8と、基板2と、光反射体6と、光吸収媒質3と、第2の電極7と、が積層する構造を有する。光イメージセンサ1の光吸収媒質3の表面に、入射光9が入射する。なお以降の説明では、光イメージセンサ1の第1の電極8がある方向を下、第2の電極7がある方向を上として説明する。以下の説明における上下方向の記載は、光イメージセンサ1を配置する向きを限定するものではない。
第1の電極8は、基板2と接して設けられる。第2の電極7は、光吸収媒質3と接して設けられる。第1の電極8及び第2の電極7に適切なバイアス電圧を印加することによって、光吸収によって生成されたフォトキャリアを引き抜くことが出来る。またデバイス構造にもよるが、第1の電極8と第2の電極7の間に印加するバイアス電圧は、一般的には数V程度である。
基板2は、GaAs等を用いることができる。GaAsにSiを1~3×1018cm-3程度ドーピングしたn型半導体基板を用いることができる。
光反射体6は、基板2の上に積層される。光反射体6は、基板2の第1の電極8と接続する面とは反対側の面と接する。光反射体6は、金属等で形成することができる。光反射体6は、光吸収媒質3を透過した光を光吸収媒質3側に反射する。光反射体6は、裏面テクスチャ構造5で全反射されなかった光を基板2側に逃がさないように反射し、再度光吸収媒質3に戻す働きをする。
光吸収媒質3は、光反射体6の上に積層される。光吸収媒質3は、光イメージセンサ1が検出対象とする中心波長λの光を吸収する屈折率を有するものを用いる。光吸収媒質3の厚みは、光浸透長(吸収係数の逆数)よりも十分に薄い。光吸収媒質3は、入射光9が入射する表面に、凹凸を有する光入射面テクスチャ構造4を有する。光吸収媒質3は、光反射体6との界面にも裏面テクスチャ構造5を有する。裏面テクスチャ構造5の典型的構造スケールは、dである。光入射面テクスチャ構造4、裏面テクスチャ構造5を形成すると、光吸収媒質3の界面での光の全反射により光吸収媒質3の内部を光が多重往復する。一方光吸収媒質3で全反射されず光吸収媒質3を透過して基板2側に逃げてしまう光もある。光吸収媒質3を透過した光は、光反射体6で反射され再度光吸収媒質3へ入射する。典型的構造スケールは、凹凸の平均的ピッチ(周期)を意味する。なお、本明細書におけるテクスチャ構造とは、物質の露出面に凹凸を有する構造と、該物質の他の物質のとの積層界面に凹凸を有する構造との両方を意味する。
光入射面テクスチャ構造4及び裏面テクスチャ構造5を構成する凹や凸の個々の面における光透過及び光反射は局所的にはその面方向に依存しスネルの法則に従う。しかしその凹や凸の個々の面の方位は不規則であるため、光入射面テクスチャ構造4及び裏面テクスチャ構造5は、全体でみれば光の反射が半球面上に等方的に起こる光散乱面として機能する。光入射面テクスチャ構造4及び裏面テクスチャ構造5の典型的構造スケールdは、個々の面における光反射が面方位に依存する必要から、中心波長λと光吸収媒質3の屈折率nを参照して、d>(λ/n)が要請される。d>(λ/n)を満足しているかどうかを検証するには、各種表面粗さ測定器で任意のサンプル領域の凹凸の平均的ピッチを評価すればよい。なお光入射面テクスチャ構造4及び裏面テクスチャ構造5の凹の深さや凸の高さは、中心波長λ程度とした。
本実施形態の光イメージセンサの一例としての薄膜半導体光センサでは、光トラップ効果によるマルチパス光吸収増強と、モスアイ効果による半導体表面反射防止とを、単一のテクスチャ構造を光入射面に施すことによって所望の波長帯域において両立させる。本実施形態の光イメージセンサの一例としての薄膜半導体光センサでは、信頼性や生産性の問題を起こさずに、光トラップ効果によるマルチパス光吸収増強と、モスアイ効果による半導体表面反射防止とを、所望の波長帯域において両立させる。以下、詳細に説明する。
最初に、光トラップ効果によるマルチパス光吸収増強について説明する。外部環境である空気よりも高屈折率である光学的に薄い媒質内部において、全反射を有効に利用して効率よく光をトラップできることが古くから知られている。フレネルの式で示されるように、媒質内部の全反射は大きな入射角度(界面に対して浅い角度)の光に対してのみ起こりうる。これ以外の光は、内部界面で屈折して空気中に透過放射される。空気中から媒質中に入射する光モードとこの逆過程である媒質中から空気中に放射される光モードは、1対1に対応する。これを透過モードと呼ぶことにすると、平坦な界面では透過モードは媒質の内部界面において全反射が起きる全反射モードとは全く結合しない。このため、平坦な界面を持つ薄膜吸収媒質に空気中から光を入射すると、高々往復のダブルパス光吸収しか起こらない。
マルチパス光吸収を実現するためには、透過モードを全反射モードに結合する手段が必要である。界面のテクスチャ化は、透過モードを全反射モードに結合する、有効な結合手段のひとつである。テクスチャ化された界面における光の散乱反射が半球面上に等方的に起こるならば、テクスチャ面で全反射された光が次のテクスチャ面で全反射されずに空気中に透過する確率は1/n2に減少する。その結果、テクスチャ面で囲まれた光学的に十分薄い屈折率nの一様媒質中で光は媒質中にトラップされ平均n2回の界面全反射を経てから空気中に放出される。空気中に放出されるまでのパス長がn2倍される結果、媒質中の光強度はn2倍増強され、媒質の吸収効率は向上する。吸収増強は、マルチパス光吸収によって生じる。
光トラップによる吸収増強のためには、以下の2つの条件が必要である。
(1)媒質が高屈折率かつ光学的に薄いこと
(2)透過モードと全反射モードを有効に結合させるためにテクスチャ化された界面で光の散乱反射が半球面上に等方的に起こること
条件(2)を満たすためにテクスチャ面は面方向がランダムとなる構造を持ち、かつテクスチャ構造の個々の面における光反射が個々の面方位に依存する必要から、その典型的構造スケールは入射光の波長オーダーよりも大きいことが必要である。
(1)媒質が高屈折率かつ光学的に薄いこと
(2)透過モードと全反射モードを有効に結合させるためにテクスチャ化された界面で光の散乱反射が半球面上に等方的に起こること
条件(2)を満たすためにテクスチャ面は面方向がランダムとなる構造を持ち、かつテクスチャ構造の個々の面における光反射が個々の面方位に依存する必要から、その典型的構造スケールは入射光の波長オーダーよりも大きいことが必要である。
次にモスアイ効果による表面反射防止について説明する。入射光の波長オーダーよりも小さなスケールで変化する構造をもつテクスチャ面では、屈折率nを持つ媒質界面における空気→媒質の垂直反射率が((n-1)/(n+1))2から理想的には0に減少するモスアイ効果が知られている。これは波長オーダーより小さい典型的構造スケールを持つテクスチャ構造では、回折効果により入射光に対する作用は個々の凹や凸の面方位に依存せず、実効的屈折率が1からnに徐々に変化する一種の屈折率マッチング層として機能するためである。モスアイ効果は媒質の光学的厚みに関係なく界面屈折率の急激な変化を緩衝する屈折率マッチング層として機能するが、透過モードと全反射モードの結合には一切寄与しない。反射率が低減すれば吸収層に到達する光量が増加するので、吸収増強が起こる。
以上により、光吸収増強の観点ではテクスチャ構造の典型的構造スケールが光波長より大きくかつ光学的に薄い媒質では光トラップ効果によるマルチパス光吸収増強が重要であり、小さい場合には媒質の光学的厚みに関係なくモスアイ効果による入射面反射防止が重要である。別の言い方をすれば、単一のピッチで配列する凹凸を有するテクスチャ面では、その構造スケールよりも短波長の光については光トラップ効果が重要であり、長波長域の光についてはモスアイ効果が重要である。これらの状況は明らかに排他的であるから、単一のピッチで凹凸を有するテクスチャ構造では吸収増強の目的で光トラップとモスアイ効果を同時に享受することはできないと、考えられてきた。
例えばシリコン太陽電池の場合、エネルギー獲得が目的であるため、近赤外から紫外域に渡る広い波長領域の光について光電変換効率を高めたい、という要望がある。光学的に薄くなるバンドギャップ(~1μm)より長波長域の光吸収を表面テクスチャ化によって増強するためには、光トラップ効果が有効となる1μmより大きい構造スケールのランダムなテクスチャ面が必要である。波長300nm以下の光学的に厚い紫外域の光吸収を表面反射防止によって増強するためには、モスアイ効果が有効となる300nmより小さいスケールの凹凸構造が必要である。従って、単一のピッチで凹凸を有するテクスチャ構造によって、広い波長領域に渡るシリコン太陽電池の入射光の吸収を増強することは難しかった。
テクスチャ構造を積層させた2重の階層的テクスチャ構造を表面に形成することによって、光トラップ効果とモスアイ効果とを同時に実現し、吸収増強によって近赤外から紫外域に渡る広い波長領域の光について高い光電変換効率を持つシリコン太陽電池を実現することが、考えられる。しかしながら2重の階層的テクスチャ構造では、生産性や信頼性の点で優位性が低い。
一方、情報獲得が目的である光センサの場合、太陽電池とは事情が異なり特定の狭い波長帯域の光の検出に使われることも多い。この場合、光トラップとモスアイ効果を同時に享受し、吸収増強によって目的の波長帯域の光について高い光電変換効率を持つ薄膜半導体光センサを実現することが可能である。以下、図面を参照しながら説明する。
図2(a)は、本実施形態の光センサの原理を説明するための第一の模式図である。面方位がランダムであるテクスチャ構造が光入射表面及び裏面にある場合について考える。図2(a)は、光トラップ効果、モスアイ効果と入射光波長の関係を説明している。横軸dはテクスチャ構造の典型的構造スケールを表している。光センサの検出目的中心波長をλとすれば、高屈折率(n>1)の媒質内部のその実効的光波長はλ/n(d<λ)となる。表面及び裏面のテクスチャ構造の典型的構造スケールがd>λ/nであるとすると、媒質内部の界面反射時に光の散乱反射が起こるため、薄膜半導体光センサで用いられる光学的に薄い吸収媒質中では光トラップが起こる。
一方、d<λであるとすると媒質外部からの入射光に対してはモスアイ効果が生じる。光学的に薄く、テクスチャ構造の構造スケールdがλ/n<d<λである媒質の場合、垂直方向近傍から目的中心波長λの光が入射すると、モスアイ効果により反射が低減された入射光はスネルの法則に従って媒質のほぼ垂直方向に伝搬する。伝搬光は、裏面のテクスチャ構造で半球面上に等方的に散乱反射され、再度伝搬後表面のテクスチャ構造で再度半球面上に等方的に散乱反射される。一回の散乱反射の折に、光が全反射されずに媒質外部に透過する確率は1/n2である。これにより、観測光は媒質内部にトラップされテクスチャ面で平均n2回の全反射を繰り返してから、空気中に放出される。
図2(b)は、本実施形態の光センサの原理を説明するための第二の模式図であり、典型的構造スケールdの凹凸を施した屈折率nの吸収媒質に外部から目的中心波長λの光を入射したときに起こる効果を、λを横軸にとって示した図である。d<λ<ndとなる光波長域に対しては、モスアイ効果による入射光反射率低減と光トラップによるマルチパス光吸収が両立しうることが示されている。半導体材料についてはその原子充填密度からn~3.5程度の値となり、従って2つの効果が両立しうる波長帯域幅はΔλ=(n-1)d~2.5d程度となる。帯域の中心(n+1)d/2を観測目的中心光波長λとマッチさせる(λ=(n+1)d/2)ならば、ΔλはΔλ=2λ(n-1)/(n+1)となる。この値は、n=3.5を仮定すると、Δλ~1.11λと検出目的光の中心波長オーダーの値となる。従ってこの原理をλ>1μmの赤外領域の検出に使うと、ほぼ実用的に十分な帯域の検出対象光に対して光トラップ効果とモスアイ効果を同時に享受し、それぞれによる吸収増強によって高い光電変換効率を持つ薄膜半導体光センサを実現することが可能となる。
本実施形態の光センサでは、以上の原理を利用して単一のピッチの構造によって光トラップ効果とモスアイ効果を目的波長帯域の光が同時に享受し、それぞれの効果に基づく吸収増強によって高い光電変換効率を持つ薄膜半導体光センサを実現する。そのために、面方向がランダムなテクスチャ構造を光吸収媒質の光入射面や裏面に設け、テクスチャ構造の典型的構造スケールdを目的光の中心波長λに応じて(λ/n)<d<λとなるようにする。さらには媒質外部から見た構造スケールdと媒質内部から見た典型的構造スケールndの中点(n+1)d/2を目的検出光の中心波長λと一致させる、つまりλ=(n+1)d/2とする。λ=1μm、n=3.5とすると、(λ/n)<d<λは0.28μm<d<1μmである。λとdがλ=(n+1)d/2を満たすとするとd=0.44μmとなる。
これまで、凹凸のピッチ及び凹凸の個々の面方向の少なくとも一方が不規則であるランダムテクスチャ構造の作成には、フォトリソグラフィの手法が用いられてきた。つまり、光センサの光吸収層上に半導体層を成長し、この半導体層の平坦な表面上にランダムパターンを有するマスクを形成し、ケミカルエッチング法により作製するのが一般的な方法であった。
具体的に行うエッチング方法を図3(a)~図3(d)に示す。ランダムパターンのマスクとして、例えば、図3(a)の平面図に示すようなランダムな円形開口パターンを用意する。図3(a)のグレー部分は、ランダムな開口を示す。光吸収媒質等が形成された半導体層の表面に、ランダムパターンのマスクを形成する。ランダムな円形開口パターンのうち、代表的な大小2つの開口についての断面図を図3(b)に示す。このようにマスクが形成された光吸収媒質を、エッチャントに適当な時間浸す。適当な時間とは、パターン同士が一体化しない範囲で、作製したいランダムパターンの大きさ、間隔等により決定される時間である。このようにすると、小さな開口部は小さな穴にエッチングされ、大きな開口部はより大きな穴にエッチングされ、その結果、図3(c)に断面図を示す様な形状のランダム構造が形成される。
図3(c)は等方性エッチング後の場合を示し、(基板内部への浸潤速度)>(マスク下(端部)のサイドエッチングの速度)の場合を示している。この例では、等方性エッチャント(例えば少量のBrをメタノールに溶解させた溶液)を使用する。図3(d)は異方性エッチング後の場合を示す。マスクパターンを四角形(多角形でも可)のランダムな開口として、異方性エッチャント(例えば、アンモニア水と過酸化水素水との混合溶液)を使用してエッチングを行えば、図3(d)に断面図を示す様な、逆ピラミッド状の穴で構成されるランダム構造が形成される。
しかしながら、本手法によりテクスチャ構造を作製する場合、ランダムパターンのマスクを作製する必要がある。このランダムパターンは、開口の大きさ分布や空間分布を所定の波長に対してランダムにする必要があり、そのマスク設計が煩雑である。また、フォトリソグラフィの手法を使用しているので、レジスト膜もしくは誘電体膜等にランダムパターンを形成し、それらをマスクにしてエッチングを行った後に上記レジスト膜もしくは誘電体膜を除去する工程を行う必要がある。このため、レジスト膜もしくは誘電体膜を除去する工程に伴うウエハの汚染の可能性もある。
また、ランダムテクスチャ構造は通常、光吸収層や光発光層等の基板側もしくは反対側のウエハ表面側の双方に形成することによりその効果をより多く発現する。
フォトリソグラフィ法によりランダムテクスチャ構造を作製する場合、ウエハ表面側(基板と反対側)には容易にランダムテクスチャ構造を作製できるが、反対側である基板側に作製しようとすると、相応の厚さの半導体基板を全面にわたり、もしくは、部分的に除去する必要がある。全面にわたって除去する場合には、ウエハが薄膜化してハンドリングが困難であったり、また、部分的に除去する場合には、発光・受光を行う領域のみの半導体基板を除去した穴構造(バラス構造)を作製し、その穴の底部にランダムテクスチャ構造を作製する必要がある。このため、レジスト膜が均一に塗布できない、密着露光が使用できない、等の問題が生じ、通常のフォトリソグラフィ法ではプロセスが非常に難しくなるという課題がある。
〔第1実施形態〕
本発明の第1実施形態によるテクスチャ構造の製造方法と、この製造方法によって製造されるデバイスの一例として光イメージセンサ及びその動作原理を説明する。より具体的には、光イメージセンサの一例として、薄膜半導体光センサについて説明する。図4は、本発明の第1実施形態のテクスチャ構造の製造方法によって製造される半導体光デバイスの断面図である。図5(a)~図5(f)、図6(a)~図6(d)は、図4の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。
本発明の第1実施形態によるテクスチャ構造の製造方法と、この製造方法によって製造されるデバイスの一例として光イメージセンサ及びその動作原理を説明する。より具体的には、光イメージセンサの一例として、薄膜半導体光センサについて説明する。図4は、本発明の第1実施形態のテクスチャ構造の製造方法によって製造される半導体光デバイスの断面図である。図5(a)~図5(f)、図6(a)~図6(d)は、図4の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。
(構成の説明)
図4の半導体光デバイスは、半導体基板11、第1の半導体層12、第2の半導体層13、第3の半導体層14、半導体活性層15、及び半導体カバー層16を含む。図4の半導体光デバイスは特に、バラス構造内にランダムテクスチャ構造20を有する半導体光デバイスである。
図4の半導体光デバイスは、半導体基板11、第1の半導体層12、第2の半導体層13、第3の半導体層14、半導体活性層15、及び半導体カバー層16を含む。図4の半導体光デバイスは特に、バラス構造内にランダムテクスチャ構造20を有する半導体光デバイスである。
(製造方法の説明)
図4~図6を参照して、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法、本実施形態による半導体光デバイスの製造方法を説明する。本実施形態では、半導体基板11、第1の半導体層12、第3の半導体層14としてGaAsを想定して、説明する。また本実施形態では、第2の半導体層13、及び半導体カバー層16としてInAsから成る量子ドット層を想定して、説明する。また本実施形態では、半導体活性層15としてはInAs量子ドットを含む複数の半導体層から成る赤外領域の光吸収層を想定して、説明する。
図4~図6を参照して、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法、本実施形態による半導体光デバイスの製造方法を説明する。本実施形態では、半導体基板11、第1の半導体層12、第3の半導体層14としてGaAsを想定して、説明する。また本実施形態では、第2の半導体層13、及び半導体カバー層16としてInAsから成る量子ドット層を想定して、説明する。また本実施形態では、半導体活性層15としてはInAs量子ドットを含む複数の半導体層から成る赤外領域の光吸収層を想定して、説明する。
なお本実施形態は本発明の一例に過ぎず、デバイス構造構成要因等により本実施形態に記載の効果を発現する範囲で変更しても構わない。半導体材料は他のものでも構わないし、ナノ構造体も他の構造体でも構わない。また、半導体積層構造の作製には分子線エピタキシ法を用いた場合について説明するが、有機金属熱分解法等の他の手法を用いても構わない。
まず、GaAsから成る半導体基板11を用意し、成長装置へと導入する。本工程では、成長装置の一例として分子線エピタキシ装置を使用した。Asを照射しながら基板温度を600℃程度まで昇温させる等の通常の基板表面の清浄化処理により、基板表面の自然酸化膜を除去した後、半導体基板11の一主表面にGaAsから成る第1の半導体層12を成長する(図5(a))。この第1の半導体層12は緩衝層(バッファ層)である。半導体基板11の表面がその後の成長を行うのに十分な結晶性や清浄度を有しているのであれば、第1の半導体層12はなくても構わない。以下の製造方法では特に言及しない限り、半導体光イメージセンサ用のウエハの状態における製造工程を説明しているものとする。
次に、ナノ構造体がランダムに分布する凹凸表面を有する層の一例として、第2の半導体層13を成長させる(図5(b))。本実施形態では、ナノ構造体としてInAsから成る量子ドットを用いる例を示す。具体的には、As雰囲気下においてInを1.8分子層(ML:Molecular Layer)相当分基板温度480℃にて供給して、InAs量子ドットから成る第2の半導体層13を成長させる。成長したInAsは、GaAsとInAsとの間に約7.2%の格子定数差が存在しているために、三次元島状に成長する。この三次元島状の成長を、Stranski Krastanov(SK)モード成長と言う。これらのInAsから成る三次元島(量子ドット)は成長表面上のランダムな位置に形成され、また、極薄い(1~2分子層程度)InxGa1-xAsまたはInAsの二次元層を伴う性質がある。また、InAs量子ドットの形成面密度は、成長パラメータを変化させることにより制御が可能である。例えばInAs量子ドットの成長速度を遅くすれば密度は減少し、速度を増加させれば密度は上昇する。つまり、半導体活性層の動作波長に応じて、量子ドット間の平均距離を制御することが可能である。
図7は、量子ドット成長速度と量子ドット面密度との関係を示すグラフである。図7は、InAs量子ドットの成長速度と面密度との関係の一例を示す。InAsの供給速度を0.01ML/s~0.2ML/sと変化させることにより、InAs量子ドットの形成密度は、1×108cm-2~2×1010cm-2と制御することができる。図8に、成長速度を制御してInAs量子ドットの形成密度を1×109cm-2とした場合のInAs量子ドットの原子間力顕微鏡写真を示す。この場合、量子ドットの平均間隔は、形成密度から計算すると約0.33μmとなる。つまり、半導体の屈折率を3.0とすると約1μmの波長の赤外線デバイスの動作波長に相当することになり、量子ドットの平均形成間隔は、目的とするテクスチャ構造の典型的構造スケールdと同等のスケールとすることができる。量子ドットの平均形成間隔は、光デバイスの動作波長に応じて制御が可能である。また、こうして形成された量子ドットは、ウエハ表面上でランダムに分布する特性があるので、特別な工程を行うことなく容易にランダムに分布した量子ドットを得ることが可能である。
その後、第2の半導体層13上に、第3の半導体層14として厚さ数μm程度のGaAsを成長させる(図5(c))。第3の半導体層14は、第2の半導体層13のランダムな凹凸表面を埋め込むように形成される。その後、第3の半導体層14上に、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質から成る半導体活性層15を成長させる(図5(d))。具体的には、As雰囲気下において基板温度580℃にてGaを照射することによりGaAs層を数μm程度成長した後、2~3ML相当分のInを、0.2ML/sの供給速度で基板温度480℃にて供給してInAs量子ドット層を成長させる。第2の半導体層13の場合とは異なり、Inの供給量が多いため、InAsの量子ドットは5×1010cm-2程度の高密度で形成できる。これらの量子ドットが光吸収媒体として機能する。これらの三次元島構造を厚さ50nm程度のGaAsで埋め込み成長することにより、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質から成る半導体層を形成する。この工程を複数回繰り返し、多層のInAs量子ドットを含む半導体活性層15を作製してもよい。そしてさらに連続して厚さ数μm程度のGaAsから成る半導体カバー層16を成長し、図5(e)に示す様な半導体光イメージセンサ用のウエハを得る。
次に、このウエハを用いてランダムテクスチャ構造を第3の半導体層14に形成する工程について述べる。まず、ウエハの上下を入れ替えて、半導体基板11が上面になるようにする。図4の半導体光デバイスでは、この上面から信号光が入射する。本実施形態では、発光・受光を行う領域の半導体基板側の半導体基板を除去した穴構造(バラス構造)を作製し、その穴の底部にテクスチャ構造を作製する。これは、半導体基板による信号光の減衰を防ぐためと、テクスチャ構造と光活性層との相互作用を強めるためである。
以下、半導体基板11を部分的に除去する方法について、説明する。まず、通常のフォトリソグラフィ法により、半導体基板11の下面にフォトレジストを塗布し、密着露光により、デバイスサイズに応じた所定の大きさの開口レジストパターン17を形成する(図5(f))。
この開口レジストパターン17を用いて、半導体基板11を部分的に除去する。具体的には、GaAsの半導体基板11の裏面にフォトリソグラフィの手法を利用して、受光面よりやや大きい開口を作製し、ケミカルエッチングにより、開口領域のGaAsを除去し、開口構造18を作製する(図6(a))。本実施形態では、半導体基板11がGaAsであるので、アンモニアと過酸化水素水との混合溶液を使用することが好ましい。実際の工程では、半導体基板11と第1の半導体層12との間に10nm程度の薄いAlxGa1-xAs層を挿入しても良い。アンモニアと過酸化水素水との混合溶液は、GaAsをエッチングするが、AlxGa1-xAsはほとんどエッチングしないという特性があるので、半導体基板11のGaAs層のエッチングは薄いAlxGa1-xAs層で停止する。開口部に露出したAlxGa1-xAs層は希塩酸を用いたエッチングにより選択的に除去可能であり、GaAs層を浸食することなく容易に除去できる。その結果、図6(a)に示す様な開口構造18が作製できる。
半導体基板11の除去は、ドライエッチングによって行ってもよい。また、半導体基板11と第1の半導体層12の材料が異なっていれば、両者のエッチング速度の差を利用して選択エッチングを行うことも可能である。各層を構成している材料に応じてウエットエッチングの場合はエッチャントを変更したり、ドライエッチングの場合は反応ガスを変更したりして適宜行うことができる。本実施形態の場合、半導体基板11と第1の半導体層12は共にGaAsであり、同一の物質であるので、エッチングレート及びエッチング時間により、エッチング量を制御し、半導体基板11と第1の半導体層12の境界までエッチングを行ってもよい。
半導体基板11の部分的除去の終了後、選択エッチングにより、第1の半導体層12を除去し、第2の半導体層13の界面までエッチングを進めて、開口構造18内に第2の半導体層13を露出させる。本実施形態の場合、第1の半導体層12はGaAsであり、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsなので、第1の半導体層12については塩素ガスによるドライエッチングを用いることが好ましい。塩素ガスによるドライエッチングは、GaAsをエッチングすることは可能であるが、Inを含んだ材料の場合、そのエッチング速度は急激に減少しほとんどエッチングされない。よって塩素ガスによるドライエッチングでは、Inを含んだ第2の半導体層13との界面でエッチングが停止する(図6(b))。エッチングの手法は、第1の半導体層と第2の半導体層の間にエッチングの選択性があれば、本手法に限る必要はない。
続いて、開口構造18内に露出した、第2の半導体層13を選択エッチングにより除去し、第3の半導体層14の表面まで、エッチングを進める(図6(c))。この場合、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsであり、第3の半導体層14はGaAsであるので、エッチャントとして塩酸を用いることが好ましい。この手法の場合、塩素ガスによるドライエッチングとは逆で、InxGa1-xAsまたはInAsはエッチングされるが、GaAsはほとんどエッチングされない。このプロセスの結果、第3の半導体層14の表面には、図6(c)に示す様な第2の半導体層13に含まれるナノ構造体の形に対応した孔構造19が現れる。この孔構造19の表面形状は、第2の半導体層13のナノ構造体の二次元分布に対応したものとなっており、形成位置はランダムであり、孔の平均形成間隔は典型的構造スケールdと同等の値となっている。
孔構造19の孔の深さが、ランダムテクスチャ構造の特性を発現するのに十分である場合には、孔構造19をテクスチャ構造として用いてもよい。孔構造19の孔の深さがテクスチャ構造として用いるのに不十分な場合は、これらの孔を種として更にエッチングを進めて深い孔とし、ランダムテクスチャ構造20を形成してもよい(図6(d))。孔の形成間隔を維持できれば、エッチャントして特に制限は無いが、表面に存在している欠陥等を選択的にエッチングするエッチャントであれば、より好ましい。例えば、塩酸、酢酸及び過酸化水素水の混合溶液を、エッチャントとして用いることができる。塩酸、酢酸及び過酸化水素水の混合溶液は、混合比率を例えば塩酸:酢酸:過酸化水素水=1:2:1とする。このような混合溶液でエッチングを行うことにより、孔(欠陥)部分がより深くエッチングされ、深さ方向にも大きな分布を有するランダムテクスチャ構造20が作製可能である。ランダムテクスチャ構造20の作成後に開口レジストパターン17を除去して、図4に示されるバラス構造内にランダムテクスチャ構造を有する半導体光デバイスが完成する。
図9に、GaAs上に作製するランダムテクスチャ構造の一例の表面写真を示す。表面に欠陥(孔)が存在している箇所が選択的にエッチングされ、ランダムな凹凸を有する構造(ランダムテクスチャ構造)が形成されている。
(効果の説明)
本実施形態によれば、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御された孔構造19やランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。また本実施形態では、半導体基板11を部分的に除去した穴構造(バラス構造)の内部の底面に、大きさと形成間隔が制御された孔構造19やランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。
本実施形態によれば、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御された孔構造19やランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。また本実施形態では、半導体基板11を部分的に除去した穴構造(バラス構造)の内部の底面に、大きさと形成間隔が制御された孔構造19やランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。
バラス構造は基板を穴状に掘るため表面の凹凸が大きく、通常のフォトリソグラフィ法ではテクスチャ構造を作製するのが非常に困難である。これに対し、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法では、第2の半導体層13を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用して孔構造19やランダムテクスチャ構造20を作製している。
これにより、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法によれば、ランダムパターンのマスク作製を不要としながら、ランダムテクスチャ構造20を製造することができる。さらに、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法によれば、予めウエハを作製する段階でテクスチャ構造を作製するためのエッチングパターンの構造が結晶成長により埋め込まれており、穴構造を作製した後でも、エッチングのみによりテクスチャ構造を製造することができる。また、その予め作製されたナノ構造体によるパターンは、ナノ構造体の密度、大きさ、形状、構造を結晶成長の成長条件を変化させることにより制御可能であり、作製する半導体光素子に応じて所望のパターンが設計可能である。
なお必要に応じて、反対側の表面(半導体カバー層16)にもランダムテクスチャ構造を設けても良い。その場合、本実施形態の方法を用いてもよいし、通常のフォトリソグラフィ法を用いても良い。また、本実施形態では量子ドット材料としてInAsを用い、それを埋め込む材料としてGaAsを用いるが、材料はこれに限られない。それ以外の量子ドット材料/埋め込み材料としては、例えば、InxGa1-xAs/GaAs、InxAl1-xAs/AlxGa1-xAs又はGaAs、InP/InP/GaxIn1-xAsyP1-y等があり、各々の材料系に応じたエッチング法を用いることにより、本実施形態は実現可能である。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態によるテクスチャ構造の製造方法を説明する。第1実施形態では、半導体基板11を部分的に除去した穴構造(バラス構造)の底にランダムテクスチャ構造20を作製する手法について述べた。第1実施形態における第3の半導体層14から半導体カバー層16までの成長層の厚さの総和が十分厚く、基板を全面にわたって除去しても成長層が維持可能な場合や、成長層を他の半導体基板等に貼り付ける場合、背景技術のランダムパターンのマスクを作製してフォトリソグラフィ法を用いてランダムテクスチャ構造を作製することも可能である。しかし、本実施形態における方法によれば、より簡便にランダムテクスチャ構造を作製することが可能である。第1実施形態と同様な要素に対しては同じ参照番号を付して、詳細な説明は省略することとする。
次に、本発明の第2実施形態によるテクスチャ構造の製造方法を説明する。第1実施形態では、半導体基板11を部分的に除去した穴構造(バラス構造)の底にランダムテクスチャ構造20を作製する手法について述べた。第1実施形態における第3の半導体層14から半導体カバー層16までの成長層の厚さの総和が十分厚く、基板を全面にわたって除去しても成長層が維持可能な場合や、成長層を他の半導体基板等に貼り付ける場合、背景技術のランダムパターンのマスクを作製してフォトリソグラフィ法を用いてランダムテクスチャ構造を作製することも可能である。しかし、本実施形態における方法によれば、より簡便にランダムテクスチャ構造を作製することが可能である。第1実施形態と同様な要素に対しては同じ参照番号を付して、詳細な説明は省略することとする。
(構成の説明)
図10は、本発明の第2実施形態のテクスチャ構造の製造方法によって製造される半導体光デバイスの断面図である。図11(a)~図11(d)、図12(a)~図12(d)は、図10の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。
図10は、本発明の第2実施形態のテクスチャ構造の製造方法によって製造される半導体光デバイスの断面図である。図11(a)~図11(d)、図12(a)~図12(d)は、図10の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。
図10の半導体光デバイスは、第3の半導体層14、半導体活性層15、及び半導体カバー層16を含む。第3の半導体層14には、ランダムテクスチャ構造20が形成されている。図10の半導体光デバイスは、全面にわたって半導体基板を除去した場合である。
(製造方法の説明)
図11及び図12を参照して、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法を説明する。図11及び図12は、最終的に全面にわたって半導体基板11が除去されるランダムテクスチャ構造の作製工程を示す。まず第1実施形態と同様に、結晶成長法により半導体活性層を含む各層を成長する。すなわち、半導体基板11の一主表面にGaAsから成る第1の半導体層12を成長する(図11(a))。次に、ナノ構造体がランダムに分布した凹凸を有する層の一例として、第2の半導体層13を成長する(図11(b))。次に、第2の半導体層13上に、第3の半導体層14を成長させる(図11(c))。次に、第3の半導体層14上に半導体活性層15を成長させ、半導体カバー層16を成長させる(図11(d))。ウエハ作製工程である半導体カバー層16を成長するまでの工程は、第1実施形態と同様である。
図11及び図12を参照して、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法を説明する。図11及び図12は、最終的に全面にわたって半導体基板11が除去されるランダムテクスチャ構造の作製工程を示す。まず第1実施形態と同様に、結晶成長法により半導体活性層を含む各層を成長する。すなわち、半導体基板11の一主表面にGaAsから成る第1の半導体層12を成長する(図11(a))。次に、ナノ構造体がランダムに分布した凹凸を有する層の一例として、第2の半導体層13を成長する(図11(b))。次に、第2の半導体層13上に、第3の半導体層14を成長させる(図11(c))。次に、第3の半導体層14上に半導体活性層15を成長させ、半導体カバー層16を成長させる(図11(d))。ウエハ作製工程である半導体カバー層16を成長するまでの工程は、第1実施形態と同様である。
次に、このウエハを用いてランダムテクスチャ構造を第3の半導体層14に形成する工程について述べる。まず、ウエハの上下を入れ替えて、半導体基板11が上面になるようにする(図12(a))。次に、半導体基板11を全面にわたって除去する。半導体基板11の除去は、ウエットエッチングもしくはドライエッチングによって行う。半導体基板11と第1の半導体層12の材料が異なっていれば、両者のエッチング速度の差を利用して選択エッチングを行うことも可能であり、各層を構成している材料に応じてウエットエッチングの場合はエッチャントを変更したり、ドライエッチングの場合は反応ガスを変更したりして適宜行うことができる。また、第1実施形態と同様にエッチストップ層を導入しても良い。本実施形態の場合、半導体基板11と第1の半導体層12は共にGaAsであり、同一の物質であるので、エッチングレート及び時間により、エッチング量を制御し、半導体基板11と第1の半導体層12の境界までエッチングを行う(図12(b))。
半導体基板11の除去終了後、選択エッチングにより、第1の半導体層12を除去し、第2の半導体層13の表面を露出させる。本実施形態の場合、第1の半導体層12はGaAsであり、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsなので、GaAsから成る第1の半導体層12の除去には第1実施形態と同様、塩素ガスによるドライエッチングを用いることが好ましい。上記の工程により、表面に第2の半導体層13が露出した構造を得ることができる(図12(c))。
続いて、第2の半導体層13を選択エッチングにより除去し、第3の半導体層14の表面まで、エッチングを進める。この場合、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsであり、第3の半導体層14はGaAsであるので、エッチャントとしては、塩酸によるウエットエッチングを用いる。このエッチングの結果、第3の半導体層14の表面には図12(d)に示す様な、第2の半導体層13に含まれるナノ構造体に対応した孔構造19が現れる。
孔の深さがランダムテクスチャ構造の特性を発現するのに十分である場合には、孔構造19をランダムテクスチャ構造として用いることができるため作製工程を終了する。すなわち、図10に示される半導体光デバイスではなく、図12(d)に示される孔構造19を有する半導体光デバイスとして作製工程を終了してもよい。
孔の深さが不十分な場合は、第1実施形態と同様、これらの孔を種として更にエッチングを進めて深い孔とする。孔の形成間隔を維持できれば、エッチャントして特に制限は無いが、表面に存在している欠陥等を選択的にエッチングするエッチャントであればより好ましい。例えば、塩酸:酢酸:過酸化水素水=1:2:1の混合溶液でエッチングを行うことにより、孔(欠陥)部分がより深くエッチングされるので深さ方向にも大きな分布を有するランダムテクスチャ構造が作製可能である。このエッチングにより表面に欠陥が存在している領域が選択的にエッチングされ、ランダムな凹凸を有するランダムテクスチャ構造20が形成される(図10)。
孔構造19及びランダムテクスチャ構造20は、種となるナノ構造体の分布に対応したものとなっており、本実施形態の場合はナノ構造体として量子ドットを用いているため、形成位置はランダムである。量子ドットの平均形成間隔は、最初の量子ドットの作製工程において作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールになる様に制御されている。よって、表面に形成されたテクスチャ構造の凹凸の形成位置はランダムであり、平均形成間隔も作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールになっている。その結果、ランダムテクスチャ構造20を得ることができる。
なお、図12(b)や図12(c)の第2の半導体層13を除去する前の構造体においても、表面には平均間隔が構造パラメータdのランダムな分布を有するテクスチャ構造が形成されている。デバイス構造やその他の条件によっては、図12(b)や図12(c)の第2の半導体層13を除去する前の状態で、ランダムテクスチャ構造として利用することが可能である。
(効果の説明)
本実施形態によれば第1実施形態と同様に、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。本実施形態のテクスチャ構造の製造方法では第1実施形態と同様に、第2の半導体層13を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用して孔構造19やランダムテクスチャ構造20を作製している。
本実施形態によれば第1実施形態と同様に、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。本実施形態のテクスチャ構造の製造方法では第1実施形態と同様に、第2の半導体層13を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用して孔構造19やランダムテクスチャ構造20を作製している。
これにより、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法によれば、第1実施形態と同様にランダムパターンのマスク作製を不要としながら、ランダムテクスチャ構造20を製造することができる。
〔第3実施形態〕
次に、本発明の第3実施形態によるテクスチャ構造の製造方法を説明する。第1実施形態や第2実施形態においては、第2の半導体層13のナノ構造体として量子ドットを用いるが、ナノ構造体は量子ドットに限定されるものではない。
次に、本発明の第3実施形態によるテクスチャ構造の製造方法を説明する。第1実施形態や第2実施形態においては、第2の半導体層13のナノ構造体として量子ドットを用いるが、ナノ構造体は量子ドットに限定されるものではない。
図13は、いくつかの量子ドットが集合化した構造を有するナノ構造体の作製例の原子間力顕微鏡写真である。図13は、図8に示す孤立した量子ドットの幾つかが結合して巨大化し、新たなナノ構造体を形成した状態を示している。これらの三次元構造体は、その形成位置が第1実施形態と同様ランダムであるだけでなく、量子ドットの結合している数もランダムであるため、集合体の大きさ(高さ)もランダムとなっている。
図14は、多数の量子ドットが結合して形成されたナノ構造体の作製例の電子顕微鏡写真である。図14は、第1実施形態のナノ構造体の作製時には2ML以下であるInAsの供給量をさらに増加させ、InAsを約100ML程度供給する際に形成されるナノ構造体の電子顕微鏡写真である。表面には、数100nm程度の大きさの構造体が全面にわたって形成されている。これらのナノ構造体の表面はある特定の結晶面で囲まれており、形状もランダムである。第3実施形態では、これらの構造体を第2の半導体層中に含まれるナノ構造体として利用する場合について述べる。
(構成の説明)
図15の半導体光デバイスは、第3の半導体層14、半導体活性層15、及び半導体カバー層16を含む。第3の半導体層14には、ランダムテクスチャ構造20が形成されている。図15の半導体光デバイスは第2実施形態と同様に、全面にわたって半導体基板を除去した場合である。
図15の半導体光デバイスは、第3の半導体層14、半導体活性層15、及び半導体カバー層16を含む。第3の半導体層14には、ランダムテクスチャ構造20が形成されている。図15の半導体光デバイスは第2実施形態と同様に、全面にわたって半導体基板を除去した場合である。
(製造方法の説明)
以下、図15の半導体光デバイスに製造方法について説明する。図16(a)~図16(d)、図17(a)~図17(d)は、図15の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。図16及び図17は、第2の半導体層中に含まれるナノ構造体として量子ドットではない三次元構造体を使用し、ランダムテクスチャ構造を作製する工程を示す。なお本実施形態における工程で、ナノ構造体の作製プロセス以外は第2実施形態と同様である。
以下、図15の半導体光デバイスに製造方法について説明する。図16(a)~図16(d)、図17(a)~図17(d)は、図15の半導体光デバイスの製造工程を説明するための断面図である。図16及び図17は、第2の半導体層中に含まれるナノ構造体として量子ドットではない三次元構造体を使用し、ランダムテクスチャ構造を作製する工程を示す。なお本実施形態における工程で、ナノ構造体の作製プロセス以外は第2実施形態と同様である。
まず、GaAsから成る半導体基板11を用意し、第1実施形態、第2実施形態と同様の手順に従い、半導体基板11の一主表面にGaAsから成る第1の半導体層12を成長する(図16(a))。そして次に、ナノ構造体がランダムに分布して凹凸表面を含む層の一例として、第2の半導体層13を成長する(図16(b))。本実施形態では、ナノ構造体として図14に示す三次元構造体を使用する例を示す。As雰囲気下において基板温度580℃にてGaを照射することによりGaAs層を数μm程度成長した後、約100ML相当分のInを供給して、InAsの多数の量子ドットが結合して形成された三次元構造体を形成する。この三次元構造体には、成長時の基板と成長層の構成物質の格子不整合に起因する歪が形成されているため、それに伴う転位の発生の影響を低減する必要がある。本実施形態においては、第2の半導体層13の上にGaAsから成る第3の半導体層14を数μm(ここでは3μm)成長する(図16(c))。この第3の半導体層14の成長により、歪の影響を回避することができる。
その後の工程は、第2実施形態と同様である。第3の半導体層14上に半導体活性層15を成長させ、半導体カバー層16を成長させる(図16(d))。次に、ウエハの上下を入れ替えて、半導体基板11が上面になるようにする(図17(a))。次に、半導体基板11を全面にわたって除去する。本実施形態の場合、半導体基板11と第1の半導体層12は共にGaAsであり、同一の物質であるので、エッチングレート及び時間により、エッチング量を制御し、半導体基板11と第1の半導体層12の境界までエッチングを行う(図17(b))。半導体基板11の除去終了後、選択エッチングにより、第1の半導体層12を除去し、第2の半導体層13の表面を露出させる。本実施形態の場合、第1の半導体層12はGaAsであり、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsなので、GaAsから成る第1の半導体層12の除去には第1実施形態と同様、塩素ガスによるドライエッチングを用いることが好ましい。その結果、表面にInxGa1-xAsまたはInAsの第2の半導体層13が露出した構造を得る(図17(c))。続いて、第2の半導体層13を選択エッチングにより除去し、第3の半導体層14の表面まで、エッチングを進める。この場合、第2の半導体層13はInxGa1-xAsまたはInAsであり、第3の半導体層14はGaAsであるので、エッチャントとしては、塩酸によるウエットエッチングを用いることが好ましい。このエッチングの結果、第3の半導体層14の表面には図17(d)に示すような、第2の半導体層13に含まれるナノ構造体に対応した孔構造19が現れる。
孔構造19の孔の深さが、テクスチャ構造としての特性を発現するのに十分である場合には孔構造19をテクスチャ構造として用いる。そして、テクスチャ構造の作製工程を終了する。すなわち、図15に示される半導体光デバイスではなく、図17(d)に示される孔構造19を有する半導体光デバイスとして作製工程を終了してもよい。
第1実施形態や第2実施形態と同様に、孔構造19の孔の深さが不十分な場合は、これらの孔を種として更にエッチングを進めてランダムテクスチャ構造20を形成する。孔の形成間隔を維持できれば、エッチャントして特に制限は無いが、表面に存在している欠陥等を選択的にエッチングするエッチャントであればより好ましい。例えば、塩酸:酢酸:過酸化水素水=1:2:1の混合溶液でエッチングを行うことにより、孔(欠陥)部分がより深くエッチングされるので深さ方向にも大きな分布を有するランダムテクスチャ構造が作製可能である。このエッチングにより表面に欠陥が存在している領域が選択的にエッチングされ、ランダムテクスチャ構造20が形成される(図15)。
表面に形成された孔構造19及びランダムテクスチャ構造20は、種となるナノ構造体の分布に対応したものとなっており、本実施形態の場合はナノ構造体としてInAsの多数の量子ドットが結合して形成された三次元構造体を用いているため、形成位置はランダムであり、量子ドットの平均形成間隔は最初の量子ドットの作製工程において作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールになる様に制御されているため、表面に形成されたテクスチャ構造の凹凸の形成位置はランダムであり、平均形成間隔も作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールになっている。その結果、ランダムテクスチャ構造20を得ることができる。
なお、図17(b)や図17(c)の第2の半導体層13を除去する前の構造体においても、表面には平均間隔が構造パラメータdのランダムな分布を有するランダムテクスチャ構造20が形成されている。デバイス構造その他の条件によっては、図17(b)や図17(c)の第2の半導体層13を除去する前の状態で、ランダムテクスチャ構造として利用することが可能である。
(効果の説明)
本実施形態によれば第1実施形態や第2実施形態と同様に、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。本実施形態のテクスチャ構造の製造方法では、第2の半導体層13を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用して孔構造19やランダムテクスチャ構造20を作製している。
本実施形態によれば第1実施形態や第2実施形態と同様に、第3の半導体層14の表面に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造20を簡便に製造することができる。本実施形態のテクスチャ構造の製造方法では、第2の半導体層13を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用して孔構造19やランダムテクスチャ構造20を作製している。
これにより、本実施形態のテクスチャ構造の製造方法によれば、第1実施形態や第2実施形態と同様にランダムパターンのマスク作製を不要としながら、ランダムテクスチャ構造20を製造することができる。
さらに本実施形態では、第2の半導体層13のナノ構造体として、第1実施形態や第2実施形態のような量子ドットではなく、いくつかの量子ドットが集合化した構造を有する三次元構造体を用いている。本実施形態のような三次元構造体では、その形成位置が第1実施形態や第2実施形態と同様にランダムであるだけでなく、量子ドットの結合している数もランダムであるため、集合体の大きさ(高さ)もランダムとなる。
第1実施形態、第2実施形態、及び第3実施形態で述べた第2の半導体層13に含まれるナノ構造体はすべて結晶成長プロセスにおいて自己形成現象を利用して作製されている。つまり、フォトリソグラフィ等の手法とは異なり、レジストや誘電体といった構造体形成のためのマスク等を必要とせずに、結晶成長装置中において、特定の原料を供給するたけでナノ構造体が作製できる。このため、非常に簡便であり、かつ、プロセスに伴うコンタミネーションの影響を受けにくい。また、形成位置は基本的にランダムで、その構造体の凹凸の平均間隔は、成長速度、成長温度等の結晶成長の基本的な成長条件を変化させることにより制御することが可能であり、デバイスの仕様に従い任意に設計することができる。
〔第4実施形態〕
次に、本発明の第4実施形態によるテクスチャ構造の製造方法について、説明する。本実施形態は、上述したテクスチャ構造の製造方法を、より具体的な薄膜半導体光センサの製造方法やランダムテクスチャ構造の作製工程に適用した場合の一例である。
次に、本発明の第4実施形態によるテクスチャ構造の製造方法について、説明する。本実施形態は、上述したテクスチャ構造の製造方法を、より具体的な薄膜半導体光センサの製造方法やランダムテクスチャ構造の作製工程に適用した場合の一例である。
図18は、本発明の実施形態のテクスチャ構造の製造方法を適用して製造される、第4実施形態の薄膜半導体光センサの断面図である。図19(a)~図19(d)、図20(a)~図20(d)は、第4実施形態の薄膜半導体光センサの製造工程を説明するための断面図である。
(構成の説明)
図18の薄膜半導体光センサは、受光イメージセンサ100である。図18の受光イメージセンサ100は、光吸収媒質103、第2の電極107、第1の電極108、第1nドープ層109、パッシベーション膜111、金属バンプ112、読み出し回路チップ113、熱硬化樹脂114、及びランダムテクスチャ構造115を含む。
図18の薄膜半導体光センサは、受光イメージセンサ100である。図18の受光イメージセンサ100は、光吸収媒質103、第2の電極107、第1の電極108、第1nドープ層109、パッシベーション膜111、金属バンプ112、読み出し回路チップ113、熱硬化樹脂114、及びランダムテクスチャ構造115を含む。
ここでは、半導体活性層である光吸収媒質103として、GaAs半導体層中に形成されたInAs量子ドット吸収層を利用した赤外線受光素子の例について、読み出し回路への集積を含めた、製造工程の一例を述べる。本製造工程は、本薄膜半導体光センサ素子の主要構成要素の製造工程の一例を示したに過ぎず、実際の薄膜半導体光センサ素子は、他のデバイス構造構成要因等により本実施形態に記載の効果を発現する範囲で変更しても構わない。
(製造方法の説明)
図19を用いて製造方法を説明する。まず、GaAs基板102を用意し、成長装置へと導入する。本工程では、成長装置の一例として分子線エピタキシ装置を使用する。成長装置は薄膜構造を作製可能であれば、他の装置、例えば、有機金属熱分解成膜装置でも構わない。Asを照射しながら基板温度を600℃程度まで昇温させる等の通常の基板表面の清浄化処理により、基板表面の自然酸化膜を除去する。その後InxGa1-xAsを含むナノ構造体層105を第3実施形態と同様の手法に従い成長させる。ナノ構造体層105の構造体の平均形成間隔は、作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールとする。
図19を用いて製造方法を説明する。まず、GaAs基板102を用意し、成長装置へと導入する。本工程では、成長装置の一例として分子線エピタキシ装置を使用する。成長装置は薄膜構造を作製可能であれば、他の装置、例えば、有機金属熱分解成膜装置でも構わない。Asを照射しながら基板温度を600℃程度まで昇温させる等の通常の基板表面の清浄化処理により、基板表面の自然酸化膜を除去する。その後InxGa1-xAsを含むナノ構造体層105を第3実施形態と同様の手法に従い成長させる。ナノ構造体層105の構造体の平均形成間隔は、作製したい典型的構造スケールdと同等のスケールとする。
その後、ナノ構造体層105の構造体のランダムなパターンを埋め込むようにGaAs層を形成し、さらに第2nドープ層110を成長させる。第2nドープ層110は、後で形成される第1の電極108とのオーミックコンタクトを確保するために設けられる。その後、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質103を成長させる。具体的には、As雰囲気下において580℃にてGaを照射することによりGaAs層を数μm程度成長した後、Inを2~3ML相当分基板温度480℃にて供給してInAs量子ドット層を成長させる。これらのInAs量子ドット層から成る三次元島構造を厚さ50nm程度のGaAsで埋め込み成長させることにより、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質103を形成する。この工程を複数回繰り返し、多層のInAs量子ドットから成る量子ドット吸収層を作製してもよい。そしてさらに連続して厚さ数μm程度のGaAsを再び成長した後、光吸収媒質103の成長を終了する。さらに光吸収媒質103上に第1nドープ層109を成長させて、図19(a)に示す様な薄膜半導体光イメージセンサ用のウエハを得る。第1nドープ層109は、後で形成される第2の電極107とのオーミックコンタクトを確保するために設けられる。
次に、光吸収媒質103を各素子に分離するため、異方性エッチング(例えば、アンモニア水:過酸化水素水の混合溶液)によりメサ構造106を形成する(図19(b))。各メサ構造106上の第1nドープ層109と、エッチングにより現れた第2nドープ層110に、それぞれ第2の電極107と第1の電極108を蒸着する(図19(c))。さらに、第2の電極107と第1の電極108による電極部に開口が位置するように、パッシベーション膜111(例えばSiO2)を形成する(図19(d))。さらにパッシベーション膜111の開口の第2の電極107と第1の電極108に、金属バンプ112(例えばインジウムバンプ)を形成する(図20(a))。最後にウエハを各チップに切り出して、受光チップとする。
次に、切り出した受光チップに対応し、信号読み出し回路が集積された読み出し回路チップ113を用意し、裏返した受光チップと読み出し回路チップ113とをフリップチップ接合する(図20(b))。デバイスの機械的強度を上げる目的で、受光チップと読み出し回路チップ113の間の空隙に、熱硬化樹脂114を充填する(図20(c))。
次に、受光チップのGaAs基板102を選択ウエットエッチング(例えばクエン酸、過酸化水素水を混ぜたもの)で除去し、ナノ構造体層105を露出させる(図20(d))。さらに、ナノ構造体層105をGaAsとの選択ウェットエッチング(例えばバッファードフッ酸)で除去することで、量子ドットのランダムなパターンが埋まっていたGaAs層116が露出し、受光層の近傍にナノ構造体層105の量子ドットの形状が転写されたような構造を有するランダムテクスチャ構造115が形成された受光イメージセンサ100が完成する(図18)。
(効果の説明)
本実施形態によれば、受光イメージセンサ100に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造115を簡便に製造することができる。本実施形態のランダムテクスチャ構造115の製造方法では、第1乃至第3実施形態と同様に、ナノ構造体層105を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用してランダムテクスチャ構造115を作製している。
本実施形態によれば、受光イメージセンサ100に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造115を簡便に製造することができる。本実施形態のランダムテクスチャ構造115の製造方法では、第1乃至第3実施形態と同様に、ナノ構造体層105を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用してランダムテクスチャ構造115を作製している。
これにより、ランダムパターンのマスク作製を不要としながら、ランダムテクスチャ構造115を製造することができる。しかも薄膜半導体光センサの製造工程に適用して、ランダムテクスチャ構造115を備える受光イメージセンサ100を製造することができる。
さらに本実施形態によれば、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質103の極めて近傍に、ランダムテクスチャ構造115を製造することができる。これにより、散乱された光によるクロストークの低減が可能で、ランダムテクスチャ構造115を備える受光イメージセンサ100を製造することができる。
本実施形態では、ランダムな面方位を持つテクスチャ構造を受光面に持つ受光イメージセンサ100を製造することが可能である。従って、信頼性を向上させ生産性の問題を軽減することができる。本実施形態では、その潜在的性能を十分に発揮できる薄膜半導体光センサを提供することができる。
〔第5実施形態〕
次に、本発明の第5実施形態によるテクスチャ構造の製造方法について、説明する。本実施形態は第4実施形態と同様に、上述したテクスチャ構造の製造方法を、より具体的な薄膜半導体光センサの製造方法やランダムテクスチャ構造の作製工程に適用した場合の一例である。
次に、本発明の第5実施形態によるテクスチャ構造の製造方法について、説明する。本実施形態は第4実施形態と同様に、上述したテクスチャ構造の製造方法を、より具体的な薄膜半導体光センサの製造方法やランダムテクスチャ構造の作製工程に適用した場合の一例である。
図21は、本発明の第5実施形態のテクスチャ構造の製造方法を適用して製造される薄膜半導体光センサの断面図である。図22(a)~図22(d)、図23(a)~図23(c)、図24(a)及び図24(b)は、図21の薄膜半導体光センサの製造工程を説明するための断面図である。
(構成の説明)
図21の薄膜半導体光センサは、受光イメージセンサ200である。図21の受光イメージセンサ200は第4実施形態と同様に、光吸収媒質103、第2の電極107、第1の電極108、第1nドープ層109、パッシベーション膜111、金属バンプ112、読み出し回路チップ113、及び熱硬化樹脂114を含む。さらに図21の受光イメージセンサ200は、ランダムテクスチャ構造215を含む。
図21の薄膜半導体光センサは、受光イメージセンサ200である。図21の受光イメージセンサ200は第4実施形態と同様に、光吸収媒質103、第2の電極107、第1の電極108、第1nドープ層109、パッシベーション膜111、金属バンプ112、読み出し回路チップ113、及び熱硬化樹脂114を含む。さらに図21の受光イメージセンサ200は、ランダムテクスチャ構造215を含む。
(製造方法の説明)
本実施形態の受光イメージセンサ200は、図22(a)~図22(d)、図23(a)~図23(c)、図24(a)までは第4実施形態と同様の製造工程で製造される。
本実施形態の受光イメージセンサ200は、図22(a)~図22(d)、図23(a)~図23(c)、図24(a)までは第4実施形態と同様の製造工程で製造される。
すなわち、GaAs基板102に、InxGa1-xAsから成る量子ドットのナノ構造体層205を成長する。ここで本実施形態のナノ構造体層205は、ドットの成長密度を作製したい散乱面の典型的構造スケールdと同スケールにする。
その後、ナノ構造体層205の構造体のランダムなパターンを埋め込むようにGaAs層を形成し、さらに第2nドープ層110を成長させる。第2nドープ層110は、後で形成される第1の電極108とのオーミックコンタクトを確保するために設けられる。その後、InAs量子ドット吸収層を含む光吸収媒質103を成長する。さらに光吸収媒質103上に第1nドープ層109を成長させて、図22(a)に示す様な薄膜半導体光イメージセンサ用のウエハを得る。第1nドープ層109は、後で形成される第2の電極107とのオーミックコンタクトを確保するために設けられる。
次に、光吸収媒質103を各素子に分離するため、異方性エッチングによりメサ構造106を形成する(図22(b))。各メサ構造106上の第1nドープ層109と、エッチングにより現れた第2nドープ層110に、それぞれ第2の電極107と第1の電極108を蒸着する(図22(c))。さらに、第2の電極107と第1の電極108による電極部に開口が位置するように、パッシベーション膜111を形成する(図22(d))。さらにパッシベーション膜111の開口の第2の電極107と第1の電極108に、金属バンプ112を形成する(図23(a))。最後にウエハを各チップに切り出して、受光チップとする。次に、切り出した受光チップに対応し、信号読み出し回路が集積された読み出し回路チップ113を用意し、裏返した受光チップと読み出し回路チップ113とをフリップチップ接合する(図23(b))。デバイスの機械的強度を上げる目的で、受光チップと読み出し回路チップ113の間の空隙に、熱硬化樹脂114を充填する(図23(c))。
次に、受光チップのGaAs基板を選択ウエットエッチング(例えばクエン酸、過酸化水素水を混ぜたもの)で除去し、ナノ構造体層205を露出させる(図24(a))。さらに、ナノ構造体層205を除去する。本実施形態でナノ構造体層205の除去を行うと、量子ドットが埋まっていた孔が、典型的構造スケールd程度の間隔でランダムに形成されたGaAs層216が露出する(図24(b))。この面に対して異方性エッチングを行うことで、量子ドットが埋まっていた孔を拡大するように選択的にエッチングがすすみ、典型的構造スケールdの散乱面を得ることができる(図21)。これにより、量子ドット層を用いてランダムテクスチャ構造215が形成された受光イメージセンサ200が完成する。
(効果の説明)
本実施形態によれば第4実施形態と同様に、受光イメージセンサ200に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造215を簡便に製造することができる。本実施形態のランダムテクスチャ構造215の製造方法では第1乃至第4実施形態と同様に、ナノ構造体層205を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用してランダムテクスチャ構造215を作製している。
本実施形態によれば第4実施形態と同様に、受光イメージセンサ200に、大きさと形成間隔が制御されたランダムテクスチャ構造215を簡便に製造することができる。本実施形態のランダムテクスチャ構造215の製造方法では第1乃至第4実施形態と同様に、ナノ構造体層205を結晶成長法によって成長させている。ナノ構造体の三次元島(量子ドット)は、結晶成長プロセスの自己形成現象を利用して成長表面上のランダムな位置に形成され、これを利用してランダムテクスチャ構造215を作製している。
これにより、ランダムパターンのマスク作製を不要としながら、ランダムテクスチャ構造215を製造することができる。しかも薄膜半導体光センサの製造工程に適用して、ランダムテクスチャ構造215を備える受光イメージセンサ200を製造することができる。
本実施形態では、ランダムな面方位を持つテクスチャ構造を受光面に持つ受光イメージセンサ100を製造することが可能である。従って、信頼性を向上させ生産性の問題を軽減することができる。本実施形態では、その潜在的性能を十分に発揮できる薄膜半導体光センサを提供することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態や実施例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、テクスチャを半導体に形成する場合を説明したがこれに限られず、導電体や絶縁体に形成してもよい。ナノ構造体の密度、大きさ、形状、構造のいずれかを、ナノ構造体の結晶成長条件を変化させることにより制御することができる。ナノ構造体は、量子ドット、量子ダッシュ、もしくはそれらのいずれかの構造体の混合体、もしくは結合した構造体で構成することができる。上述した光デバイスは、発光素子もしくは受光素子を含んでもよい。また上述した光デバイスは、量子ドット赤外線センサであってもよい。請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲に含まれることはいうまでもない。
上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
(付記1)基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、テクスチャ構造の製造方法。
(付記2)露出した前記光散乱体の表面は凹凸を有する、付記1に記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記3)露出した前記光散乱体の表面の凹または凸を基点として、前記光散乱体の表面をエッチングする、付記1または2に記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記4)前記ナノ構造体を含む層の結晶成長条件を変化させることにより、前記ナノ構造体の密度、大きさ、形状、構造のいずれかを制御する、付記1乃至3いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記5)前記ナノ構造体は、量子ドット、量子ダッシュ、もしくはそれらのいずれかの構造体の混合体、もしくは結合した構造体で構成される、付記1乃至4いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記6)前記光散乱体は、導電体、半導体又は絶縁体である、付記1乃至5いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記7)付記1乃至6いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法を用いた、半導体光センサの製造方法であって、半導体基板の一主表面に半導体活性層を形成し、前記半導体活性層上に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、半導体光センサの製造方法。
(付記8)前記半導体基板の一部を除去することによりバラス構造を形成し、前記バラス構造の底部に前記光散乱体によるテクスチャ構造を形成する、付記7に記載の半導体光センサの製造方法。
(付記9)前記ナノ構造体を埋め込んだ前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、付記7または8に記載の半導体光センサの製造方法。
(付記10)前記半導体光センサは、発光素子もしくは受光素子を含む、付記7乃至9いずれか1つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記11)前記半導体光センサは、量子ドット赤外線センサである、付記8乃至10いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記12)前記凹凸表面を埋め込んで前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、付記8乃至11いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記13)結晶成長法により第1の半導体基板上に前記ナノ構造体、前記半導体活性層を含む半導体成長層を有する半導体ウエハを作製する工程、前記半導体活性層を含む成長層を所定の大きさのメサに加工する工程、前記メサ上にバンプ構造を作製する工程、前記バンプ構造を用いて、第1の半導体基板を信号読み出し回路が集積された第2の半導体基板上に貼り合わせる工程、前記第1の半導体基板を除去し、露出した前記ナノ構造体を用いてテクスチャを作製する工程とを含む、付記8乃至12いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記1)基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、テクスチャ構造の製造方法。
(付記2)露出した前記光散乱体の表面は凹凸を有する、付記1に記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記3)露出した前記光散乱体の表面の凹または凸を基点として、前記光散乱体の表面をエッチングする、付記1または2に記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記4)前記ナノ構造体を含む層の結晶成長条件を変化させることにより、前記ナノ構造体の密度、大きさ、形状、構造のいずれかを制御する、付記1乃至3いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記5)前記ナノ構造体は、量子ドット、量子ダッシュ、もしくはそれらのいずれかの構造体の混合体、もしくは結合した構造体で構成される、付記1乃至4いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記6)前記光散乱体は、導電体、半導体又は絶縁体である、付記1乃至5いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法。
(付記7)付記1乃至6いずれか1つに記載のテクスチャ構造の製造方法を用いた、半導体光センサの製造方法であって、半導体基板の一主表面に半導体活性層を形成し、前記半導体活性層上に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、半導体光センサの製造方法。
(付記8)前記半導体基板の一部を除去することによりバラス構造を形成し、前記バラス構造の底部に前記光散乱体によるテクスチャ構造を形成する、付記7に記載の半導体光センサの製造方法。
(付記9)前記ナノ構造体を埋め込んだ前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、付記7または8に記載の半導体光センサの製造方法。
(付記10)前記半導体光センサは、発光素子もしくは受光素子を含む、付記7乃至9いずれか1つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記11)前記半導体光センサは、量子ドット赤外線センサである、付記8乃至10いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記12)前記凹凸表面を埋め込んで前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、付記8乃至11いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
(付記13)結晶成長法により第1の半導体基板上に前記ナノ構造体、前記半導体活性層を含む半導体成長層を有する半導体ウエハを作製する工程、前記半導体活性層を含む成長層を所定の大きさのメサに加工する工程、前記メサ上にバンプ構造を作製する工程、前記バンプ構造を用いて、第1の半導体基板を信号読み出し回路が集積された第2の半導体基板上に貼り合わせる工程、前記第1の半導体基板を除去し、露出した前記ナノ構造体を用いてテクスチャを作製する工程とを含む、付記8乃至12いずれか一つに記載の半導体光センサの製造方法。
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
この出願は、2017年3月31日に出願された日本出願特願2017-69827号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
1 光イメージセンサ
2 基板
3 光吸収媒質
4 光入射面テクスチャ構造
5 裏面テクスチャ構造
6 光反射体
7 第2の電極
8 第1の電極
9 入射光
11 半導体基板
12 第1の半導体層
13 第2の半導体層
14 第3の半導体層
15 半導体活性層
16 半導体カバー層
17 開口レジストパターン
18 開口構造
19 孔構造
20 ランダムテクスチャ構造
100、200 受光イメージセンサ
102 GaAs基板
103 光吸収媒質
105 ナノ構造体層
106 メサ構造
107 第2の電極
108 第1の電極
109 第1nドープ層
110 第2nドープ層
111 パッシベーション膜
112 金属バンプ
113 読み出し回路チップ
114 熱硬化樹脂
115、215 ランダムテクスチャ構造
205 ナノ構造体層
216 GaAs層
2 基板
3 光吸収媒質
4 光入射面テクスチャ構造
5 裏面テクスチャ構造
6 光反射体
7 第2の電極
8 第1の電極
9 入射光
11 半導体基板
12 第1の半導体層
13 第2の半導体層
14 第3の半導体層
15 半導体活性層
16 半導体カバー層
17 開口レジストパターン
18 開口構造
19 孔構造
20 ランダムテクスチャ構造
100、200 受光イメージセンサ
102 GaAs基板
103 光吸収媒質
105 ナノ構造体層
106 メサ構造
107 第2の電極
108 第1の電極
109 第1nドープ層
110 第2nドープ層
111 パッシベーション膜
112 金属バンプ
113 読み出し回路チップ
114 熱硬化樹脂
115、215 ランダムテクスチャ構造
205 ナノ構造体層
216 GaAs層
Claims (13)
- 基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、
前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、
前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、テクスチャ構造の製造方法。 - 露出した前記光散乱体の表面は凹凸を有する、請求項1に記載のテクスチャ構造の製造方法。
- 露出した前記光散乱体の表面の凹または凸を基点として、前記光散乱体の表面をエッチングする、請求項1または2に記載のテクスチャ構造の製造方法。
- 前記ナノ構造体を含む層の結晶成長条件を変化させることにより、前記ナノ構造体の密度、大きさ、形状、構造のいずれかを制御する、請求項1乃至3いずれか一項に記載のテクスチャ構造の製造方法。
- 前記ナノ構造体は、量子ドット、量子ダッシュ、もしくはそれらのいずれかの構造体の混合体、もしくは結合した構造体で構成される、請求項1乃至4いずれか一項に記載のテクスチャ構造の製造方法。
- 前記光散乱体は、導電体、半導体又は絶縁体である、請求項1乃至5いずれか一項に記載のテクスチャ構造の製造方法。
- 請求項1乃至6いずれか一項に記載のテクスチャ構造の製造方法を用いた、半導体光センサの製造方法であって、
半導体基板の一主表面に半導体活性層を形成し、
前記半導体活性層上に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、
前記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、
前記基材及び前記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して前記光散乱体の表面を露出させる、半導体光センサの製造方法。 - 前記半導体基板の一部を除去することによりバラス構造を形成し、前記バラス構造の底部に前記光散乱体によるテクスチャ構造を形成する、請求項7に記載の半導体光センサの製造方法。
- 前記ナノ構造体を埋め込んだ前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、請求項7または8に記載の半導体光センサの製造方法。
- 前記半導体光センサは、発光素子もしくは受光素子を含む、請求項7乃至9いずれか一項に記載の半導体光センサの製造方法。
- 前記半導体光センサは、量子ドット赤外線センサである、請求項8乃至10いずれか一項に記載の半導体光センサの製造方法。
- 前記凹凸表面を埋め込んで前記光散乱体を形成した後で、前記光散乱体の一主表面上に光吸収媒質のメサ構造を形成する、請求項8乃至11いずれか一項に記載の半導体光センサの製造方法。
- 結晶成長法により第1の半導体基板上に前記ナノ構造体、前記半導体活性層を含む半導体成長層を有する半導体ウエハを作製する工程、前記半導体活性層を含む成長層を所定の大きさのメサに加工する工程、前記メサ上にバンプ構造を作製する工程、前記バンプ構造を用いて、第1の半導体基板を信号読み出し回路が集積された第2の半導体基板上に貼り合わせる工程、前記第1の半導体基板を除去し、露出した前記ナノ構造体を用いてテクスチャを作製する工程とを含む、請求項8乃至12いずれか一項に記載の半導体光センサの製造方法。
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122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 18774965 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |