WO2018154778A1

WO2018154778A1 - 基板収納容器

Info

Publication number: WO2018154778A1
Application number: PCT/JP2017/007472
Authority: WO
Inventors: 聴子甲斐
Original assignee: ミライアル株式会社
Priority date: 2017-02-27
Filing date: 2017-02-27
Publication date: 2018-08-30

Abstract

基板収納容器の奥側基板支持部６は、基板Ｗの裏面の端縁に当接可能な下側当接面６１１と、下側当接面６１１から上方向へ垂直に延びる側方当接面６２１と、基板収納空間の中心から離間するように、側方当接面６２１の上端部から傾斜して延びる下側傾斜面６２２と、基板収納空間の中心に接近するように、下側傾斜面６２２の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面６３１と、を有する。蓋体によって容器本体開口部が閉塞されたときに、側方当接面６２１は、基板Ｗの端縁の側面に当接可能であり、基板Ｗの裏面の端縁が下側当接面６１１に当接した状態が維持される。

Description

基板収納容器

　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

　半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体とウェハキャリヤとを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。

　容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。容器本体を構成する第１分割容器、第２分割容器には、ウェーハ支持溝がそれぞれ設けられている。第１分割容器と第２分割容器とが組合されて容器本体が形成されたときに、第１分割容器のウェーハ支持溝と第２分割容器のウェーハ支持溝とは、複数の基板の縁部を支持可能である。

特許第３９６８１４２号公報

　基板収納容器においては、第１分割容器と第２分割容器とが組合されて容器本体が形成されるときに、基板を第１分割容器のウェーハ支持溝の傾斜面と第２分割容器のウェーハ支持溝の傾斜面とで挟むようにして、当該傾斜面に対して基板の縁部を摺動させて、基板がせり上がるように基板を持上げて支持する。このため、基板と当該傾斜面との摩擦によりパーティクルが発生する懸念があった。また、複数の基板を当該傾斜面に対して摺動させるため、蓋体を閉めるための強い力が必要であり、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こす恐れがあった。

　本発明は、基板収納空間が閉塞されるときに、基板と当該傾斜面との摩擦によるパーティクルの発生を抑え、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部に当接した状態で、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記奥側基板支持部は、前記基板の裏面の端縁に当接可能な下側当接面と、前記下側当接面から上方向へ垂直に延びる側方当接面と、前記基板収納空間の中心から離間するように、前記側方当接面の上端部から傾斜して延びる下側傾斜面と、前記基板収納空間の中心に接近するように、前記下側傾斜面の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面と、を有する基板収納容器に関する。

　また、本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部に当接した状態で、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記奥側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記基板の裏面の端縁に当接し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときにも、前記基板の裏面の端縁に当接状態を維持可能な下側当接面と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに、前記基板の端縁の側面に当接可能であり、前記基板の裏面の端縁が前記下側当接面に当接した状態を維持可能な側方当接面と、前記側方当接面よりも上側に配置され、前記基板の端部が係合可能な前記基板収納空間の中心から離間するように窪んだ凹溝を形成する下側傾斜面及び上側傾斜面であって、容器本体に作用する衝撃により、前記基板が前記下側当接面及び前記側方当接面から離間したときに前記凹溝に基板が係合して、前記基板の裏面の端縁に当接する下側傾斜面と、前記凹溝に係合した前記基板の表面の端縁に当接する上側傾斜面と、を有する基板収納容器に関する。

　また、前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の裏面の端縁に当接する下側傾斜面、及び、前記基板の表面の端縁に当接する上側傾斜面を有し、前記側方基板支持部によって並列させられた前記基板の並列方向において、前記下側傾斜面と前記上側傾斜面との交差位置は、前記側方基板支持部に支持されている状態の前記基板の位置に一致することが好ましい。

　また、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときであって、前記容器本体に衝撃が作用したときに、前記基板の縁部が当接可能なリアリテーナを備えることが好ましい。

　本発明によれば、基板収納空間が閉塞されるときに、基板と当該傾斜面との摩擦によるパーティクルの発生を抑え、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に基板Ｗが１枚収納された様子を示す分解斜視図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１のリアリテーナ８と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されている状態において基板収納容器１に衝撃が作用したときの、奥側基板支持部６と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されている状態において基板収納容器１に衝撃が作用したときの、リアリテーナ８と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。

　以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に基板Ｗが１枚収納された様子を示す分解斜視図である。図４は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。

　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

　図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）と、リアリテーナ８（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図４等参照）を備えている。

　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。

　奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

　以下、各部について、詳細に説明する。
　図５は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。図６Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。図６Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のリアリテーナ８と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。図６Ｃは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。図７Ａは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されている状態において基板収納容器１に衝撃が作用したときの、奥側基板支持部６と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。図７Ｂは、本発明の実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されている状態において基板収納容器１に衝撃が作用したときの、リアリテーナ８と基板Ｗとの位置関係を示す拡大断面図である。

　図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

　図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図５等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。

　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２、図３等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

　支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、図５に示すように、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。

　即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

　このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

　図５に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。

　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。

　奥側端縁支持部６０は、図６Ａに示すように、下側当接面６１１を有する支持部下側凸部６１と、下側側方当接面６２１及び下側傾斜面６２２を有する支持部下部６２と、上側傾斜面６３１を有する支持部上部６３と、を有している。

　下側当接面６１１には、蓋体３（図１等参照）によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの裏面（下面）の端縁が当接し、基板Ｗの裏面の端縁が載置される。また、下側当接面６１１には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときにも、基板Ｗの裏面の端縁が当接した状態が維持される。下側側方当接面６２１には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに、基板Ｗの裏面の端縁が下側当接面６１１に当接した状態が維持されたまま、基板Ｗの端縁の側面（図６Ａに示す基板Ｗの左側の端面）が当接する。

　具体的には、図６Ａに示すように、下側当接面６１１は、奥側端縁支持部６０から基板収納空間２７の中心へ向って突出する支持部下側凸部６１の上面により構成されている。下側側方当接面６２１は、下側当接面６１１から上方向へ垂直に延びる面により構成されている。ここで、「垂直」とは、完全に垂直（上下方向Ｄ２に一致すること）であることを意味するのみならず、公差等により、上下方向Ｄ２に対して±１°の範囲を含むことを意味する。この範囲内としたのは、この範囲内であれば、後述のように、蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときに、基板の縁部が下側側方当接面６２１に当接した状態を安定して維持することが可能であるためである。

　上下方向Ｄ２における下側側方当接面６２１の高さＨ１は、基板Ｗの厚さの２．６倍以下が好ましく、本実施形態では、２ｍｍ以下である。基板Ｗの厚さの２．６倍以下としたのは、衝撃が基板収納容器１に作用したときに、基板Ｗの端縁の側面が下側側方当接面６２１と摺動し続けずに、下側傾斜面６２２及び上側傾斜面６３１により形成される後述のＶ字状溝６４に基板Ｗが係合することを許容するためである。

　下側傾斜面６２２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６Ａにおける右側）から離間するように、下側側方当接面６２１の上端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面６２２の傾斜角は、垂直（上下方向Ｄ２）に対して１０°程度（下側当接面６１１に対して１０３°程度）である。上側傾斜面６３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６Ａにおける右側）に接近するように、下側傾斜面６２２の上端部から傾斜して延びて当該上側傾斜面６３１上側に位置している支持部下側凸部６１に接続された傾斜面により構成されている。上側傾斜面６３１の傾斜角は、垂直（上下方向Ｄ２）に対して１０°程度（下側当接面６１１に対して１０３°程度）である。

　下側傾斜面６２２及び上側傾斜面６３１は、下側側方当接面６２１よりも上側に配置され、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝６４を形成する。容器本体２に作用する衝撃により、基板Ｗが、下側当接面６１１及び下側側方当接面６２１から離間したときにＶ字状溝６４に係合して、下側傾斜面６２２は、基板Ｗの裏面の端縁に当接する。また、上側傾斜面６３１は、容器本体２に作用する衝撃により、基板Ｗが下側当接面６１１及び下側側方当接面６２１から離間したときにＶ字状溝６４に基板Ｗが係合して、基板Ｗの表面（上面）の端縁に当接する。

　図２等に示すように、リアリテーナ８は、奥壁２２に設けられたリブ状部２２１に形成されて設けられている。リブ状部２２１は、奥壁２２の内面において、基板収納空間２７の内方へ突出している。リアリテーナ８は、基板収納空間２７の内方へ突出しているリブ状部２２１の内面に形成されており、図６Ｂに示すように、下側傾斜面８０１と上側傾斜面８０２とを有している。

　具体的には、下側傾斜面８０１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６Ｂにおける左側）から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面８０２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心（図６Ｂにおける左側）に接近するように、下側傾斜面８０１の上端部から傾斜して延びる傾斜面により構成されている。

　下側傾斜面８０１、上側傾斜面８０２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝８０３を形成する。下側傾斜面８０１、上側傾斜面８０２には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときであって、容器本体２に衝撃が作用したときに、基板Ｗの縁部が当接可能である。

　具体的には、基板支持板状部５によって並列させられた基板Ｗの並列方向、即ち、上下方向Ｄ２において、下側傾斜面８０１と上側傾斜面８０２との交差位置Ｘ１（Ｖ字状溝８０３の頂点）は、図６Ｂに示すように、基板支持板状部５に支持されている状態の基板Ｗの位置に一致する。そして、下側傾斜面８０１、上側傾斜面８０２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに、基板Ｗの裏面の端縁、基板Ｗの表面の端縁にそれぞれ当接しないように、所定の距離で基板Ｗの裏面の端縁、基板Ｗの表面の端縁からそれぞれ離間して配置されている。この「所定の距離」とは、後述のように、基板Ｗが収納された状態の基板収納容器１の搬送中に、基板収納容器１に基板収納容器１の外部から衝撃が作用したときに、基板Ｗと、下側傾斜面８０１又は上側傾斜面８０２とが当接可能である程度の距離である。なお、図６Ｂにおいても、同様に、基板Ｗと、下側傾斜面８０１及び上側傾斜面８０２とは、当接しておらず離間している。

　図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

　図４に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体３の部分には、図４に示すように、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。

　図４に示すように、フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部により支持されている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、脚部の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。

　具体的には、フロントリテーナ基板受け部７３は、図６Ｃに示すように、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２とを有している。

　下側傾斜面７３１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接する。上側傾斜面７３２は、基板Ｗの表面の端縁に当接する。具体的には、下側傾斜面７３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７３２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７０３を形成する。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁、表面の端縁がそれぞれ当接する。

　基板支持板状部５によって並列させられた基板Ｗの並列方向、即ち、上下方向Ｄ２において、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２との交差位置Ｘ７（Ｖ字状溝７０３の頂点）は、図６Ｃに示すように、基板支持板状部５に支持されている状態の基板Ｗの位置に一致する。

　次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。
　先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１の凸部５１１、５１２、及び、奥側端縁支持部６０の支持部下側凸部６１の下側当接面６１１にそれぞれ載置する。

　次に、蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、フロントリテーナ７の下側傾斜面７３１に、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接させると共に、フロントリテーナ７の上側傾斜面７３２に、基板Ｗの表面の端縁に当接させる。そして、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、下側当接面６１１に当接した状態の基板Ｗの側面は、奥側端縁支持部６０の下側側方当接面６２１に当接する。このとき、基板Ｗは、前部においてフロントリテーナ７の下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２によって後方向Ｄ１２へ押圧され、また、後部において奥側端縁支持部６０の下側側方当接面６２１に当接して前方向Ｄ１１へ押圧されており、前方向Ｄ１１と後方向Ｄ１２とからに挟まれるように保持されている。そして、下側側方当接面６２１は、垂直に延びる面により構成されているため、基板Ｗは、上下方向Ｄ２へ移動しない。そして、基板収納容器１は、９０°回転させられて、容器本体開口部２１が鉛直上方向を向いた状態とされて搬送されるか、又は、９０°回転させられずに、容器本体開口部２１が水平方向を向いた状態のまま、搬送される。

　次に、基板Ｗが収納された状態の基板収納容器１の搬送中に、基板収納容器１に基板収納容器１の外部から衝撃が作用すると、奥側端縁支持部６０の下側側方当接面６２１に当接していた基板Ｗが下側側方当接面６２１から外れることがある。この場合には、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６２２と上側傾斜面６３１とによって形成されたＶ字状溝６４に入り係合する。一度Ｖ字状溝６４に基板Ｗが係合すると、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３の脚部の付勢力により、基板Ｗは、後方向Ｄ１２へ付勢されているため、Ｖ字状溝６４から外れることはなく、Ｖ字状溝６４に係合した状態が維持される。

　上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないとき、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗの縁部に当接した状態で、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
　奥側基板支持部６は、基板Ｗの裏面の端縁に当接可能な下側当接面６１１と、下側当接面６１１から上方向へ垂直に延びる下側側方当接面６２１と、基板収納空間２７の中心から離間するように、下側側方当接面６２１の上端部から傾斜して延びる下側傾斜面６２２と、基板収納空間２７の中心に接近するように、下側傾斜面６２２の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面６３１と、を有する。
　また、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないとき、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部としての基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗの縁部に当接した状態で、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
　奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接し、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときにも、基板Ｗの裏面の端縁に当接状態を維持可能な下側当接面６１１と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに、基板Ｗの端縁の側面に当接可能であり、基板Ｗの裏面の端縁が下側当接面６１１に当接した状態を維持可能な下側側方当接面６２１と、下側側方当接面６２１よりも上側に配置され、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝を形成する下側傾斜面６２２及び上側傾斜面６３１であって、容器本体２に作用する衝撃により、基板Ｗが下側当接面６１１及び下側側方当接面６２１から離間したときに凹溝に基板Ｗが係合して、基板Ｗの裏面の端縁に当接する下側傾斜面６２２と、凹溝に係合した基板Ｗの表面の端縁に当接する上側傾斜面６３１と、を有する。

　上記構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに、基板Ｗが奥側基板支持部６に対して摺動しないため、摺動による摩擦によってパーティクルが発生することを抑制することが可能となる。また、容器本体２に対する蓋体３の開閉時に、蓋体３の開閉動作により奥側基板支持部６に対して基板Ｗを摺動させることを行わないため、基板Ｗを摺動させるために必要であった蓋体３を開閉させるための力を低減させることが可能となる。この結果、蓋体３を容器本体２に対して閉める装置において、必要以上に強い力が要求されることはなく、装置エラーを起こすことを抑えることが可能となる。

　また、基板Ｗが収納された状態の基板収納容器１の搬送中に、基板収納容器１に基板収納容器１の外部から衝撃が作用して、万が一、奥側端縁支持部６０の下側側方当接面６２１に当接した状態にあった基板Ｗが下側側方当接面６２１から外れた場合であっても、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６２２と上側傾斜面６３１とにより形成されたＶ字状溝６４に基板Ｗが入り係合することが可能となる。そして、一度Ｖ字状溝６４に基板Ｗが係合すると、基板収納容器１の搬送中には、基板ＷがＶ字状溝６４から外れることはなく、基板Ｗの上面が基板Ｗの上側に位置する支持部下側凸部６１に当接することが防止され、基板Ｗの上面が破損することを防止することができる。また、一度Ｖ字状溝６４に基板Ｗが係合すると、基板収納容器１の搬送中には、基板ＷがＶ字状溝６４から外れることはないため、基板Ｗがバタつくことを防止でき、基板Ｗのバタつきによるパーティクルの発生を防止することが可能となる。

　また、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接する下側傾斜面７３１、及び、基板Ｗの表面の端縁に当接する上側傾斜面７３２を有し、基板支持板状部５によって並列させられた基板Ｗの並列方向において、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２との交差位置Ｘ７は、基板支持板状部５に支持されている状態の基板Ｗの位置に一致する。

　上記構成により、蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞される前の状態のときに、既に、フロントリテーナ７の下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２との交差位置Ｘ７が、基板支持板状部５に支持されている基板Ｗの位置に一致する。このため、蓋体３により容器本体開口部２１が閉塞されたときにも、基板Ｗがこの位置で支持されることが維持される。このため、基板Ｗが奥側基板支持部６に対して摺動することをより確実にすることが可能となる。

　また、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときであって、容器本体２に衝撃が作用したときに、基板Ｗの縁部が当接可能なリアリテーナ８を備える。この構成により、基板収納容器１を搬送しているときに、基板収納容器１に作用する衝撃により、基板Ｗはリアリテーナ８の下側傾斜面８０１、又は、上側傾斜面８０２に当接して支持され、基板Ｗの破損を抑えることが可能となる。

　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

　例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部や、蓋体側基板支持部や、奥側基板支持部や、リアリテーナの構成は、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７、奥側基板支持部６、リアリテーナ８の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。

１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
５　基板支持板状部（側方基板支持部）
６　奥側基板支持部
７　フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
８　リアリテーナ
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
６１１　下側当接面
６２１　下側側方当接面
６２２　下側傾斜面
６３１　上側傾斜面
７３１　下側傾斜面
７３２　上側傾斜面
Ｗ　基板

Claims

　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部に当接した状態で、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
　前記奥側基板支持部は、前記基板の裏面の端縁に当接可能な下側当接面と、前記下側当接面から上方向へ垂直に延びる側方当接面と、前記基板収納空間の中心から離間するように、前記側方当接面の上端部から傾斜して延びる下側傾斜面と、前記基板収納空間の中心に接近するように、前記下側傾斜面の上端部から傾斜して延びる上側傾斜面と、を有する基板収納容器。
　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部に当接した状態で、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
　前記奥側基板支持部は、
　　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記基板の裏面の端縁に当接し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときにも、前記基板の裏面の端縁に当接状態を維持可能な下側当接面と、
　　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに、前記基板の端縁の側面に当接可能であり、前記基板の裏面の端縁が前記下側当接面に当接した状態を維持可能な側方当接面と、
　　前記側方当接面よりも上側に配置され、前記基板の端部が係合可能な前記基板収納空間の中心から離間するように窪んだ凹溝を形成する下側傾斜面及び上側傾斜面であって、容器本体に作用する衝撃により、前記基板が前記下側当接面及び前記側方当接面から離間したときに前記凹溝に基板が係合して、前記基板の裏面の端縁に当接する下側傾斜面と、前記凹溝に係合した前記基板の表面の端縁に当接する上側傾斜面と、を有する基板収納容器。
　前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の裏面の端縁に当接する下側傾斜面、及び、前記基板の表面の端縁に当接する上側傾斜面を有し、
　前記側方基板支持部によって並列させられた前記基板の並列方向において、前記下側傾斜面と前記上側傾斜面との交差位置は、前記側方基板支持部に支持されている状態の前記基板の位置に一致する請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときであって、前記容器本体に衝撃が作用したときに、前記基板の縁部が当接可能なリアリテーナを備える請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。