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WO2009060069A3 - Druck-messeinrichtung - Google Patents

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WO2009060069A3 PCT/EP2008/065137 EP2008065137W WO2009060069A3 WO 2009060069 A3 WO2009060069 A3 WO 2009060069A3 EP 2008065137 W EP2008065137 W EP 2008065137W WO 2009060069 A3 WO2009060069 A3 WO 2009060069A3
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Dieter Stolze
Anh Tuan Tham
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    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means

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Abstract

Es ist eine Druck-Messeinrichtung mit einem Sockel (13, 13'), einem auf dem Sockel (13, 13') angeordneten mit dem Sockel (13, 13') verbundenen Zwischenstück (15, 15') aus einem Halbleiter, und einem auf dem Zwischenstück (15, 15') angeordneten mit dem Zwischenstück (15, 15') verbundenen Halbleiter-Drucksensor (17) mit einem Träger (19) und einer Messmembran (21), beschrieben, die einen zuverlässigen Schutz der empfindlichen Messemembran (21) vor mechanischen Verspannungen bietet, bei dem im Zwischenstück (15;15') eine im Inneren des Zwischenstücks (15, 15') verlaufende ringfömig umlaufende Ausnehmung (33) vorgesehen ist, die einen ersten zylindrischen Abschnitt (35) und einen sockelseitig daran angrenzenden zweiten zylindrischen Abschnitt (37) des Zwischenstücks (15, 15') umschließt, wobei der zweite zylindrische Abschnitt (37) einen größeren Außendurchmesser aufweist als der erste zylindrische Abschnitt (35), und die zu einer dem Sockel (13, 13') zugewandten Seite des Zwischenstücks (15, 15') hin offen ist, und der zweite zylindrische Abschnitt (37) eine dem Sockel (13, 13') zugewandte auf einer freiliegenden Stirnfläche des Sockels (13, 13') aufliegende Stirnfläche aufweist, die eine Verbindungsfläche bildet über die das Zwischenstück (15, 15') mit dem Sockel (13, 13') mechanisch fest verbunden ist.
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