WO2008139788A1 - Procédé et dispositif pour fabriquer un élément électroluminescent organique - Google Patents
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Abstract
Procédé de fabrication pour fabriquer un élément électroluminescent organique (10) qui comprend un substrat (12), une structure laminée formée sur le substrat (12) et un film isolant (26). La structure laminée est constituée d'une anode (14), d'une couche de transport de trou (16), d'une couche électroluminescente organique (18), d'une couche de transport d'électrons (20) et d'une cathode (24). Le procédé comprend un processus de formation de couche électroluminescente organique pour former la couche électroluminescente organique (18) en déchargeant un matériau de vaporisation au substrat depuis une buse agencée dans une position où la distance jusqu'au substrat est de 15 mm ou moins. A propos, la durée de vie de l'élément électroluminescent organique peut être prolongée et une réduction des coûts de fabrication peut être réalisée comparativement aux coûts classiques.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007-130949 | 2007-05-16 | ||
JP2007130949A JP4881789B2 (ja) | 2007-05-16 | 2007-05-16 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2008139788A1 true WO2008139788A1 (fr) | 2008-11-20 |
Family
ID=40002011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/056577 WO2008139788A1 (fr) | 2007-05-16 | 2008-04-02 | Procédé et dispositif pour fabriquer un élément électroluminescent organique |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4881789B2 (fr) |
TW (1) | TW200847845A (fr) |
WO (1) | WO2008139788A1 (fr) |
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-
2007
- 2007-05-16 JP JP2007130949A patent/JP4881789B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-04-02 WO PCT/JP2008/056577 patent/WO2008139788A1/fr active Application Filing
- 2008-04-30 TW TW097115930A patent/TW200847845A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP4881789B2 (ja) | 2012-02-22 |
TW200847845A (en) | 2008-12-01 |
JP2008287996A (ja) | 2008-11-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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