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WO2008116991A3 - Pilotage optimal a la frequence de resonance d'un resonateur d'un allumage radiofrequence - Google Patents

Pilotage optimal a la frequence de resonance d'un resonateur d'un allumage radiofrequence Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un dispositif d'alimentation d'un allumage radiofréquence, comprenant un circuit d'alimentation (2, 2') configuré pour appliquer sur une sortie connectée à un résonateur (1) de génération de plasma, une tension d'alimentation à une fréquence définie par un signal de commande (Vl) fourni par un dispositif de commande (5) du circuit d'alimentation, caractérisé en ce que le dispositif de commande comprend: - une interface (52) de réception d'une requête de détermination d'une fréquence de commande optimale, - une interface (51) de réception de signaux de mesure de la tension aux bornes d'une capacité (Cb) du circuit d'alimentation (2), - un module (53) de détermination de la fréquence de commande optimale, configuré pour fournir successivement différentes fréquences de commande au circuit d'alimentation pour des commandes d'allumage successives lors de la réception d'une requête et pour déterminer une fréquence de commande optimale en fonction des signaux de mesure reçus.
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