WO2008010337A1

WO2008010337A1 - Vibrateur de type fourche et gyroscope à vibrations l'utilisant

Info

Publication number: WO2008010337A1
Application number: PCT/JP2007/057825
Authority: WO
Inventors: Katsumi Fujimoto; Masato Koike
Original assignee: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date: 2006-07-21
Filing date: 2007-04-09
Publication date: 2008-01-24
Also published as: JP4687790B2; US20090133497A1; US7770450B2; JPWO2008010337A1; CN101495836A; CN101495836B

Description

明細書

音片型振動子およびそれを用いた振動ジャイロ

技術分野

[0001] この発明は、音片型振動子およびそれを用いた振動ジャイロに関し、特にたとえば

、屈曲振動を利用した音片型振動子と、それを用いた振動ジャイロに関する。

背景技術

[0002] 図 12は、従来の音片型振動子の一例を示す斜視図である。音片型振動子 1は、短冊状の 2つの圧電体基板 2a, 2bを含む。これらの圧電体基板 2a, 2bは、電極 3を介して積層される。これらの圧電体基板 2a, 2bは、図 12の矢印で示すように、互いに逆向きに分極される。一方の圧電体基板 2aの主面上には、 2つの分割電極 4, 4が形成される。これらの分割電極 4, 4は、圧電体基板 2aの幅方向の中央部で分割され、圧電体基板 2aの長手方向に延びるように形成される。また、他方の圧電体基板 2b の主面上には、その全面に共通電極 5が形成される。この音片型振動子 1は、分割電極 4, 4と共通電極 5との間に発振回路を接続することにより、圧電体基板 2a, 2bの主面に直交する向きに屈曲振動するが、その屈曲振動のノード部に支持部材 6, 6が形成される。

[0003] この音片型振動子 1は、たとえば振動ジャイロとして使用される。この場合、分割電極 4, 4と共通電極 5との間に発振回路が接続される。また、分割電極 4, 4は差動回路に接続され、分割電極 4, 4の出力信号の差が検出される。発振回路の駆動信号によって、音片型振動子 1は、圧電体基板 2a, 2bの主面に直交する向きに屈曲振動する。ここで、音片型振動子 1は、その共振周波数で振動する自励振駆動により屈曲振動させられる。この状態で、音片型振動子 1の中心軸を中心として回転角速度が印加されると、無回転時における屈曲振動の向きと直交する向きにコリオリカが働く。そのため、音片型振動子 1の屈曲振動の向きが変わり、 2つの分割電極 4, 4力らコリオリ力に対応した逆位相の信号が出力され、差動回路力これらの信号の差が出力される。したがって、差動回路の出力信号を測定することにより、音片型振動子 1に加わった回転角速度を検出することができる (特許文献 1参照)。特許文献 1：特開平 7— 332988号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 振動ジャイロを搭載するビデオカメラなどの小型化に伴い、振動ジャイロも小型化および低背化の要求が強くなつてきている。ここで、上述のような音片型振動子の共振周波数 corは、音片型振動子の長さを L、厚みを H、密度を p、ヤング率を E、慣性モ一メントを Iとしたとき、次式で表される。

[0005] [数 1]

[0006] 上式から、音片型振動子が小型化すると、その共振周波数が高くなることがわかる。一方、音片型振動子の共振周波数が高くなると、ビデオカメラなどに加わる手ブレの周波数との差が大きくなり、回転角速度の検出感度が低下する。一般的な振動ジャイロの共振周波数は 50kHz以下であり、たとえば、一般的な圧電セラミックバイモルフ振動子では、その厚みが 0. 4mm,長さが 7mmのもので、共振周波数は約 30k Hzである。

[0007] このように、音片型振動子を小型化すれば、回転角速度の検出感度が低下し、回転角速度の検出感度を上げるために共振周波数を低くしょうとすれば、音片型共振子が大型化してしまう。また、圧電体を積層した音片型振動子では、圧電体の厚みが必須となり、振動ジャイロの低背化にも限界がある。

[0008] それゆえに、この発明の主たる目的は、小型で、低背化が可能であり、検出感度が良好な振動ジャイロとして使用することができる音片型振動子と、それを用いた振動ジャイロを提供することである。

課題を解決するための手段

[0009] この発明は、一方主面および他方主面を有するミアンダ形状の振動体と、振動体の一方主面の長手方向一端側から中央部に延びるように形成され振動体の幅方向に分割された 2つの駆動電極と、振動体の一方主面の長手方向他端側から中央部に延びるように形成される検出電極と、振動体の他方主面に形成される金属膜と、振動体が屈曲振動したときのノード点となる部分に形成される振動体を中空に支持するための支持部とを含む、音片型振動子である。

駆動電極に駆動信号を印加することにより、振動体に屈曲振動を励振させることができる。ここで、振動体をミアンダ形状とすることにより、音片型振動子全体を小型化しても、共振周波数を低く保つのに必要な振動子の長さを確保することができる。そのため、音片型振動子全体を小型化しても、その共振周波数が高くなることを防止することがでさる。

なお、駆動電極は振動体の長手方向の一端側から中央部に延びるように形成され、検出電極は振動体の長手方向の他端側から中央部に延びるように形成されている力ここでいう一端側および他端側とは、振動体の中央部に対する長手方向の一端側および他端側と!ヽぅ向きを示すものであって、振動体の端部と！ヽぅ意味ではな、。したがって、振動体の両側における端部から中央部まで、全体的に駆動電極や検出電極が形成されて、ることを示して、るわけではな！/、。

[0010] このような音片型振動子において、振動体の長手方向の略中央部において振動体の長手方向と交差する向きに延びる長尺状の第 1の検出部が形成され、第 1の検出部の一方主面に検出電極が形成された構成としてもよい。

振動体の長手方向の略中央部において振動体の長手方向と交差する向きに延びる長尺状の第 1の検出部を形成することにより、屈曲振動する音片型振動子に回転角速度が加わったときに、第 1の検出部にコリオリカが働く。それにより、コリオリカに対応して第 1の検出部が変形し、第 1の検出部にコリオリカに対応する信号が発生して、検出電極力もその信号が出力される。

[0011] また、第 1の検出部の端部に連結するように形成され、かつ振動体の幅方向の両側において振動体の長手方向に延びるように形成される第 2の検出部を含む構成としてもよい。

第 1の検出部の端部に第 2の検出部を形成することにより、コリオリカによる第 1の検出部の変形を大きくすることができ、検出電極カもコリオリカに対応するより大きい信号を出力させることができる。

[0012] 振動体は 2つの圧電体基板を貼り合せて形成され、 2つの圧電体基板が振動体の一方主面側と他方主面側とで互いに厚み方向逆向きに分極された構成としてもよいまた、振動体は、厚み方向に分極された圧電体基板と非圧電体基板とを貼り合せて形成されてもよい。

さらに、振動体は、圧電膜を含む薄膜により形成されてもよい。

振動体は、駆動信号によって屈曲振動する構成のものであればよい。したがって、 2つの圧電体基板を貼り合わせて振動体を形成してもよヽし、圧電体基板と非圧電体基板とを貼り合せて振動体を形成してもよヽ。

さらに、振動体を薄膜構造とすることにより、音片型振動子を低背化することができる。

[0013] また、この発明は、上述のいずれかに記載の音片型振動子と、音片型振動子の駆動電極間に駆動信号を印加するための駆動手段と、検出電極と金属膜との間に発生する信号を検出するための検出手段とを含む、振動ジャイロである。

駆動手段力印加される駆動信号により、音片型振動子が屈曲振動し、回転角速度が加わることにより、検出電極からコリオリカに対応した検出信号が出力され、この検出信号が、検出手段によって検出される。したがって、検出手段で検出されるコリオリ力に対応した検出信号により、音片型振動子に印加された回転角速度を知ることができる。

発明の効果

[0014] この発明によれば、音片型振動子を小型化しても、その共振周波数が高くなることを防止することができる。そのため、このような音片型振動子を用いることにより、小型で、良好な感度を有する振動ジャイロを得ることができる。さらに、音片型振動子の振動体を薄膜構造とすることにより、音片型振動子を低背化することができる。したがつて、このような音片型振動子を用いることにより、低背化された振動ジャイロを得ることができる。

[0015] この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明ら力となろう。

図1—面〇の簡単な説明

[図 1]この発明の音片型振動子の一例を示す平面図である。

圆 2]図 1に示す音片型振動子に用いられる振動体を示す斜視図である。

圆 3]図 1に示す音片型振動子の一点鎖線で示す支持部における断面図である。圆 4]図 1に示す音片型振動子を用いた振動ジャイロの一例を示す図解図である。圆 5]振動体の屈曲振動の様子を示す図解図である。

圆 6]第 2の検出部を有する振動体の振動状態を示す図解図である。

圆 7]この発明の音片型振動子の他の例を示す平面図である。

圆 8]図 7に示す音片型振動子を用いた振動ジャイロにおける振動体の振動状態を示す図解図である。

圆 9]振動体を構成する振動片の連結箇所の一例を示す斜視図である。

[図 10]振動体を構成する振動片の連結箇所の他の例を示す斜視図である。

圆 11]振動体を構成する振動片の連結箇所のさらに他の例を示す斜視図である。圆 12]従来の音片型振動子の一例を示す斜視図である。

符号の説明

音片型振動子

12 基板

14 振動体

16, 18 駆動電極

20 検出電極

22 共通電極

34 空洞部

36 SiO膜

2

38 圧電膜

50 振動ジャイロ

52 発振回路

54 差動回路 56 同期検波回路

58 平滑回路

60 DCアンプ

62 第 1の検出部

64 第 2の検出部

発明を実施するための最良の形態

[0018] 図 1は、この発明の音片型振動子の一例を示す平面図である。音片型振動子 10は、たとえば矩形板状の基板 12上において中空に支持される。音片型振動子 10は、振動体 14を含む。振動体 14は、たとえば SiO膜と圧電膜とで薄膜構造となるよう〖こ

2

形成される。振動体 14は、図 2に示すように、全体としてミアンダ形状となるように形成される。つまり、複数の長方形状の振動片が平行するように配置され、中央部の振動片とそれに隣接する振動片とが中央部で連結される。また、連結された 3つの振動片の両側においては、それぞれの振動片が交互に異なる端部で接続され、蛇行したミアンダ形状となるように形成される。中央部の振動片の両側においては、互いに逆の端部において隣接する振動片が接続され、中央部の振動片の中心点に対して回転対称となるように形成される。

[0019] 振動体 14には屈曲振動が励振されるが、その屈曲振動のノード点となる 2箇所において、振動体 14が基板 12に支持される。振動体 14の一方の支持部 14aから中央部の振動片に隣接する振動片まで延びるように、 2つの駆動電極 16, 18が形成される。これらの駆動電極 16, 18は、各振動片の幅方向に分割されて、互いに平行するようにしてミアンダ形状に形成される。また、中央部の振動片の一方主面上には、その幅方向の両側、つまり振動体 14全体の長手方向の両側に分割されるようにして、検出電極 20と共通電極 22とが形成される。検出電極 20は、駆動電極 16, 18と反対側の振動片側にミアンダ形状に延びて形成され、他方の支持部 14bまで形成される。なお、支持部 14a, 14bは、金属あるいは榭脂等により柱状に形成される。

[0020] 振動体 14の他方主面には、金属膜によって共通電極 22が形成される。そして、振動体 14の中央部の振動片にはスルーホール 24が形成され、このスルーホール 24を介して、振動体 14の他方主面の共通電極 22と中央部の支持片の一方主面に形成された共通電極 22とが接続される。

[0021] 振動体 14の一方の支持部 14aにおいて、 2つの駆動電極 16, 18は、基板 12上に引き出された引出し電極 26, 28に接続される。引出し電極 26, 28は、それぞれ振動体 14の幅方向の両側に配置され、振動体 14の長手方向の一端側まで引き出される。また、振動体 14の他方の支持部 14bにおいて、検出電極 20は、基板 12上に引き出された引出し電極 30に接続される。また、振動体 14の他方の支持部 14bにおいて、振動体 14の他方主面に形成された共通電極 22が、基板 12上に引き出された引出し電極 32に接続される。引出し電極 30, 32は、それぞれ振動体 14の幅方向の両側に配置され、振動体 14の長手方向の他端側まで引き出される。

[0022] 図 3は、図 1の一点鎖線で示すように、振動体 14の他方の支持部 14bにおける音片型振動子 10の基板 12の長手方向の断面を示す図解図である。基板 12上には、たとえば台形の断面形状を有する空洞部 34を介して、音片型振動子 10が形成される。そのため、基板 12上に、共通電極 22が形成される。共通電極 22は、基板 12から斜上方に上昇し、さらに基板 12の主面とほぼ平行に延びるように形成される。この共通電極 22の基板 12に接触する部分は、引出し電極 32に連続するように形成される

[0023] 共通電極 22上には、 SiO膜 36が形成される。 SiO膜 36は、空洞部 34を覆うよう

2 2

にして、共通電極 22の上昇部分力も基板 12の主面とほぼ平行な部分を覆うように形成され、さらに共通電極 22の反対側において基板 12に向力つて斜めに下降するように形成される。さら〖こ、 SiO膜 36上には、たとえば A1Nなどによって、圧電膜 38が形

2

成される。圧電膜 38は、基板 12の主面とほぼ平行な部分において、共通電極 22と対向する位置に形成される。また、圧電膜 38上には、検出電極 20が形成される。検出電極 20は、圧電膜 38上から SiO膜 36上にわたって形成され、共通電極 22が引

2

き出された側の反対側において基板 12上に引き出される。そして、基板 12上に引き出された検出電極 20は、引出し電極 30に連続するように形成される。図 3において、共通電極 22、 SiO膜 36、圧電膜 38および検出電極 20が重なり合つている領域が

2

振動体 14を構成する。

[0024] また、振動体 14の一方の支持部 14aにおいては、圧電膜 38上に、 2つの駆動電極 16, 18が間隔を隔てて形成され、 SiO膜 36の両側に引き出される。 SiO膜 36の両

2 2 側に引き出された駆動電極 16, 18は、引出し電極 26, 28に連続するように形成される。振動体 14の 2つの支持部 14a, 14b以外の部分においては、基板 12から浮いた状態で、共通電極 22、 SiO膜 36、圧電膜 38、および駆動電極 16, 18または検出

2

電極 20が積層された状態で形成される。したがって、これらの部分においては、振動体 14や各電極は、基板 12と接触していない。

[0025] 音片型振動子 10を作製するために、基板 12が準備される。この基板 12上に、 Zn O薄膜が形成される。 ZnO薄膜は、支持部において音片型振動子 10を中空に支持し、支持部以外の部分においては基板 12から離れて音片型振動子 10を形成するために、後工程において除去されるいわゆる犠牲層となる。 ZnO薄膜は、たとえば基板 12上に、ェピタキシャル成長法などによって形成される。この ZnO薄膜は、反応性ィオンエッチング (RIE)などにより、音片型振動子 10の形状にパターユングされる。

[0026] ZnO薄膜上には、たとえば RFマグネトロンスパッタ法、めっき法、蒸着法などの薄膜技術により、 Auなどの金属膜を形成することによって共通電極 22が形成される。このとき、基板 12上に、共通電極 22から引き出されるようにして、引出し電極 32も形成される。さらに、共通電極 22上には、薄膜技術により、 SiO膜 36および圧電膜 38が

2

順次形成される。これらの共通電極 22、 SiO膜 36および圧電膜 38も、 RIEなどによ

2

つて所定の形状にパターユングされる。さらに、 SiO 38

2膜 36および圧電膜の中央部に、上下の共通電極 22を接続するためのスルーホール 24が形成される。そして、圧電膜 38上に、薄膜技術により、 Auなどによって金属膜が形成される。この金属膜が所定の形状にパターユングされて、駆動電極 16, 18、検出電極 20および振動体 14 の一方主面上の共通電極 22が形成される。このとき、スルーホール 24にも金属膜が形成され、上下の共通電極 22が接続される。さらに、金属膜を形成する際に、基板 1 2上に、引出し電極 26, 28, 30も形成される。最後に、エッチングなどによって、 Zn O膜が除去されることにより、音片型振動子 10が作製される。

[0027] この音片型振動子 10は、図 4に示すように、たとえば振動ジャイロ 50として使用される。この場合、駆動電極 16, 18が接続された引出し電極 26, 28に、駆動手段としての発振回路 52が接続される。発振回路 52は、 AGC回路、位相補正回路、駆動用増幅回路などを含む。そして、振動体 14、駆動電極 16, 18、引出し電極 26, 28、発振回路 52によって、自励発振ループが形成される。

[0028] さらに、検出電極 20および共通電極 22が接続された引出し電極 30, 32は、差動増幅回路 54に接続される。差動増幅回路 54の出力信号は、同期検波回路 56に入力される。同期検波回路 56には、発振回路 52が接続され、発振回路 52の信号に同期して差動増幅回路 54の出力信号が検波される。さらに、同期検波回路 56には、平滑回路 58および DCアンプ 60が順次接続される。これらの差動増幅回路 54、同期検波回路 56、平滑回路 58および DCアンプ 60などによって、回転角速度に対応した信号を検出するための検出手段が構成される。なお、回転角速度に対応した信号は、検出電極 20と共通電極 22とが形成された中央部の振動片に発生するため、この中央部の振動片が回転角速度を検出するための第 1の検出部 62となる。

[0029] この振動ジャイロ 50では、発振回路 52を含む自励発振ループにより、音片型振動子 10に屈曲振動が励振される。この屈曲振動は、図 5に示すように、振動体 14の 2 つのノード点を中心として、振動体 14の主面に平行な面内において励振される屈曲振動である。このとき、第 1の検出部 62の位置は、振動体 14の屈曲振動によって変位するものの、その形状は変形しない。

[0030] この状態で、振動体 14の主面に直交する向きの軸を中心として回転角速度が印加されると、振動体 14の主面に平行な面内で、屈曲振動の向きと直交する向きにコリオリカが働く。このコリオリカにより、第 1の検出部 62には、振動体 14の長手方向に屈曲するような変形が発生する。第 1の検出部 62の変形量は、コリオリカに対応しているため、検出電極 20と共通電極 22との間には、コリオリカに対応した信号が発生する。したがって、差動回路 54からは、コリオリカに対応した信号が出力される。

[0031] このコリオリカによる信号は、同期検波回路 56で同期検波され、平滑回路 58で平滑され、さらに DCアンプ 60で増幅される。したがって、 DCアンプ 60の出力信号を測定することにより、音片型振動子 10に印加された回転角速度を検出することができる

[0032] この音片型振動子 10においては、振動体 14の中央部にある第 1の検出部 62の両側部分がミアンダ形状に形成されてヽるため、振動体 14全体としての直線的な長さに比べて、振動子としての蛇行した長さを長くすることができる。そのため、音片型振動子 10を小型化しても、振動子としての長さを長く保つことができ、音片型振動子 10 の共振周波数が高くならな、ようにすることができる。

[0033] このように、この音片型振動子 10を使用すれば、小型化しても、共振周波数の低い振動ジャイロ 50を得ることができる。そのため、振動ジャイロ 50をビデオカメラなどに搭載したとき、手ブレの周波数との差が小さい共振周波数で音片型振動子 10を励振することができる。そのため、手ブレなどに対して、良好な感度を有する小型の振動ジャイロ 50を得ることができる。また、圧電体として、 SiO膜 36および圧電膜 38で構

2

成された薄膜構造を採用することにより、音片型振動子 10の低背化を図ることができる。さら〖こ、 SiO膜や圧電膜 38を採用することにより、薄膜プロセスを利用して音片

2

型振動子を作製できるため、音片型振動子 10の小型化も容易である。

[0034] このような振動ジャイロ 50において、図 6に示すように、第 1の検出部 62の両端部に第 2の検出部 64が形成されてもよい。第 2の検出部 64は、振動体 14の幅方向の両側に沿って形成される。第 2の検出部 64は、コリオリカが働いたときに、第 1の検出部 62の変形を大きくする重りとして働く。したがって、音片型振動子 10に回転角速度が印加されたとき、コリオリカによって第 1の検出部 62は大きく変形し、差動回路 54から大きい信号を得ることができる。したがって、このような音片型振動子 10を用いれば、感度の良好な振動ジャイロ 50を得ることができる。なお、上述のように、第 2の検出部 64は重りとして働くものであり、この部分に電極を形成する必要はない。

[0035] また、図 7に示すように、第 1の検出部 62の一方主面のほぼ全面に検出電極 20を形成し、他方主面に共通電極を形成してもよい。このような音片型振動子 10を用いた振動ジャイロ 50では、音片型振動子 10の長手方向に延びる軸を中心とした回転角速度が検出される。つまり、音片型振動子 10が、図 5に示すように屈曲振動している状態で、そのような回転角速度が印加されると、音片型振動子 10の主面に直交する向きにコリオリカが働く。それにより、図 8に示すように、第 1の検出部 62が厚み方向に屈曲し、第 1の検出部 62において対向する検出電極 20と共通電極 22との間に信号が発生する。この信号が差動回路 54から出力されるため、 DCアンプ 60の出力信号を測定することにより、音片型振動子 10に印加された回転角速度を検出することがでさる。

[0036] なお、圧電膜 38として形成される A1Nは、ヤング率の温度係数が負の値をもっため、温度により検出信号の周波数が変化し、正確に回転角速度を検出できない可能性がある。そこで、ヤング率の温度係数が正の値をもつ SiO膜 36と組み合わせることに

2

より、検出信号の周波数の温度特性を安定なものにすることができる。

[0037] 振動体 14としては、薄膜プロセスによって SiO膜 36および圧電膜 38を形成したも

2

のでなくてもよい。たとえば、振動体 14の形状の 2枚の圧電体基板を積層し、これらの圧電体基板が互いに逆向きの厚み方向に分極されたものでもよい。また、振動体 1 4の形状の圧電体基板と非圧電体基板とを積層したものであってもよヽ。このような振動体 14を用いた音片型振動子 10であっても、第 1の検出部 62の両側部分をミアンダ形状にすることにより、振動子としての長さを長く保つことができ、小型で共振周波数の低ヽ音片型振動子とすることができる。

[0038] また、振動体 14を構成する平行に配置された振動片の連結箇所としては、図 9〖こ示すように、振動片の端部で連結することができる。また、図 10に示すように、振動片の端部と中央部の間で連結することができるし、図 11に示すように、振動片の中央部で連結することもできる。上述の音片型振動子 10に用いられる振動体 14では、中央部の振動片とそれに隣接する振動片とは、図 11に示すように、中央部で連結され、その両側における振動片は、図 9に示すように、端部で連結されている。しかしながら、振動片の端部で連結されている部分を、図 10に示すような連結箇所で連結してもよぐこの場合でも、振動子としての蛇行した長さを長くすることができる。なお、図 1に示す音片型振動子 10のように、図 9および図 11に示す振動片の連結を組み合わせることにより、振動体 14の直線的な長さに対して、振動子としての蛇行した長さを最も長くすることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 一方主面および他方主面を有するミアンダ形状の振動体、

前記振動体の一方主面の長手方向一端側から中央部に延びるように形成され前記振動体の幅方向に分割された 2つの駆動電極、

前記振動体の一方主面の長手方向他端側から中央部に延びるように形成される検出電極、

前記振動体の他方主面に形成される金属膜、および

前記振動体が屈曲振動したときのノード点となる部分に形成される前記振動体を中空に支持するための支持部を含む、音片型振動子。

[2] 前記振動体の長手方向の略中央部において前記振動体の長手方向と交差する向きに延びる長尺状の第 1の検出部が形成され、前記第 1の検出部の一方主面に前記検出電極が形成された、請求項 1に記載の音片型振動子。

[3] 前記第 1の検出部の端部に連結するように形成され、かつ前記振動体の幅方向の両側において前記振動体の長手方向に延びるように形成される第 2の検出部を含む

、請求項 2に記載の音片型振動子。

[4] 前記振動体は 2つの圧電体基板を貼り合せて形成され、 2つの前記圧電体基板が前記振動体の一方主面側と他方主面側とで互いに厚み方向逆向きに分極された、請求項 1な、し請求項 3の、ずれかに記載の音片型振動子。

[5] 前記振動体は、厚み方向に分極された圧電体基板と非圧電体基板とを貼り合せて形成された、請求項 1な!、し請求項 3の、ずれかに記載の音片型振動子。

[6] 前記振動体は、圧電膜を含む薄膜により形成された、請求項 1な!、し請求項 3の、ずれかに記載の音片型振動子。

[7] 請求項 1な!、し請求項 6の、ずれかに記載の音片型振動子、

前記音片型振動子の前記駆動電極間に駆動信号を印加するための駆動手段、および

前記検出電極と前記金属膜との間に発生する信号を検出するための検出手段を含む、振動ジャイロ。