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WO2003032351A3 - Procede et dispositif pour l'alignement d'une colonne de faisceau de particules chargees - Google Patents

Procede et dispositif pour l'alignement d'une colonne de faisceau de particules chargees Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un procédé d'alignement automatique pour faisceau de particules chargées qui présente une ouverture. Ce procédé consiste à introduire une défocalisation, puis à appliquer à un déviateur un signal calculé sur la base d'un décalage d'image. L'invention concerne également un procédé de correction d'astigmatisme, qui consiste à évaluer la netteté pour une série d'images produites tout en faisant varier les signaux fournis à un stigmateur.
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