+

WO2002067293A3 - Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) - Google Patents

Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) Download PDF

Info

Publication number
WO2002067293A3
WO2002067293A3 PCT/US2002/004824 US0204824W WO02067293A3 WO 2002067293 A3 WO2002067293 A3 WO 2002067293A3 US 0204824 W US0204824 W US 0204824W WO 02067293 A3 WO02067293 A3 WO 02067293A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
mems
analog
digital
actuator
created
Prior art date
Application number
PCT/US2002/004824
Other languages
English (en)
Other versions
WO2002067293A2 (fr
WO2002067293A9 (fr
Inventor
Jeffrey R Annis
Ernst H Dummermuth
Richard D Harris
Patrick C Herbert
Michael J Knieser
Robert J Kretschmann
Henric Larsson
Winfred L Morris
Jun J Yao
Original Assignee
Rockwell Automation Tech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US09/788,928 external-priority patent/US6583374B2/en
Priority claimed from US09/804,817 external-priority patent/US6798312B1/en
Priority claimed from US09/805,410 external-priority patent/US6617750B2/en
Priority claimed from US10/001,412 external-priority patent/US6803755B2/en
Application filed by Rockwell Automation Tech Inc filed Critical Rockwell Automation Tech Inc
Priority to EP02724965A priority Critical patent/EP1386347A4/fr
Priority to JP2002566525A priority patent/JP4464607B2/ja
Priority to AU2002255563A priority patent/AU2002255563A1/en
Publication of WO2002067293A2 publication Critical patent/WO2002067293A2/fr
Publication of WO2002067293A3 publication Critical patent/WO2002067293A3/fr
Publication of WO2002067293A9 publication Critical patent/WO2002067293A9/fr

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002Electrostatic motors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G5/00Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
    • H01G5/04Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode
    • H01G5/14Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of effective area of electrode due to longitudinal movement of electrodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

1) Production d'un isolateur analogique pour système micro-électromécanique (MEMS) dans lequel un actionneur, p. ex. moteur électrostatique, entraîne une barrette contre une force opposée produite, par exemple, par un autre moteur électrostatique. Le déplacement de la barrette peut être détecté par un capteur fixé sur celle-ci. La barrette elle-même est isolée électriquement entre les emplacements de l'actionneur et du capteur. Cette structure peut être incorporée dans des circuits intégrés pour assurer une isolation sur puce. 2) Production d'un isolateur numérique pour système micro-électromécanique (MEMS) dans lequel un actionneur, p. ex. moteur électrostatique, entraîne une barrette contre une force prédéfinie produite, par exemple, par un autre moteur électrostatique. Quand le seuil de la force opposée est dépassé, le déplacement de la barrette peut être détecté par un capteur fixé sur celle-ci. La barrette elle-même est isolée électriquement entre les emplacements de l'actionneur et du capteur. Cette structure peut être incorporée dans des circuits intégrés pour assurer une isolation sur puce. 3) Dans un dispositif MEMS utilisant une barrette reposant sur des bras transversaux, la flexion potentielle des bras transversaux produite par des processus de fabrication, par la température ou par un auto-échauffement local dû à des pertes par effet Joule, est assurée par des terminaisons souples desdits bras. Dans une autre forme de réalisation, la flexion est réglée de manière à fournir une sollicitation sélective à la barrette, ou un avantage mécanique dans la détection du déplacement de celle-ci. 4) Les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) fabriqués à l'échelle microscopique à l'aide de techniques pour circuits intégrés peuvent servir à mesurer divers paramètres au moyen de signaux électriques produits par le déplacement de petites barrettes. On peut supprimer le bruit inertiel en dupliquant la structure de barrette afin de détecter l'accélération devant être soustraite d'une structure de barrette similaire servant à mesurer le paramètre voulu.
PCT/US2002/004824 2001-02-20 2002-02-20 Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems) WO2002067293A2 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP02724965A EP1386347A4 (fr) 2001-02-20 2002-02-20 Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems)
JP2002566525A JP4464607B2 (ja) 2001-02-20 2002-02-20 マイクロ電気機械システム(mems)装置
AU2002255563A AU2002255563A1 (en) 2001-02-20 2002-02-20 Microelectromechanical systems (mems) device including an analog or a digital

Applications Claiming Priority (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/788,928 2001-02-20
US09/788,928 US6583374B2 (en) 2001-02-20 2001-02-20 Microelectromechanical system (MEMS) digital electrical isolator
US09/804,817 US6798312B1 (en) 1999-09-21 2001-03-13 Microelectromechanical system (MEMS) analog electrical isolator
US09/805,410 2001-03-13
US09/804,817 2001-03-13
US09/805,410 US6617750B2 (en) 1999-09-21 2001-03-13 Microelectricalmechanical system (MEMS) electrical isolator with reduced sensitivity to inertial noise
US10/001,412 2001-10-25
US10/001,412 US6803755B2 (en) 1999-09-21 2001-10-25 Microelectromechanical system (MEMS) with improved beam suspension

Publications (3)

Publication Number Publication Date
WO2002067293A2 WO2002067293A2 (fr) 2002-08-29
WO2002067293A3 true WO2002067293A3 (fr) 2003-11-27
WO2002067293A9 WO2002067293A9 (fr) 2004-04-01

Family

ID=27485089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/US2002/004824 WO2002067293A2 (fr) 2001-02-20 2002-02-20 Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems)

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1386347A4 (fr)
JP (1) JP4464607B2 (fr)
AU (1) AU2002255563A1 (fr)
WO (1) WO2002067293A2 (fr)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6690178B2 (en) * 2001-10-26 2004-02-10 Rockwell Automation Technologies, Inc. On-board microelectromechanical system (MEMS) sensing device for power semiconductors
JP4643192B2 (ja) * 2004-07-16 2011-03-02 アオイ電子株式会社 グリッパ
US7205867B2 (en) * 2005-05-19 2007-04-17 Robert Bosch Gmbh Microelectromechanical resonator structure, and method of designing, operating and using same
US7227432B2 (en) * 2005-06-30 2007-06-05 Robert Bosch Gmbh MEMS resonator array structure and method of operating and using same

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
US5536988A (en) * 1993-06-01 1996-07-16 Cornell Research Foundation, Inc. Compound stage MEM actuator suspended for multidimensional motion
US5959516A (en) * 1998-01-08 1999-09-28 Rockwell Science Center, Llc Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor
US6060336A (en) * 1998-12-11 2000-05-09 C.F. Wan Incorporated Micro-electro mechanical device made from mono-crystalline silicon and method of manufacture therefore
US6094102A (en) * 1999-04-30 2000-07-25 Rockwell Science Center, Llc Frequency synthesizer using micro electro mechanical systems (MEMS) technology and method
US6144545A (en) * 1997-09-25 2000-11-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microactuator and method for controlling resonant frequency thereof
US6307169B1 (en) * 2000-02-01 2001-10-23 Motorola Inc. Micro-electromechanical switch
US6384353B1 (en) * 2000-02-01 2002-05-07 Motorola, Inc. Micro-electromechanical system device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5739686A (en) * 1996-04-30 1998-04-14 Naughton; Michael J. Electrically insulating cantilever magnetometer with mutually isolated and integrated thermometry, background elimination and null detection
JP4126833B2 (ja) * 1999-03-12 2008-07-30 株式会社デンソー 角速度センサ装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
US5536988A (en) * 1993-06-01 1996-07-16 Cornell Research Foundation, Inc. Compound stage MEM actuator suspended for multidimensional motion
US6144545A (en) * 1997-09-25 2000-11-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Microactuator and method for controlling resonant frequency thereof
US5959516A (en) * 1998-01-08 1999-09-28 Rockwell Science Center, Llc Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor
US6060336A (en) * 1998-12-11 2000-05-09 C.F. Wan Incorporated Micro-electro mechanical device made from mono-crystalline silicon and method of manufacture therefore
US6094102A (en) * 1999-04-30 2000-07-25 Rockwell Science Center, Llc Frequency synthesizer using micro electro mechanical systems (MEMS) technology and method
US6307169B1 (en) * 2000-02-01 2001-10-23 Motorola Inc. Micro-electromechanical switch
US6384353B1 (en) * 2000-02-01 2002-05-07 Motorola, Inc. Micro-electromechanical system device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1386347A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP4464607B2 (ja) 2010-05-19
WO2002067293A2 (fr) 2002-08-29
EP1386347A2 (fr) 2004-02-04
WO2002067293A9 (fr) 2004-04-01
EP1386347A4 (fr) 2005-05-25
AU2002255563A1 (en) 2002-09-04
JP2005503267A (ja) 2005-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007127738A3 (fr) Boitier a capteur de force et son procede de fabrication
WO2005040715A3 (fr) Capteur a systemes micro electro-mecaniques (mems) de vitesse angulaire autour de l'axe z
WO2001014889A3 (fr) Accelerometre peu couteux
WO2005047825A3 (fr) Detecteur d'ecoulement a element flottant micro-electromecanique
CA2445015A1 (fr) Systeme compact anti-vibrations destine a un ensemble detecteur inertiel
CA2414608A1 (fr) Detecteur piezo-electrique
WO2005017386A3 (fr) Procede et support antivibratoires
ATE489567T1 (de) Stellgliedanordnung für aktive schwingungsisolierung mit einer trägheitsbezugsmasse
WO2002047743A8 (fr) Sonde a ballonnet intra-aortique a systeme de mesure manometrique equipe de deux capteurs
EP1113272A3 (fr) Capteur d'accélération, dispositif de capteur d'accélération, et méthode de fabrication d'un capteur d'accélération
WO2003041997A3 (fr) Ensemble de detection de tension
CA2281301A1 (fr) Capteur de pression intraoculaire au silicium monocristallin et methode d'utilisation connexe
WO2002067293A3 (fr) Dispositif a systeme micro-electromecanique (mems)
WO2004038762A3 (fr) Systeme et procede de detection de nanomouvements
Takao et al. A monolithically integrated three-axis accelerometer using CMOS compatible stress-sensitive differential amplifiers
WO2005048647A3 (fr) Attenuation active pour ecouteur implantable
WO2002093122A3 (fr) Ensemble capteur, notamment ensemble capteur micromecanique
WO2002043984A3 (fr) Ensemble capteur de poids comportant un ressort de surcharge
WO2003076951A3 (fr) Dispositif microelectromecanique a systeme analogue pour detecter une position
WO2004102205A3 (fr) Detecteur de vitesse angulaire utilisant une haltere microelectromecanique
EP1316945A3 (fr) Mécanisme de support de tête magnétique et mécanisme de commande de positionnement pour tête magnétique
WO2004081526A3 (fr) Collecteur et procedes d'isolation microfluidique
EP0802417A3 (fr) Capteur d'accélération à semi-conducteur
DE60010746D1 (de) Pipettiermodul mit einem Aktuator-Kopplungssystem
WO2000051846A3 (fr) Systeme de commande pour vehicule, en particulier systeme de protection des passagers d'un vehicule

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002566525

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002724965

Country of ref document: EP

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2002724965

Country of ref document: EP

COP Corrected version of pamphlet

Free format text: PAGES 1/21-21/21, DRAWINGS, REPLACED BY NEW PAGES 1/21-21/21; DUE TO LATE TRANSMITTAL BY THE RECEIVING OFFICE

点击 这是indexloc提供的php浏览器服务,不要输入任何密码和下载