WO1996009787B1 - Cassette pour plaquettes ('wafer') a semiconducteurs - Google Patents
Cassette pour plaquettes ('wafer') a semiconducteursInfo
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Abstract
L'invention porte sur une cassette (114) servant à contenir une multitude de plaquettes à semiconducteurs (25) pour le stockage et le transport au cours de diverses opérations de fabrication. La cassette est constituée de plaques supérieures (156) et inférieures (158) ainsi que de colonnes de soutien (160, 162, 164 et 166) reliant les plaques supérieures aux plaques inférieures. Chacune des plaques et des colonnes de soutien est constituée d'une matière rigide capable de résister au voilage. Le dessous de la plaque inférieure comprend trois montures (170a, 170b, 170c) espacées les unes des autres et disposées tout autour de sa périphérie. Chaque monture est pourvue d'une gouttière (171) aux parois obliques. Chaque surface destinée à servir de soutien à la cassette comprend trois broches (174a, 174b, 174c) qui sont disposées de façon à pouvoir s'aligner sur les montures. La cassette (114) est positionnée sur une surface de support de manière à ce que chaque broche puisse reposer contre le dessous de la plaque inférieure (158) à l'intérieur des gouttières de chaque monture. Grâce à la rigidité de la cassette et au système de repérage de la broche ou de la monture ou des deux, le dispositif permet de positionner une cassette (114) avec précision et de manière répétée sur toutes les surfaces de support, de sorte que l'on obtient un degré élevé de contrôle dimensionnel.
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