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WO1995002193A1 - Capteur de champs magnetiques - Google Patents

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WO1995002193A1
WO1995002193A1 PCT/JP1994/001110 JP9401110W WO9502193A1 WO 1995002193 A1 WO1995002193 A1 WO 1995002193A1 JP 9401110 W JP9401110 W JP 9401110W WO 9502193 A1 WO9502193 A1 WO 9502193A1
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optical waveguide
optical
electric field
antenna
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Inventor
Yuichi Tokano
Original Assignee
Tokin Corporation
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    • G01R15/24—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices
    • G01R15/241—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption
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    • G01R29/08—Measuring electromagnetic field characteristics
    • G01R29/0864—Measuring electromagnetic field characteristics characterised by constructional or functional features
    • G01R29/0878—Sensors; antennas; probes; detectors
    • G01R29/0885—Sensors; antennas; probes; detectors using optical probes, e.g. electro-optical, luminescent, glow discharge, or optical interferometers

Definitions

  • the present invention relates to an electric field sensor used to measure the intensity of an electric field such as an electromagnetic wave.
  • FIG. 1 is a diagram showing a conventional electric field sensor.
  • the electric field sensor includes a sensor head 1 and an antenna 2 connected to the sensor head 1.
  • the sensor head 1 has a substrate 3 and an optical modulator 4 attached to the substrate 3.
  • the optical modulator 4 has an incident optical waveguide 5 formed on the substrate 3 and a refractive index that changes according to an electric field intensity applied to the substrate 3 so as to be branched from the incident optical waveguide 5.
  • the outgoing optical fiber 10 is connected to the outgoing optical waveguide 7.
  • the antenna 2 has two rod antenna elements 11. These rod antenna elements 11 are connected to the modulation electrodes 8 via lead wires 12, respectively.
  • the rod antenna element 11 is arranged so as to face the direction of the electric field, that is, orthogonal to the phase shift optical waveguide 6.
  • the above-mentioned mouth antenna element 11 is fixed to a package (not shown).
  • the lead-out portion of the optical fiber is fixed in the predetermined direction. There is a problem that the optical fiber may be damaged because it is oriented.
  • the antenna has a strong directivity, There is a problem that they need to be arranged in various directions.
  • An object of the present invention is to provide an electric field sensor capable of preventing damage to an optical fiber.
  • Another object of the present invention is to provide an electric field sensor that does not need to be oriented in various directions during a measurement.
  • the present invention provides a sensor head having a substrate and an optical modulator attached to the substrate, a package accommodating the sensor head, and a sensor mounted outside the package and connected to the optical modulator.
  • An optical modulator wherein the optical modulator comprises: two phase-shifted optical waveguides whose refractive indexes change according to the intensity of an applied electric field; and a modulation electrode formed on or near the phase-shifted optical waveguide.
  • the antenna has two rod antenna elements connected to the modulation electrodes, respectively, and these open antenna elements have a central portion of the package as one end. It is arranged to extend in the opposite direction and to be parallel to the phase shift optical waveguide.
  • the present invention includes two antenna element film pieces that are connected to the modulation electrode and that are fixed to a side surface of the package, and that the antenna element film pieces are connected to the package. It may be configured so as to extend in the opposite direction with the central portion of the first end as one end and to be arranged in parallel with the phase shift optical waveguide.
  • the present invention is configured such that the antenna has two antenna element film pieces formed on the substrate so as to be connected to the modulation electrode and to be parallel to the phase shift optical waveguide. May be.
  • the present invention also includes a sensor head having a substrate and a plurality of optical modulators attached to the substrate, and a plurality of antennas respectively connected to the optical modulator.
  • a modulator includes an incident optical waveguide formed on the substrate, and two phase-shift optical waveguides that are formed on the substrate so as to be branched from the incident optical waveguide and change the refractive index according to the intensity of an applied electric field.
  • two modulation electrodes formed on or near the light modulator, and the antennas are respectively connected to the modulation electrodes of the plurality of optical modulators.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a conventional electric field sensor.
  • FIG. 2 is a plan view showing one embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a plan view showing another embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a side view showing the embodiment of FIG.
  • FIG. 8 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
  • the electric field sensor of the present invention comprises a sensor head 1, a package 13 containing the sensor head 1, and an electric field sensor attached to the outside of the package 13. And an antenna 14 connected to the sensor head 1.
  • the sensor head 1 has a substrate 3 and an optical modulator 4 attached to the substrate 3.
  • the optical modulator 4 has an incident optical waveguide 5 formed on the substrate 3 and a refractive index that changes according to an electric field intensity applied to the substrate 3 so as to be branched from the incident optical waveguide 5.
  • two modulation electrodes 8 An incident optical fiber 9 is connected to the incident optical waveguide 5.
  • a light source 15 is connected to the incident light fiber 9.
  • the light source 15 is, for example, a semiconductor laser.
  • the outgoing optical fiber 10 is connected to the outgoing optical waveguide 7.
  • An optical measuring device 16 is connected to the outgoing optical fiber 10.
  • the antenna 14 has two rod antenna elements 17 and 18. These mouth antenna elements 17 and 18 are provided in the package 13 described above. It is arranged so as to extend in the opposite direction with the central part as one end, and to be parallel to the phase shift optical waveguide 6.
  • the rod antenna elements 17 and 18 are connected to the modulation electrode 8 via lead wires 19 and 20 respectively.
  • the light from the light source 15 incident on the incident optical waveguide 5 via the incident optical fiber 9 is branched by the two phase shift optical waveguides 6 and then joins again at the output optical waveguide 7.
  • the light merged in the outgoing optical waveguide 7 is emitted to the optical measuring device 16 via the outgoing optical fiber 10.
  • phase shift optical waveguide 6 When the antenna 14 receives a reception signal, a predetermined electric field is applied to the phase shift optical waveguide 6 by the modulation electrode 8, and the intensity of the electric field causes the refractive index of the phase shift optical waveguide 6 to be increased. Therefore, the phase of the light transmitted through these phase-shift optical waveguides 6 changes.
  • the substrate 3 is LiNb0. It is formed of a plate.
  • the incident optical waveguide 5, the phase shift optical waveguide 6, and the outgoing optical waveguide 7 are formed by thermally diffusing Ti on the Z surface of the substrate 3.c
  • the incident optical fiber 9 is a constant polarization light. It is composed of fiber.
  • the antenna 14 has two antenna element film pieces 22 and 23 fixed to the side surface 21 of the package 13. These antenna element film pieces 22 and 23 are configured so as to extend in the opposite direction with the central portion of the package 13 as one end and to be arranged so as to be parallel to the phase shift optical waveguide 6. .
  • the antenna element film pieces 22 and 23 are connected to the modulation electrode 8 via lead wires 24 and 25, respectively.
  • the electric field sensor according to the embodiment shown in FIGS. 2 and 3 can prevent the optical fiber from being damaged because the lead-out portion of the optical fiber in contact with the electric field sensor does not face the measurement direction.
  • the embodiment shown in FIG. 4 has components with the same reference numerals as the embodiment of FIG.
  • the antenna 26 has two antenna element film pieces 27 and 28 formed on the substrate 3 so as to be parallel to the phase shift optical waveguide 6. These antenna element film pieces 27 and 28 are arranged on both sides of the phase shift optical waveguide 6.
  • the antenna element film pieces 27 and 28 are
  • the modulation electrodes are connected via lead films 29 and 30, respectively.
  • the antenna element film pieces 27 and 28 may be arranged on one side of the phase shift optical waveguide 6 as shown in FIG.
  • the electric field sensor according to the embodiment shown in FIGS. 4 and 5 can prevent damage to the optical fiber because the optical fiber drawer connected to the electric field sensor does not face the measurement direction.
  • the electric field sensor according to the embodiment shown in FIGS. 4 and 5 is suitable for miniaturization.
  • the electric field sensor of the present invention includes a sensor head 1, a package 13 containing the sensor head 1, and an outer portion of the package 13.
  • An antenna 31, 32, 33 attached to the sensor head 1 is provided.
  • the sensor head 1 has a substrate 3 and a plurality of optical modulators 34, 35, 36 attached to the substrate 3.
  • the optical modulators 34, 35, and 36 each include an incident light waveguide 5 formed on the substrate 3, and an electric field intensity formed and applied to the substrate 3 so as to be branched from the incident light waveguide 5.
  • Two phase-shifted optical waveguides 6 whose refractive indexes change according to the following; an output optical waveguide 7 formed on the substrate 3 so as to merge with the phase-shifted optical waveguide 6; and the phase-shifted optical waveguide 6.
  • two modulation electrodes 8 formed on or in the vicinity thereof.
  • An incident optical fiber 9 is connected to the incident optical waveguide 5.
  • a light source 15 is connected to the incident optical fiber 9.
  • the outgoing optical fiber 10 is connected to the outgoing optical waveguide 7.
  • An optical measuring device 16 is connected to the outgoing optical fiber 10.
  • the antennas 31, 32 and 33 are arranged so as to be orthogonal to each other. These antennas 31, 32, 33 are connected to the modulation electrodes 8 of the optical modulators 34, 35, 36 via lead wires, respectively.
  • the optical modulators 34, 35, and 36 each include an incident optical waveguide 5 formed on the substrate 3 and a branch from the incident optical waveguide 5 to the substrate 3.
  • Two phase shifters whose refractive index changes according to the applied electric field strength A floating optical waveguide 6, an output optical waveguide 7 formed on the substrate 3 so as to merge with the phase-shifting optical waveguide 6, and a light-emitting waveguide 7 formed on or near the phase-shifting optical waveguide 6.
  • two modulation electrodes 8 8.
  • the sensor head 1 is further formed on the substrate 3 so as to be connected to the incident optical fiber 9 and to be branched from the total incident optical waveguide 37.
  • the second branch optical waveguide 40 is connected to the incident optical waveguide 5 of the optical modulator 34.
  • the second branch optical waveguide 41 is connected to the incident optical waveguide 5 of the optical modulator 35.
  • the third branch optical waveguide 42 is connected to the incident optical waveguide 5 of the optical modulator 36.
  • the third branch optical waveguide 43 is connected to an optical measuring device 16 via an output optical fiber 10.
  • the light transmitted through the third branch optical waveguide 43 is emitted to the optical measuring device 16 via the emission optical fiber 10.
  • the light transmitted through the third branch optical waveguide 43 can be used to monitor the light transmitted through the optical modulators 34, 35, 36 based on the light.
  • FIGS. 6 to 8 Since the embodiment shown in FIGS. 6 to 8 has a plurality of antennas, it is not necessary to arrange the antennas in various directions during the measurement, and the embodiment does not depend on the direction in which the electromagnetic wave to be measured arrives and the polarization component. Measurement is possible.
  • This invention is suitable for using for the apparatus which measures the intensity

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Description

明細書 電界センサ 技術分野
本発明は、 電磁波等の電界の強度を測定するために用いる電界センサに関する ものである。
背景技術
第 1図は、 従来の電界センサを示す図である。 この電界センサは、 センサへッ ド 1と、 このセンサへッ ド 1に接続されているアンテナ 2とを具備している。 前 記センサへッ ド 1は、 基板 3と、 この基板 3に取り付けられている光変調器 4と を有している。
前記光変調器 4は、 前記基板 3に形成されている入射光導波路 5と、 前記基板 3に前記入射光導波路 5から分岐するように形成され印加される電界強度に応じ て屈折率が変化する 2つの位相シフ ト光導波路 6と、 前記基板 3に前記位相シフ ト光導波路 6と合流するように形成されている出射光導波路 7と、 前記位相シフ ト光導波路 6の上または近傍に形成されている 2つの変調電極 8とを有している c 前記入射光導波路 5には、 入射光ファイバ 9が接続されている。 前記出射光導波 路 7には、 出射光ファイバ 1 0が接続されている。
前記アンテナ 2は、 2つのロッ ドアンテナエレメン ト 1 1を有している。 これ らのロッ ドアンテナエレメ ン ト 1 1は、 それぞれ前記変調電極 8にリ一ド線 1 2 を介して接続されている。 前記ロッ ドアンテナエレメント 1 1は、 電界方向に向 くように、 すなわち、 位相シフト光導波路 6と直交するように配置されている。 前記口ッ ドアンテナエレメント 1 1は、 図示してないパッケージに固定されてい しかし、 従来の電界センサにおいては、 測定時にアンテナエレメントが電界方 向に向くから、 光ファイバの引き出し部が则定方向に向いてしまうため、 光ファ ィバの破損の可能性があるという問題がある。
また、 従来の電界センサにおいては、 アンテナの指向性が強いから、 測定中に 様々な方向に向けて配置する必要があるという問題がある。
本発明の目的は、 光フアイバの破損を防止することができる電界センサを提供
—9 とにある。
本発明の他の目的は、 測定中に様々な方向に向けて配置する必要がない電界セ ンサを提供することにある。
発明の開示
本発明は、 基板とこの基板に取り付けられている光変調器とを有するセンサへ ッ ドと、 このセンサヘッ ドを収容しているパッケージと、 このパッケージの外部 に取り付けられ前記光変調器に接続されているアンテナとを具備し、 前記光変調 器は、 印加される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シフト光導波路 と、 前記位相シフト光導波路の上または近傍に形成された変調電極とを有し、 前 記アンテナは、 前記変調電極にそれぞれ接続されている 2つのロッ ドアンテナェ レメ ン トを有し、 かつ、 これらの口ッ ドアンテナエレメ ン卜が前記パッケージの 中央部を一端として反対方向へ伸びるとともに前記位相シフト光導波路と平行で あるように配置されている。
また、 本発明は、 前記アンテナが前記変調電極にそれぞれ接続されていると共 に前記パッケージの側面に固着されいる 2つのアンテナエレメント膜片を有し、 かつ、 これらのアンテナエレメント膜片が前記パッケージの中央部を一端として 反対方向へ伸びるとともに前記位相シフ ト光導波路と平行であるように配置され るように構成してもよい。
また、 本発明は、 前記アンテナが前記変調電極にそれぞれ接続され、 かつ、 前 記位相シフト光導波路と平行であるように前記基板に形成されている 2つのアン テナエレメント膜片を有するように構成してもよい。
また、 本発明は、 基板とこの基板に取り付けられている複数の光変調器とを有 するセンサへッ ドと、 前記光変調器にそれぞれ接続されている複数のアンテナと を具備し、 前記光変調器が、 前記基板に形成されれいる入射光導波路と、 前記基 板に前記入射光導波路から分岐するように形成され印加される電界強度に応じて 屈折率が変化する 2つの位相シフ ト光導波路と、 前記基板に前記位相シフト光導 波路と合流するように形成されている出射光導波路と、 前記位相シフト光導波路 の上または近傍に形成されている 2つの変調電極とを有し、 前記アンテナがそれ ぞれ前記複数の光変調器の変調電極に接続されている。
図面の簡単な説明
第 1図は従来の電界センサを示す斜視図である。
第 2図は本発明の 1実施例を示す平面図である。
第 3図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。
第 4図は本発明の他の実施例を示す平面図である。
第 5図は本発明の他の実施例を示す平面図である。
第 6図は本発明の他の実施例を示す平面図である。
第 7図は第 6図の実施例を示す側面図である。
第 8図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。
実施例
次に、 本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
第 2図に示すように、 本発明の電界センサは、 センサへッ ド 1と、 このセンサ へッ ド 1を収容しているパッケージ 1 3と、 このパッケージ 1 3の外部に取り付 けられ前記センサへッ ド 1に接続されているアンテナ 1 4とを具備している。 前 記センサへッ ド 1は、 基板 3とこの基板 3に取り付けられている光変調器 4とを 有している。
前記光変調器 4は、 前記基板 3に形成されている入射光導波路 5と、 前記基板 3に前記入射光導波路 5から分岐するように形成され印加される電界強度に応じ て屈折率が変化する 2つの位相シフト光導波路 6と、 前記基板 3に前記位相シフ ト光導波路 6と合流するように形成されている出射光導波路 7と、 前記位相シフ ト光導波路 6の上または近傍に形成されている 2つの変調電極 8とを有している。 前記入射光導波路 5には、 入射光ファイバ 9が接続されている。 この入射光フ アイバ 9には、 光源 1 5が接続されている。 この光源 1 5は、 例えば半導体レー ザからなる。 前記出射光導波路 7には、 出射光ファイバ 1 0が接続されている。 この出射光ファイバ 1 0には、 光測定器 1 6が接铳されている。
前記アンテナ 1 4は、 2つのロッ ドアンテナエレメ ント 1 7 , 1 8を有してい る。 これらの口ッ ドアンテナエレメ ント 1 7， 1 8は、 前記パッケージ 1 3の中 央部を一端として反対方向へ伸びるとともに前記位相シフト光導波路 6と平行で あるように配置されている。 前記ロッ ドアンテナエレメント 1 7 , 1 8は、 それ ぞれリ一ド線 1 9 , 2 0を介して前記変調電極 8にそれぞれ接続されている。 前記入射光導波路 5に入射光フアイバ 9を介して入射される前記光源 1 5から の光は、 前記 2つの位相シフ ト光導波路 6で分岐されてから、 再び出射光導波路 7で合流する。 この出射光導波路 7で合流した光は、 出射光ファイバ 1 0を介し て光測定器 1 6に出射される。 前記アンテナ 1 4が受信信号を受けた時に、 前記 変調電極 8により所定の電界が前記位相シフト光導波路 6に印加されるから、 こ の電界の強度により前記位相シフ ト光導波路 6の屈折率が変化するので、 これら の位相シフ ト光導波路 6を透過する光の位相が変化する。
第 2図の電界センサのより具体的例を次に説明する。 前記基板 3は、 L i N b 0。 の板で形成されている。 前記入射光導波路 5と位相シフ ト光導波路 6と出射 光導波路 7とは、 基板 3の Z面上に T iを熱拡散することにより形成されている c 前記入射光フアイバ 9は、 定偏波光フアイバで構成されている。
第 3図に示す実施例は、 第 2図の実施例と同じ符号の構成要素を有している。 第 3図に示すように、 前記アンテナ 1 4は、 前記パッケージ 1 3の側面 2 1に固 着されいる 2つのアンテナエレメント膜片 2 2 , 2 3を有している。 これらのァ ンテナエレメント膜片 2 2 , 2 3が前記パッケージ 1 3の中央部を一端として反 対方向へ伸びるとともに前記位相シフト光導波路 6と平行であるように配置され るように構成されている。 前記アンテナエレメ ント膜片 2 2， 2 3は、 前記変調 電極 8にそれぞれリ一ド線 2 4 , 2 5を介して接続されている
第 2図および第 3図の実施例による電界センサは、 電界センサに接铳する光フ アイバの引き出し部が測定方向に向かないから、 光フアイバの損傷を防止するこ とができる。
第 4図に示す実施例は、 第 2図の実施例と同じ符号の構成要素を有している。 第 4図に示すように、 アンテナ 2 6は、 前記位相シフト光導波路 6と平行である ように前記基板 3に形成されている 2つのアンテナエレメント膜片 2 7 , 2 8を 有する。 これらのアンテナエレメ ント膜片 2 7 , 2 8は、 前記位相シフ ト光導波 路 6の両側に配置されている。 前記アンテナエレメント膜片 2 7 , 2 8は、 前記
— ― 変調電極にそれぞれリード膜 2 9 , 3 0を介して接続されている。
前記アンテナエレメント膜片 2 7 , 2 8は、 第 5図に示すように前記位相シフ ト光導波路 6の片側に配置しても良い。
第 4図および第 5図の実施例による電界センサは、 電界センサに接続する光フ アイバの引き出し部が測定方向に向かないから、 光フアイバの損傷を防止するこ とができる。 また、 第 4図および第 5図の実施例による電界センサは、 小型化に 適している。
第 6図および第 7図に示すように、 本発明の電界センサは、 センサへッ ド 1と. このセンサへッ ド 1を収容しているパッケージ 1 3と、 このパッケージ 1 3の外 部に取り付けられ前記センサヘッ ド 1に接続されているアンテナ 3 1 , 3 2 , 3 3とを具備している。
前記センサへッ ド 1は、 基板 3とこの基板 3に取り付けられている複数の光変 調器 3 4， 3 5， 3 6とを有している。
前記光変調器 3 4 , 3 5 , 3 6は、 それぞれ前記基板 3に形成されいる入射光 導波路 5と、 前記基板 3に前記入射光導波路 5から分岐するように形成され印加 される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シフト光導波路 6と、 前記 基板 3に前記位相シフ ト光導波路 6と合流するように形成されている出射光導波 路 7と、 前記位相シフト光導波路 6の上または近傍に形成されている 2つの変調 電極 8とを有している。
前記前記入射光導波路 5には、 入射光ファイバ 9が接続されている。 この入射 光ファイバ 9には、 光源 1 5が接続されている。 前記出射光導波路 7には、 出射 光ファイバ 1 0が接続されている。 この出射光ファイバ 1 0には、 光測定器 1 6 が接続されている。
前記アンテナ 3 1 , 3 2 , 3 3は、 相互に直交するように配置されている。 こ れらのアンテナ 3 1 , 3 2 , 3 3は、 それぞれ前記光変調器 3 4 , 3 5 , 3 6の 変調電極 8にリ一ド線を介して接続されている。
第 8図に示すように、 前記光変調器 3 4 , 3 5， 3 6は、 それぞれ前記基板 3 に形成されている入射光導波路 5と、 前記基板 3に前記入射光導波路 5から分岐 するように形成され印加される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シ フ 卜光導波路 6と、 前記基板 3に前記位相シフト光導波路 6と合流するように形 成されている出射光導波路 7と、 前記位相シフト光導波路 6の上または近傍に形 成されている 2つの変調電極 8とを有している。
前記センサへッ ド 1は、 さらに前記入射光ファイバ 9に接続するように形成さ れている総入射光導波路 3 7と、 この総入射光導波路 3 7から分岐するように前 記基板 3に形成されている第 1の分岐光導波路 3 8 , 3 9と、 前記第 1の分岐光 導波路 3 8から分岐するように前記基板 3に形成されている第 2の分岐光導波路 4 0 , 4 1と、 前記第 1の分岐光導波路 3 9から分岐するように前記基板 3に形 成されている第 3の分岐光導波路 4 2 , 4 3とを有する。
前記第 2の分岐光導波路 4 0は、 前記光変調器 3 4の入射光導波路 5に接铳さ れている。 前記第 2の分岐光導波路 4 1は、 前記光変調器 3 5の入射光導波路 5 に接続されている。 前記第 3の分岐光導波路 4 2は、 前記光変調器 3 6の入射光 導波路 5に接続されている。 前記第 3の分岐光導波路 4 3は、 出射光ファイバ 1 0を介して光測定器 1 6に接続されている。 前記第 3の分岐光導波路 4 3を透過 する光は、 出射光ファイバ 1 0を介して光測定器 1 6に出射される。 前記第 3の 分岐光導波路 4 3を透過する光は、 これを基準として前記光変調器 3 4， 3 5 , 3 6を透過する光を監視するのに用いることができる。
第 6図乃至第 8図の実施例は、 複数のアンテナを有するから、 測定中に様々な 方向に向けて配置する必要がなく、 かつ、 測定する電磁波が到来する方向および 偏波成分に依存しない測定が可能である。
産業上の利用可能性
本発明は、 電磁波または電磁ノイズなどの電界の強度を測定する装置に用いる ことに適する。
一 ら 一

Claims

請求の範囲
1 . 基板とこの基板に取り付けられている光変調器とを有するセンサへッ ドと- このセンサへッ ドを収容しているパッケージと、 このパッケージの外部に取り付 けられ前記光変調器に接続されているアンテナとを具備し、 前記光変調器は、 前 記基板に形成されている入射光導波路と、 前記基板に前記入射光導波路から分岐 するように形成され印加される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シ フト光導波路と、 前記基板に前記位相シフト光導波路と合流するように形成され ている出射光導波路と、 前記位相シフト光導波路の上または近傍に形成されてい る 2つの変調電極とを有し、 前記アンテナは、 前記変調電極にそれぞれ接続され ている 2つのロッ ドアンテナエレメントを有し、 かつ、 これらのロッ ドアンテナ エレメ ン卜が前記パッケージの中央部を一端として反対方向へ伸びるとともに前 記位相シフ ト光導波路と平行であるように配置されていることを特徴とする電界 センサ。
2. 基板とこの基板に取り付けられている光変調器とを有するセンサへッ ドと、 このセンサへッ ドを収容しているパッケージと、 このパッケージの外部に取り付 けられ前記光変調器に接続されているアンテナとを具備し、 前記光変調器は、 前 記基板に形成されている入射光導波路と、 前記基板に前記入射光導波路から分岐 するように形成され印加される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シ フト光導波路と、 前記基板に前記位相シフ ト光導波路と合流するように形成され ている出射光導波路と、 前記位相シフト光導波路の上または近傍に形成されてい る 2つの変調電極とを有し、 前記アンテナは、 前記変調電極にそれぞれ接続され ていると共に前記パッケージの側面に固着されいる 2つのアンテナエレメント膜 片を有し、 かつ、 これらのアンテナ レメント膜片が前記パッケージの中央部を —端として反対方向へ伸びるとともに前記位相シフ ト光導波路と平行であるよう に配置されていることを特徴とする電界センサ。
3. 基板とこの基板に取り付けられている光変調器とを有するセンサへッ ドと、 前記光変調器に接続されているアンテナとを具備し、 前記光変調器は、 前記基板 に形成されている入射光導波路と、 前記基板に前記入射光導波路から分岐するよ うに形成され印加される電界強度に応じて屈折率が変化する 2つの位相シフト光 導波路と、 前記基板に前記位相シフト光導波路と合流するように形成されている 出射光導波路と、 前記位相シフト光導波路の上または近傍に形成されている 2つ の変調電極とを有し、 前記アンテナは、 前記変調電極にそれぞれ接続され、 かつ. 前記位相シフト光導波路と平行であるように前記基板に形成されている 2つのァ ンテナエレメント膜片を有することを特徴とする電界センサ。
4 . 基板とこの基板に取り付けられている複数の光変調器とを有するセンサへ ッ ドと、 前記光変調器にそれぞれ接続されている複数のアンテナとを具備し、 前 記光変調器は、 前記基板に形成されている入射光導波路と、 前記基板に前記入射 光導波路から分岐するように形成され印加される電界強度に応じて屈折率が変化 する 2つの位相シフト光導波路と、 前記基板に前記位相シフト光導波路と合流す るように形成されている出射光導波路と、 前記位相シフ ト光導波路の上または近 傍に形成されている 2つの変調電極とを有し、 前記アンテナはそれぞれ前記複数 の光変調器の変調電極に接続されていることを特徴とする電界センサ。
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