WO1993002451A1

WO1993002451A1 - Mechanism for finely moving head

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Publication number: WO1993002451A1
Application number: PCT/JP1992/000939
Authority: WO
Inventors: Takahiro Imamura; Yoshifumi Mizoshita
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 1991-07-23
Filing date: 1992-07-23
Publication date: 1993-02-04
Also published as: DE69220468T2; DE69220468D1; EP0549814A1; KR0122128B1; EP0549814B1; EP0549814A4; KR930702756A

Description

明細書へッドの微小移動機構技術分野

産業上の利用分野

本発明はヘッドの微小移動機構に関し、特に、記録ディスクの半径方向に走査するへッドが取り付けられ移動部材を、その移動部材の一部を強制的に変位させることにより、へッドの位置を微調整する微小移動機構に関する。背景技術

近年、コンピュー夕の外部記憶装置として広く用いられている磁気ディスク装置等のディスクファイル装置においては、記憶容量の増大と共に小型化の要求がある。この要求に応えるために、記録デイスクにおける記録トラックの幅やトラック間隔を狭くした高密度記録の実現が切望されている。このためには、記録ディスクの改良が必要である一方、記録ディスクの半径方向に移動する読み書き用へッドの記録トラック上への位置決め精度を高めることが重要な課題となっている。

図 1 および図 2は、従来の磁気ディスクを使用するハードデイスク装置の構成の一例を示すものである。ハードディスク装置には約 3600rpm 力ラ 5400rpm 程度で高速回転するスピンドル Sがあり、このスピンドル Sに複数枚（例えば 10枚）の磁気ディスク Dが所定間隔毎に取り付けられている。磁気ディスク Dにはその両面にデ一夕が記録されるようになっており、磁気ディスクへの書き込み、並びに磁気ディスクからの読み出しは、この磁気ディスク D毎にその片面または両面に設けられた磁気へッド Hにより行われる。この磁気へッド Hの磁気ディスク D上の移動は、磁気へッド支持機構 ASSY、移動部材（アクセスアーム、以後単にアームと言う） Aを備えたァクチユエ一夕 H Aにより行われる。磁気へッド Hを移動させるァクチユエ一夕 H Aには直進型と摇動型があるが、図 1および図 2に示す揺動型の方が使用されることが多い。

揺動型ァクチユエ一夕 H Aには一般に、所定角度内のみの回動 (揺動）が行え、その回転角度を細かく制御することができる揺動モータ SMが使用されている。この揺動モータ SMはステ一夕 STとロータ Rとから構成され、ロータ Rにはスピンドル Sに取り付けられた磁気ディスク Dの枚数と同数、あるいは磁気ディスク Dの枚数より 1つ多いか少ない枚数（図では 9本）のアーム Aが突設されている。そして、このアーム Aの先端部に磁気ディスク Dを挟むように対向して取り付けられた 2つの磁気へッド Hを有する磁気へッド支持機構 ASSYが取り付けられている。

摇動モータ SMのロータ Rは図 2に示すように磁気ディスク Dの近傍に設置され、ロータ R T から突出したアーム Aの先端部に取り付けられた磁気へッド支持機構 ASSYの磁気へッド Hの移動範囲が磁気ディスク Dの記録領域に一致するようになつている。

磁気へッド支持機構 ASSYにおいて、へッド Hのアーム Aへの取り付けは、へッド Hを磁気ディスク Dに近接させるために、磁気ディスクの方向に磁気へッド Hを付勢する板状の支持ばねを介して行われている。また、この支持ばねは極めて肉薄であり、アーム Aの先端への直接的な固定が難しい。そこで、アーム Aの先端と支持ばねの基端との間に薄肉の平板状をなす連結板を介装し、この連結板を介して移動部材と支持ばねとを連結する構成が従来から広く採用されている。一方、従来の磁気ディスク装置では、複数のへッド Hのディスク上への位置決めを、一般に 1個のサーポ位置決め用へッドで位置決めする方式（デディケイテツドサーポ方式）が採用されている。この方式は、磁気ディスク中の一枚の片面をサーボ信号が記録されたサ一ボ面とし、このサーボ面に対向するヘッドをサーボヘッドとして利用するものである。そして、サーボへッドの読み取り結果に基づいて揺動モータ SMより全てのアーム Aを動作させて、これら夫々に取付けた各一対のへッド Hを一括して移動させるのである。

ところが、この方式では、記録密度の向上と共に、各データへッド（サーボ位置決め用へッド以外のへッド）の位置ずれが大きな問題となっている。具体的には、ディスク装置内の発熱や環境温度変化により、ヘッドの相対的な位置が微小（ 1 / mのオーダー）にずれ、サーボ位置決め用へッド用で指示された信号トラックと記録再生へッドに位置ずれが生じる（サーマルオフトラック）。このため、最悪の場合は信号の書き込み、読み出しにエラーが生じてしまう。この問題は将来光ディスク装置が複数へッドを採用した時においても起こり得るものである。

この問題を解決する方式として、セクタサーボ方式の磁気ディスク装置が提案され、実用化されている。このセクタサーボ方式は、サ一ボ面以外の各記録面の一部にもサーボ信号を記録しておき、これをデータへッドで読み出し、この信号でデータへッドの位置ずれを補正するものである。

ところが、従来の磁気へッド支持機構 ASSYは複数のへッドを個別に移動させる手段を有しておらず、データへッドの位置ずれの補正はァクチユエ一夕 H Aへの通電制御により実施せざるを得ないという問題点があった。一方、このとき補正の対象となる位置ずれ量は数/ m程度であり、この程度のへッドの移動を前述した通電制御により精度良く行うことは難しく、近年における高密度記録の要求に対応できない難点があった。

また、シリンダ単位で割当てられたデータ領域において、複数のデータへッドを順次切換えつつ読み書きを行う場合、この切換え毎にデータへッドの位置ずれ補正が必要であり、連続的な読み書き動作が行えない。このため、目標とするセクタが再度巡ってくるまで- 記録ディスクの一回転に必要な 1 0〜1 5 m s程度の待機時間が必要となり、スループットを低下させる要因となっていた。

また、アーム Aをこれの軸心線に対して線対称をなす一対のァームにて構成し、各アーム内に電熱線を埋め込み、これらの電熱線への通電により両アームを各別に伸縮させて、これらの先端に取付けたへッドの位置を微調整し得る構成とした微小移動機構が公知となつている（1^?4, 814，908号）が、これは、電熱線への通電によりァームを加熱し、アームを熱膨張により伸縮させるものであるため、へッドの移動が実際に生じるまでの時間遅れが大きい難点があり、実用的ではない。発明の開示

本発明はこのような事情に基づいてなされたものであり、へッド支持機構の先端部に取り付けられた各データへッドの位置を、ァクチユエ一夕の動作に係わりなく、簡素な構成にてディスクの半径方向に独立に微小に変化させることができるようにして、サーマルォフトラックに対するへッド位置の補正を、精度良くしかも高応答性にて実現し得るへッドの微小移動機構を提供することを目的とする。上記目的を達成するために、本発明のへッドの微小移動機構は、記録ディスクに対して情報の読み書き動作を行うへッドを、記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決めするために、前記へッドを記録ディスクの半径方向に移動させるへッドアクチユエ一夕の一部に設けられ、前記へッドをこのへッドアクチユエ一夕の動作に独立に微小距離だけ移動させることができるへッドの微小移動機構であって、このへッドの微小移動機構は、前記へッドアクチユエ一夕の一部に隔離されて設けられた伸縮領域と、この伸縮領域の表裏両面又は片面に固設され、通電に応じて生じるその変形により伸縮領域を伸長、あるいは収縮させる伸縮部材と、前記伸縮領域の伸縮方向の一端に連続して設けられ、前記伸縮領域の伸縮によっても変位しない固定領域と、前記伸縮領域の伸縮方向の他端に連続して設けられ、前記伸縮領域の伸縮によって変位する可動領域と、前記固定領域と前記可動領域、または可動領域と前記伸縮領域との間に介在し、前記伸縮領域の伸縮により、前記可動領域を前記へッドの移動面内にてスムーズに変位させる少なくとも 1個のヒンジ部とを備えることを特徵とする。

またこれに加えて、伸縮手段の変形方向が、伸縮領域の可動領域側端部とヒンジ部とを結ぶ線分と略直交する向きであること、伸縮領域の可動領域側端部とヒンジ部との間の直線距離が、へッドとヒンジ部との間の直線距離よりも小さく設定してあること、固定領域、可動領域及び伸縮領域は、これらを表裏に貫通する長孔のような空隙により相互に隔離してあること、伸縮領域は、固定領域と可動領域との間を薄肉化して構成してあること、伸縮領域の表裏両面の伸縮手段は、伸縮領域の厚さ中心に対して略線対称をなして配してあること、並びに、へッドの移動方向に並列して一対又は複数対の伸縮領域及び伸縮手段を備えることを夫々特徴とし、更には、一対又は複数対の伸縮手段が同時に逆向きに変形すること、伸縮手段がピェゾ素子又は電熱線であること、及び伸縮領域をピエゾ素子の共通電極としてあることを夫々特徴とする。この結果、本発明では、ディスク装置内の発熱や環境温度変化があっても、へッドの相対的な微小位置変化を捕正することができるので、書き込み、読み出しにおけるエラーの発生が回避される。

〔図面の簡単な説明〕

図 1はへッドの移動機構を備えた従来のハードディスク装置の構成を示す組立斜視図、

図 2は従来のハードディスク装置の一例の平面図、

図 3は本発明に係るへッドの微小移動機構を備えたへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 4 Aは図 3のへッドアクチユエ一夕の構成を示す分解斜視図、図 4 Bは図 4 Aの伸縮領域の分解斜視図、

図 5は図 3のへッドアクチユエ一夕の要部の構成を詳細に示す拡大平面図、

図 6は図 5の H— ]! [線における拡大横断面図、

図 7 Aは図 5のピエゾ素子の電源への接続例を示す図 5の — W 線における拡大横断面図、

図 7 Bは図 5のピエゾ素子の電源への別の接続例を示す図 5の！^ 一]^線における拡大横断面図、

図 7 Cは図 5のピエゾ素子を多層とした場合の、ピエゾ素子の電極の電源への接続例を示す図 5の] V— : RT線における拡大横断面図、図 7 Dは図 7 Cの積曆型ピエゾ素子の電極の配置状態を示す拡大横断面図、

図 8は図 5の連結板の変位の状態をコンピュータを用いてシミュレーションしたシミユレーション図、

図 9は図 3の連結板の変位による支持ばね先端部に取り付けられたへッドの変位倍率を説明するモデル図、図 1 0は本発明の第 2の実施例の構成を示す連結板の平面図、図 1 1 は本発明の第 3の実施例の構成を示す連結板の平面図、図 1 2は図 1 1 の連結板の変位の状態をコンピュータを用いてシミュレーシヨンしたシミュレーション図、

図 1 3は図 1 1 の連結板の空隙に制振部材を充塡した変形実施例を示す平面図、

図 1 4は本発明の第 4の実施例の構成を示す連結板の平面図、図 1 5 Aは本発明の第 5の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図、

図 1 5 Bは図 1 5 Aのへッド支持機構の側断面図、

図 1 5 Cは図 1 5 Aのへッド支持機構に制振材を使用した場合の側断面図、

図 1 6 Aは本発明の第 6の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図、

図 1 6 Bは図 1 6 Aのへッド支持機構の側断面図、

図 1 6 Cは図 1 6 Aのへッド支持機構に制振材を使用した場合の側断面図、

図 1 7は本発明の第 7の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図、

図 1 8は本発明の第 8の実施例の構成を示す連結板の平面図、図 1 9は図 1 8の X— X線における拡大横断面図、

図 2 0は本発明の第 9の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 2 1 Aは本発明の第 1 0の実施例の構成を示すへッドアクチュエー夕の平面図、

図 2 1 Bは図 2 1 Aのへッドアクチユエ一夕の一例の構成を示す側面図、図 2 1 Cは図 2 1 Aのへッドアクチユエ一夕の別の例の構成を示す側面図、

図 2 2 Aは図 2 1 Aのへッドアクチユエ一夕の変形例を示し、へッドアクチユエ一夕に制振材を使用した場合の取り付け場所を示すへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 2 2 Bは図 2 2 Aのへッドアクチユエ一夕の一例の構成を示す側面図、

図 2 2 Cは図 2 2 Aのへッドアクチユエ一夕の別の例の構成を示す側面図、

図 2 3 Aは本発明の第 1 1 の実施例の構成を示すへッドアクチュエー夕の平面図、

図 2 3 Bは図 2 3 Aのヘッドァクチユエ一夕の一例の構成を示す側面図、

図 2 4 Aは図 2 3 Aのへッドアクチユエ一夕の変形例を示し、へッドアクチユエ一夕に制振材を使用した場合の取り付け場所を示すへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 2 4 Bは図 2 4 Aのへッドアクチユエ一夕の一例の構成を示す側面図、

図 2 5は本発明の第 1 2の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 2 6は本発明の第 1 3の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕の平面図、

図 2 7は本発明の第 1 4の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕とディスクとの関係を示す平面図、および、

図 2 8は本発明の第 15の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕ディスクとの関係を示す平面図である。〔発明を実施するための最良の形態〕

以下、本発明の各形態を図面に基づいて各実施例について説明する

(第 1 の実施例）

図 3は本発明に係るへッドの微小移動機構 M Tを備えた摇動ィンライン型へッドアクチユエ一夕 H Aの平面図である。図 3において. 2は移動部材であるアクセスアームであり、このアクセスアーム 2 は、枢軸 6にて回転自在に枢支されたキャリッジ 5の一側が延長されて設けられている。キャリッジ 5の他側には、このキャリッジ 5 の駆動手段 7 として、駆動コイル 7 0 と磁気回路 7 1 とが設けられている。この駆動手段 7により、移動部材 2は枢軸 6の回りに所定の角度範囲内にて摇動する。

アクセスアーム 2の先端には、連結板 1 を介して支持ばね 3が取り付けられており、ヘッド 4 はこの支持ばね 3の先端部に固定されている。このヘッド 4は、アクセスアーム 2の摇動に応じて図示しない記録ディスクの記録面上を半径方向に移動する。支持ばね 3は 6 5〜8 5 m程度の厚さを有する薄肉の板ばねであり、その先端にピボット支持したへッド 4を自身のばね力により記録面に向けて付勢し、記録面上にへッド 4を微小な間隔を隔てて安定的に保持する作用をなすものである。この支持ばね 3の基端は、スポット溶接により連結板 1 に固定されている。

一方、連結板 1 にはその略中心位置に固定用の突起 1 6が設けられており、 2 0 0〜 3 0 0 m程度の厚さを有するステンレス製の平板である。前述のように極めて薄肉である支持ばね 3を厚肉のァクセスアーム 2に直接的に固定することが難しいことから、この連結板 1 は両者の連結部材として従来から広く用いられている。

図 4 Aは図 3に示した本発明に係るへッドの微小移動機構 M Tを備えた摇動ィンライン型へッドアクチユエ一夕 H Aを分解して示すものである。枢軸 6には複数のキヤリッジ 5が取り付けられ、キヤリッジ 5に突設されたアクセスアーム 2には通常、 2組のへッド 4 が連結板 1 と支持ばね 3を介して取り付けられる。

連結板 1 のアクセスアーム 2への固定は、アクセスアーム 2に形成された固定用孔 2 aに、連結板 1の裏面に設けられた突起 1 6を嵌合して接着剤等によって行われる。

連結板 1 には固定領域、可動領域 1 1、伸縮領域 1 2、ヒンジ部 1 3、および空隙 1 5が設けられている。そして、図 4 Bに示すように、伸縮領域 1 2にはその表裏に溝部 1 2 aが設けられており、この溝部 1 2 aに伸縮手段であるピエゾ素子 1 4が固定される。図 5は図 3に示した微小移動機構 M Tの連結板 1 の取り付け部分を披大して示すものである。従って、 2はアクセスアーム、 3は支持ばね、 1 0は固定領域、 1 1 は可動領域、 1 2は伸縮領域、 1 3 はヒンジ部、 1 4は伸縮手段であるピエゾ素子、 1 5は空隙、 1 6 は連結板をァクセスアーム 2に固定するための突起である。固定領域 1 0はアクセスアーム 2の先端に、可動領域 1 1 は支持ばね 3の基端に夫々固定され、また伸縮領域 1 2は固定領域 1 0 と可動領域 1 1 との間に設けられている。

連結板 1 は突起 1 6を通る中心線 C Lに対して線対称に構成されており、連結板 1 の表裏を貫通する細幅の複数本の空隙 1 5 も、この中心線 C Lに対して線対称に配置されている。空隙 1 5の第 1 のペアは伸縮領域 1 2に沿って平行に設けられており、その支持ばね 3側は 2又に分岐されている。空隙 1 5の第 2のペアは可動領域 1 1側に設けられており、前述の空隙 1 5の第 1 のペアの分岐部分に向かい合う部分と、連結板 1 と支持ばね 3の境界部に平行な部分とを備えている。そして、空隙 1 5の第 1、第 2ペアの向かい合う部分には 2つのヒンジ部 1 3が形成され、空隙 1 5の第 2のペアの端部の、中心線 C Lを挟んで向かい合う部分にもヒンジ部 1 3が形成されている。

このように本実施例においては、固定領域 1 0 と伸縮領域 1 2 とは、空隙 1 5の第 1 のペアによって隔絶されており、固定領域 1 0 と可動領域 1 1 とは、空隙 1 5の第 2のペアによって隔絶されている。また、中心線 C Lに対称に 4箇所、および中心線 C Lの上の 1 箇所にヒンジ部 1 3が形成されている。そして、中心線 C Lの上の 1箇所のヒンジ部 1 3は、回転ヒンジとして機能する。可動領域 1 1 は、連結板 1 の面内にて生じる中央のヒンジ部 1 3の変形により，このヒンジ部 1 3を回転中心として固定領域 1 0に対して相対回転し得るようになつている。中心線 C Lの両側に位置する他の 4つのヒンジ部 1 3は、中央のヒンジ部 1 3 とは異なり、固定領域 1 0に対する可動領域 1 1 の回転に際して両者間に生じる両者間相対位置の変化を、互いに逆向きに生じる面内ねじれ変形（後述）により吸収する作用をなす。

図 6は図 5の 1 [一 B [線による拡大横断面図、図 7 Aは同じく W— W線による拡大横断面図である。なお、これらの図においては、構成を分かり易くするために、厚さ方向の長さの拡大率を大きくして示してある。両図に示す如く、伸縮領域 1 2は、連結板 1 の一部を他部、即ち固定領域 1 0及び可動領域 1 1 よりも薄肉化して形成され、わずかな外力の作用により連結板 1 の面内にて容易に伸縮可能とした領域である。伸縮領域 1 2の表裏両面には、伸縮手段であるピエゾ素子 1 4が、夫々の両端が固定領域 1 0及び可動領域 1 1 との境界縁に対向するように固定されている。

また、連結板 1 と伸縮手段であるピエゾ素子 1 4の厚さ関係はこの図に限定されるものではなく、ピエゾ素子 1 4を表裏に設けた連結板 1の全厚を固定領域 1 0の厚さより小さくすることも勿論可能である。

なお、薄肉化による伸縮領域 1 2の形成は、空隙 1 5 と共に連結板 1の表裏雨面からのエッチング、若しくはプレス加工により行い得るが、連結板 1 は本来、 2 0 0〜3 0 0 / mなる厚さを有する薄肉の板材であるから、伸縮領域 1 2の薄肉化は必ずしも必要ではない。

この実施例では、伸縮手段としてピエゾ素子 1 4を使用した例を示したが、伸縮手段 1 4 としては、電熱線等、通電により伸縮変形し得るものであればよい。また、この実施例では、伸縮手段が連結板 1の厚さ方向中心線に対して線対称となるように伸縮領域 1 2の表裏両面に固定されているが、伸縮手段 1 4は伸縮領域 1 2の片面側にのみ固定してもよい。更に、伸縮手段 1 4の固定方法としては、接着、接合、メタライズ、スパッタリング又は蒸着等による直接的な被着が採用される。

ピエゾ素子 1 4の伸縮は、可動領域 1 1側の側縁と中央のヒンジ部 1 3 とを結ぶ線分と略直交する向きに生じるようにしてあり、図 3から明らかなように、ピエゾ素子 1 4 とヒンジ部 1 3 との間の直線距離 Rは、ヒンジ部 1 3 とヘッド 4 との間の直線距離しょりも小さく設定してある。

中心線 C Lに対して線対称の位置にあるピエゾ素子 1 4は、同時に逆向きに変形させるのがよい。ピエゾ素子 1 4は、図 7 A中に矢符にて示す方向に、抗電界を越える電界を生ずる電圧により厚さ方向に分極してある。そして、連結板 1を共通電極として接地し、両ピエゾ素子 1 4の外側面に電源 8， 8 ' から異なる電位を与えると、電源 8により通電したものは分極方向と逆向きの電界がかかって長手方向に伸び、電源 8 ' により通電したものは分極方向と同方向の電界がかかって長手方向に縮む。このとき、分極方向と逆向きの電界の大きさは抗電界の値に対して十分小さいものとする。

図 7 Bは、両ピエゾ素子の表裏両側にピエゾ素子 1 4の外側面に電源 8 ' から同じ電位を与える場合の構成を示すものである。この場合は、矢符にて示す方向に、抗電界を越える電界を生ずる電圧により厚さ方向に分極してある。そして、連結板 1 は同様に共通電極として接地し、両ピエゾ素子 1 4の外側面に電源 8 ' から同じ電位を与えると、図面左側のピエゾ素子 1 4には分極方向と逆向きの電界がかかって長手方向に伸び、図面右側のピエゾ素子 1 4には分極方向と同方向の電界がかかって長手方向に縮むので、図 7 Aの構成と同じ動作をする。

なお、図 7 A , 7 Bではピエゾ素子 1 4の伸縮原理を示すために直流電源 8 , 8 ' で示したが、電圧はへッドのずれ量に応じてオペアンプ回路等により、動的に印加される。

図 7 Cは、伸縮領域 1 2の表裏両側にピエゾ素子 1 4 Aとピエゾ素子 1 4 Bとからなる積層型ピエゾ素子 1 4 ' を備える場合の実施例を示すものである。この場合は、ピエゾ素子 1 4 Aとピエゾ素子 1 4 Bの積層面に共通電極 1 4 Cが設けられ、この共通電極 1 4 C が電源 8 ' に接続され、ピエゾ素子 1 4 Aの外面は伸縮領域 1 2に接続されて接地されている。積層型ピエゾ素子 1 4 ' としては、ピェゾ素子 1 4の素子厚を 5 0 // m程度に減らして 2層（多層）にする方法と、素子厚をそのままにして寸法の許す範囲で多層化する方法とがある。前者の方法では、電界が強まって変位発生力が増し、変位量が増大し、後者の方法では、素子の断面積が増して変位発生力が増し、変位量が増大する。このように、いずれの場合もピエゾ素子 1 4を多層とすることで、単位電圧当たりの変位を大きくすることができる。図 7 Dは、積層型ピエゾ素子 1 4 ' における電極配置の具体的な実施例を示すものである。この実施例の積層型ピエゾ素子 1 4 ' では、ピエゾ素子 1 4 Aの外面の大部分に表面電極 1 4 Dが配置され. 残りの部分に外部端子 1 4 Fが配置され、ピエゾ素子 1 4 Aとピエゾ素子 1 4 Bの積層面に内部電極 1 4 Cが配置されている。表面電極 1 4 Dはビア 1 4 Eによって伸縮領域 1 2に接続されて接地され，外部端子 1 4 Fはビア 1 4 Eによって内部電極 1 4 Cに接続されている。従って、外部端子 1 4 Fが電源 8 ^r に接続された状態が図 7 Cと同じ状態を示すことになる。

表面電極 1 4 Dは、銀ペーストまたは銀蒸着、または銀パラジゥム等で構成される。また、中間電極 1 4 Cとビア I 4 Eは銀パラジゥムの粉末を圧電素子と共に焼成して構成される。このビア 1 4 E を用いる電極の接続方法は、多層セラミック基板の分野において公知であるのでこれ以上の説明を省略する。

図 8は、以上の如く構成された本発明に係る微小移動機構 M Tの動作をシミユレーションした結果を示す図であり、図中の破線は動作前の状態を、実線は動作後の状態を夫々示しており、また略中央のハッチングを施した部分は、アクセスアーム 2への固定用の突起 1 6である。

図 8に示す如く、伸縮領域 1 2に固定された各ピエゾ素子 1 4に通電がなされると、これに応じて図の上方の伸縮領域 1 2が伸長すると共に、下方の伸縮領域 1 2が収縮する。これに伴って可動領域 1 1 は、これと固定領域 1 0 とを連結する中央のヒンジ部 1 3を回転中心として固定領域 1 0に対して微小角度 0だけ相対回転し、この回転により可動領域 1 1 に固定された支持ばね 3先端のへッド 4 は、固定領域 1 0に固定されたアクセスアーム 2の幅方向中心から所定長さだけ変位する。このときへッド 4に生じる変位量は、ピエゾ素子 1 4の可動領域 1 1側の側縁とヒンジ部 1 3 との間の直線距離 Rが、ヒンジ部 1 3 とへッド 4 との間の直線距離 Lよりも小さく設定してあることから. ピエゾ素子 1 4の変形量を略 L Z R倍に拡大したものとなり、わずかな回転角度 0によりへッド 4に十分な変位を与えることができる, これは図 9に示したモデル図からも分かるように、回転軸 1 6に取り付けられた長さ Lの棒と長さ R (く L ) の棒が、回転軸 1 6を中心にしてピエゾ素子 1 4によって回転させられた時に、長さしの棒の先端部分（へッド 4 ) の移動量が、長さ Rの棒の移動量に対して略 L Z R倍になるからである。このように、通電に応じて速やかに生じるピエゾ素子 1 4の変形により、ヘッド 4を微小な移動範囲内にて精度良く移動させ得るのである。

なお、通電に伴うピエゾ素子 1 4の変形は極めて急峻に生じ、へッド 4を微小な移動範囲内にて精度良く移動させることができる。また、伸縮手段 1 4 として電熱線を用いた場合においても、電熱線及び伸縮領域 1 2の熱膨張による伸長がへッド 4の移動に変換され、電熱線及び伸縮領域 1 2の熱容量が小さいことから、移動部材であるアクセスアームの一部を熱膨張させる公知の構成に比して、応答時間の大幅な短縮が可能となる。

(第 2の実施例）

図 1 0は本発明の第 2の実施例の構成を示す連結板 1 - 2の平面図である。図 1 0の実施例の連結板 1 一 2が図 5に示した第 1 の実施例の連結板 1 と異なる点は、 6辺形であった連結板 1 を 4辺形にし、伸縮領域 1 2を側辺に平行に配置すると共に、中心線 C Lに対して幅方向両側に一対のヒンジ部 1 3のみを設け、中心線 C L上のヒンジ部 1 3を取り去って空隙 1 5を一体化した点である。従って、この実施例の連結板 1 一 2は、これらの面内ねじれにより可動領域 1 1 の回転を吸収する構成となっている。

(第 3の実施例）

図 1 1 は本発明の第 3の実施例の構成を示す連結板 I一 3の平面図である。図 1 1の実施例の連結板 1一 3が図 5に示した第 1の実施例の連結板 1 と異なる点は、中心線 C L上に幅方向中央の回転ヒンジとして機能するヒンジ部 1 3を第 1 の実施例と同様に形成し、中心線 C Lの両側にはそれぞれ 1つのヒンジ部 1 3を設けた点である。この結果、中心線 C Lの両側に分離されて設けられていた空隙 1 5が一体化されて略 T字状になり、 Tの横棒端部と連結板 1 の両側縁との間に切欠部 1 7が設けられている。

図 1 2は、図 1 1 のように構成された連結板 1 一 3の動作をシミユレーションした結果を示す図であり、図中の破線は動作前の状態を、実線は動作後の状態を夫々示しており、また略中央のハツチングを施した部分は、アクセスアーム 2への固定用の突起 1 6である。図 1 2に示す如く、図 1 1の実施例の連結板 1一 3 も第 1実施例に示すものと全く同様の動作をなす。すなわち、伸縮領域 1 2に固定された各ピエゾ素子 1 4に通電がなされると、これに応じて図の上方の伸縮領域 1 2が伸長すると共に、下方の伸縮領域 1 2が収縮する。これに伴って可動領域 1 1 は、これと固定領域 1 0 とを連結する中央のヒンジ部 1 3を回転中心として固定領域 1 0に対して微小角度 0だけ相対回転し、この回転により可動領域 1 1 に固定された支持ばね 3先端のへッド 4は、固定領域 1 0に固定されたァクセスアーム 2の幅方向中心から所定長さだけ変位する。

このときへッド 4に生じる変位量は、ピエゾ素子 1 4の可動領域 1 1側の側縁とヒンジ部 1 3 との間の直線距離 Rが、ヒンジ部 1 3 とへッド 4 との間の直線距離 Lよりも小さく設定してあることから、ピエゾ素子 1 4の変形量を略 L Z R倍に拡大したものとなり、わずかな回転角度 0によりへッド 4に十分な変位を与えることができる, 図 1 3は図 1 1 に示した連結板 1一 3の空隙 1 5の中に、制振部材 1 8を充填した実施例の連結板 1一 3 ' を示すものである。この制振部材 1 8 としては、樹脂等を使用すれば良い。このように、固定/可動 Z伸縮の各領域 1 0， 1 1 , 1 2を互いに隔てている空隙

1 5內を制振部材 1 8で満たすと、各領域間の相対的な振動を低減することができる。

制振部材 1 8による制振効果は高い周波数の振動に対してより高いので、伸縮領域 1 2の面内変位を妨げることなく、伸縮領域 1 8 - 可動領域 1 1 の面外振動を効果的に減衰させることができる。この結果、振動によるへッド 4の安定浮上が損なわれる恐れを低減することができる。

(第 4の実施例）

図 1 4は本発明の第 4の実施例の構成を示す連結板 1 - 4の平面図であり、図 1 1 の実施例の連結板 1一 3を変形したものである。図 1 4の実施例の連結板 1一 4が図 1 1 に示した第 3の実施例の連結板 1 一 3 と異なる点は、 6辺形であった連結板 1 一 3を 4辺形にし、伸縮領域 1 2を側辺に平行に配置した点のみである。

(第 5の実施例）

図 1 5 Aは本発明の第 5の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図であり、図 1 1 の実施例の連結板 1 一 3を変形した連結板 1一 5をアクセスアーム 2に取り付けた状態を示すものである。また、図 1 5 Bは図 1 5 Aのへッド支持機構の側断面図である c この実施例のァクセスアーム 2には、その両面に連結板 1一 5を介してへッド 4を支持する支持ばね 3が取り付けられている。図 1 5 Aの実施例の連結板 1 一 5が図 1 1 に示した第 3の実施例の連結板 1一 3 と異なる点は、連結板 1一 5上の伸縮領域 1 2の配置位置が、

7 - 連結板 1一 5を取り付けるアクセスアーム 2のアームの方向と一致しており、伸縮領域 1 2の全体がアームに重なっている点である。このように、連結板 1一 5上の伸縮領域 1 2が連結板 1一 5を取り付けるアクセスアーム 2に重なっていると、伸縮領域 1 2の面外振動を低減することができる。また、図 1 5 Cに示すように、伸縮領域 1 2 とアクセスアーム 2 との間に、制振部材 1 8を設けることにより、面外振動を更に小さくすることができる。また、変位拡大率 L Z Rを決める L , Rのうち、 Rを小さくすることができるので、従来の変位拡大率を 7〜 8倍から 1 1〜 1 2倍と約 5 0 %大きくすることができる。

(第 6の実施例）

図 1 6 Aは本発明の第 6の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図であり、図 1 5 Aに示した実施例の連結板 1一 5のアクセスアーム 2への取り付け状態を変更した連結板 1一 6を示すものである。また、図 1 6 Bは図 1 6 Aのへッド支持機構の側断面図である。この第 6の実施例では、連結板 1一 6 とアクセスアーム 2 との固定が、連結板 1一 6の後端の 2箇所で行われている。この実施例では、アーム 2の長さを短くできるので、へッドアクチユエ一夕 H A全体の可動部分の質量、慣性モーメントを低減できる利点がある。また、図 1 6 Cに示すように、アクセスアーム 2の両面に取り付けられた連結板 1一 6の間に、制振部材 1 8を設けることにより、面外振動を更に小さくすることができる。この結果、この実施例でも図 1 5 A〜図 1 5 Cの実施例と同様に、変位拡大率 L Z R を決める L , Rのうち、 Rを小さくすることができるので、従来の変位拡大率を 7〜 8倍から 1 1〜 1 2倍と約 5 0 %大きくすることができる。

(第 7の実施例）図 1 7は本発明の第 7の実施例の構成を示すへッド支持機構の先端部の平面図であり、変位拡大率を大きくした連結板 1 一 7をァクセスアーム 2に取り付けた状態を示すものである。この実施例では. 連結板 1一 7は中心線 C Lに対して線対称な 6辺形として形成され. 幅方向に対向する平行な 2辺、中心線 C L方向に対向する平行な 2 辺、およびその幅がアクセスアーム 2側で小さくなる 2辺を備えている。そして、連結板 1一 7の外周部分は全て可動領域 1 1 となつており、この可動領域 1 1 の内側に外周にほぼ沿って第 1 の空隙 1 5が形成されている。また、この第 1 の空隙 1 5が中心線 C Lと交差する部分に第 1 のヒンジ部 1 3 と第 2のヒンジ部 1 3 ' が形成されている。第 1 の空隙 1 5に囲まれた部分には V字状の第 2の空隙 1 5 ' が形成され、これら第 1 と第 2の空隙 1 5 , 1 5 ' に挟まれた領域にピエゾ素子 1 4を備えた 2つの伸縮領域 1 2が設けられている。この伸縮領域 1 2の間隔は、支持ばね 3側で広く、アクセスアーム 2側で狭くなっている。

この実施例では、中心線 C Lの左右の伸縮手段 1 2を矢印で示すように互いに逆相に伸縮させることにより、第 2のヒンジ部 1 3 ' での変位はこれらが合成され、下向きの矢印で示すように拡大された変位を発生する。この変位の拡大率は約 4倍である。この実施例では、更に、第 1 のヒンジ部 1 3 と第 2のヒンジ部 1 3 ' との距離を R、第 1 のヒンジ部 1 3 とヘッド 4 との距離を Lとした時に、第 2のヒンジ部 1 3 ' における変位量が L Z R倍される。この実施例では Rの長さが既に説明した実施例に比して大きいので、変位率 L Z Rの値は大きくなく、約 2 . 5倍程度である。

しかしながら、この実施例では、前述のように伸縮領域 1 2の変位量が第 2のヒンジ部 1 3 ' において約 4倍に拡大されているので、トータルとして、伸縮領域 1 2の変位に対するへッド 4の変位量の拡大率は、 4 x 2. 5倍となり、合計約 1 0倍の拡大率となる。これは、従来の変位拡大率である約 7倍に比べて約 3 0 %の増大量である。このように、図 1 7の実施例では、ピエゾ素子 1 4の変位を二段階に拡大することにより、へッド位置で大きい変位を得ることができる。

(第 8の実施例）

図 1 8は本発明の第 8の実施例の構成を示す連結板 1一 8の平面図を示すものであり、図 1 9は図 1 8の X— X線における拡大横断面図である。

図 1 8に示した実施例における連結板 1一 8は、図 1 4に示した第 4の実施例の連結板 1一 4の伸縮領域 1 2の内側に、もう一組の伸縮領域を設けて変位拡大率の増大を図ったものである。即ち、第 4の実施例の連結板 1一 4における伸縮領域 1 2がこの実施例では第 1 の伸縮領域 1 2 a、ヒンジ部 1 3が第 1のヒンジ部 1 3 a、ピェゾ素子 1 4が第 1のピエゾ素子 1 4、空隙 1 5が第 1 の空隙 1 5 a、切欠部 1 7が第 1 の切欠部 1 7 a となっている。 1 0は固定領域、 1 I は可動領域、 1 6は突起である。

この実施例の連結板 1一 8では、第 1の空隙 1 5 aの内側に、これに平行に第 2の空隙 1 5 bが形成され、第 1 と第 2の空隙 1 5 a , 1 5 bの間の領域が第 2の伸縮領域 1 2 b となって、この部分に第 2のピエゾ素子 1 4 bが取り付けられている。第 2の空隙 1 5 の固定領域 1 0側の端部は 2又に分岐されている。そして、固定領域 1 0の縁部のこの第 2の空隙 1 5 bの 2又の端部に向かい合う部分には、それぞれ第 2の空隙 1 7 bが設けられており、この対向部分が第 2の.ヒンジ部 1 3 b となっている。

このように、幅方向両側における第 1 の伸縮領域 1 2 aと第 2の伸縮領域 1 2 b とは相互に平行に配置されており、第 1 の伸縮領域 1 2 aの一端が可動領域 1 1 に接続され、他端が第 2の伸縮領域 1 2 bの一端に連結されている。そして、第 2の伸縮領域 1 2 bの他端は固定領域 1 0に連結されている。従って、第 1 の伸縮領域 1 2 a と第 2の伸縮領域 1 2 b とは、夫々の伸縮方向に直列に結合されて固定領域 1 0 と可動領域 1 1 との間に介在することになる。 'よつて、この構成においては、固定領域 1 0に対する可動領域 1 1 の回転が、両伸縮領域 1 2 a , 1 2 bにおける伸長量又は縮短量の和に相当する角度だけ生じることになり、各伸縮領域 1 2 a , 1 2 わの小さな伸縮によってもへッド 4に大きな変位を生じさせることができる。なお、伸縮領域 1 2 a , 1 2 bは、相互に平行をなす配置に限らず、一直線上に配置してもよい。

図 1 9に矢符にて示す如く、第 1 のピエゾ素子 1 4 a と第 2のピェゾ素子 1 4 b とは分極方向が相互に異なるように配置してある。従って、これら第 1 のピエゾ素子 1 4 a と第 2のピエゾ素子 1 4 b とに連結板 1一 8を共通の接地電極として共通の電位を印加した場合、第 1 の実施例における説明と同様に、第 1 のピエゾ素子 1 4 a と第 2のピエゾ素子 1 4 bは変位する。すなわち、厚さ方向両側の対応する第 1 のピエゾ素子 1 4 a と第 2のピエゾ素子 1 4 bの変形方向が一致する。この結果、幅方向両側の対応する第 1 のピエゾ素子 1 4 a及び第 2のピエゾ素子 1 4 b、並びに、幅方向両側にて互いに相隣する第 1 のピエゾ素子 1 4 a及び第 2のピエゾ素子 1 4 b の変形方向が相互に異なる結果となり、各第 1 のピエゾ素子 1 4 a 及び第 2のピエゾ素子 1 4 bへの共通の駆動回路からの通電により、可動領域 1 1 は前述したように両伸縮領域 1 2 a , 1 2 bにおける伸長量又は縮短量の和に相当する変位を生じさせることができる。

なお、以上説明した第 1 から第 8の実施例においては、へッド 4 の支持ばね 3をアクセスアーム 2に連結する連結板 1〜 1 一 8に微小移動機構が構成されているが、この微小移動機構は、支持ばね 3 の一部、アクセスアーム 2の一部、支持ばねを一体化してなるァクセスアーム 2の一部に構成しても良いものである。よって、これらの実施例について以下に説明する。

(第 9の実施例）

図 2 0は本発明の第 9の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕 H Aのステ一夕を除いた部分の平面図である。この第 9の実施例では、微小移動機構 M Tが支持ばね 3の一部に形成されている。図 2 0に示したヘッドの微小移動機構 M Tは、図 1 1で説明した連結板 1一 3 と支持ばね 3 とを一体化したものと同等である。

(第 1 0の実施例）

図 2 1 Aは本発明の第 1 0の実施例の構成を示すへッドアクチュエー夕 H Aのステ一夕を除いた部分の平面図である。この第 1 0の実施例では、微小移動機構 M Tがアクセスアーム 2の一部に形成されている。図 2 1 Aに示したへッドの微小移動機構 M Tは、図 1 4 で説明した連結板 1一 4 とアクセスアーム 2 とを一体化したものと同等である。

図 2 1 Bは図 2 1 Aのへッドアクチユエ一夕 H Aの一例の構成を示す側面図であり、これまでの実施例と異なり、 1つのアクセスァーム 2に 1つのヘッド 4が支持ばね 3を介して取り付けられているものである。この実施例には 3枚の記録ディスク 2 0があり、枢軸 6にはキヤリッジ 5の上にリングスぺーサ 9を介して 6組のへッド支持機構が取り付けられている。各へッド支持機構には、へッドの微小移動機構 M Tが設けられたアクセスアーム 2、支持ばね 3、およびへッド 4があり、アクセスアーム 2のへッドの微小移動機構 M Tの部分にピエゾ素子 1 4が固定されている。

図 2 1 Cは図 2 1 Aのへッドアクチユエ一夕の別の例の構成を示す側面図である。この実施例では微小移動機構 M Tが形成されたァクセスアーム 2の先端部の表裏両面に、それぞれ支持ばね 3を介してへッド 4が取り付けられている。

図 2 2 Aは図 2 1 Aのヘッドァクチユエ一夕 H Aの変形例を示すものであり、この変形例では、へッドアクチユエ一夕 H Aに制振部材 1 8が取り付けられる。図 2 2 Aにおいて網点で示す領域が、制振部材 1 8の取り付け場所を示すものであり、制振部材 1 8は、ァクセスアーム 2のへッドの微小移動機構 M Tの変位部分を覆うように取り付けられている。

図 2 2 Bは図 2 2 Aのヘッドァクチユエ一夕 H Aにおける制振部材 1 8の取り付け状態の一例の構成を示すものである。 1 つのァクセスアーム 2に 2つのへッド 4が支持ばね 3を介して取り付けられている場合の制振部材 1 8の取り付けについては、図 1 5 C , 図 1 6 Cにおいて既に説明したので、ここでは、 1つのアクセスアーム 2に 1つのヘッド 4が支持ばね 3を介して取り付けられている場合の制振部材 1 8の取り付けについて説明する。この実施例では、隣合う記録ディスクをアクセスするへッド支持機構のアクセスアーム 2の間の部分に制振部材 1 8が設けられている。また、両端部のへッド支持機構には、その外側にダミ一アーム 1 9が設けられ、このダミーアーム 1 9 とアクセスアーム 2の間の部分に制振部材 1 8が設けられている。従って、この実施例では、へッドの微小移動機構 M Tにおける面外振動が低減される。

図 2 2 Cは図 2 2 Aのへッドアクチユエ一夕 H Aにおける制振部材 1 8の取り付け状態の別の例の構成を示すものである。この実施例では、隣合う記録ディスクをアクセスするへッド支持機構のァクセスアーム 2の、枢軸 6への取り付け基部にリングスぺーサ 9が設けられておらず、アクセスアーム 2のキャリッジ 5の板厚が大きくされている。この実施例ではリングスぺーサ 9の個数を減らすことができる。

(第 1 1の実施例）

図 2 3 Aは本発明の第 1 1 の実施例の構成を示すへッドアクチュエータ H Aのステ一夕を除いた部分の平面図である。この第 1 1 の実施例では、微小移動機構 M Tが支持ばねを一体化してなるァクセスアーム 2の一部に形成されている。図 2 3 Aに示したへッドの微小移動機構 M Tは、図 1 4で説明した連結板 1一 4 とアクセスァーム 2、および支持ばね 3 とを一体化したものと同等である。

図 2 3 Bは図 2 3 Aのへッドアクチユエ一夕 H Aの一例の構成を示す側面図であり、この実施例には 3枚の記録ディスク 2 0があり、枢軸 6にはキヤ 'Jッジ 5の上にリングスぺーサ 9を介して 6組のへッド支持機構が取り付けられている。各へッド支持機構は、へッドの微小移動機構 M Tが設けられた一体化されたアクセスアーム 2を備えており、アクセスアーム 2の先端部にへッド 4が取り付けられている。そして、アクセスアーム 2のへッドの微小移動機構 M Tの部分にピエゾ素子 1 4が固定されている。

図 2 4 Aは図 2 3 Aのへッドアクチユエ一夕 H Aの変形例を示すものであり、この変形例では、へッドアクチユエ一夕 H Aに制振部材 1 8が取り付けられる。図 2 4 Aにおいて網点で示す領域が、制振部材 1 8の取り付け場所を示すものであり、制振部材 1 8は、ァクセスアーム 2のへッドの微小移動機構 M Tの変位部分を覆うように取り付けられている。

図 2 4 Bは図 2 4 Aのへッドアクチユエ一夕 H Aにおける制振部材 1 8の取り付け状態の一例の構成を示すものである。この実施例では、隣合う記録ディスクをアクセスするへッド支持機構のァクセスアーム 2の間の部分に制振部材 1 8が設けられている。また、両端部のへッド支持機構には、その外側にダミーアーム 1 9が設けられ、このダミーアーム 1 9 とアクセスアーム 2の間の部分に制搌部材 1 8が設けられている。従って、この実施例では、へッドの微小移動機構 M Tにおける面外振動が低減される。

(第 1 2 , 1 3の実施例）

図 2 5は本発明の第 1 2の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕 H Aのステ一夕を除いた部分の平面図であり、図 2 6は本発明の第 1 3の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕 H Aのステー夕を除いた部分の平面図である。これらの実施例にはそのへッドの微小移動機構に再び連結板 1が使用されている。図 2 5に示したへッドの微小移動機構 M Tでは、図 1 4で説明した連結板 1 ― 4における中心線 C Lの上にあるヒンジ部 1 3を取り去って空隙 1 5を連続させた連結板 1 一 4 ' を使用している。また、図 2 6に示したへッドの微小移動機構 M Tは、図 2 5で説明した連結板 1一 4 ' における伸縮領域 1 2の固定領域 1 0 と可動領域 1 1への取り付けを逆向きにしたものである。

(第 1 4 , 1 5の実施例）

最後に、以上説明した実施例では、へッドアクチユエ一夕 H Aを、揺動インライン型へッドアクチユエ一夕 H Aについて説明したが、本発明のへッドの微小移動機構は、これまでに説明した摇動ィンラィン型へッドアクチユエ一夕 H Aに限らず、揺動ドッグレッグ型へッドアクチユエ一夕 H Aや、汎用の直進型へッドアクチユエ一夕 H Aにも適用可能である。

図 2 7は本発明を摇動ドッグレツグ型へッドアクチユエ一夕 H A に適用した.第 1 4の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕 H A とディスクとの関係を示す平面図である。この実施例のへッドの微小移動機構 M Tには、図 1 4で説明した連結板 1一 4が使用されている。

図 2 8は本発明を汎用の直進型へッドアクチユエ一夕 H Aに適用した第 1 5の実施例の構成を示すへッドアクチユエ一夕 H Aとディスクとの関係を示す平面図である。この実施例のへッドの微小移動機構 M Tには、図 1 4で説明した連結板 1一 4が使用されている。

Claims

請求の範囲

1. 少なくとも 1枚の記録ディスク（20)と、記録ディスク（20)の情報記録面に対してそれぞれ 1つ設けられて情報の読み書き動作を行うヘッド（4) と、このへッド（4) を記録ディスク上の所望の記録トラックに位置決めするために記録ディスクの半径方向に移動させるへッドアクチユエ一夕（HA)とを備えたディスク装置において、前記へッドアクチユエ一夕（HA)の一部に設けられて、前記へッド（4) をこのへッドアクチユエ一夕（HA)の動作と独立に微小距離だけ移動させることができるように構成されたへッドの微小移動機構（MT)であって、このヘッドの微小移動機構（MT)は、

前記へッドアクチユエ一夕（HA)の一部に、変位可能に設けられた少なくとも 1つの伸縮領域（12)と、

この伸縮領域（12)の表裏両面又は片面に固設され、通電に応じて生じるその変形により伸縮領域（12)を伸長、あるいは収縮させる伸縮部材（14)と、

前記伸縮領域（12)の伸縮方向の一端に連続して設けられ、前記伸縮領域（12)の伸縮によっても変位しない固定領域（10)と、

前記伸縮領域（12)の伸縮方向の他端に連続して設けられ、前記伸縮領域（12)の伸縮によって変位する可動領域（11 )と、

前記固定領域（10)と前記可動領域（11 )、または可動領域（11 )と前記伸縮領域（12)との間に介在し、前記伸縮領域（12)の伸縮により、前記可動領域（11 )を前記へッド（4) の移動面内にてスムーズに変位させる少なくとも 1個のヒンジ部（13)と、

を備えることを特徴とするへッドの微小移動機構。

2. 請求の範囲 1 に記載のヘッドの微小移動機構であって、前記へッドアクチユエ一夕（HA)が、前記へッド（4) を支持する支持ばね (3) と、アクセスアーム（2) と、これら支持ばね（3) とアクセスァーム（2) とを連結する連結板（1) とを備えており、前記ヘッドの微小移動機構（MT)が前記連結板（1) に設けられていることを特徵とするもの。

3. 請求の範囲 1 に記載のへッドの微小移動機構であって、前記へッドアクチユエ一夕（HA)が、前記へッド（4) を支持する支持ばね (3) と、この支持ばね（3) を取り付けるアクセスアーム（2) とを備えており、前記へッドの微小移動機構（MT)が前記支持ばね（3) に設けられていることを特徵とするもの。

4. 請求の範囲 1 に記載のへッドの微小移動機構であって、前記へッドアクチユエ一夕（HA)が、前記へッド（4) を支持する支持ばね (3) と、この支持ばね（3) を取り付けるアクセスアーム（2) とを備えており、前記へッドの微小移動機構（MT)が前記アクセスアーム（

2) に設けられていることを特徵とするもの。

5. 請求の範囲 4に記載のへッドの微小移動機構であって、前記へッド微小移動機構（MT)が設けられた 1つのアクセスアーム（2) に、 2つのへッド（4) が取り付けられていることを特徵とするもの。

6. 請求の範囲 1 に記載のヘッドの微小移動機構であって、前記へッドアクチユエ一夕（HA)全体が薄板で構成され、その先端部に前記へッド（4) が取り付けられていることを特徵とするもの。

7. 請求の範囲 1〜6の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記固定領域（10)と前記伸縮領域（12)との間が、これらを表裏に貫通する空隙（15)により相互に隔離されていることを特徵とするもの。

8. 請求の範囲 7に記載のへッドの微小移動機構であって、前記固定領域（10)と前記可動領域（11)がヒンジ部（13)を除いてこれらを表裏に貫通する空隙（15)により相互に隔離されると共に、前記可動領域（11 )と前記伸縮領域（12)とが別のヒンジ部（13)によってそれぞれ接続されていることを特徴とするもの。

9. 請求の範囲 8に記載のヘッドの微小移動機構であって、前記固定領域（10)と前記可動領域（11 )がヒンジ部（13)を除いてこれらを表裏に貫通する空隙（15)により相互に隔離され、前記可動領域（11 ) と前記伸縮領域（12)とが別のヒンジ部（13)によってそれぞれ接続され、前記伸縮領域（12)の全体もしくは大部分が前記連結板（1 ) が取り付けられるアクセスアーム（2) のアームに重なるように配置されていることを特徴とするもの。

10. 請求の範囲 7から 9の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記可動領域（11 )と前記伸縮領域（12)の接続部と、前記固定領域（10)とが島部を挟む 2つのヒンジ部（13)によって接続されていることを特徵とするもの。

11. 請求の範囲 10に記載のヘッドの微小移動機構であって、前記可動領域（11 )と前記固定領域（10)が、これらを表裏に貫通する空隙 (15)により完全に隔離されていることを特徴とするもの。

12. 請求の範囲 1から Πの何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)に直列に 2つの伸縮部材（14)が取り付けられていることを特徴とするもの。

13. 請求の範囲 1〜 12の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記アクセスアーム（2) と前記連結板（1 ) の間に、制振部材（18)が積層されていることを特徵とするもの。

14. 請求の範囲 1〜 13の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)の前記可動領域（11 )側端部と前記ヒンジ部（13)との間の直線距離が、前記へッド（4) と前記ヒンジ部（1 3)との間の直線距離よりも小さく設定してあることを特徵とするもの。

15. 請求の範囲 1〜14の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)は、前記固定領域（10)と前記可動領域（11)との閭を薄肉化して構成してあることを特徴とするもの。

16. 請求の範囲 1〜15の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)の表裏両面の伸縮部材（14)は、伸縮領域（12)の厚さ中心に対して略線対称をなして配してあることを特徵とするもの。

17. 請求の範囲 7〜16の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記空隙（15)の中に制振部材（18)が充塡されていることを特徵とするもの。

18. 請求の範囲 1〜： 17の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮部材（14)がピエゾ素子であることを特徵とするもの。

19. 請求の範囲 18に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)を前記ピエゾ素子の共通電極としてあることを特徴とするもの。

20. 請求の範囲 18または 19に記載のへッドの微小移動機構であつて、前記ピエゾ素子が前記伸縮領域（12)の伸縮する面と直角な方向に積層された積層型ピエゾ素子であることを特徵とするもの。

21. 請求の範囲 1〜17の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮部材（14)が電熱線であることを特徵とするもの。

22. 請求の範囲 1〜21の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)の伸縮方向が、前記伸縮領域（12)の前記可動領域（11)側の端部と前記ヒンジ部（13)を結ぶ直線とほぼ直交するように配置されていることを特徵とするもの。

23. 請求の範囲 1から 22の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記伸縮領域（12)が前記へッドの微小移動機構（MT) の中心線（CL)に対して左右少なくとも 1対配置されていることを特徵とするもの。

24. 請求の範囲 23に記載のへッドの微小移動機構であって、前記一対の伸縮領域（12)が前記中心線（CL)に対して略線対称の位置に配置されていることを特徴とするもの。

25. 請求の範囲 24に記載のヘッドの微小移動機構であって、前記前記中心線（CL)上に前記空隙（15)の間にあるヒンジ（13)が設けられていることを特徴とするもの。

26. 請求の範囲 24または 25に記載のへッドの微小移動機構であつて、前記中心線（CL)の両側に配された伸縮部材（14)は、同時に逆向きに変形するようになしてあることを特徴とするもの。

27. 請求の範囲 1〜26の何れか 1項に記載のへッドの微小移動機構であって、前記へッドアクチユエ一夕（HA)が複数個設けられていることを特徴とするもの。

28. 請求の範囲 27に記載のヘッドの微小移動機構であって、隣接するへッド微小移動機構（MT)の間に、制振部材（18)が積層されていることを特徵とするもの。