WO1992019030B1 - Vorrichtung zur herstellung definierter, ionisierter gase bzw. von ionisationsprodukten - Google Patents
Vorrichtung zur herstellung definierter, ionisierter gase bzw. von ionisationsproduktenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung definierter, ionisierter Gase bzw. von Ionisationsprodukten. Zur Schaffung einer solchen Vorrichtung, bei der gleichzeitig die Produktion schädlicher Nebenprodukte minimiert wird, wird vorgeschlagen, die Vorrichtung durch folgende Merkmale zu kennzeichnen: eine rohrförmige an einer Zuleitung für das Gas anschließbare Hohlelektrode als Außenelektrode (3); wenigstens eine Innenelektrode (6), die im Bereich ihrer Anordnung den gesamten Hohlraum der Außenelektrode (3) beeinflußt; eine Potentialdifferenz an der Innenelektrode (6) und der Außenelektrode (3) von 2 bis 3 kV, wobei zwischen Innen- und Außenelektrode eine Potentialdifferenz von maximal 1 kV möglich ist; und eine Strömungsgeschwindigkeit der Gase von weniger als 100 ml/min/mm2.
Claims
1. Vorrichtung zur Herstellung definierter ionisierter Gase bzw. von Ionisationsprodukten,
gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
a) eine rohrförmige an einer Zuleitung für das Gas anschließbare Hohlelektrode als Außenelektrode (3);
b) wenigstens eine Innenelektrode (6, 10, 13a-d, 21), die im
Bereich ihrer Anordnung den gesamten Hohlraum der Außenelektrode (3) beeinflußt;
c) es ist eine Potentialdifferenz an der Innenelektrode (6,10, 13a-d,21) und Außenelektrode (3) von 2.000 bis 3.000 Volt, jeweils zur Erde anlegbar, wobei zwischen Innen- und Außenelektrode eine Potentialdifferenz von max. 1.000 V möglich ist und
d) es ist eine Strömungsgeschwindigkeit der Gase von weniger als 100 ml/min/mm einstellbar.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwei, in Strömungsrichtung der Gase hintereinander angeordnete Innenelektroden (10,11,12) vorgesehen sind.
3. Vorrichtung zur Herstellung ionisierter Gase bzw. Gasgemische,
gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
a) eine rohrförmige an die Zuleitung für das Gas anschließbare Hohlelektrode als Außenelektrode (3), welche an ihrer lateralen Seite Öffnungen (27) aufweist und an der der Zuleitung gegenüberliegenden Seite abgeschlossen ist;
b) faser förmige, z.B. Kohlenstoffaser-Innenelektrode (26), welche im Bereich der Öffnung und in Längsrichtung der Außenelektrode derart angeordnet ist, daß die Gase vor dem Austritt aus den Öffnungen (27) an der Innenelektrode vorbeiströmen. c) es ist eine Potentialdifferenz an der Innenelektrode (6, 10,13a-d,21) und Außenelektrode (3) von 2.000 bis 3.000 Volt jeweils zur Erde anlegbar, wobei zwischen Innen- und Außenelektrode eine Potentialdifferenz von max. 1.000 V möglich ist und
d) es ist eine Strömungsgeschwindigkeit der Gase von weniger als 100 ml/min/mm2 einstellbar.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die rohrförmige Außenelektrode (3) einstückig ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die rohrförmige Außenelektrode (3) aus mehreren Teilbereichen (18, 19, 20) zusammengesetzt ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß an jedem der Teilbereiche (18, 19, 20) eine Spannung
(U1, U2, U3) anliegt.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Innenelektrode als Metallspitze (6,12) ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Innenelektrode als Drahtgitter (10, 11, 13 a-d, 21, 22) ausgebildet ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf der Oberfläche der Innenelektrode (15) leitend Metallteilchen (17) fixiert sind.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die rohrförmige Außenelektrode (3) und die Innenelektroden (4, 10, 11, 12, 13a-d, 15, 21, 22) aus kobaltsalzbeschichtetem oder kobaltlegiertem Material bestehen.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß im Wirkungsbereich der Ionisationsprodukte, welcher im Austrittsbereich der Außenelektrode (3) liegt, eine Sprühvorrichtung vorgesehen ist, mittels der dem ionisierten Gas eine flüssigkeit zumengbar ist.
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