WO1992000813A1 - Constant liquid delivery device - Google Patents

Description

明 細 書 液体定量吐出装置 技術分野

この発明は、 樹脂材料、 導電性接着剤、 クリームはんだ、 U Vレジン、 銀 ペース トのような各種ペース ト状材料などの粘性流体を、 塗布， ドッティ ン グ （滴下） ， 固着， 注入などのために精密に定量吐出することができる液体 定量吐出装置に関するものである。 背景技術

従来のこの種の定量吐出装置としては、 たとえば特開昭 63— 97259 号公報 に開示されたようなものがある。

この従来技術は、 ペース ト等を充塡したシリ ンジと、 このシリ ンジに正圧 のエアを供給するエア供給源と、 前記シリンジとエア供給源との間に配置さ れ、 吐出時に前記シリ ンジと前記エア供給源とが接続されるように、 前記シ リンジに第 1の配管によって接続され、 前記エア供給源に第 2の配管によつ て接続された吐出用電磁弁と、 前記第 1の配管内の圧力を測定する第 1の圧 力センサと、 前記第 2の配管内の圧力を測定する第 2の圧力センサと、 これ ら第 1及び第 2の圧力センサの測定圧力が入力され、 また、 吐出開始時に前 記吐出用電磁弁を作動させて第 1の配管と第 2の配管とを連通させる電圧信 号を出力し、 第 1の配管と第 2の配管とが連通した後に前記第 1の圧力セン サによる測定圧力が予め設定した圧力に達する時間の変化によって、 前記電 圧信号の出力時間を制御する制御部とを具える装置、

および、 上述したところに加え、 前記第 1の配管と前記第 2の配管とが連 通していない時に前記第 1の配管に連通するように前記吐出用電磁弁に第 3 の配管によって接繞されて、 その第 1の配管へ負圧のエアを供給するエア供 給源を具える装置である。

前者の装置は、 ペースト等の吐出時には、 制御部より電圧信号を出力して 吐出用電磁弁を作動させ、 シリンジにエア供給源の正圧のエアを供給するこ とにより、 シリンジからのペーストの吐出をもたらす。 この場合、 シリンジ 内のペースト残存量の変化に起因する、 第 1の圧力センサの測定圧力の立ち 上がりの変化を制御部によって判断し、 それに応じて、 制御部から吐出用電 磁弁への信号出力時間、 すなわち、 吐出時間を、 ペースト残存量が変化して もなお、 ペースト吐出量が一定量となるように制御するので、 シリンジから は、 ペースト残存量の多少に係わりなく、 一定量のペーストが吐出されると しており、

また、 後者の装置では、 ペーストの吐出停止とタイミングを合わせて、 シ リンジ内へ、 エアの吸引源からの負圧を作用させることにより、 シリンジ内 のペース卜の不測のたれ落ちを防止できるとしている。

ところが、 このような従来技術にあっては、 たとえば第 5図に曲線 qで示 すように、 シリンジ内圧が予め定めた時間 T内で設定圧力 Pに到達する場合 には、 所期した通りの吐出量制御を行うことは可能であるが、 シリ ンジ容積, 配管内径， 加圧圧力その他の変更、 変動などにより、 シリンジ内圧が、 図に 曲線 rで示すように、 予め定めた時間 Tで設定圧力 Pに達し得ない場合には、 設定圧力 Pへの到達時間の測定、 ひいては、 吐出量制御を行うことが実質的 に不可能であった。

この発明は、 従来技術のかかる問題を有利に解決するものであり、 シリン ジ内圧の立上がり曲線がいかに変化しょうとも、 吐出量を常に一定ならしめ ることができる液体定量吐出装置を提供するものであり、 さらには、 液体の 定量吐出の操り返しの間におけるシリンジ内の液体のたれ落ちを速やかに、 かつより一層効果的に防止することができる装置を提供するものである。 この発明の液体定量吐出装置は、 液体が充塡されるシリンジと、 このシリ ンジへのヱァ供給源とを吐出用電磁切換弁を介して相互接続し、 その吐出用 電磁切換弁とシリンジとを接繞する第 1の配管には第 1の圧力センサを、 ま た、 吐出用電磁切換弁とエア供耠源とを接続する第 2の配管には、 第 2の圧 力センサおよびアキュム.レータをそれぞれ設け、 さらに、 吐出用電磁切換弁 にシフト信号を出力するとともに、 第 1の配管と第 2の配管とが連通した後、 第 1の圧力センサによる測定圧力の、 予め設定したシフト信号出力時間内で の積分値の変化に基づいてシフト信号の出力時間を制御する制御部を設けた ものである。

また、 この発明の他の装置は、 上述したところに加え、 吐出用電磁切換弁 に、 第 3の配管によって吸引用電磁切換弁を接続するとともに、 その吸引用 電磁切換弁に、 第 4の配管によってエア吸引源を接続し、 そして、 その第 3 の配管には大気開放用電磁切換弁を、 第 4の配管にはアキュムレータをそれ ぞれ接続し、 各電磁切換弁をともに制御部に接続したものである。

この装置による、 シリンジ内の液体の定量吐出は、 制御部から、 電圧信号 とすることができるシフト信号を出力して吐出用電磁切換弁の作動をもたら し、 シリンジに、 エア供給源からの加圧エアを、 シリンジ内の液体量に応じ た時間にわたって供給することにより行われる。

ここで、 シリンジ内の液体量に応じた加圧エアの供給は、 はじめに、 第 1 の圧力センサの測定圧力の、 予め設定した電圧信号出力時間内での積分値に 基づいてシリ ンジ内の液体残量を検知し、 次いで、 この検知結果に応じて、 吐出用電磁切換弁の所要の解放時間、 いいかえれば吐出時間を求め、 その時 間だけ、 制御部から吐出用電磁切換弁へ、 電圧信号を出力することによって 行うことができる。

このようにここでは、 シリ ンジ内の液体の残存量の変化に起因する、 第 1 の圧力センサの測定圧力の立ち上がりの変化を、 設定時間内での積分値の変 化として把握することにより、 その立ち上がりの変化を、 設定圧力への到達 時間の変化として把握する従来技術のような問題の発生を完全に防止するこ とができる。

また、 この発明の他の装置では、 シリンジへの加圧ヱァの供給停止とタイ ミ ングを合わせて、 そのシリ ンジ内へ、 大気圧力またはエア吸引源による負 圧を作用させることにより、 シリンジからの液体のたれ落ちを極めて有利に 防止することができる。

ところで、 この装置では、 シリンジへの加圧エアの供給開始から、 シリン ジ内圧が設定値に達するまでの測定圧力の立上がりを、 アキュムレータの作 用によって十分円滑ならしめることができるので、 制御部からの電圧信号の 出力時間の制御を、 エア供給源からの供給圧力の変動の影響を受けることな しに、 高い精度にて行うことができる。

そしてまた、 とくに後者の装置では、 第 4の配管に設けたアキュムレータ の作用に基づき、 シリンジ内を短時間に設定食圧にすることができるととも に、 エア吸引源の脈動に起因するシリ ンジ内圧の変動を防止して、 シリ ンジ 内の液体のたれ落ちを極めて有効に防止することができ、 さらには、 第 3の 配管に接続した大気開放用電磁切換弁を開放することにより、 シリ ンジ内圧 を、 小さな管摩擦の下で、 非常に短時間に大気圧として、 液体の吐出を瞬時 に停止することができるので、 吐出サイクルタィムを大幅に短縮することが 可能となる。 図面の簡単な説明

第 1図は、 この発明の一実施例を示す回路図、

第 2図は、 シリ ンジ内立上がり曲線の変化を示すグラフ、

第 3図は、 測定圧の予め設定した出力時間内での積分値を示す比較線図、 第 4図は、 積分値を一定としたときの電圧信号出力時間の変化を示す比較 線図、

第 5図は、 従来技術の問題点を示すグラフである。 発明を実施するための最良の形態

以下に、 この発明の構成の詳細を図面に基づいて説明する。

第 1図は、 この発明の一実施例を示す回路図である。 ここでは、 液体 1を 充埵されるシリ ンジ 2を、 3ポート 2位置弁とすることができる吐出用電磁 切換弁 3のポート Aに、 第 1の配管 4によって接続するとともに、 その吐出 用電磁切換弁 3の流入ポート Pを、 第 2の配管 5により、 滅圧弁 6を介して エア供給源 7に接続し、 その第 2の配管 5の、 吐出用電磁切換弁 3と滅圧弁 6との中間位置にアキュムレータ 8を設ける。

ここで、 吐出用電磁切換弁 3は、 そこへ、 シフト信号としての電圧信号が 供給されない時には、 ボート Aと流出ポート Rとの連通をもたらし、 電圧信 号が供給されたときには、 ポート Aと流入ポート Pとの連通をもたらすべく 機能する。

またこの例では、 かかる吐出用電磁切換弁 3の流出ボート Rに、 第 3の配 管 9によって、 2ボート 2位置弁とすることができる吸引用電磁切換弁 10を 接続するとともに、 この吸引用電磁切換弁 10の流出ポート Bに、 第 4の配管 11によってエア吸引源 12を接続し、 さらに、 第 3の配管 9には、 2ポート 2 位置弁とすることができる大気開放用電磁切換弁 13を、 また第 4の配管 11に はアキュムレータ 14をそれぞれ接続する。

ここで、 これらの吸引用電磁弁 10、 13はいずれも、 電圧信号の供給によつ て開放状態となり、 それの供給停止によって閉止状態となる。 またここでは、 第 1の配管 4、 および第 2の配管 5のアキュムレータ 8より下流側の位置に、 それぞれの配管 15, 16を介して、 第 1および第 2の圧力センサ 17, 18をそれ ぞれ接続する。 これらの圧力センサ Π, 18は、 それぞれの配管 4 , 5の内圧 を検知するとともに、 検知圧力を電気信号に変換して各変換回路 19, 20へ入 力すべく機能する。

ところで、 それぞれ変換回路 19, 20は、 圧力センサ 17, 18はからの微弱な 出力信号を増幅するとともに、 その出力信号のばらつきを校正する増幅回路 21と、 アナログ信号を 2値化したデジタル信号に変換する AZ Dコンバータ

22とを具えており、 このような各変換回路 19, 20からの出力信号は、 マイク 口プロセッサー， 1チップコンビュータ等とすることができる制御部 23へ入 力される。

この制御部 23は、 そこへ吐出開始信号 40が入力された時に、 吐出用電磁切 換弁 3へ電圧信号 41を出力すベく機能する他、 例えばその電圧信号 41の供給 停止後に、 通常は、 大気開放用電磁切換弁 13および吸引用電磁切換弁 10のそ れぞれに、 電圧信号 42および 43を順次に出力すベく機能する。

ここで、 電圧信号 41， 2, 43のそれぞれは、 電圧増幅回路 24, 25, 26によつ て増幅された後、 それぞれの電磁切換弁 3 , 10， 13へ入力される。

そして、 かかる制御部それ自身には、 時間、 条件等の設定スィツチ 23 aお よび設定データ表示部 23 bをそれぞれ設ける。 ここにおいて、 設定スィ ッチ 23 aは、 所定量の液体 1を吐出するに必要な吐出用電磁切換弁 3の開放時間 を設定するスィツチ、 シリンジ内の液体残存量が変化した時の、 第 1の圧力 センサ 17の測定圧力の立上がりの変化に応じて吐出時間を増減するための数 値を設定するスィツチ、 吸引用電磁切換弁 10および大気開放用電磁切換弁 13 のそれぞれの開放時間を設定するスィツチ、 シリンジ内の液体 1の上面上の 空間と配管 4 , 15内の空間とを含めた空間 30内の所要の食圧値を設定するス ィツチその他からなる。

なお、 以下の說明を簡素化するため、 ここでは、 第 2の配管 5の、 吐出用 電磁切換弁 3と滅圧弁 6との間の空間と、 アキュムレータ 8内の空間と、 配 管 16内の空間とを舍めて空間 31とし、 また、 第 3の配管 9内の空間と、 その 配管 9から大気開放用電磁切換弁 13に至る配管内の空間とを含めて空間 32と する。

また、 設定データ表示部 23 bは、 設定スィ ッチ 23 aにて設定した時間， 条 件等のデータ表示部の他、 それぞれの圧力センサ Π, 18によって検出された それぞれの空間 30， 31の圧力の表示部を具える。

このように構成してなる装置の作用を次に説明する。

通常は、 吐出用電磁切換弁 3は、 ポート Aと流出ポート Rとの連通状態に あることから、 空間 30の圧力は空間 32の圧力と同じに保たれており、 空間 31 の圧力は、 エア供給源 7からの加圧エアを、 制御部 23から滅圧弁 6への制御 信号に基づいて、 その滅圧弁 6で調整することにより、 所定の一定圧力に保 たれている。

このときの、 それぞれの空間 30, 31の内圧は、 それぞれの圧力センサ 17, 18で検知されて設定データ表示部 23 bに表示される。

かかる状態の下で、 吐出開始信号 40が制御部 23へ入力されると、 制御部 23 から吐出用電磁切換弁 3へ電圧信号 41が出力されて、 その吐出用電磁切換弁 3のポート Aと流入ポート Pとの連通がもたらされ、 この結果として、 空間 31の内圧の空間 30への供給が行われ、 シリンジ内の液体 1の吐出が開始され る。

ところで、 空間 30の内圧が、 空間 31のそれと等しくなる時間は、 シリンジ 内の液体 1の残存量の変化によって、 例えば第 2図に示すように変化するこ とから、 シリ ンジ 2から常に一定量の液体を吐出するためには、 このような 時間差を考慮して、 制御部から吐出用電磁切換弁 3への、 電圧信号出力時間 を制御することすが必要になる。

なお、 第 2図中、 曲線 aは、 シリ ンジ内に液体 1がー杯に充塡されている 場合の、 第 1の圧力センサ Πによる測定圧力の理想立上がり曲線を示し、 曲 線 b , cはそれぞれ、 シリ ンジ内の液体の残存量が一定量づっ滅少した場合 における同様の立上がり曲線を示す。

また、 図中 D Tは、 予め設定された吐出時間、 いいかえれば、 電圧信号 41 の予め設定した出力時間である。

そこでここでは、 はじめに、 予め設定された吐出時間 D T内でのそれぞれ の曲線 a , b , cについての積分値， 具体的には、 それぞれの曲線 a , b , cについての、 単位時間毎の測定圧力の累積値を、 制御部 23にて求めること によって、 シリンジ内の液体 1の残存量を検知する。

すなわち、 曲線 a , b , cのそれぞれの積分値は、 第 3図に斜線を施して 示すところから明らかなように、 シリンジ内の液体残存量が少なくなるにつ れて小さくなるので、 各積分値を、 制御部 23に予め入力した液体残存量と積 分値との相対関係に基づいて比較もしくは換算することにより、 シリンジ内 の液体残存量を、 液体 1の吐出回毎に検知することができる。 従って、 シリ ンジの交換が必要となるほどに液体残存量が減少した場合の積分値もしくは 液体残存量をもまた、 制御部 23に予め入力しておくことにより、 シリンジ内 の液体残存量がその入力値まで低減したことを、 設定データ表示部 23b への 表示、 警報の発生などによって容易に知らしめることができる。

そしてその後は、 シリ ンジ内の残存液体量の変^:に起因する、 上述のよう な、 積分値の変化に基づき、 吐出用電磁切換弁 3への電圧信号の出力時間、 第 4図に示すところでは、 それぞれの曲線 a , b , cに関する出力時間 Ta, Tb, Tcを以下のようにして設定する。

まず、 いずれかの曲線、 例えば曲線 aで示す圧力変化が得られた場合にお いて、 シリンジ内の液体 1を、 定められた一定量吐出するに必要な電圧信号 出力時間 T aを実験によって求め、 次いで、 他の曲線 b , cにっき、 曲線 a の、 出力時間 T a内での積分値と周一の積分値をもたらすそれぞれの出力時 間 Ta, Tcを演算する。

このことを第 4図に基づいて説明すると、 曲線 a について実測された出力 時間 Ta内での、 その曲線 a の積分値が Saとなった場合には、 曲線 b, c のそれ ぞれについてもまた積分値が Saとなるような出力時間 Tb, Tcをそれぞれ決定 する。

このようにして決定されたそれぞれの出力時間 Ta, Tb, Tc , …を、 シリン ジ内の液体残存量との閬速において、 制御部 23へ予め入力しておくことによ り、 シリンジ内の液体残存量の検知に基づいて吐出用電磁切換弁 3への電圧 信号出力時間を制御することが可能となり、 シリンジ 2からの液体 1の吐出 量を、 そこへの液体残存量の多少にかかわらず、 高い精度にて一定ならしめ ることができる。

ところで、 以上のようにして、 シリンジ内の液体残存量を検知するととも に、 吐出用電磁切換弁 3に対する電圧信号 41の出力時間を制御する場合には、 とくには空間 30の測定圧力の立上がりの乱れを防止することが重要であるの で、 ここでは、 滅圧弁 6の下流側で第 2の配管 5に設けたアキュムレータ 8 の作用によって、 空間 30の測定圧力の立上がりの乱れを防止し、 高い精度で の液体残存量の検知および電圧信号出力時間の制御を可能ならしめる。

この一方において、 電圧信号 41の所定の出力時間の経過後は、 その電圧信 号 41の、 吐出用電磁切換弁 3への供給が停止され、 吐出用電磁切換弁 3のポ —ト Aと流出ポート Rとの連通、 ひいては、 空間 30と空間 32との連通がもた らされ、 シリンジ 2の内圧が低下して、 液体 1の吐出が終了する。

ここで、 電圧信号 41の出力の停止と同時に、 液体 1の吐出を停止するため には、 空間 30の内圧を、 少なくとも大気圧にまで瞬時に低下させることが必 要になるので、 ここでは、 電圧信号 41の出力停止と同時もしくはそれより幾 分早い時点で、 電圧信号 42を、 制御部 23から大気開放用電磁切換弁 13へ出力 してその切換弁 13を大気開放状態とすることにより、 吐出用電磁切換弁 3の ポート Aと流出ボート Rとの連通後の、 空間 30、 ひいてはシリ ンジ 2の内圧 の速やかなる大気圧復帰を担保する。 なお、 これと同様の効果は、 大気開放用電磁切換弁 13の開放に代えて、 吸 引用電磁切換弁 10を、 大気開放用電磁切換弁 13について上述したタイミング と同様のタイ ミングで開放状態とすることによってもまたもたらすことが可 能である。 しかしながら、 この場合には、 空間 32への負圧の導入時間が、 主 には管路抵抗により、 前述の場合より長くなるので、 液体 1のたれ落ちを瞬 時に停止して、 シリンジ 2を次の吐出位置へ速やかに移動させるため、 およ び、 次の吐出に際して、 シリンジ内圧を所定の圧力にまで高めるに要する時 間を短くするため、 いいかえれば、 液体 1の一の吐出の終了から次の吐出の 開始に至るまでのサイクルタイムを短縮するためには、 大気開放用電磁切換 弁 13を前述のように作動させることがとくに有効である。

この一方において、 サイクルタイムが比較的長い場合や、 装置を一時的な 休止状態とする場合には、 大気開放用電磁切換弁 13の閉止後に吸引用電磁切 換弁 10を開放状態とすることにより、 または、 大気開放用電磁切換弁 13を開 放することなしに、 電圧信号 41の出力停止と同時もしくはそれより幾分早い タイミングで吸引用電磁切換弁 10を開放状態とすることにより、 空間 32、 ひ いては空間 30を所定の負圧として、 シリンジ 2の先端からの液体 1のたれ落 ちを確実に防止する。

この場合において、 第 4の配管 11に設けたアキュムレータ 14は、 空間 30内 を速やかに所定の負圧とすべく機能するとともに、 空間 30が所定の負圧に達 するまでの間の、 エア吸引源の脈動の影響を除去すべく機能して負圧の安定 性を向上させるので、 とくには、 空間 30が所定負圧になるまでの間での、 液 体 1の不測のたれ落ちがより有効に防止されることになる。

なお、 吸引用電磁切換弁 10は、 第 1の圧力センサ 17による測定負圧が所定 値に達すると、 電圧信号 43の、 そこへの供給の停止に基づいて閉止状態とさ れる。

ところで、 空間 30が完全な密閉状態に維持される場合には、 上述したとこ ろによって、 液体 1のたれ落ちは長時間にわたって確実に防止されることに なるが、 現実には、 空間 30, 32には、 吐出用電磁切換弁 3および吸引用電磁 切換弁 10の気密性に起因する幾分のもれがぁるので、 そのままでは空間 30は 一定時間後に大気圧力に戻り、 液体 1は、 その自重によってシリンジ 2の先 端からたれ落ちることになる。 そこで、 第 1の圧力センサ 17での測定圧力が 所定の範囲内の負圧値よりも大気圧に近づくと、 制御部 23から電圧信号 43を 出力し、 吸引用電磁弁 10を再び開放して、 空間 31内を所定の負圧に維持する。 なお、 ここでいう所定の負圧の好適値もまた、 シリ ンジ内の液体残存量に 応じて変化することになるので、 液体残存量の前述した検知結果に基づいて 制御部 23から吸引用電磁切換弁 10への電圧信号 43の出力時間を制御して、 そ の所定負圧を、 残存液体の自重と対応する圧力とすることによって、 液体の たれ落ちを効率よく防止することができる。

かくして、 シリンジ内の液体 1の残存量の変化に起因する、 第 1の圧力セ ンサによる測定圧力の立上がりの変化を、 測定圧力の、 設定時間内での積分 値の変化として検知し、 その変化に応じて、 吐出用電磁切換弁 3への電圧信 号 41の出力時間を制御することにより、 シリ ンジ内の液体量の多少にかかわ りなく、 しかも、 シリ ンジ容積、 配管内径、 加圧圧力その他の変動， 変更な どにも影響されることなく、 シリンジ内の液体を常に正確に定量吐出するこ とができ、 従来技術におけるような制御不能の問題を生じるおそれは全くな い。

また、 測定圧力の積分値から、 シリ ンジ内の液体残存量を求めることによ り、 液体の吐出不能を十分に防止できるとともに、 シリンジ 2の交換を常に 適正に行うことができる。

さらに、 液体 1の吐出時以外には、 シリンジ 2に大気圧もしくは所定の負 圧を作用させることにより、 液体の余剰吐出を極めて有効に防止できるとと もに、 シリンジ 2からの液体のたれ落ちを十分に防止することができ、 とく に、 各画の吐出終了毎にシリンジ内を速やかに大気圧とすることによって、 吐出のサイクルタイムを短縮して作業能率を大きく向上させることができる。 しかも、 第 2の配管にアキュムレータ 8を設けることにより、 液体 1の定 量吐出精度および残存量検知精度を大きく向上させることができ、 また、 第 4の配管 11にアキュムレータ 14を設けることにより、 シリンジ 2からの液体 1のたれ落ちを一層有効に防止することができる。

なお、 この発明を図示例に基づいて説明したが、 第 2の配管 5から減圧弁 6を省くことも可能である。

以上説明したように、 この発明によれば、 シリンジ内の液体の残存量の多 少にかかわらず、 しかも、 シリンジ内圧の立上がり勾配の大小にかかわらず、 常に一定量の液体を高い精度で吐出することができる。

また、 シリンジ内の液体の残存量を正確に検知して液体の吐出不能を有効 に防止できるとともに、 シリンジの常に適正なる交換を可能ならしめること ができ、 さらには、 シリンジからの液体の余剰吐出およびたれ落ちを完全に 防止することができる。 産業上の利用可能性

本発明にかかる液体定量吐出装置は、 電子配線板へのクリームはんだの塗 布、 リードフレームへの樹脂材料の滴下、 樹脂材料のジャンクションコーテ ィング、 接点などへの銀ペーストの塗布、 磁気へッドへの樹脂材料の充塡、 L E Dへの樹脂の注入、 精密機器への潤滑剤塗布、 液晶表示板への液晶注入、 スピーカーコーン紙への接着剤の塗布、 電子部品のモールディングあるいは 電子部品のシーリングなどの作業に用いるのに適している。

Claims

請求の範囲 . 液体が充塡されるシリ ンジと、 このシリ ンジに加圧エアを供耠するエア 供給源と、 第 1の配管によってシリ ンジに、 第 2の配管によってエア供給 源にそれぞれ接続した吐出用電磁切換弁と、 第 2の配管に設けたアキュム レ一タと、 第 1および第 2の配管内圧を測定する第 1および第 2のそれぞ れの圧力センサと、 前記吐出用電磁切換弁にシフト信号を出力するととも に、 第 1の配管と第 2の配管との連通後の第 1の圧力センサによる測定圧 力の、 予め設定したシフト信号出力時間内での積分値の変化に基づいてシ フト信号の出力時間を制御する制御部とを具えてなる液体定量吐出装置。 . 前記吐出用電磁切換弁に、 第 3の配管によって接銃した吸引用電磁切換 弁と、 この吸引用電磁切換弁に、 第 4の配管によって接続したエア吸引源 と、 第 3の配管に接繞した大気開放用電磁切換弁と、 第 4の配管に設けた アキュムレータとを具えてなる請求項 1に記載の液体定量吐出装置。