+

RU2661509C1 - Vertical tubular electrostatic precipitator - Google Patents

Vertical tubular electrostatic precipitator Download PDF

Info

Publication number
RU2661509C1
RU2661509C1 RU2017133438A RU2017133438A RU2661509C1 RU 2661509 C1 RU2661509 C1 RU 2661509C1 RU 2017133438 A RU2017133438 A RU 2017133438A RU 2017133438 A RU2017133438 A RU 2017133438A RU 2661509 C1 RU2661509 C1 RU 2661509C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrostatic precipitator
electromodule
electrodes
corona
gas
Prior art date
Application number
RU2017133438A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Виталий Григорьевич Ерошенко
Original Assignee
Виталий Григорьевич Ерошенко
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Виталий Григорьевич Ерошенко filed Critical Виталий Григорьевич Ерошенко
Priority to RU2017133438A priority Critical patent/RU2661509C1/en
Priority to PCT/UA2018/000064 priority patent/WO2019050498A1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2661509C1 publication Critical patent/RU2661509C1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/40Electrode constructions
    • B03C3/45Collecting-electrodes
    • B03C3/49Collecting-electrodes tubular
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/74Cleaning the electrodes

Landscapes

  • Electrostatic Separation (AREA)

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to the purification of gases in electrostatic precipitators and can be used in power engineering, metallurgy, cement production and other industries. In a vertical tubular electrostatic precipitator, the precipitating and corona electrode is in the form of an electrical module, the corona electrode being smaller than the settling electrode and being mounted in at least one attachment device. Electrostatic precipitator is equipped with several racks of electrical modules, which consist of, at least, one electromodule connected by an inlet pipe to a contaminated gas chamber and a discharge port with a clean gas chamber and which are combined into at least two electrostatic precipitator sections. Means of shaking the electrodes are located at the junction of the electrical module with the inlet and outlet nozzles. Each section is equipped with an individual section for each section of the clean gas chamber connected by an individual gas flue to the exhaust gas outlet of the electrostatic precipitator, and the contaminated gas chamber is made common for all sections. Each individual flue gas duct of each individual chamber of purified gas is equipped with a shut-off device.
EFFECT: efficiency of electric gas cleaning increases with the considerable simplification of installation and commissioning works, as well as elimination of secondary entrainment of dust particles.
8 cl, 6 dwg

Description

Изобретение относится к очистке газов в электрофильтрах и может быть использовано в энергетике, металлургии, производстве цемента и других отраслях промышленности.The invention relates to the purification of gases in electrostatic precipitators and can be used in energy, metallurgy, cement production and other industries.

Наиболее близким по совокупности признаков к изобретению является выбранный в качестве прототипа вертикальный трубчатый электрофильтр, содержащий корпус, трубчатые вертикально ориентированные осадительные электроды, внутри каждого из которых размещен коронирующий электрод, камеру загрязненного газа с впускным газоходом и бункером для пыли, камеру очищенного газа с выпускным газоходом и средства встряхивания электродов (Ужов В.Н. Очистка промышленных газов электрофильтрами. - М., Химия, 1967. - С. 113-114, рис. 51).The closest in terms of features to the invention is a vertical tubular electrostatic precipitator selected as a prototype, comprising a housing, tubular vertically oriented precipitation electrodes, inside each of which there is a corona electrode, a polluted gas chamber with an inlet duct and a dust bin, a purified gas chamber with an outlet duct and means of shaking electrodes (Uzhov VN Purification of industrial gases by electrostatic precipitators. - M., Chemistry, 1967. - S. 113-114, Fig. 51).

Анализ технических свойств прототипа, обусловленных его признаками, показывает, что получению ожидаемого технического результата при использовании прототипа препятствуют следующие причины. Прототип характеризуется недостаточно высокой эффективностью очистки газов, сложностью монтажа и обслуживания коронирующих электродов, а также достаточно высокими капитальными и эксплуатационными затратами. Кроме того, при использовании прототипа происходит значительный вторичный унос уловленных частиц пыли газовым потоком при их свободном падении после отрыва от электродов при встряхивании последних.Analysis of the technical properties of the prototype, due to its features, shows that the following reasons hinder the receipt of the expected technical result when using the prototype. The prototype is characterized by insufficiently high efficiency of gas purification, the complexity of installation and maintenance of the corona electrodes, as well as sufficiently high capital and operating costs. In addition, when using the prototype, there is a significant secondary ablation of the captured dust particles by the gas stream when they fall freely after separation from the electrodes by shaking the latter.

В основу изобретения поставлена задача создать такой вертикальный трубчатый электрофильтр, в котором усовершенствования путем введения новых элементов позволят при использовании изобретения обеспечить достижение технического результата, заключающегося в повышении эффективности очистки газов при минимальных капитальных и эксплуатационных затратах и существенном упрощении монтажных и пусконаладочных работ.The basis of the invention is the task of creating such a vertical tubular electrostatic precipitator in which improvements by introducing new elements will allow using the invention to achieve a technical result consisting in increasing the efficiency of gas purification with minimal capital and operating costs and a significant simplification of installation and commissioning.

Вертикальный трубчатый электрофильтр содержит корпус, трубчатые вертикально ориентированные осадительные электроды, внутри каждого из которых размещен коронирующий электрод, камеру загрязненного газа с впускным газоходом и бункером для пыли, камеру очищенного газа с выпускным газоходом и средства встряхивания электродов.A vertical tubular electrostatic precipitator contains a housing, tubular vertically oriented precipitation electrodes, inside each of which there is a corona electrode, a polluted gas chamber with an inlet duct and a dust bin, a purified gas chamber with an exhaust duct and means for shaking the electrodes.

Согласно изобретению в вертикальном трубчатом электрофильтре каждый осадительный электрод с размещенным внутри него коронирующим электродом выполнен в виде электромодуля, закрепленного в стойке, которая состоит из, по меньшей мере, одного электромодуля, соединенного с помощью впускного патрубка с камерой загрязненного газа и с помощью выпускного патрубка с камерой очищенного газа. Каждый электромодуль оборудован индивидуальным коронирующим электродом, длина которого меньше длины осадительного электрода соответствующего электромодуля. Каждый коронирующий электрод установлен в, по меньшей мере, одном устройстве крепления, которое состоит из токопроводящего держателя для закрепления коронирующего электрода, размещенного внутри электромодуля, и поддерживающего его изолятора, установленного в изоляторной коробке, расположенной снаружи электромодуля, с системой предотвращения загрязнения поверхности изолятора улавливаемой пылью. В случае использования одного электромодуля в стойке средства встряхивания электродов размещены в месте соединения электромодуля с впускным и выпускным патрубками для одновременного встряхивания и осадительного, и коронирующего электродов одним средством встряхивания. Электрофильтр оборудован, по меньшей мере, двумя стойками, которые объединены в, по меньшей мере, две секции электрофильтра. При этом каждая секция оборудована камерой очищенного газа, индивидуальной для каждой секции, индивидуально соединенной с выпускными патрубками стоек электромодулей каждой секции и соединенной индивидуальным газоходом с выпускным газоходом, а камера загрязненного газа выполнена общей для всех секций и соединена с впускными патрубками стоек электромодулей всех секций. Каждый индивидуальный газоход каждой камеры очищенного газа оборудован запорно-регулирующим устройством для регулирования расхода газа через камеру очищенного газа (соответственно, и через стойки электромодулей, соединенных с соответствующей камерой очищенного газа), и перекрытия камеры очищенного газа при встряхивании электродов в стойках электромодулей, соединенных с соответствующей камерой очищенного газа.According to the invention, in a vertical tubular electrostatic precipitator, each precipitation electrode with a corona electrode placed inside it is made in the form of an electromodule mounted in a rack, which consists of at least one electromodule connected via an inlet pipe to a contaminated gas chamber and using an outlet pipe with purified gas chamber. Each electromodule is equipped with an individual corona electrode, the length of which is less than the length of the precipitation electrode of the corresponding electromodule. Each corona electrode is installed in at least one attachment device, which consists of a conductive holder for securing the corona electrode placed inside the electromodule and an insulator supporting it, installed in an insulator box located on the outside of the electromodule, with a system to prevent the surface of the insulator from being contaminated by dust . In the case of using one electromodule in the rack, the means of shaking the electrodes are placed at the junction of the electromodule with the inlet and outlet nozzles for simultaneous shaking of both the precipitation and the corona electrodes with one means of shaking. The electrostatic precipitator is equipped with at least two racks, which are combined in at least two sections of the electrostatic precipitator. Moreover, each section is equipped with a purified gas chamber, individual for each section, individually connected to the outlet pipes of the racks of the electric modules of each section and connected by an individual gas duct to the exhaust gas duct, and the polluted gas chamber is made common for all sections and connected to the inlet pipes of the racks of the electric modules of all sections. Each individual gas duct of each purified gas chamber is equipped with a shut-off and regulating device for regulating the gas flow through the purified gas chamber (respectively, and through the racks of electrical modules connected to the corresponding purified gas chamber), and overlapping the purified gas chamber by shaking the electrodes in the racks of electrical modules connected to appropriate purified gas chamber.

В отдельных случаях выполнения изобретение может характеризоваться тем, что:In certain cases, the invention may be characterized in that:

- при установке коронирующего электрода в электромодуле с одним устройством его крепления средства встряхивания дополнительно расположены в месте размещения изоляторной коробки устройства крепления коронирующего электрода, а наковальни прикреплены к ней;- when installing the corona electrode in an electric module with one attachment device, the shaking means are additionally located at the location of the insulator box of the corona electrode attachment device, and the anvils are attached to it;

- при установке коронирующего электрода в электромодуле с двумя устройствами его крепления последние размещаются на расстоянии от торцов электромодуля не более двух его внутренних диаметров;- when installing the corona electrode in an electromodule with two devices for its fastening, the latter are placed at a distance from the ends of the electromodule no more than two of its inner diameters;

- стойка может быть выполнена из нескольких скрепляемых между собой электромодулей, нижний из которых соединен с камерой загрязненного газа с помощью впускного патрубка, а верхний из которых соединен с камерой очищенного газа с помощью выпускного патрубка, при этом средства встряхивания электродов дополнительно размещены в месте соединения электромодулей между собой для одновременного встряхивания и осадительного, и коронирующего электродов каждого электромодуля одним средством встряхивания;- the rack can be made of several electromodules fastened together, the lower of which is connected to the contaminated gas chamber using the inlet pipe, and the upper one is connected to the cleaned gas chamber using the outlet pipe, while the means for shaking the electrodes are additionally placed at the junction of the electric modules between each other for simultaneous shaking of both the precipitation and corona electrodes of each electromodule with one means of shaking;

- коронирующие электроды в электромодулях подключены к одному общему источнику питания;- the corona electrodes in the electric modules are connected to one common power source;

- в каждой стойке электромодулей коронирующий электрод соответствующего электромодуля подключен к соответствующему источнику питания;- in each rack of the electric modules, the corona electrode of the respective electric module is connected to the corresponding power source;

- в смежных электромодулях каждой стойки электромодулей коронирующие электроды соответствующих смежных электромодулей помодульно сгруппированы и подключены к своему источнику питания;- in adjacent electrical modules of each rack of electrical modules, the corona electrodes of the corresponding adjacent electrical modules are grouped modularly and connected to their power source;

- электромодули в стойках соединены между собой и с впускным и выпускным патрубками с помощью фланцевого соединения, при этом наковальни средств встряхивания электродов размещены на фланцах.- the electric modules in the racks are connected to each other and with the inlet and outlet pipes using a flange connection, while the anvils of the means of shaking the electrodes are placed on the flanges.

При использовании изобретения обеспечивается достижение технического результата, заключающегося в повышении эффективности электрической очистки газов при минимальных капитальных и эксплуатационных затратах и существенном упрощении монтажных и пусконаладочных работ. Кроме того, обеспечивается достижение дополнительного технического результата, заключающегося в устранении вторичного уноса частиц пыли, в оптимизации вольтамперных характеристик работы коронного разряда в каждом электромодуле, обеспечивающей максимальную зарядку частиц пыли и максимальную эффективность их улавливания в каждом электромодуле, в положительном снижении в два и более раз абсолютной величины децентровки коронирующих электродов относительно трубчатых вертикальных осадительных электродов, в возможности заводской сборки и юстировки электромодулей до их установки в вертикальный трубчатый электрофильтр, а также в повышении эффективности очистки газов без увеличения площади, занимаемой вертикальным трубчатым электрофильтром.When using the invention, the achievement of a technical result is achieved, which consists in increasing the efficiency of electric gas purification with minimal capital and operating costs and a significant simplification of installation and commissioning. In addition, an additional technical result is achieved, which consists in eliminating the secondary entrainment of dust particles, in optimizing the current-voltage characteristics of the corona discharge in each electric module, which ensures maximum charging of dust particles and maximum efficiency of their capture in each electric module, in a positive reduction of two or more times the absolute value of the decentration of the corona electrodes relative to the tubular vertical sedimentation electrodes, the possibility of factory collection ki and alignment of electromodules prior to their installation in a vertical tubular electrostatic precipitator, as well as in increasing the efficiency of gas purification without increasing the area occupied by a vertical tubular electrostatic precipitator.

Между совокупностью существенных признаков заявляемого объекта и достигаемым техническим результатом существует следующая причинно-следственная связь.Between the set of essential features of the claimed object and the achieved technical result, there is the following cause-effect relationship.

Выполнение каждого трубчатого осадительного электрода (с размещенным внутри него коронирующим электродом) в виде электромодуля, закрепленного в стойке, которая состоит из, по меньшей мере, одного электромодуля, соединенного с помощью впускного патрубка с камерой загрязненного газа и с помощью выпускного патрубка с камерой очищенного газа, обеспечивает возможность индивидуальной подачи высокого напряжения на каждый электромодуль в стойке электромодулей. При этом величина высокого напряжения и ток коронного разряда в каждом отдельном электромодуле устанавливаются наивысшими для коронного разряда именно в этом электромодуле, что обеспечивает наивысшую степень очистки газа в каждом электромодуле и, соответственно, в каждой стойке электромодулей, а следовательно и в вертикальном трубчатом электрофильтре в целом.The execution of each tubular precipitation electrode (with a corona electrode placed inside it) in the form of an electromodule mounted in a rack, which consists of at least one electromodule connected via an inlet pipe to a dirty gas chamber and through an outlet pipe to a purified gas chamber , provides the ability to individually supply high voltage to each electrical module in the rack of electrical modules. In this case, the magnitude of the high voltage and corona discharge current in each individual electromodule are set to be the highest for the corona discharge in this electromodule, which ensures the highest degree of gas purification in each electromodule and, accordingly, in each rack of the electromodules, and therefore in the vertical tubular electrostatic precipitator as a whole .

Объединение осадительного и коронирующего электрода в единый унифицированный электромодуль при том, что длина коронирующего электрода меньше длины осадительного электрода электромодуля, позволяет снизить в два и более раза абсолютную величину децентровки коронирующих электродов относительно трубчатых вертикальных осадительных электродов, в особенности при их высоте более 2÷3 м, что обеспечивает наивысшую степень очистки газа в каждом электромодуле и, соответственно, в каждой стойке электромодулей, а следовательно и в вертикальном трубчатом электрофильтре в целом. В изобретении при установке коронирующего электрода в электромодуле с двумя устройствами его крепления обеспечивается значительное сокращение расстояния между точками крепления коронирующего электрода, что усиливает положительный эффект центрирования коронирующих электродов. Кроме того, использование унифицированных электромодулей позволяет осуществлять их заводскую сборку и юстировку за пределами электрофильтра до их установки на него, способствует снижению капитальных и эксплуатационных затрат на газоочистку и существенному упрощению монтажных и пусконаладочных работ, а также при повышении эффективности очистки газов позволяет использовать электрофильтры с меньшими габаритами и весовыми характеристиками.Combining the precipitation and corona electrodes into a single unified electro-module, despite the fact that the length of the corona electrodes is less than the length of the electro-module precipitation electrodes, allows to reduce the absolute value of the decentralization of corona electrodes relative to tubular vertical precipitation electrodes by two or more times, especially when their height is more than 2 ÷ 3 m that provides the highest degree of gas purification in each electrical module and, accordingly, in each rack of electrical modules, and therefore in vertical t ribbed electrostatic precipitator as a whole. In the invention, when the corona electrode is installed in an electromodule with two attachment devices, the distance between the attachment points of the corona electrode is significantly reduced, which enhances the positive effect of centering the corona electrodes. In addition, the use of unified electromodules allows their factory assembly and adjustment outside the electrostatic precipitator before they are installed on it, helps to reduce capital and operating costs for gas cleaning and significantly simplifies installation and commissioning, as well as to increase the efficiency of gas cleaning, allows the use of electrostatic precipitators with less dimensions and weight characteristics.

Оборудование каждого электромодуля индивидуальным коронирующим электродом, длина которого меньше длины осадительного электрода соответствующего электромодуля, обеспечивает индивидуальное и независимое от соседних электромодулей в стойке электропитание каждого электромодуля высоким напряжением, оптимальным для коронного разряда в каждом электромодуле, что позволяет организовать в каждом индивидуальном электромодуле одиночный вертикальный трубчатый электрофильтр с наивысшей степенью очистки газа.The equipment of each electromodule with an individual corona electrode, the length of which is less than the length of the precipitation electrode of the corresponding electromodule, provides individual and independent of neighboring electromodules in the rack power supply of each electromodule with a high voltage, optimal for corona discharge in each electromodule, which allows you to organize a single vertical tubular electrostatic precipitator in each individual electromodule with the highest degree of gas purification.

Установка каждого коронирующего электрода в, по меньшей мере, одном устройстве крепления, которое состоит из токопроводящего держателя для закрепления коронирующего электрода, размещенного внутри электромодуля, и поддерживающего его изолятора, установленного в изоляторной коробке, расположенной снаружи электромодуля, с системой предотвращения загрязнения поверхности изолятора улавливаемой пылью, упрощает установку и центровку коронирующего электрода в вертикальном трубчатом осадительном электроде при снижении капитальных и эксплуатационных затрат и существенном упрощении монтажных и пусконаладочных работ.Installing each corona electrode in at least one attachment device, which consists of a conductive holder for securing the corona electrode located inside the electromodule, and an insulator supporting it, installed in an insulator box located on the outside of the electromodule, with a system to prevent the surface of the insulator from being contaminated by dust , simplifies installation and alignment of the corona electrode in a vertical tubular precipitation electrode while reducing capital and exp maintenance costs and a significant simplification of installation and commissioning.

Установка коронирующего электрода в электромодуле с помощью двух устройств крепления, каждое из которых состоит из токопроводящего держателя для закрепления коронирующего электрода, размещенного внутри электромодуля, и поддерживающего его изолятора, установленного в изоляторной коробке, расположенной снаружи электромодуля, с системой предотвращения загрязнения поверхности изолятора улавливаемой пылью, размещение этих устройств крепления (каждой изоляторной коробки снаружи осадительного электрода) на расстоянии от торцов электромодуля, которое соответствует двум или меньше внутренним диаметрам электромодуля, способствует передаче энергии удара от средства встряхивания к коронирующему электроду с минимальными потерями, т.е. обеспечивает наивысшую эффективность очистки коронирующего электрода от слоя пыли, поддерживая тем самым высокий ток коронного разряда, а следовательно, способствует повышению степени очистки газов в электрофильтре.Installing the corona electrode in the electromodule using two fastening devices, each of which consists of a conductive holder for fixing the corona electrode located inside the electromodule and an insulator supporting it, installed in an insulator box located on the outside of the electromodule, with a system for preventing dust from trapping the insulator surface, placement of these fastening devices (each insulator box outside the precipitation electrode) at a distance from the ends of the electro a module that corresponds to two or less internal diameters of the electromodule promotes the transfer of impact energy from the shaking means to the corona electrode with minimal losses, i.e. provides the highest efficiency of cleaning the corona electrode from the dust layer, thereby maintaining a high corona discharge current, and therefore, helps to increase the degree of gas purification in the electrostatic precipitator.

Размещение средства встряхивания электродов в месте соединения электромодуля с впускным и выпускным патрубками для одновременного встряхивания и осадительного, и коронирующего электродов обеспечивает эффективную одновременную очистку от осевшей пыли трубчатого осадительного и коронирующего электродов электромодуля, способствуя при этом поддержанию оптимальных электрических параметров коронного разряда в электромодуле и, соответственно, наивысшей степени очистки газов и в электромодуле, и в электрофильтре в целом при оптимизации общего количества средств встряхивания и мест приложения энергии удара от них. Все это способствует снижению капитальных и эксплуатационных затрат, а также существенному упрощению монтажных и пусконаладочных работ.The placement of the means of shaking the electrodes at the junction of the electromodule with the inlet and outlet nozzles for simultaneous shaking of both the sedimentation and corona electrodes provides an effective simultaneous cleaning of the settled dust of the tubular sedimentation and corona electrodes of the electromodule, while maintaining optimal electrical parameters of the corona discharge in the electromodule and, accordingly of the highest degree of gas purification both in the electric module and in the electrostatic precipitator as a whole with optimization the total amount of funds shaking and impact energy application places on them. All this contributes to lower capital and operating costs, as well as a significant simplification of installation and commissioning.

Оборудование электрофильтра, по меньшей мере, двумя стойками, которые объединены в, по меньшей мере, две секции электрофильтра, при этом каждая секция оборудована камерой очищенного газа индивидуальной для каждой секции, индивидуально соединенной с выпускными патрубками стоек электромодулей каждой секции и соединенной индивидуальным газоходом с выпускным газоходом, а камера загрязненного газа выполнена общей для всех секций и соединена с впускными патрубками стоек электромодулей всех секций при том, что каждый индивидуальный газоход каждой камеры очищенного газа оборудован запорно-регулирующим устройством, обеспечивающим регулирование расхода газа через камеру очищенного газа и перекрытие камеры очищенного газа при встряхивании электродов в стойках электромодулей, соединенных с соответствующей камерой очищенного газа, позволяет конструктивно просто разделить электрофильтр на функционально независимые друг от друга секции, каждая из которых содержит свои стойки электромодулей с камерой очищенного газа. Кроме того, это позволяет предотвратить вторичный унос уловленной пыли при встряхивании осадительных и коронирующих электродов одной из секций с перекрытием ее от общего потока очищаемого газа при одновременном пропускании остальной, основной, части потока очищаемого газа через открытые секции электрофильтра. Все это способствует снижению остаточной запыленности очищаемых газов вплоть до 20 мг/нм3 и меньше.The equipment of the electrostatic precipitator, at least two racks, which are combined in at least two sections of the electrostatic precipitator, each section is equipped with a purified gas chamber individual for each section, individually connected to the outlet pipes of the racks of the electric modules of each section and connected by an individual duct to the outlet gas duct, and the contaminated gas chamber is made common for all sections and connected to the inlet pipes of the racks of the electric modules of all sections, despite the fact that each individual gas duct each purified gas chamber is equipped with a shut-off and regulating device that provides gas flow rate control through the purified gas chamber and shuts off the purified gas chamber by shaking the electrodes in the racks of electrical modules connected to the corresponding purified gas chamber, which makes it possible to constructively separate the electrostatic precipitator into sections that are functionally independent from each other, each of which contains its own racks of electric modules with a purified gas chamber. In addition, this helps to prevent secondary entrainment of trapped dust when shaking the precipitation and corona electrodes of one of the sections with its overlapping from the general stream of the gas to be purified while passing the rest, the main part of the stream of gas to be purified through the open sections of the electrostatic precipitator. All this helps to reduce the residual dust content of the purified gases up to 20 mg / nm 3 and less.

При установке коронирующего электрода в электромодуле с одним устройством его крепления дополнительное расположение средства встряхивания в месте размещения изоляторной коробки устройства крепления коронирующего электрода и прикрепление наковальни к ней способствует дополнительному повышению эффективности очистки коронирующего электрода от осевшей на нем пыли, что поддерживает ток и напряжение коронного разряда в электромодуле в заданном оптимальном диапазоне их значений, а следовательно, обеспечивает повышение эффективности работы электромодуля и электрофильтра в целом по очистке газов.When installing the corona electrode in an electromodule with one attachment device, the additional location of the shaking means at the location of the insulator box of the corona electrode attachment device and attaching the anvil to it further enhances the efficiency of cleaning the corona electrode from dust settled on it, which maintains the current and voltage of the corona discharge in electromodule in a given optimal range of their values, and therefore, provides an increase in efficiency p Electromodule and electrostatic precipitator in general on gas cleaning.

Выполнение стойки из нескольких скрепляемых между собой электромодулей, нижний из которых соединен с камерой загрязненного газа с помощью впускного патрубка, а верхний из которых соединен с камерой очищенного газа с помощью выпускного патрубка, позволяет конструктивно просто, без изменения направления движения газов и заметного увеличения гидравлического сопротивления электрофильтра, обеспечить организацию нескольких последовательных ступеней очистки газов, способствует повышению эффективности электрической очистки газов без увеличения площади, занимаемой вертикальным трубчатым электрофильтром, снижению капитальных и эксплуатационных затрат, существенному упрощению монтажных и пусконаладочных работ, а также обеспечивается оптимизация электрического подключения электромодулей, оптимизация вольтамперных характеристик работы коронного разряда в каждом электромодуле, возможность заводской сборки и юстировки электромодулей до их установки в вертикальный трубчатый электрофильтр. При этом размещение средств встряхивания электродов в месте соединения электромодулей между собой позволяет использовать только одно средство встряхивания для эффективной и одновременной очистки осадительных и коронирующих электродов электромодулей от уловленной пыли, оптимизируя, таким образом, количество средств встряхивания и мест приложения удара от них.The execution of the rack of several electromodules fastened together, the lower of which is connected to the contaminated gas chamber using an inlet pipe, and the upper of which is connected to the cleaned gas chamber using an exhaust pipe, allows structurally simple, without changing the direction of gas movement and a noticeable increase in hydraulic resistance electrostatic precipitator, to ensure the organization of several successive stages of gas purification, improves the efficiency of electric gas purification without the area occupied by the vertical tubular electrostatic precipitator, the reduction of capital and operating costs, the significant simplification of installation and commissioning, as well as the optimization of the electrical connection of the electrical modules, optimization of the current-voltage characteristics of the corona discharge in each electrical module, the possibility of factory assembly and alignment of the electrical modules prior to their installation in the vertical tubular electrostatic precipitator. At the same time, the placement of the means of shaking the electrodes at the junction of the electromodules with each other allows you to use only one means of shaking for efficient and simultaneous cleaning of the precipitation and corona electrodes of the electromodules from dust trapped, thus optimizing the number of means of shaking and the places where the shock is applied from them.

Подключение коронирующих электродов в электромодулях к одному общему источнику питания позволяет (в ряде случаев промышленного применения, например, при очистке сравнительно слабозапыленных газов и при использовании в таких случаях, как правило, одного или двух электромодулей в каждой стойке) упростить электрическое подключение электромодулей, снизить капитальные и эксплуатационные затраты, упростить монтажные и пусконаладочные работы при обеспечении высокой эффективности очистки газов.Connecting the corona electrodes in the electromodules to one common power source allows (in some industrial applications, for example, when cleaning relatively low-dust gases and when, in such cases, as a rule, using one or two electromodules in each rack), simplify the electrical connection of the electromodules and reduce capital and operating costs, simplify installation and commissioning, while ensuring high efficiency gas purification.

Подключение в каждой стойке электромодулей коронирующего электрода соответствующего электромодуля к соответствующему источнику питания, а также помодульная группировка в смежных электромодулях каждой стойки электромодулей коронирующих электродов соответствующих смежных электромодулей и подключение их к своему источнику питания позволяет поддерживать оптимальным электрический режим работы коронного разряда в каждом электромодуле или в группах сгруппированных смежных электромодулей каждой стойки электромодулей, что позволяет в пределах одной стойки по ее высоте дополнительно организовать несколько электрических полей для повышения эффективности очистки газов без увеличения площади, занимаемой вертикальным трубчатым электрофильтром, без изменения направления движения газов, без заметного увеличения гидравлического сопротивления электрофильтра в целом, при минимальных капитальных и эксплуатационных затратах и существенном упрощении монтажных и пусконаладочных работ.Connecting the corona electrode of the corresponding electromodule in each rack of electromodules to the corresponding power source, as well as modular grouping in the adjacent electromodules of each rack of electromodules of the corona electrodes of the corresponding adjacent electromodules and connecting them to your power source allows you to maintain optimal electrical operation of the corona discharge in each electromodule or in groups grouped adjacent electrical modules of each rack of electrical modules, which allows within one rack, along its height, additionally organize several electric fields to increase the efficiency of gas purification without increasing the area occupied by a vertical tubular electrostatic precipitator, without changing the direction of gas movement, without appreciably increasing the hydraulic resistance of the electrostatic precipitator as a whole, with minimal capital and operational costs and a significant simplification of installation and commissioning.

Соединение электромодулей в стойках между собой, а также с впускным и выпускным патрубками с помощью фланцевого соединения и размещение наковален средств встряхивания электродов на фланцах позволяет конструктивно и технологически просто обеспечить соединение элементов стоек между собой, позволяет наиболее оптимально разместить места приложения энергии удара от средств встряхивания при обеспечении высокой эффективности очистки электродов и заданной жесткости и надежности стоек. Кроме того, все это способствует упрощению ремонта и замены вышедших из строя элементов. Размещение наковален средств встряхивания электродов на фланцах повышает эффективность очистки осадительных и коронирующих электродов, при этом повышается долговечность и надежность работы средств встряхивания и сохранение в процессе эксплуатации заданной формы трубчатого осадительного электрода, вдвое уменьшается количество средств встряхивания электродов.The connection of the electrical modules in the racks with each other, as well as with the inlet and outlet nozzles by means of a flange connection and the placement of anvil means of shaking the electrodes on the flanges, makes it possible to constructively and technologically connect the elements of the racks to each other, allowing the most optimal placement of the points of application of impact energy from the means of shaking when ensuring high efficiency of electrode cleaning and specified rigidity and reliability of racks. In addition, all this helps to simplify the repair and replacement of failed elements. Placing the anvil of the means of shaking the electrodes on the flanges increases the cleaning efficiency of the precipitation and corona electrodes, while increasing the durability and reliability of the means of shaking and preserving the specified shape of the tubular precipitating electrode during operation, halving the number of means of shaking the electrodes.

Сущность изобретения поясняется чертежами, на которых изображено:The invention is illustrated by drawings, which depict:

- на фиг. 1 - общий вид электрофильтра, вид сбоку;- in FIG. 1 - general view of the electrostatic precipitator, side view;

- на фиг. 2 - общий вид электрофильтра, вид сверху;- in FIG. 2 - general view of the electrostatic precipitator, top view;

- на фиг. 3 - продольный разрез электромодуля с двумя устройствами крепления коронирующего электрода;- in FIG. 3 is a longitudinal section of an electromodule with two devices for attaching a corona electrode;

- на фиг. 4 - продольный разрез электромодуля с одним устройством крепления коронирующего электрода;- in FIG. 4 is a longitudinal section through an electrical module with one attachment device for a corona electrode;

- на фиг. 5 - подключение электромодулей к одному общему источнику питания;- in FIG. 5 - connection of electrical modules to one common power source;

- на фиг. 6 - подключение электромодулей к индивидуальным источникам питания.- in FIG. 6 - connection of electrical modules to individual power sources.

На чертежах позициями обозначены следующие элементы:In the drawings, the positions indicate the following elements:

1 - впускной газоход;1 - inlet flue;

2 - камера загрязненного газа;2 - a chamber of contaminated gas;

3 - впускной патрубок;3 - inlet pipe;

4 - бункер;4 - hopper;

5 - опорная платформа;5 - supporting platform;

6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5 - электромодули;6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5 - electrical modules;

7 - стойка электромодулей;7 - rack of electrical modules;

8 - перекрытие (потолок);8 - overlap (ceiling);

9 - корпус;9 - case;

10 - крыша;10 - roof;

11 - выпускной патрубок;11 - exhaust pipe;

12 - камера очищенного газа;12 - purified gas chamber;

13 - индивидуальный газоход;13 - individual flue;

14 - запорно-регулирующее устройство;14 - locking regulating device;

15 - выпускной газоход;15 - exhaust duct;

16 - трубчатый осадительный электрод;16 - tubular precipitation electrode;

17 - коронирующий электрод;17 - a corona electrode;

18 - токопроводящий держатель;18 - conductive holder;

19 - изолятор;19 - insulator;

20 - изоляторная коробка;20 - insulator box;

21 - фланец;21 - a flange;

22 - наковальня;22 - anvil;

23 - молоток;23 - a hammer;

24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5, 24.6 - секции электрофильтра;24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5, 24.6 - sections of the electrostatic precipitator;

25, 25.1, 25.2, 25.3, 25.4, 25.5, 25.6, 25.7, 25.8, 25.9 - высоковольтные источники питания;25, 25.1, 25.2, 25.3, 25.4, 25.5, 25.6, 25.7, 25.8, 25.9 - high-voltage power sources;

26 - шина токоподвода высокого напряжения;26 - busbar for high voltage current supply;

27 - система защиты изолятора от загрязнения улавливаемой пылью.27 is a system for protecting the insulator from dust pollution.

В конкретном примере выполнения заявляемый вертикальный трубчатый электрофильтр содержит корпус 9, внутри которого размещены тридцать вертикально ориентированных стоек 7 (фиг. 2, фиг. 5), каждая из которых выполнена из пяти скрепленных между собой электромодулей 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 и 6.5, камеру загрязненного газа 2 с впускным газоходом 1 и бункером 4 для пыли, камеры очищенного газа 12, выпускной газоход 15 и средства встряхивания электродов, каждое из которых состоит из функционально связанных наковальни 22 и молотка 23.In a specific embodiment, the inventive vertical tubular electrostatic precipitator comprises a housing 9, inside of which thirty vertically oriented racks 7 (Fig. 2, Fig. 5) are placed, each of which is made of five electromodules 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 and 6.5 connected to each other, a contaminated gas chamber 2 with an inlet duct 1 and a dust bin 4, a purified gas chamber 12, an exhaust duct 15 and means for shaking the electrodes, each of which consists of a functionally connected anvil 22 and a hammer 23.

Каждый электромодуль (6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5) представляет собой трубчатый осадительный электрод 16 с размещенным внутри на его оси индивидуальным коронирующим электродом 17, длина которого меньше длины (lм) трубчатого осадительного электрода 16 соответствующего электромодуля. Каждый коронирующий электрод 17 в электромодулях установлен в двух устройствах крепления, каждое из которых состоит из токопроводящего держателя 18 для закрепления коронирующего электрода 17, размещенного внутри электромодуля, и поддерживающего его изолятора 19, установленного в изоляторной коробке 20, расположенной снаружи электромодуля, с системой 27 предотвращения загрязнения поверхности изолятора 19 пылью очищаемых газов. При этом устройства крепления коронирующего электрода 17 размещены на расстоянии а от торцов электромодуля, которое соответствует одному его внутреннему диаметру dM (фиг. 3).Each electromodule (6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5) is a tubular precipitation electrode 16 with an individual corona electrode 17 located inside its axis, the length of which is less than the length (l m ) of the tubular precipitation electrode 16 of the corresponding electromodule. Each corona electrode 17 in the electromodules is installed in two fastening devices, each of which consists of a conductive holder 18 for fixing the corona electrode 17 located inside the electromodule and its supporting insulator 19 installed in an insulator box 20 located outside the electromodule with a prevention system 27 contamination of the surface of the insulator 19 with dust of purified gases. In this case, the attachment devices of the corona electrode 17 are placed at a distance a from the ends of the electric module, which corresponds to one of its inner diameter d M (Fig. 3).

В каждой стойке 7 нижний (6.1) из пяти электромодулей соединен с камерой загрязненного газа 2 с помощью впускного патрубка 3, а верхний (6.5) из пяти электромодулей соединен с камерой очищенного газа 12 с помощью выпускного патрубка 11. Электромодули в стойках соединены между собой и с впускным и выпускным патрубками с помощью фланцевого соединения 21. Наковальни 22 средств встряхивания электродов размещены на фланцах 21 для одновременного встряхивания и осадительного 16, и коронирующего 17 электродов каждого электромодуля (фиг. 3).In each rack 7, the lower (6.1) of the five electrical modules is connected to the chamber of contaminated gas 2 using the inlet pipe 3, and the upper (6.5) of the five electrical modules is connected to the chamber of the purified gas 12 using the outlet pipe 11. The electrical modules in the racks are interconnected and with inlet and outlet nozzles using a flange connection 21. Anvils 22 of the electrode shaking means are placed on the flanges 21 for simultaneous shaking of the precipitating 16 and the corona 17 electrodes of each electromodule (Fig. 3).

В конкретном примере выполнения все электромодули 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 и 6.5 (включая осадительные 16 и коронирующие 17 электроды) во всех стойках 7 выполнены унифицированными с одинаковыми габаритными размерами (высота, диаметр), профилем трубчатых осадительных электродов, типом и размером коронирующих электродов. Высота каждого электромодуля в стойках 7 электромодулей выбирается с учетом минимального отличия электрических характеристик коронного разряда на выходе электромодуля по отношению к его входу. При этом, в зависимости от конкретных условий эксплуатации, возможны случаи, когда электромодули могут быть выполнены с разными габаритами, причем различия могут быть по высоте, по диаметру, по высоте и/или диаметру в пределах каждой стойки, по высоте и/или диаметру для всех стоек, а также по профилю трубчатых осадительных электродов. Кроме того, в зависимости от конкретных условий эксплуатации, коронирующие электроды 17 также могут отличаться как по линейным размерам и/или профилю, так и по их типу.In a specific example of execution, all electromodules 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 and 6.5 (including precipitation 16 and corona electrodes 17) in all racks 7 are made unified with the same overall dimensions (height, diameter), profile of tubular precipitation electrodes, type and size of corona electrodes . The height of each electromodule in the racks of 7 electromodules is selected taking into account the minimum difference in the electrical characteristics of the corona discharge at the output of the electromodule with respect to its input. In this case, depending on the specific operating conditions, there may be cases when the electric modules can be made with different dimensions, and the differences can be in height, diameter, height and / or diameter within each rack, height and / or diameter for all racks, as well as along the profile of tubular precipitation electrodes. In addition, depending on the specific operating conditions, the corona electrodes 17 may also differ both in linear dimensions and / or profile, and in their type.

В трубчатом вертикальном электрофильтре тридцать стоек 7 электромодулей объединены в шесть секций 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 и 24.6 электрофильтра, по пять стоек 7 в каждой секции. При этом каждая секция оборудована одной камерой очищенного газа 12 индивидуальной для каждой секции, индивидуально соединенной с выпускными патрубками 11 пяти стоек 7 электромодулей каждой секции и соединенной индивидуальным газоходом 13 с выпускным газоходом 15, а камера загрязненного газа 2 выполнена общей для всех шести секций и соединена с впускными патрубками 3 стоек 7 электромодулей всех секций (фиг. 1, фиг. 5, фиг. 6).In a tubular vertical electrostatic precipitator thirty racks of 7 electro-modules are combined into six sections 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 and 24.6 electrostatic precipitators, five racks 7 in each section. At the same time, each section is equipped with one purified gas chamber 12, individual for each section, individually connected to the outlet pipes 11 of five racks 7 of the electrical modules of each section and connected by an individual gas duct 13 to the exhaust duct 15, and the polluted gas chamber 2 is common for all six sections and connected with inlet pipes 3 racks 7 electromodules of all sections (Fig. 1, Fig. 5, Fig. 6).

Каждый индивидуальный газоход 13 каждой из шести камер очищенного газа 12 оборудован запорно-регулирующим устройством 14 для регулирования расхода газа через камеру очищенного газа 12 и перекрытия камеры очищенного газа 12 при встряхивании электродов 16 и 17 в стойках 7 электромодулей, соединенных с соответствующей камерой очищенного газа.Each individual gas duct 13 of each of the six purified gas chambers 12 is equipped with a shut-off-regulating device 14 for regulating the gas flow through the purified gas chamber 12 and closing the purified gas chamber 12 by shaking the electrodes 16 and 17 in the racks 7 of the electric modules connected to the corresponding purified gas chamber.

В конкретном примере в каждой из тридцати стоек два смежных верхних электромодуля 6.4 и 6.5 (4-й и 5-й в стойке, считая снизу) сгруппированы путем электрического соединения между собой их коронирующих электродов 17 с последующим подключением объединенной коронирующей системы к общему для этих двух верхних электромодулей во всех тридцати стойках электрофильтра источнику высоковольтного питания 25.4. Каждый из остальных трех электромодулей 6.1, 6.2 и 6.3 (1-й, 2-й и 3-й в стойке, считая снизу) во всех тридцати стойках 7 электрофильтра подключен к своему отдельному высоковольтному источнику питания 25.1, 25.2 и 25.3, соответственно. Таким образом, тридцать стоек 7 электромодулей электрофильтра подключены к четырем высоковольтным источникам питания 25.1, 25.2, 25.3 и 25.4, при этом во всех стойках 7 каждый первый (по ходу очищаемого газа) электромодуль 6.1 подключен к источнику питания 25.1, каждый второй электромодуль 6.2 подключен к источнику питания 25.2, каждый третий электромодуль 6.3 подключен к источнику питания 25.3, каждая группа электромодулей, состоящая из двух электромодулей 6.4 и 6.5 (4-го и 5-го) подключена к источнику питания 25.4.In a specific example, in each of the thirty racks, two adjacent upper electromodules 6.4 and 6.5 (the 4th and 5th in the rack, counting from the bottom) are grouped by electrically interconnecting their corona electrodes 17 and then connecting the combined corona system to a common one for these two top electromodules in all thirty racks of an electrostatic precipitator to a source of high-voltage power 25.4. Each of the other three electromodules 6.1, 6.2 and 6.3 (1st, 2nd and 3rd in the rack, counting from the bottom) in all thirty racks 7 of the electrostatic precipitator is connected to its own separate high-voltage power supply 25.1, 25.2 and 25.3, respectively. Thus, thirty racks of 7 electrostatic precipitators are connected to four high-voltage power sources 25.1, 25.2, 25.3 and 25.4, while in all racks 7 every first (along the gas being cleaned) electromodule 6.1 is connected to a power source 25.1, every second electromodule 6.2 is connected to a power source 25.2, every third electric module 6.3 is connected to a power source 25.3, each group of electric modules consisting of two electric modules 6.4 and 6.5 (4th and 5th) is connected to a power source 25.4.

Таким образом в конкретном примере выполнения заявляемого вертикального трубчатого электрофильтра в каждой из 30 стоек электромодулей подключение коронирующих электродов соответствующих трех электромодулей (6.1, 6.2 и 6.3) выполнено к соответствующим трем источникам питания (25.1, 25.2 и 25.3), а подключение коронирующих электродов соответствующих двух смежных электромодулей (6.4 и 6.5), сгруппированных в смежных электромодулях каждой стойки электромодулей, выполнено к своему источнику питания 25.4 (фиг. 1).Thus, in a specific example of the implementation of the inventive vertical tubular electrostatic precipitator in each of the 30 racks of the electro-modules, the connection of the corona electrodes of the corresponding three electro-modules (6.1, 6.2 and 6.3) is made to the corresponding three power sources (25.1, 25.2 and 25.3), and the connection of the corona electrodes of the corresponding two adjacent electromodules (6.4 and 6.5), grouped in adjacent electromodules of each rack of electromodules, are made to their power supply 25.4 (Fig. 1).

Выравнивание расхода объема очищаемых газов, проходящих через стойки 7 электромодулей (6.1, 6.2, 6.3, 6.4 и 6.5) всех секций (24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 и 24.6) электрофильтра, осуществляется с помощью запорно-регулирующих устройств 14, установленных на индивидуальных газоходах 13.The equalization of the flow rate of the purified gases passing through the racks of 7 electromodules (6.1, 6.2, 6.3, 6.4 and 6.5) of all sections (24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 and 24.6) of the electrostatic precipitator is carried out using shut-off and control devices 14 installed on individual gas ducts 13.

В зависимости от конкретных условий эксплуатации, коронирующий электрод 17 может быть установлен в электромодуле с помощью одного устройства его крепления, при этом средства встряхивания дополнительно расположены в месте размещения изоляторной коробки 20 устройства крепления коронирующего электрода, а наковальни 22 прикреплены к ней (фиг. 4).Depending on the specific operating conditions, the corona electrode 17 can be installed in the electromodule using one device for attaching it, while the shaking means are additionally located at the location of the insulator box 20 of the corona electrode attachment device, and the anvil 22 is attached to it (Fig. 4) .

В зависимости от конкретных условий эксплуатации, коронирующие электроды 17 в электромодулях могут быть подключены к одному общему источнику питания 25 (фиг. 5).Depending on the specific operating conditions, the corona electrodes 17 in the electrical modules can be connected to one common power source 25 (Fig. 5).

В зависимости от условий эксплуатации, в каждой стойке 7 электромодулей коронирующий электрод 17 соответствующего электромодуля может быть подключен к своему собственному (соответствующему) источнику питания 25.5, 25.6, 25.7, 25.8 и 25.9 (фиг. 6).Depending on the operating conditions, in each rack 7 of the electric modules, the corona electrode 17 of the corresponding electric module can be connected to its own (corresponding) power supply 25.5, 25.6, 25.7, 25.8 and 25.9 (Fig. 6).

В конкретном примере выполнения изобретение работает следующим образом.In a specific embodiment, the invention operates as follows.

Загрязненный газ через впускной газоход 1 поступает в камеру загрязненного газа 2 электрофильтра, из которой распределяется и направляется через впускные патрубки 3 в стойки 7 электромодулей 6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5 электрофильтра. Далее движение газов, электрическая очистка газов и встряхивание электродов 16 и 17 для всех электромодулей в стойках 7 всех секций 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 и 24.6 протекает одинаково.The polluted gas through the inlet duct 1 enters the chamber of the polluted gas 2 of the electrostatic precipitator, from which it is distributed and sent through the inlet pipes 3 to the posts 7 of the electric modules 6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5 of the electrostatic precipitator. Further, the movement of gases, electrical cleaning of gases and shaking of the electrodes 16 and 17 for all electric modules in the racks 7 of all sections 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5 and 24.6 proceeds identically.

В первых (нижних) электромодулях 6.1 устанавливается максимальное высокое напряжение U1 и, в соответствии с вольтамперной характеристикой коронного разряда для первого электромодуля, максимальный ток коронного разряда I1 зависящий от свойств очищаемого газа (концентрация взвешенных в газе частиц, дисперсный состав улавливаемых частиц, температура и др.).In the first (lower) electromodules 6.1, the maximum high voltage U 1 is set and, in accordance with the current-voltage characteristic of the corona discharge for the first electromodule, the maximum corona discharge current I 1 depends on the properties of the gas being purified (concentration of particles suspended in the gas, dispersed composition of the particles being trapped, temperature and etc.).

Концентрация взвешенных в газах частиц на входе в первый электромодуль 6.1 максимальная и равна исходной концентрации взвешенных в газах частиц, поступающих на очистку в электрофильтр. В электрическом поле коронного разряда первого электромодуля 6.1 взвешенные в газе частицы заряжаются и под действием электрических сил этого же электрического поля коронного разряда направляются к трубчатому осадительному электроду 16 первого электромодуля 6.1 и осаждаются на нем. Часть улавливаемых частиц (как правило, наиболее высокодисперсные фракции улавливаемых частиц) также осаждается на коронирующем электроде 17 первого электромодуля 6.1.The concentration of particles suspended in gases at the entrance to the first electromodule 6.1 is maximum and equal to the initial concentration of particles suspended in gases entering the electrostatic precipitator for cleaning. In the electric field of the corona discharge of the first electromodule 6.1, particles suspended in the gas are charged and, under the action of the electric forces of the same electric field of the corona discharge, are directed to and deposited on the tubular precipitation electrode 16 of the first electromodule 6.1. Part of the trapped particles (as a rule, the most highly dispersed fractions of trapped particles) are also deposited on the corona electrode 17 of the first electromodule 6.1.

Частично очищенный в первом электромодуле 6.1 газ с уменьшенной концентрацией уже электрически заряженных частиц без каких-либо промежуточных (переходных) участков электрофильтра поступает во второй электромодуль 6.2, в котором устанавливается максимальное напряжение U2 и, в соответствии с вольтамперной характеристикой коронного разряда для второго электромодуля 6.2, максимальный ток коронного разряда I2. В электрическом поле коронного разряда второго электромодуля 6.2 взвешенные в газе частицы дозаряжаются (если заряд на частицах не соответствует максимальному для условий работы второго электромодуля 6.2) и под действием электрических сил этого же электрического поля коронного разряда направляются к трубчатому осадительному электроду 16 второго электромодуля 6.2 и осаждаются на нем. Часть улавливаемых частиц также осаждается на коронирующем электроде 17 второго электромодуля 6.2.A gas partially purified in the first electromodule 6.1 with a reduced concentration of already electrically charged particles without any intermediate (transitional) sections of the electrostatic precipitator enters the second electromodule 6.2, in which the maximum voltage U 2 is set and, in accordance with the current-voltage characteristic of the corona discharge for the second electromodule 6.2 , maximum corona current I 2 . In the corona discharge electric field of the second electromodule 6.2, particles suspended in the gas are recharged (if the charge on the particles does not correspond to the maximum for the operating conditions of the second electromodule 6.2) and, under the influence of the electric forces of the same corona discharge field, are directed to the tubular precipitation electrode 16 of the second electromodule 6.2 and are deposited On him. Part of the trapped particles is also deposited on the corona electrode 17 of the second electromodule 6.2.

Очищенный во втором электромодуле 6.2 газ с далее уменьшенной концентрацией также уже электрически заряженных частиц поступает в третий электромодуль 6.3, в котором устанавливается максимальное напряжение U3 и, в соответствии с вольтамперной характеристикой коронного разряда для третьего электромодуля 6.3, максимальный ток коронного разряда I3. В электрическом поле коронного разряда третьего электромодуля 6.3 взвешенные в газе частицы дозаряжаются (если заряд на частицах не соответствует максимальному для условий работы третьего электромодуля 6.3) и под действием электрических сил электрического поля коронного разряда в третьем электромодуле 6.3 направляются к трубчатому осадительному электроду 16 третьего электромодуля 6.3 и осаждаются на нем. Часть улавливаемых частиц также осаждается на коронирующем электроде 17 третьего электромодуля 6.3.The gas purified in the second electromodule 6.2 with a further reduced concentration of already electrically charged particles enters the third electromodule 6.3, which sets the maximum voltage U 3 and, in accordance with the current-voltage characteristic of the corona discharge for the third electromodule 6.3, the maximum corona discharge current I 3 . In the corona discharge field of the third electromodule 6.3, particles suspended in the gas are recharged (if the charge on the particles does not correspond to the maximum for the conditions of operation of the third electromodule 6.3) and, under the influence of the electric forces of the corona discharge field in the third electromodule 6.3, they are sent to the tubular sedimentation electrode 16 of the third electromodule 6.3 and besieged on it. Part of the trapped particles is also deposited on the corona electrode 17 of the third electromodule 6.3.

Очищенный в третьем электромодуле газ с еще более уменьшенной концентрацией также уже электрически заряженных частиц поступает в электрически сгруппированные 4-й и 5-й электромодули 6.4 и 6.5, в которых устанавливается максимальное высокое напряжение U4 и, в соответствии с вольтамперной характеристикой коронного разряда для электрически объединенных четвертого и пятого электромодулей 6.4 и 6.5, максимальный ток коронного разряда I4. В электрическом поле коронного разряда электрически сгруппированных четвертого и пятого электромодулей 6.4 и 6.5 взвешенные в газе частицы дозаряжаются (если заряд на частицах не соответствует максимальному для условий работы сгруппированных четвертого и пятого электромодулей 6.4 и 6.5) и под действием электрических сил электрического поля коронного разряда в этой группе электромодулей направляются к трубчатым осадительным электродам 16 четвертого и пятого электромодулей 6.4 и 6.5 и осаждаются на них. Часть улавливаемых частиц также осаждается на объединенной коронирующей системе электродов 17 электромодулей 6.4 и 6.5.The gas purified in the third electromodule with an even lower concentration of already electrically charged particles enters the electrically grouped 4th and 5th electromodules 6.4 and 6.5, in which the maximum high voltage U 4 is set and, in accordance with the current-voltage characteristic of the corona discharge for electrically combined fourth and fifth electromodules 6.4 and 6.5, the maximum corona discharge current I 4 . In the corona electric field of the electrically grouped fourth and fifth electromodules 6.4 and 6.5, particles suspended in the gas are recharged (if the charge on the particles does not correspond to the maximum for the working conditions of the fourth and fifth electromodules 6.4 and 6.5) and under the influence of the electric forces of the corona electric field in this a group of electrical modules are sent to the tubular precipitation electrodes 16 of the fourth and fifth electrical modules 6.4 and 6.5 and deposited on them. Part of the trapped particles is also deposited on the combined corona electrode system of 17 electromodules 6.4 and 6.5.

Очищенный газ после последнего, пятого, электромодуля 6.5 через выпускной патрубок 11 выводится из стойки 7 электромодулей и направляется в камеру очищенного газа 12, из которой через индивидуальный газоход 13, на котором установлено запорно-регулирующее устройство 14, выводится из электрофильтра через выпускной газоход 15.The purified gas after the last, fifth, electromodule 6.5 is discharged through the outlet pipe 11 from the rack 7 of the electromodules and sent to the purified gas chamber 12, from which through the individual duct 13, on which the shut-off-control device 14 is installed, is removed from the electrostatic precipitator through the exhaust duct 15.

Такая группировка электромодулей (6.1-6.3 раздельно, а 6.4 и 6.5 совместно) позволяет организовать по высоте электрофильтра четыре электрических поля, без изменения направления движения газа и заметного увеличения гидравлического сопротивления электрофильтра, что способствует повышению эффективности очистки газов без увеличения площади, занимаемой вертикальным трубчатым электрофильтром, при снижении капитальных и эксплуатационных затрат, существенном упрощении монтажных и пусконаладочных работ, а также обеспечивается оптимизация электрического подключения электромодулей, оптимизация вольтамперных характеристик работы коронного разряда в каждом электромодуле, возможности заводской сборки и юстировки электромодулей 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 и 6.5 до их установки в вертикальный трубчатый электрофильтр.Such a grouping of electric modules (6.1-6.3 separately, and 6.4 and 6.5 together) allows you to organize four electric fields along the height of the electrostatic precipitator, without changing the direction of gas movement and a noticeable increase in the hydraulic resistance of the electrostatic precipitator, which improves the efficiency of gas purification without increasing the area occupied by the vertical tubular electrostatic precipitator , while reducing capital and operating costs, a significant simplification of installation and commissioning, as well as the optimization of electrical the electrical connection of electromodules, optimization of the current-voltage characteristics of the corona discharge operation in each electromodule, the possibility of factory assembly and adjustment of electromodules 6.1, 6.2, 6.3, 6.4 and 6.5 prior to their installation in a vertical tubular electrostatic precipitator.

В процессе работы электрофильтра во всех пяти стойках 7 одной из шести секций электрофильтра, например в секции 24.6, с помощью запорно-регулирующего устройства 14, установленного на индивидуальном газоходе 13, отводящем очищенный газ от камеры очищенного газа 12, объединяющей объемы газов, отводимые от пяти стоек 7 электромодулей, на короткое время (от 30÷60 секунд до 90 секунд) производится перекрытие индивидуального газохода 13, и включаются средства встряхивания электродов электромодулей во всех пяти отключенных от выпускного газохода 15 стойках 7 электромодулей. В конкретном примере очистка производится одновременно для всех пяти электромодулей (6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5) в пяти стойках 7 секции 24.6 при включенном питании коронирующих электродов 17 соответствующих электромодулей во всех пяти стойках 7 током высокого напряжения от соответствующих четырех высоковольтных источников питания 25.1, 25.2, 25.3 и 25.4. При этом, в зависимости от конкретных условий эксплуатации, очистка электродов 16 и 17 может осуществляться по специальной программе, когда встряхивание осуществляется индивидуально для каждого электромодуля или групп электромодулей во всех стойках 7 электромодулей, а подача высокого напряжения на встряхиваемые электромодули и группы электромодулей, в зависимости от запрограммированного алгоритма, может быть как включена, так и отключена или понижена.In the process of operation of the electrostatic precipitator in all five racks 7 of one of the six sections of the electrostatic precipitator, for example, in section 24.6, using a shut-off and control device 14 mounted on an individual gas duct 13 that removes purified gas from the purified gas chamber 12, uniting the volumes of gases discharged from five racks of 7 electromodules, for a short time (from 30 ÷ 60 seconds to 90 seconds) the individual gas duct 13 is closed, and means for shaking the electrodes of the electromodules in all five racks disconnected from the exhaust duct are turned on ah 7 electric modules. In a specific example, cleaning is performed simultaneously for all five electro-modules (6.1, 6.2, 6.3, 6.4, 6.5) in five racks 7 of section 24.6 with the power supply of the corona electrodes 17 of the corresponding electro-modules in all five racks 7 with high-voltage current from the corresponding four high-voltage power sources 25.1 , 25.2, 25.3 and 25.4. In this case, depending on the specific operating conditions, the cleaning of the electrodes 16 and 17 can be carried out according to a special program, when shaking is carried out individually for each electrical module or groups of electrical modules in all racks of 7 electrical modules, and high voltage is supplied to the shaken electrical modules and groups of electrical modules, depending from the programmed algorithm, can be either turned on or off or lowered.

По завершении очистки электродов 16 и 17 запорно-регулирующее устройство 14 открывается, и во все пять стоек 7 электромодулей данной секции 24.6 вновь поступает газ на очистку.Upon completion of the cleaning of the electrodes 16 and 17, the locking and regulating device 14 opens, and all the five racks 7 of the electric modules of this section 24.6 again receive gas for cleaning.

Процедура очистки от уловленной пыли электромодулей остальных секций электрофильтра выполняется аналогично, при этом программа по отключению запорно-регулирующими устройствами 14 секций электрофильтра 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5, 24.6 от выпускного газохода 15 электрофильтра и по последующей очистке электродов 16 и 17 от уловленной пыли составляется с учетом существенно отличающихся интервалов времени накопления слоя пыли на электродах пяти электромодулей (трех одиночных и двух сгруппированных) во всех стойках электромодулей всех шести секций электрофильтра.The procedure for cleaning the dust from the electrical modules of the remaining sections of the electrostatic precipitator is carried out similarly, with the program for shutting off 14 sections of the electrostatic precipitator 24.1, 24.2, 24.3, 24.4, 24.5, 24.6 from the exhaust gas duct 15 of the electrostatic precipitator and subsequent cleaning of the electrodes 16 and 17 from the trapped ones dust is compiled taking into account significantly different time intervals for the accumulation of a layer of dust on the electrodes of five electromodules (three single and two grouped) in all racks of electromodules of all six sections of the elec rofilter.

Отключение с помощью запорно-регулирующих устройств 14 секций электрофильтра с отряхиваемыми электромодулями от выпускного газохода 15 способствует предотвращению вторичного уноса уловленной пыли при очистке электродов 16 и 17 во всех электромодулях электрофильтра и, соответственно, существенному повышению эффективности очистки газов в электрофильтре.The shutdown of 14 sections of the electrostatic precipitator with shaken electromodules by means of shut-off and regulating devices from the exhaust gas duct 15 helps to prevent secondary entrainment of trapped dust when cleaning electrodes 16 and 17 in all electrostatic precipitators and, accordingly, a significant increase in the efficiency of gas purification in the electrostatic precipitator.

Claims (8)

1. Вертикальный трубчатый электрофильтр, содержащий корпус, трубчатые вертикально ориентированные осадительные электроды, внутри каждого из которых размещен коронирующий электрод, камеру загрязненного газа с впускным газоходом и бункером для пыли, камеру очищенного газа с выпускным газоходом и средства встряхивания электродов, отличающийся тем, что каждый осадительный электрод с размещенным внутри него коронирующим электродом выполнен в виде электромодуля, закрепленного в стойке, которая состоит из, по меньшей мере, одного электромодуля, соединенного с помощью впускного патрубка с камерой загрязненного газа и с помощью выпускного патрубка с камерой очищенного газа, каждый электромодуль оборудован индивидуальным коронирующим электродом, длина которого меньше длины осадительного электрода соответствующего электромодуля, каждый коронирующий электрод установлен в, по меньшей мере, одном устройстве крепления, которое состоит из токопроводящего держателя для закрепления коронирующего электрода, размещенного внутри электромодуля, и поддерживающего его изолятора, установленного в изоляторной коробке, расположенной снаружи электромодуля, с системой предотвращения загрязнения поверхности изолятора улавливаемой пылью, средства встряхивания электродов размещены в месте соединения электромодуля с впускным и выпускным патрубками для одновременного встряхивания и осадительного, и коронирующего электродов, электрофильтр оборудован, по меньшей мере, двумя стойками, которые объединены в, по меньшей мере, две секции электрофильтра, при этом каждая секция оборудована камерой очищенного газа, индивидуальной для каждой секции, индивидуально соединенной с выпускными патрубками стоек электромодулей каждой секции и соединенной индивидуальным газоходом с выпускным газоходом, а камера загрязненного газа выполнена общей для всех секций и соединена с впускными патрубками стоек электромодулей всех секций, причем каждый индивидуальный газоход каждой камеры очищенного газа оборудован запорно-регулирующим устройством для регулирования расхода газа через камеру очищенного газа и перекрытия камеры очищенного газа при встряхивании электродов в стойках электромодулей, соединенных с соответствующей камерой очищенного газа.1. A vertical tubular electrostatic precipitator comprising a housing, tubular vertically oriented precipitation electrodes, inside each of which there is a corona electrode, a polluted gas chamber with an inlet duct and a dust bin, a purified gas chamber with an exhaust duct and means for shaking the electrodes, characterized in that each precipitation electrode with a corona electrode placed inside it is made in the form of an electromodule mounted in a rack, which consists of at least one electro each connected by means of an inlet pipe to the contaminated gas chamber and by a discharge pipe with a purified gas chamber, each electromodule is equipped with an individual corona electrode, the length of which is less than the length of the precipitation electrode of the corresponding electromodule, each corona electrode is installed in at least one mounting device , which consists of a conductive holder for fixing the corona electrode placed inside the electromodule and an insulator supporting it, mounted in an insulator box located on the outside of the electric module with a system to prevent contamination of the insulator surface with trapped dust, means for shaking the electrodes are placed at the junction of the electric module with the inlet and outlet pipes for simultaneous shaking of both the precipitation and corona electrodes, the electrostatic precipitator is equipped with at least two racks which are combined in at least two sections of an electrostatic precipitator, wherein each section is equipped with a purified gas chamber, an individual for each section, individually connected to the outlet pipes of the racks of the electric modules of each section and connected by an individual gas duct to the exhaust gas duct, and the polluted gas chamber is made common for all sections and connected to the inlet pipes of the racks of the electric modules of all sections, each individual gas duct of each chamber of the purified gas is equipped shut-off and regulating device for regulating the flow of gas through the chamber of the purified gas and overlapping the chamber of the purified gas by shaking the electrodes in racks of electrical modules connected to the corresponding chamber of purified gas. 2. Вертикальный трубчатый электрофильтр по п. 1, отличающийся тем, что при установке коронирующего электрода в электромодуле с одним устройством его крепления средства встряхивания дополнительно расположены в месте размещения изоляторной коробки устройства крепления коронирующего электрода, а наковальни прикреплены к ней.2. The vertical tubular electrostatic precipitator according to claim 1, characterized in that when the corona electrode is installed in an electromodule with one attachment device, shaking means are additionally located at the location of the insulator box of the corona electrode attachment device, and the anvils are attached to it. 3. Вертикальный трубчатый электрофильтр по п. 1, отличающийся тем, что при установке коронирующего электрода в электромодуле с двумя устройствами его крепления последние размещаются на расстоянии от торцов электромодуля не более двух его внутренних диаметров.3. A vertical tubular electrostatic precipitator according to claim 1, characterized in that when installing the corona electrode in an electromodule with two attachment devices, the latter are placed at a distance from the ends of the electromodule of no more than two inner diameters thereof. 4. Вертикальный трубчатый электрофильтр по п. 1, отличающийся тем, что стойка выполнена из нескольких скрепляемых между собой электромодулей, нижний из которых соединен с камерой загрязненного газа с помощью впускного патрубка, а верхний из которых соединен с камерой очищенного газа с помощью выпускного патрубка, при этом средства встряхивания электродов дополнительно размещены в месте соединения электромодулей между собой для одновременного встряхивания и осадительного, и коронирующего электродов каждого электромодуля.4. A vertical tubular electrostatic precipitator according to claim 1, characterized in that the rack is made of several electromodules fastened together, the lower of which is connected to the dirty gas chamber by an inlet pipe, and the upper one is connected to the cleaned gas chamber by an exhaust pipe, wherein the means of shaking the electrodes are additionally placed at the junction of the electromodules with each other for simultaneous shaking of the precipitation and corona electrodes of each electromodule. 5. Вертикальный трубчатый электрофильтр по пп. 1-4, отличающийся тем, что коронирующие электроды в электромодулях подключены к одному общему источнику питания.5. The vertical tubular electrostatic precipitator according to paragraphs. 1-4, characterized in that the corona electrodes in the electrical modules are connected to one common power source. 6. Вертикальный трубчатый электрофильтр по п. 4, отличающийся тем, что в каждой стойке электромодулей коронирующий электрод соответствующего электромодуля подключен к соответствующему источнику питания.6. A vertical tubular electrostatic precipitator according to claim 4, characterized in that in each rack of the electric modules, the corona electrode of the corresponding electric module is connected to the corresponding power source. 7. Вертикальный трубчатый электрофильтр по п. 4, отличающийся тем, что в смежных электромодулях каждой стойки электромодулей коронирующие электроды соответствующих смежных электромодулей помодульно сгруппированы и подключены к своему источнику питания.7. The vertical tubular electrostatic precipitator according to claim 4, characterized in that in the adjacent electrical modules of each rack of the electrical modules, the corona electrodes of the respective adjacent electrical modules are grouped modularly and connected to their power source. 8. Вертикальный трубчатый электрофильтр по пп. 1-7, отличающийся тем, что электромодули в стойках соединены между собой и с впускным и выпускным патрубками с помощью фланцевого соединения, при этом наковальни средств встряхивания электродов размещены на фланцах.8. The vertical tubular electrostatic precipitator according to paragraphs. 1-7, characterized in that the electrical modules in the racks are connected to each other and with the inlet and outlet pipes using a flange connection, while the anvils of the means for shaking the electrodes are placed on the flanges.
RU2017133438A 2017-09-11 2017-09-25 Vertical tubular electrostatic precipitator RU2661509C1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017133438A RU2661509C1 (en) 2017-09-25 2017-09-25 Vertical tubular electrostatic precipitator
PCT/UA2018/000064 WO2019050498A1 (en) 2017-09-11 2018-06-25 Vertical-flow tubular electrostatic precipitator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017133438A RU2661509C1 (en) 2017-09-25 2017-09-25 Vertical tubular electrostatic precipitator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2661509C1 true RU2661509C1 (en) 2018-07-17

Family

ID=62916987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017133438A RU2661509C1 (en) 2017-09-11 2017-09-25 Vertical tubular electrostatic precipitator

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2661509C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7947110B2 (en) * 2008-07-31 2011-05-24 General Electric Company Methods for operating a filtration system
RU2551606C1 (en) * 2014-02-25 2015-05-27 Закрытое акционерное общество "Кондор-Эко" Vertical tubular electric filter
RU2583390C2 (en) * 2011-10-19 2016-05-10 Общество с ограниченной ответственностью "БЕРДИЧЕВСКИЙ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЙ ЗАВОД "ПРОГРЕСС" Electric precipitator for cleanup of explosive (coke-oven, blast-furnace, generator) gas
RU2611664C1 (en) * 2016-01-29 2017-02-28 Александр Владимирович Стегленко Method for fastening, centering and tension of discharge electrode in electrostatic air cleaning installations of tubular type

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7947110B2 (en) * 2008-07-31 2011-05-24 General Electric Company Methods for operating a filtration system
RU2583390C2 (en) * 2011-10-19 2016-05-10 Общество с ограниченной ответственностью "БЕРДИЧЕВСКИЙ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЙ ЗАВОД "ПРОГРЕСС" Electric precipitator for cleanup of explosive (coke-oven, blast-furnace, generator) gas
RU2551606C1 (en) * 2014-02-25 2015-05-27 Закрытое акционерное общество "Кондор-Эко" Vertical tubular electric filter
RU2611664C1 (en) * 2016-01-29 2017-02-28 Александр Владимирович Стегленко Method for fastening, centering and tension of discharge electrode in electrostatic air cleaning installations of tubular type

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100949455B1 (en) Dust collecting filter and electrical dust collector having the same
CN102056670B (en) Electric dust collector
EP1361927A1 (en) Electrostatic dust separator with integrated filter tubing
DE2206057A1 (en) Electrofilter for flue gas - high tension electrodes extend vertically downward into precipitation electrodes and are removable
EP3223955B1 (en) Filter module and air cleaning device composed of such filter modules
RU2661509C1 (en) Vertical tubular electrostatic precipitator
WO2019050498A1 (en) Vertical-flow tubular electrostatic precipitator
KR20050046659A (en) Electrostatic filtering and particle conversion in gaseous environments
KR101790842B1 (en) Electrostatic precipitation device for particle removal in explosive gases and method of particle removal in explosive gases using thereof
KR20200023803A (en) Electrostatic precipitator
US4431434A (en) Electrostatic precipitator using a temperature controlled electrode collector
US20190118191A1 (en) Electrostatic precipitator and method
EP1771254B1 (en) Structural principle of an exhaust gas purification installation, and associated method for purifying an exhaust gas
EP2266702B1 (en) Electrostatic separator for cleaning waste gas with an electrical restriction field
RU2296012C2 (en) Electrostatic precipitator
KR20170060667A (en) Dust collector
RU2611664C1 (en) Method for fastening, centering and tension of discharge electrode in electrostatic air cleaning installations of tubular type
WO2000062936A1 (en) Arrangement and method for purification of flowing gas
KR102786963B1 (en) Vertical assembly type electric dust collector for easy maintenance and repair
CN110354994A (en) One kind being applied to industrial flue gas cleaning equipment
RU173720U1 (en) VERTICAL TUBULAR ELECTRIC FILTER
JP6788881B2 (en) Air purifier
UA120289C2 (en) VERTICAL TUBULAR ELECTROFILTER
SU790410A1 (en) Device for isolating pulverulent particles from gas flow
KR100558211B1 (en) Plasma Semiconductor Back Process Powder Removal Device
点击 这是indexloc提供的php浏览器服务,不要输入任何密码和下载