RU2289098C1 - Method of finding deformations of diffused reflecting objects - Google Patents
Method of finding deformations of diffused reflecting objects Download PDFInfo
- Publication number
- RU2289098C1 RU2289098C1 RU2005122091/28A RU2005122091A RU2289098C1 RU 2289098 C1 RU2289098 C1 RU 2289098C1 RU 2005122091/28 A RU2005122091/28 A RU 2005122091/28A RU 2005122091 A RU2005122091 A RU 2005122091A RU 2289098 C1 RU2289098 C1 RU 2289098C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hologram
- deformations
- registration
- restoration
- wave
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 16
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 12
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000005210 holographic interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Description
Предлагаемый способ относится к контрольно-измерительной области техники и может быть использован для измерения смещений и деформаций диффузно отражающих объектов.The proposed method relates to the control and measurement field of technology and can be used to measure displacements and deformations of diffusely reflecting objects.
Известен способ измерения смещений и деформаций диффузных объектов с плоской поверхностью (Методические указания. Методика выполнения голографических интерференционных измерений с устранением спекл-шума. М., Изд-во стандартов, 1984, с.10), включающий получение голограммы сфокусированного изображения исследуемого объекта, восстановление интерферирующих волновых полей объектным полем, регистрацию интерферограммы в реальном времени.A known method of measuring the displacements and deformations of diffuse objects with a flat surface (Methodical instructions. The technique of performing holographic interference measurements with the elimination of speckle noise. M., Publishing house of standards, 1984, p.10), including obtaining a hologram of a focused image of the investigated object, restoration interfering wave fields by an object field; real-time recording of interferograms.
Однако способ не позволяет исследовать неплоские объекты; может быть реализован лишь при постоянном присутствии объекта во время проведения измерений.However, the method does not allow to explore non-planar objects; can be realized only with the constant presence of the object during measurements.
Известен способ измерения деформаций диффузных объектов (Ч.Вест. Голографическая интерферометрия. М., Мир, 1982, с.116, рис.2.19, 2.20а), который включает изготовление двухэкспозиционной голограммы исследуемого объекта по внеосевой схеме, восстановление волнового фронта неразведенным когерентным излучением, сопряженным исходному опорному, регистрацию интерферограммы в восстановленных световых пучках, сопряженных исходным объектным. Данный способ принимается за прототип.A known method of measuring the deformations of diffuse objects (C. West. Holographic interferometry. M., Mir, 1982, p.116, Fig. 2.19, 2.20a), which includes the production of a two-exposure hologram of the object under investigation according to an off-axis scheme, restoration of the wave front by undiluted coherent radiation conjugate to the original reference, registration of the interferogram in the reconstructed light beams conjugated to the original object. This method is taken as a prototype.
Основным недостатком прототипа является сложность регистрации интерферограммы. Действительно, при регистрации интерферограммы необходимо диафрагмировать действительное изображение объекта, чтобы выделить диафрагмой исследуемую точку поверхности и получить информацию о векторе смещения в этой точке. Для того чтобы получить информацию о распределении смещений по поверхности, необходимо сканировать диафрагмой локализованное в пространстве действительное трехмерное изображение объекта. Такое сканирование пространства по трем координатам связано с большими техническими трудностями при реализации способа.The main disadvantage of the prototype is the complexity of recording interferograms. Indeed, when registering an interferogram, it is necessary to diaphragm the actual image of the object in order to isolate the studied surface point with the diaphragm and obtain information about the displacement vector at this point. In order to obtain information about the distribution of displacements over the surface, it is necessary to scan with a diaphragm a real three-dimensional image of an object localized in space. Such scanning of space in three coordinates is associated with great technical difficulties in the implementation of the method.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является упрощение процесса определения деформаций, а именно сокращение числа координат сканирования при реализации способа.The task to which the invention is directed is to simplify the process of determining deformations, namely, to reduce the number of scan coordinates when implementing the method.
Решение поставленнй задачи достигается тем, что в известном способе, включающем изготовление двухэкспозиционной голограммы исследуемого объекта по внеосевой схеме, восстановление интерферирующих волновых полей неразведенным когерентным излучением, регистрацию интерференционной картины, по которой определяют деформации, согласно изобретению восстановление интерферирующих волновых полей производят неразведенным когерентным излучением со стороны объекта, а регистрацию интерференционной картины осуществляют в световых пучках, восстановленных с голограммы в направлении распространения опорной волны, используемой при регистрации голограммы.The solution of the problem is achieved by the fact that in the known method, including the production of a two-exposure hologram of the object under investigation according to an off-axis scheme, restoration of interfering wave fields by undiluted coherent radiation, registration of the interference pattern by which deformations are determined, according to the invention, restoration of interfering wave fields is carried out by undiluted coherent radiation from the side object, and registration of the interference pattern is carried out in light beams, in Formation of the hologram in a direction of propagation of the reference wave used during hologram registration.
Сущность изобретения поясняется чертежами. На фиг.1 представлены элементы физической системы для реализации предлагаемого способа, где Р и Р' - соответственные элементы поверхности объекта, смещение которых между экспозициями определяется вектором d; ro и rн - единичные векторы соответственно для направления распространения света, освещающего окрестность исследуемой точки поверхности (на стадии регистрации голограммы), и света, распространяющегося в направлении наблюдения (на стадии восстановления); S - опорный пучок, S' - освещающий объект пучок; S'' - восстанавливающий пучок; Н - голограмма, Е - плоскость регистрации.The invention is illustrated by drawings. Figure 1 presents the elements of a physical system for implementing the proposed method, where P and P 'are the corresponding surface elements of the object, the displacement of which between exposures is determined by the vector d; r o and r n are unit vectors, respectively, for the direction of propagation of light illuminating the vicinity of the investigated surface point (at the stage of registration of the hologram), and light propagating in the direction of observation (at the stage of restoration); S - reference beam, S '- beam illuminating the object; S '' is the restoring beam; H is the hologram, E is the registration plane.
Необходимый положительный эффект достигается за счет реализации условий восстановления и регистрации интерферограммы, обеспечивающих соответствие координат точки голограммы при заданном направлении распространения восстанавливающего пучка точке поверхности объекта с эквивалентным направлением наблюдения.The necessary positive effect is achieved due to the implementation of the conditions for restoration and registration of the interferogram, which ensure that the coordinates of the hologram point for a given propagation direction of the regenerating beam to the surface of the object with the equivalent direction of observation.
Способ реализуется следующим способом. На стадии регистрации голограммы объект освещается волной S'. Свет, рассеянный поверхностью объекта, регистрируется фотопластинкой Н одновременно с опорной волной S. Проэкспонированную и проявленную фотопластинку возвращают на место экспонирования. На стадии восстановления голограмма Н освещается неразведенным лазерным пучком S'' со стороны объекта (в отсутствии объекта). Восстановленные с голограммы световые пучки (как будет показано ниже) образуют интерференционную картину, по которой определяют искомые деформации. Поскольку при восстановлении пучок S'' освещает голограмму со стороны объекта, восстановление волнового фронта происходит в направлении распространения исходной опорной волны S. На этом же направлении осуществляется и регистрация интерферограммы.The method is implemented in the following way. At the stage of registration of the hologram, the object is illuminated by the wave S '. The light scattered by the surface of the object is recorded by the photographic plate H simultaneously with the reference wave S. The exposed and developed photographic plate is returned to the place of exposure. At the restoration stage, the hologram H is illuminated by an undiluted laser beam S 'from the side of the object (in the absence of the object). The light beams reconstructed from the hologram (as will be shown below) form an interference pattern by which the desired strains are determined. Since the beam S 'illuminates the hologram from the side of the object during reconstruction, the wavefront is restored in the direction of propagation of the original reference wave S. The interferogram is also recorded in the same direction.
Покажем, что восстановленные с голограммы световые пучки образуют в направлении распространения исходной опорной волны интерференционную картину, в которой содержится информация о векторе смещения.Let us show that the light beams reconstructed from the hologram form an interference pattern in the direction of propagation of the original reference wave, which contains information about the displacement vector.
На стадии регистрации световые волны, рассеянные элементами Р и Р', записываются на голограмме в точках С и D соответственно с фазами φC и φD:At the registration stage, light waves scattered by the elements P and P 'are recorded on the hologram at points C and D, respectively, with phases φ C and φ D :
где φ0 - некоторая произвольная фаза, приписываемая опорной волне в точке D(D');where φ 0 is some arbitrary phase ascribed to the reference wave at the point D (D ');
φ'0 - фаза освещающей волны в точке Р;φ ' 0 - phase of the illuminating wave at point P;
φD'C, φPC, φP'D - изменение фазы волн на отрезках D'C, PC и P'D соответственно;φ D'C , φ PC , φ P'D - phase change of the waves on the segments D'C, PC and P'D, respectively;
φMP' - изменение фазы волны на отрезке МР';φ MP ' is the phase change of the wave on the segment MP';
λ - длина волны света.λ is the wavelength of light.
На стадии восстановления голограмма освещается пучком S''. Восстанавливающая волна в точках С и D голограммы имеет фазы
где φ''0 - фаза восстанавливающей волны в точке P'(N);where φ '' 0 is the phase of the reconstructing wave at the point P '(N);
φPC, φP'D - изменение фазы волны на отрезках PC и P'D;φ PC , φ P'D - change in the phase of the wave on the segments PC and P'D;
φNP - изменение фазы волны на отрезке NP.φ NP is the phase change of the wave on the segment NP.
Из выражений (1) и (2) находится разность фаз δ восстановленных с голограммы лучей а и b в точке наблюдения F:From the expressions (1) and (2), the phase difference δ of the rays a and b recovered from the hologram is found at the observation point F:
где φCF, φDF - изменение фазы волны на отрезках CF и DF соответственно.where φ CF , φ DF is the phase change of the wave on the segments CF and DF, respectively.
Учитывая, что φDF=φD'C+φCF, получаемGiven that φ DF = φ D'C + φ CF , we obtain
Из полученного выражения следует, что в разности фаз восстановленных интерферирующих лучей содержится информация о векторе смещения. Соотношение (3) является основой количественной интерпретации интерференционной картины, по которой, зная направление освещения объекта ro и направление наблюдения rн, можно определить вектор смещения d.From the expression obtained, it follows that the phase difference of the reconstructed interfering rays contains information about the displacement vector. Relation (3) is the basis for a quantitative interpretation of the interference pattern, according to which, knowing the direction of illumination of the object r o and the direction of observation r n , it is possible to determine the displacement vector d.
Для визуального подтверждения существования интерференционных полос при освещении голограммы неразведенным пучком со стороны объекта на фиг.2, 3, 4 приведены фотографии интерференционных картин, наблюдаемых в плоскости регистрации (Е) при различных смещениях объекта. В качестве объекта при записи голограмм использовался алюминиевый параллелепипед с диффузной поверхностью.To visually confirm the existence of interference bands when illuminating the hologram with an undiluted beam from the side of the object, Figures 2, 3, 4 show photographs of interference patterns observed in the registration plane (E) at various displacements of the object. When recording holograms, an aluminum parallelepiped with a diffuse surface was used.
Фиг.2 - поступательное смещение объекта вдоль оси Х (фиг.5);Figure 2 - translational displacement of the object along the x-axis (figure 5);
фиг.3 - поступательное смещение объекта вдоль оси Z;figure 3 - translational displacement of the object along the Z axis;
фиг.4 - наклон объекта вокруг оси X.figure 4 - the slope of the object around the axis X.
На фиг.5 представлена геометрия схемы восстановления, где Н - голограмма, V - мнимое изображение поверхности объекта, Р - анализируемая точка поверхности объекта, Е - плоскость регистрации, Sv - волна, восстанавливаемая с голограммы во время освещения голограммы опорным пучком S, rнi - единичный вектор, характеризующий различные направления наблюдения точки Р, Si'' - восстанавливающий пучок.Figure 5 shows the geometry of the restoration scheme, where H is the hologram, V is the imaginary image of the surface of the object, P is the analyzed point of the surface of the object, E is the registration plane, S v is the wave restored from the hologram during illumination of the hologram by the reference beam S, r ni is a unit vector characterizing various directions of observation of the point P, S i '' is the restoring beam.
Нахождение искомого вектора смещения d для каждой анализируемой точки поверхности объекта производится по методу Александрова и Бонч-Бруевича путем решения системы уравнений, получаемых из (3) для различных направлений наблюдения rнi (Ч.Вест. Голографическая интерферометрия. М., Мир, 1982, с.89). В заявляемом способе направление наблюдения rн и направление распространения восстанавливающего пучка Si'' совпадают (фиг.5), т.к. эквивалентное направление наблюдения определяется направлением распространения восстанавливающего пучка. Поэтому различные направления наблюдения rнi задаются изменением направления распространения восстанавливающего пучка S'' (фиг.5). При этом при каждом изменении направления пучка Si'' регистрируется количество полос, "пробежавших" через точку наблюдения F. Соответствующее изменение фазы δi,i+1 подставляется в левую часть уравнения (3), причемThe search for the displacement vector d for each analyzed point on the surface of the object is found by the method of Aleksandrov and Bonch-Bruevich by solving a system of equations obtained from (3) for different directions of observation r ni (C. West. Holographic interferometry. M., Mir, 1982, p. 89). In the inventive method, the direction of observation r n and the direction of propagation of the regenerating beam S i '' coincide (figure 5), because the equivalent direction of observation is determined by the direction of propagation of the restoring beam. Therefore, different directions of observation r ni are set by changing the propagation direction of the regenerating beam S '' (Fig. 5). In this case, with each change in the beam direction S i количество, the number of bands “running” through the observation point F. is recorded. The corresponding change in phase δ i, i + 1 is substituted in the left side of equation (3), and
где Ni,i+1 - количество полос, "пробежавших" через точку наблюдения F при изменении направления освещения голограммы от Si'' до S''i+1.where N i, i + 1 is the number of bands that "ran" through the observation point F when changing the direction of illumination of the hologram from S i '' to S '' i + 1 .
Как отмечалось выше, в заявляемом способе направление наблюдения на выбранную для анализа точку поверхности объекта задается направлением распространения восстанавливающего пучка. Поэтому при фиксированных пространственном положении восстанавливающего пучка S'' (фиг.6) и точке регистрации интерферограммы F выбор точки поверхности объекта Pk, в окрестности которой необходимо определить вектор смещения, однозначно задается положением голограммы относительно восстанавливающего пучка S''. На фиг.6 показан переход от определения вектора смещения в точке Pk к анализу точки Рk+1 путем перемещения голограммы из положения Нk в положение Hk+1; Vk, Vk+1 - мнимое изображение поверхности объекта, соответствующее положениям голограммы Hk и Hk+1; Sv - волна, восстанавливаемая с голограммы во время освещения голограммы опорным пучком S). Следовательно, для того чтобы получить информацию о распределении вектора смещения по поверхности объекта, достаточно перемещать голограмму относительно восстанавливающего пучка в плоскости, в которой она установлена, т.е. лишь по двум координатам.As noted above, in the inventive method, the direction of observation to the selected point on the surface of the object is determined by the propagation direction of the regenerating beam. Therefore, for a fixed spatial position of the restoration beam S '(Fig. 6) and the registration point of the interferogram F, the choice of the object surface point P k , in the vicinity of which it is necessary to determine the displacement vector, is uniquely determined by the position of the hologram relative to the restoration beam S S. Figure 6 shows the transition from determining the displacement vector at the point P k to the analysis of the point P k + 1 by moving the hologram from position H k to position H k + 1 ; V k , V k + 1 - an imaginary image of the surface of the object corresponding to the positions of the hologram H k and H k + 1 ; S v is the wave reconstructed from the hologram during illumination of the hologram by the reference beam S). Therefore, in order to obtain information about the distribution of the displacement vector over the surface of the object, it is enough to move the hologram relative to the recovery beam in the plane in which it is installed, i.e. only in two coordinates.
Выбор участков поверхности объекта, деформации которых необходимо определить, можно осуществлять визуально по мнимому изображению объекта. С этой целью голограмма Н (фиг.5) временно освещается опорным пучком S, используемым при регистрации голограммы. Восстановленная с голограммы волна Sv дает в плоскости объекта его мнимое изображение. Наблюдатель, находящийся за голограммой, имеет возможность контролировать точку пересечения освещающего пучка S'' с изображением поверхности объекта.The selection of surface areas of the object, the deformation of which must be determined, can be done visually from the imaginary image of the object. To this end, the hologram H (FIG. 5) is temporarily illuminated by the reference beam S used when registering the hologram. The wave S v reconstructed from the hologram gives an imaginary image in the plane of the object. The observer behind the hologram has the ability to control the point of intersection of the illuminating beam S 'with the image of the surface of the object.
Таким образом, восстановление волнового фронта с голограммы неразведенным когерентным излучением со стороны объекта позволило реализовать условия, при которых для определения распределения вектора смещения (деформаций) по поверхности объекта необходимо перемещать голограмму относительно восстанавливающего пучка в плоскости, в которой она установлена, т.е. осуществлять перемещение лишь по двум координатам, в отличие от прототипа, где область сканирования - трехмерная, и тем самым упростить процесс определения деформаций.Thus, the reconstruction of the wavefront from the hologram by undiluted coherent radiation from the side of the object made it possible to realize the conditions under which, in order to determine the distribution of the displacement vector (deformation) over the surface of the object, it is necessary to move the hologram relative to the recovery beam in the plane in which it is installed, i.e. move only in two coordinates, in contrast to the prototype, where the scanning area is three-dimensional, and thereby simplify the process of determining deformations.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005122091/28A RU2289098C1 (en) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | Method of finding deformations of diffused reflecting objects |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005122091/28A RU2289098C1 (en) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | Method of finding deformations of diffused reflecting objects |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2289098C1 true RU2289098C1 (en) | 2006-12-10 |
Family
ID=37665670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005122091/28A RU2289098C1 (en) | 2005-07-12 | 2005-07-12 | Method of finding deformations of diffused reflecting objects |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2289098C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104535022A (en) * | 2014-12-15 | 2015-04-22 | 清华大学 | Material deformation detection method and system based on cosmic ray |
| CN113946117A (en) * | 2021-10-29 | 2022-01-18 | 上海交通大学 | Device, method and medium for measuring three-dimensional displacement in scattered light field holographic range |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU953456A1 (en) * | 1981-01-16 | 1982-08-23 | Институт Оптики Атмосферы Томского Филиала Со Ан Ссср | Method of determination of part diffusional dispersion surface deformation |
| EP0419936B1 (en) * | 1989-09-13 | 1994-06-01 | Hans Dr. Steinbichler | Process and apparatus for the phase indication of radiation, especially light radiation |
| US6128082A (en) * | 1998-09-18 | 2000-10-03 | Board Of Trustees Operating Michigan State University | Technique and apparatus for performing electronic speckle pattern interferometry |
-
2005
- 2005-07-12 RU RU2005122091/28A patent/RU2289098C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU953456A1 (en) * | 1981-01-16 | 1982-08-23 | Институт Оптики Атмосферы Томского Филиала Со Ан Ссср | Method of determination of part diffusional dispersion surface deformation |
| EP0419936B1 (en) * | 1989-09-13 | 1994-06-01 | Hans Dr. Steinbichler | Process and apparatus for the phase indication of radiation, especially light radiation |
| US6128082A (en) * | 1998-09-18 | 2000-10-03 | Board Of Trustees Operating Michigan State University | Technique and apparatus for performing electronic speckle pattern interferometry |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| М.МИЛЕР, Голография, - Л.: Машиностроение, 1979, стр.157-159. * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104535022A (en) * | 2014-12-15 | 2015-04-22 | 清华大学 | Material deformation detection method and system based on cosmic ray |
| CN113946117A (en) * | 2021-10-29 | 2022-01-18 | 上海交通大学 | Device, method and medium for measuring three-dimensional displacement in scattered light field holographic range |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9062959B2 (en) | Wavelength scanning interferometer and method for aspheric surface measurement | |
| US7312875B2 (en) | Two-wavelength spatial-heterodyne holography | |
| JP7231946B2 (en) | SURFACE PROFILE MEASURING DEVICE AND SURFACE PROFILE MEASURING METHOD | |
| US7127109B1 (en) | Digital interference holographic microscope and methods | |
| CN109709786B (en) | Super-resolution digital holographic imaging system and imaging method | |
| Yamaguchi | Holography, speckle, and computers | |
| US10331078B2 (en) | Apparatus and method for recording Fresnel holograms | |
| JP2003519786A (en) | Apparatus and method for surface contour measurement | |
| Dong et al. | Surface shape measurement by multi-illumination lensless Fourier transform digital holographic interferometry | |
| Bulut et al. | Three-dimensional optical profilometry using a four-core optical fibre | |
| Teramura et al. | Two-dimensional optical coherence tomography using spectral domain interferometry | |
| RU2289098C1 (en) | Method of finding deformations of diffused reflecting objects | |
| JP7421406B2 (en) | Incoherent digital hologram imaging device and its imaging method | |
| Khodadad | Multiplexed digital holography incorporating speckle correlation | |
| CN110926360A (en) | A device for measuring free-form surfaces with full-field heterodyne phase-shifting | |
| Takao et al. | Minute displacement and strain analysis using lensless Fourier transformed holographic interferometry | |
| Gulker et al. | Low-coherence ESPI in the investigation of ancient terracotta warriors | |
| WO2004094942A2 (en) | Recording multiple spatially-heterodyned direct to digital holograms in one digital image | |
| Salazar et al. | Digital image plane holography as a three-dimensional flow velocimetry technique | |
| CN110715931B (en) | Automatic detection method and detection device for defects of transparent sample | |
| WO2020085402A1 (en) | Microscope and microscopy method | |
| Barrera | Speckle interferometry single-shot applications with multiple carrier-fringe information | |
| RU2090838C1 (en) | Holographic method of determination of surface relief | |
| Dändliker | The story of speckles in interferometry | |
| Wernicke et al. | Holographic interferometric microscopy with conjugate reconstruction applied for the measurement of deformations |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20100713 |