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KR20220133102A - 기판 처리 장치, 해석 방법, 표시 장치 및 프로그램 - Google Patents

기판 처리 장치, 해석 방법, 표시 장치 및 프로그램 Download PDF

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KR20220133102A
KR20220133102A KR1020220033226A KR20220033226A KR20220133102A KR 20220133102 A KR20220133102 A KR 20220133102A KR 1020220033226 A KR1020220033226 A KR 1020220033226A KR 20220033226 A KR20220033226 A KR 20220033226A KR 20220133102 A KR20220133102 A KR 20220133102A
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processing apparatus
substrate
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KR1020220033226A
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신지 야마모토
Original Assignee
가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Publication date
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Abstract

정보 기억부는, 로드 포트군, 처리 유닛군 및 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 저장한다. 가동 정보는, 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와, 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보를 포함한다. 표시 제어부는, 처리 결과 정보를, 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 디스플레이에 표시시킨다. 표시 제어부는, 가동 상태 정보를, 복수의 대구분 가동 상태 및 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 디스플레이에 표시시킨다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식할 수 있다.

Description

기판 처리 장치, 해석 방법, 표시 장치 및 프로그램{Substrate processing apparatus, analysis method, display device and program}
관련 출원에 관한 참조
본원은, 2021년 3월 24일에 출원된 일본국 특허 출원 JP2021-49992, 및, 2021년 9월 16일에 출원된 일본국 특허 출원 JP2021-151490으로부터의 우선권의 이익을 주장하고, 이러한 출원의 모든 개시는, 본원에 편입된다.
본 발명은, 기판 처리 장치, 및, 기판 처리 장치의 가동 상태를 표시 및 해석하는 기술에 관한 것이다.
종래, 반도체 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 한다.)을 처리하는 기판 처리 장치에서는, 예를 들면, 기판이 수용되는 FOUP 등이 로드 포트에 의해 개방되고, 인덱서 로봇에 의해 FOUP 등으로부터 기판이 꺼내진다. 당해 기판은, 인덱서 로봇으로부터 센터 로봇에 넘겨지고, 센터 로봇에 의해, 복수의 처리 유닛 중 하나의 처리 유닛에 반입되어 여러 가지 처리가 실시된다.
이러한 기판 처리 장치에서는, 처리 유닛에 이상이 발생했을 경우, 기판의 처리량이나 일드율이 저하한다. 일본국 특허공개 2020-47077호 공보(문헌 1)에서는, 처리 유닛의 상태를 나타내는 물리량(예를 들면, 온도)의 측정 결과의 시계열 데이터를 분석하여, 이상이 발생한 처리 유닛이나 이상의 원인을 특정하는 기술이 개시되어 있다.
그런데, 상술의 기판 처리 장치에서는, 로드 포트, 인덱서 로봇, 센터 로봇 및 처리 유닛 등의 가동부에 있어서 이상이 발생하지 않은 경우이어도, 예를 들면, 어느 가동부에 기판이 공급되지 않고 대기 시간이 긴 경우 등, 장치 전체로서의 기판의 처리량이 감소하는 경우가 있다. 이러한 경우, 문헌 1과 같이 처리 유닛의 이상을 검출하는 것만으로는, 처리량 감소의 원인을 특정할 수는 없다. 이 때문에, 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과와 가동부의 가동 상태의 관계를 알고 싶다는 요망이 있다.
본 발명은, 기판 처리 장치를 향해져 있으며, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 바람직한 하나의 형태에 따른 기판 처리 장치는, 복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과, 기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과, 상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구와, 상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 저장하는 정보 기억부와, 정보 표시부와, 상기 가동 정보를 소정의 표시 양태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 표시 제어부를 구비한다. 상기 가동 정보는, 상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보를 포함한다. 상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있다. 상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시킨다. 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
본 발명에 의하면, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식할 수 있다.
바람직하게는, 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킬 때에, 대구분 가동 상태별로 색구분된 제1의 그래프로 표시시킨다. 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킬 때에, 소구분 가동 상태별로 색구분된 제2의 그래프로 표시시킨다. 상기 제2의 그래프에 있어서, 하나의 대구분 가동 상태에 대응하는 복수의 소구분 가동 상태는, 상기 제1의 그래프에 있어서의 상기 하나의 대구분 가동 상태의 색과 동계색으로 색구분된다.
바람직하게는, 상기 가동 상태 정보는, 상기 가동부의 가동 상태에 관련지어진 상기 가동 상태의 시작점 및 종료점인 타임 스탬프를 포함한다. 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시를 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
바람직하게는, 상기 표시 제어부는, 상기 가동부군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 종류별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
바람직하게는, 상기 표시 제어부는, 상기 로드 포트군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 로드 포트별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
바람직하게는, 상기 표시 제어부는, 상기 처리 유닛군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 처리 유닛별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
바람직하게는, 상기 정리 항목군은, 상기 가동 기간, 가동 시간대, 가동 요일 및 처리 레시피 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함한다. 상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시 가능하다.
바람직하게는, 상기 정리 항목군은, 상기 가동 기간, 가동 시간대 및 가동 요일 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함한다. 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시 가능하다.
바람직하게는, 소정의 참조 집계 기간에 있어서의 상기 처리 결과 정보인 참조 처리 결과 정보가 미리 준비되어 있다. 상기 표시 제어부는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 상기 처리 결과 정보와 상기 참조 처리 결과 정보를 비교 가능하게 표시한다.
바람직하게는, 소정의 참조 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보인 참조 가동 상태 정보가 미리 준비되어 있다. 상기 표시 제어부는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보를 표시하고, 상기 지정 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보 중, 상기 참조 가동 상태 정보와 비교하여 소정의 정도 이상 악화되어 있는 대구분 가동 상태 또는 소구분 가동 상태를 하이라이트 표시한다.
바람직하게는, 상기 표시 제어부는, 상기 기판 처리 장치와 같은 구성을 구비하는 다른 기판 처리 장치의 상기 처리 결과 정보 및 상기 가동 상태 정보도, 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
본 발명은, 기판 처리 장치의 가동 상태의 해석을 행하는 해석 방법으로도 향해져 있다. 본 발명의 바람직한 하나의 형태에 따른 해석 방법은, a) 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리 결과 정보를 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과, b) 상기 가동 상태 정보를 기판의 상기 가동 기간에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과, c) 상기 복수의 대구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 대구분 가동 상태를 상기 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과, d) 상기 복수의 소구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 소구분 가동 상태에 주목하여, 상기 가동부군 중 상기 하나의 소구분 가동 상태에 관련된 가동부의 집합인 관련 가동부군을 선택하고, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시, 및, 상기 관련 가동부군 각각의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시를 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정을 구비한다.
본 발명은, 복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과, 기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과, 상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구를 구비하는 기판 처리 장치의 가동 상태를 표시하는 표시 장치로도 향해져 있다. 본 발명의 바람직한 하나의 형태에 따른 표시 장치는, 정보 표시부와, 상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 소정의 표시 양태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 표시 제어부를 구비한다. 상기 가동 정보는, 상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보를 포함한다. 상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있다. 상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시킨다. 상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킨다.
본 발명은, 복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과, 기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과, 상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구를 구비하는 기판 처리 장치에 대해, 상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 소정의 표시 양태로 정보 표시부에 표시시키는 프로그램으로도 향해져 있다. 상기 가동 정보는, 상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보를 포함한다. 상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있다. 본 발명의 바람직한 하나의 형태에 따른 프로그램이 컴퓨터에 의해 실행됨으로써, 상기 처리 결과 정보가, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태로 상기 정보 표시부에 표시되고, 상기 가동 상태 정보가, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류되어 상기 정보 표시부에 표시된다.
상술의 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하고 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 명확하게 된다.
도 1은, 하나의 실시의 형태에 따른 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 2는, 기판 처리 장치의 내부를 나타내는 정면도이다.
도 3은, 처리 유닛의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4는, 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는, 컴퓨터에 의해 실현되는 기능을 나타내는 블록도이다.
도 6은, 가동 정보를 나타내는 도면이다.
도 7은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 8은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 9는, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 10은, 그래프 요소를 나타내는 도면이다.
도 11은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 12는, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 13은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 14는, 가동 상태 해석의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 15는, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 16은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 17은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 18은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 19는, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 20은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 21은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 22는, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 23은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 24는, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 25는, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 26은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 27은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 28은, 디스플레이의 화면을 나타내는 도면이다.
도 29는, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 30은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 31은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 32는, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 33은, 디스플레이의 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 1은, 본 발명의 하나의 실시의 형태에 따른 기판 처리 장치(1)의 평면도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(1)를, 도 1의 II-II선으로부터 본 도면이다. 또한, 이하에 참조하는 각 도면에는, Z축 방향을 연직 방향(즉, 상하 방향)으로 하고, XY평면을 수평면으로 하는 XYZ 직교좌표계가 적절히 붙여져 있다. 또, 도 2에서는, 기판 처리 장치(1)의 (+X)측의 일부의 도시를 생략하고 있다.
기판 처리 장치(1)는, 복수의 대략 원판 형상의 반도체 기판(9)(이하, 간단히 「기판(9)」이라고 한다.)에 연속하여 처리를 행하는 장치이다. 기판 처리 장치(1)에서는, 예를 들면, 기판(9)에 대해 처리액을 공급하는 액처리가 행해진다.
기판 처리 장치(1)는, 복수의 로드 포트(11)와, 인덱서 블록(10)과, 처리 블록(20)과, 재치(載置) 유닛(40)과, 컴퓨터(8)를 구비한다. 인덱서 블록(10) 및 처리 블록(20)은 각각, 인덱서 셀 및 처리 셀로도 불린다. 또, 인덱서 블록(10)은, Equipment Front End Module(EFEM) 유닛 등으로도 불린다. 도 1에 나타내는 예에서는, (-X)측으로부터 (+X)측을 향하여, 3개의 로드 포트(11), 인덱서 블록(10) 및 처리 블록(20)이, 이 순서로 인접하여 배치되어 있다. 이하의 설명에서는, 복수의 로드 포트(11)를 통합하여 「로드 포트군(110)」으로도 부른다.
로드 포트(11)의 집합인 로드 포트군(110)은, 인덱서 블록(10)의 (-X)측의 측벽을 따라 Y방향으로 배열된다. 복수의 로드 포트(11)는 각각, 캐리어(95)를 유지하는 유지대이다. 캐리어(95)는, 복수의 원판 형상의 기판(9)을 수납 가능하다. 캐리어(95)는, 예를 들면, 기판(9)을 밀폐 공간에 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 캐리어(95)는, FOUP에는 한정되지 않으며, 예를 들면, SMIF(Standard Mechanical Inter Face) 포드이어도 된다. 또, 로드 포트군(110)에 포함되는 로드 포트(11)의 수는, 1개이어도 되고, 2개 이상이어도 된다.
로드 포트(11)는, 캐리어(95)를 개폐하는 개폐 기구이기도 하다. 인덱서 블록(10)의 (-X)측의 측벽에는, 각 로드 포트(11) 상의 캐리어(95)에 대응하는 위치에 개구부 및 캐리어용 셔터가 설치된다. 캐리어(95)에 대한 기판(9)의 반출입이 행해질 때에는, 캐리어(95) 및 당해 캐리어용 셔터가 자동적으로 개폐된다.
각 로드 포트(11)에 대해서는, 복수의 미처리 기판(9)을 수납한 캐리어(95)가, 기판 처리 장치(1)의 외부로부터 AGV(Automated Guided Vehicle) 등에 의해 반입되어 재치된다. 또, 처리 블록(20)에 있어서의 처리가 종료된 처리가 끝난 기판(9)은, 로드 포트(11)에 유지된 캐리어(95)에, 재차 수납된다. 처리가 끝난 기판(9)이 수납된 캐리어(95)는, AGV 등에 의해 기판 처리 장치(1)의 외부로 반출된다. 즉, 로드 포트(11)는, 미처리 기판(9) 및 처리가 끝난 기판(9)을 집적하는 기판 집적부로서 기능한다.
인덱서 블록(10)은, 캐리어(95)로부터 미처리 기판(9)을 수취하여, 처리 블록(20)에 넘긴다. 또, 인덱서 블록(10)은, 처리 블록(20)으로부터 반출된 처리가 끝난 기판(9)을 수취하여, 캐리어(95)로 반입한다. 인덱서 블록(10)의 내부 공간(100)에는, 캐리어(95)로의 기판(9)의 반출입을 행하는 인덱서 로봇(12)이 배치된다.
인덱서 로봇(12)은, 2개의 반송 아암(121a, 121b)과, 아암 스테이지(122)와, 가동(可動)대(123)를 구비한다. 2개의 반송 아암(121a, 121b)은, 아암 스테이지(122)에 탑재된다. 가동대(123)는, 복수의 로드 포트(11)의 배열 방향과 평행하게(즉, Y방향을 따라) 연장되는 볼 나사(124)에 나사 결합되고, 2개의 가이드 레일(125)에 대해 접동(摺動) 가능하게 설치된다. 도시를 생략하는 회전 모터에 의해 볼 나사(124)가 회전하면, 가동대(123)를 포함하는 인덱서 로봇(12)의 전체가, Y방향을 따라 수평으로 이동한다.
아암 스테이지(122)는, 가동대(123) 상에 탑재된다. 가동대(123)에는, 아암 스테이지(122)를 상하 방향(즉, Z방향)을 향하는 회전축 둘레로 회전시키는 모터(도시 생략), 및, 아암 스테이지(122)를 상하 방향을 따라 이동시키는 모터(도시 생략)가 내장되어 있다. 아암 스테이지(122) 상에는, 반송 아암(121a, 121b)이, 상하로 이격하여 배치되어 있다.
반송 아암(121a, 121b)의 선단에는 각각, 평면에서 봤을 때 대략 U자 형상의 핸드(126)가 설치된다. 핸드(126)는, 예를 들면, 폭방향으로 넓어지는 기부와, 당해 기부의 폭방향 양단부로부터 폭방향에 수직인 길이 방향에 대략 평행하게 연장되는 2개의 클로부를 구비한다. 반송 아암(121a, 121b)은 각각, 핸드(126)에 의해 1장의 기판(9)의 하면을 지지한다. 핸드(126)에는, 도시 생략의 클램프 기구가 설치되어 있으며, 기판(9)의 핸드(126)에 대한 상대 위치가, 위치 정밀도 좋게 고정된다. 당해 클램프 기구는, 예를 들면, 기판(9)의 측 가장자리에 접촉하여 기판(9)의 위치를 기계적으로 제한하는 복수의 볼록부 등이어도 되고, 기판(9)의 하면을 흡착하는 복수의 흡인구이어도 된다.
반송 아암(121a, 121b)은, 아암 스테이지(122)에 내장된 구동 기구(도시 생략)에 의해 다관절 기구가 굴신(屈伸)됨으로써, 수평 방향(즉, 아암 스테이지(122)의 회전축을 중심으로 하는 경방향)을 따라 서로 독립적으로 이동한다. 환언하면, 핸드(126)는, 진퇴 가능, 승강 가능 또한 회전 가능하게 인덱서 로봇(12)에 설치된다. 또한, 인덱서 로봇(12)에 있어서의 반송 아암의 수는, 1개이어도 되고, 3개 이상이어도 된다.
인덱서 로봇(12)은, 핸드(126)에 의해 기판(9)을 유지하는 반송 아암(121a, 121b)을 각각, 로드 포트(11)에 재치된 캐리어(95), 및, 재치 유닛(40)에 개별적으로 액세스시킴으로써, 캐리어(95) 및 재치 유닛(40) 사이에서 기판(9)을 반송하는 반송 로봇이다. 인덱서 로봇(12)에 있어서의 상기 이동 기구는, 상술의 예에는 한정되지 않으며, 다른 기구이어도 된다. 예를 들면, 반송 아암(121a, 121b)을 상하 방향으로 이동하는 기구로서, 풀리와 타이밍 벨트를 사용한 벨트 송출 기구 등이 채용되어도 된다.
처리 블록(20)에는, 기판(9)의 반송에 이용되는 반송로(23)와, 반송로(23)의 주위에 배치되는 복수의 처리 유닛(21)이 설치된다. 도 1에 나타내는 예에서는, 반송로(23)는, 처리 블록(20)의 Y방향의 중앙에서 X방향으로 연장된다. 반송로(23)의 내부 공간(230)에는, 각 처리 유닛(21)으로의 기판(9)의 반출입을 행하는 센터 로봇(22)이 배치된다.
센터 로봇(22)은, 2개의 반송 아암(221a, 221b)과, 아암 스테이지(222)와, 기대(223)를 구비한다. 2개의 반송 아암(221a, 221b)은, 아암 스테이지(222)에 탑재된다. 기대(223)는, 처리 블록(20)의 프레임에 고정되어 있다. 따라서, 센터 로봇(22)의 기대(223)는, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동하지 않는다. 또한, 센터 로봇(22)의 기대(223)는, 예를 들면, 수평 방향으로 이동 가능하게 되어도 된다.
아암 스테이지(222)는, 기대(223) 상에 탑재된다. 기대(223)에는, 아암 스테이지(222)를 상하 방향을 향하는 회전축 둘레에서 회전시키는 모터(도시 생략), 및, 아암 스테이지(222)를 상하 방향을 따라 이동시키는 모터(도시 생략)가 내장되어 있다. 아암 스테이지(222) 상에는, 반송 아암(221a, 221b)이, 상하로 이격하여 배치되어 있다.
반송 아암(221a, 221b)의 선단에는 각각, 평면에서 봤을 때 대략 U자 형상의 핸드(226)가 설치된다. 핸드(226)는, 예를 들면, 폭방향으로 넓어지는 기부와, 당해 기부의 폭방향 양단부로부터 폭방향에 수직인 길이 방향에 대략 평행하게 연장되는 2개의 클로부를 구비한다. 반송 아암(221a, 221b)은 각각, 핸드(226)에 의해 1장의 기판(9)의 하면을 지지한다. 핸드(226)에는, 도시 생략의 클램프 기구가 설치되어 있으며, 기판(9)의 핸드(226)에 대한 상대 위치가, 위치 정밀도 좋게 고정된다. 당해 클램프 기구는, 예를 들면, 기판(9)의 측 가장자리에 접촉하여 기판(9)의 위치를 기계적으로 제한하는 복수의 볼록부 등이어도 되고, 기판(9)의 하면을 흡착하는 복수의 흡인구이어도 된다.
반송 아암(221a, 221b)은, 아암 스테이지(222)에 내장된 구동 기구(도시 생략)에 의해 다관절 기구가 굴신됨으로써, 수평 방향(즉, 아암 스테이지(222)의 회전축을 중심으로 하는 경방향)을 따라 서로 독립적으로 이동한다. 환언하면, 핸드(226)는, 진퇴 가능, 승강 가능 또한 회전 가능하게 센터 로봇(22)에 설치된다. 또한, 센터 로봇(22)에 있어서의 반송 아암의 수는, 1개이어도 되고, 3개 이상이어도 된다.
센터 로봇(22)은, 핸드(226)에 의해 기판(9)을 유지하는 반송 아암(221a, 221b)을 각각, 재치 유닛(40) 및 복수의 처리 유닛(21)에 개별적으로 액세스시킴으로써, 재치 유닛(40) 및 처리 유닛(21) 사이에서 기판(9)을 반송하는 반송 로봇이다. 센터 로봇(22)에 있어서의 상기 이동 기구는, 상술의 예에는 한정되지 않으며, 다른 기구이어도 된다. 예를 들면, 반송 아암(221a, 221b)을 상하 방향으로 이동하는 기구로서, 풀리와 타이밍 벨트를 사용한 벨트 송출 기구 등이 채용되어도 된다.
각 처리 유닛(21)은, 기판(9)에 대해 소정의 처리를 실시하는 처리부이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 예에서는, 처리 블록(20)에는, 12개의 처리 유닛(21)이 설치된다. 구체적으로는, Z방향으로 적층된 3개의 처리 유닛(21)이, 평면에서 봤을 때 센터 로봇(22)의 주위에 4조 배치된다. 이하의 설명에서는, 복수의 처리 유닛(21)을 통합하여, 「처리 유닛군(210)」으로도 부른다. 처리 유닛군(210)에 포함되는 처리 유닛(21)의 수는, 1개 이상의 범위에서 여러 가지로 변경되어도 된다.
재치 유닛(40)은, 인덱서 블록(10)과 처리 블록(20)의 접속부에 설치된다. 상술한 바와 같이, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)은, 재치 유닛(40)에 액세스 가능하다. 재치 유닛(40)은, 센터 로봇(22)이 배치되는 반송로(23)를 통해 처리 유닛(21)의 집합인 처리 유닛군(210)에 접속된다.
인덱서 로봇(12)은, 캐리어(95)로부터 반출한 미처리 기판(9)을 재치 유닛(40)에 재치한다. 센터 로봇(22)은, 재치 유닛(40)으로부터 미처리 기판(9)을 반출하여, 처리 유닛(21)으로 반입한다. 또, 센터 로봇(22)은, 처리 유닛(21)으로부터 반출한 처리가 끝난 기판(9)을 재치 유닛(40)에 재치한다. 인덱서 로봇(12)은, 재치 유닛(40)으로부터 처리가 끝난 기판(9)을 반출하여, 캐리어(95)에 반입한다. 환언하면, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)은, 로드 포트군(110)과 처리 유닛군(210) 사이에서 기판(9)을 반송하는 반송 기구이다. 또, 재치 유닛(40)은, 인덱서 로봇(12)으로부터 센터 로봇(22)으로 넘겨지는 미처리 기판(9), 및, 센터 로봇(22)으로부터 인덱서 로봇(12)으로 넘겨지는 처리가 끝난 기판(9)을 일시적으로 유지한다.
도 3은, 처리 유닛(21)의 일례를 나타내는 도면이다. 처리 유닛(21)은, 하우징(31)과, 기판 유지부(32)와, 기판 회전 기구(33)와, 컵부(34)와, 처리 노즐(35)을 구비한다. 기판 유지부(32), 기판 회전 기구(33), 컵부(34) 및 처리 노즐(35)은, 하우징(31)의 내부에 수용된다. 하우징(31)의 측벽에는, 센터 로봇(22)(도 1 및 도 2 참조)에 의해 기판(9)을 내부에 반입하기 위한 개구(311)가 형성된다. 개구(311)는, 개폐 가능하고, 기판(9)의 반출입 시에 개방되고, 기판(9)의 처리 시에 폐쇄된다. 처리 유닛(21)에서는, 예를 들면, 기판(9)에 대해 처리액을 공급하는 액처리가 행해진다.
도 3에 나타내는 예에서는, 기판 유지부(32)는, 기판(9)을 수평 상태로 유지하는 메커니컬 척이다. 기판 유지부(32)는, 베이스(321)와, 샤프트(322)와, 복수의 척 핀(323)을 구비한다. 베이스(321)는, 상하 방향을 향하는 회전축(J1)을 중심으로 하는 대략 원판 형상의 부재이다. 또한, 이하에서는, 도 3 중의 상하 방향은, 상술의 Z방향과 일치하는 것으로서 설명하지만, 반드시 일치할 필요는 없다. 샤프트(322)는, 회전축(J1)을 중심으로 하는 대략 원통 형상 또는 대략 원기둥 형상의 부재이다. 샤프트(322)는, 베이스(321)의 하면으로부터 하방으로 연장되고, 기판 회전 기구(33)에 접속된다.
복수(예를 들면, 6개)의 척 핀(323)은, 베이스(321)의 상면에 세워 설치된다. 복수의 척 핀(323)은, 베이스(321)의 상면의 외주부에 있어서 둘레 형상으로 배치된다. 복수의 척 핀(323)은, 기판(9)의 외주부에 직접적으로 접촉하여, 기판(9)의 외주부를 기계적으로 유지한다. 기판(9)이 복수의 척 핀(323)에 의해 유지된 상태에서는, 베이스(321)의 상면은, 기판(9)의 하면으로부터 하방으로 이격한 상태에서, 기판(9)의 하면과 상하 방향으로 대향한다.
기판 회전 기구(33)는, 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32)를 회전시킴으로써, 기판 유지부(32)에 유지된 기판(9)을 회전시킨다. 기판 회전 기구(33)는, 예를 들면, 기판 유지부(32)의 샤프트(322)에 접속되는 전동 모터이다. 기판 회전 기구(33)는, 전동 모터 이외의 회전 기구이어도 된다. 기판 회전 기구(33)는, 기판 유지부(32)의 하방에 배치된 커버(331)의 내부에 수용된다.
처리 노즐(35)은, 기판(9)의 상방으로부터 기판(9)의 상면을 향하여 처리액을 토출한다. 도 3에서는, 처리 노즐(35)을 기판(9)의 상방에서 지지하는 구성의 도시를 생략하고 있다. 컵부(34)는, 기판 유지부(32)의 주위를 전체 둘레에 걸쳐 둘러싸는 대략 원통 형상의 부재이다. 컵부(34)는, 회전 중의 기판(9)으로부터 주위에 비산하는 처리액 등을 받는 액받이이다. 컵부(34)는, 도시 생략의 컵 승강 기구에 의해 상하 방향으로 이동 가능하다. 기판(9)의 처리가 행해질 때에는, 컵부(34)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 회전축(J1)을 중심으로 하는 경방향(이하, 간단히 「경방향」으로도 부른다.)에 있어서 기판(9)의 측 가장자리와 대향하는 위치에 배치된다. 또, 센터 로봇(22)의 핸드(226)와 기판 유지부(32) 사이에서 기판(9)이 수도(受渡)될 때에는, 컵부(34)는, 도 3에 나타내는 위치로부터 하방으로 이동한다.
도 4는, 컴퓨터(8)의 구성을 나타내는 도면이다. 컴퓨터(8)는, 프로세서(81)와, 메모리(82)와, 입출력부(83)와, 버스(84)를 구비하는 통상의 컴퓨터이다. 버스(84)는, 프로세서(81), 메모리(82) 및 입출력부(83)를 접속하는 신호 회로이다. 메모리(82)는, 각종 정보를 기억한다. 메모리(82)는, 예를 들면, 기억 매체(80)에 미리 기억되어 있는 프로그램(89)을 읽어내어 기억한다. 기억 매체(80)는, 예를 들면, USB 메모리나 CD-ROM이다. 프로세서(81)는, 메모리(82)에 기억되는 상기 프로그램(89) 등에 따라, 메모리(82) 등을 이용하면서 여러 가지 처리(예를 들면, 수치 계산)를 실행한다. 입출력부(83)는, 오퍼레이터로부터의 입력을 받아들이는 키보드(85) 및 마우스(86), 프로세서(81)로부터의 출력 등을 표시하는 디스플레이(87), 그리고, 프로세서(81)로부터의 출력 등을 송신하는 송신부(88)를 구비한다.
도 5는, 컴퓨터(8)에 의해 상기 프로그램(89)이 실행됨으로써 실현되는 기능을 나타내는 블록도이다. 기판 처리 장치(1)는, 컴퓨터(8)에 의해 실현되는 기능으로서, 정보 기억부(61)와, 표시 제어부(62)를 구비한다. 정보 기억부(61)는, 주로 메모리(82)에 의해 실현되고, 후술하는 가동 정보 등의 각종 정보를 저장한다. 표시 제어부(62)는, 주로 프로세서(81)에 의해 실현되고, 키보드(85) 및 마우스(86)로부터의 입력 등에 의거하여, 정보 기억부(61)에 저장되어 있는 가동 정보로부터 상기 입력에 대응하는 정보를 추출하여, 정보 표시부인 디스플레이(87)에 소정의 표시 양태(즉, 포맷)로 표시시킨다.
정보 기억부(61)에 기억되는 가동 정보는, 상술의 로드 포트군(110), 반송 기구(즉, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)), 그리고, 처리 유닛군(210) 등의 가동부의 집합인 가동부군의 가동에 관한 정보이다. 당해 가동부군은, 로드 포트군(110), 반송 기구 및 처리 유닛군(210) 이외의 구성(예를 들면, 처리 유닛군(210)에 처리액을 공급하는 케미컬 캐비닛 등)을 가동부로서 포함하고 있어도 된다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 가동 정보(70)는, 처리 결과 정보(71)와, 가동 상태 정보(72)를 포함한다. 처리 결과 정보(71)는, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 결과를 나타내는 정보이다. 가동 상태 정보(72)는, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 시간적 내역, 및, 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 정보이다. 정보 기억부(61)는, 가동부군의 가동을 제어하는 가동 제어부로부터의 지령 신호 등의 전기 신호를 취득하고, 당해 지령 신호 등에 의거하여 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를 생성하여 저장한다. 당해 가동 제어부는, 상술의 컴퓨터(8)에 의해 실현된다.
처리 결과 정보(71)는, 예를 들면, 소정 기간에 기판 처리 장치(1)에서 처리된 기판(9)의 처리 매수, 정상 처리 매수 및 이상 처리 매수를 포함한다. 당해 소정 기간은, 예를 들면, 1일간, 1주간, 1개월 등이다. 처리 결과 정보(71)는, 상기 이외의 여러 가지 정보를 포함하고 있어도 된다. 예를 들면, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 레시피별 기판(9)의 처리 매수, 처리 가능 시간당 기판(9)의 처리 매수, 1개의 처리 유닛(21)당 기판(9)의 처리 매수, 알람에 의해 체크된 기판(9)의 매수, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리액의 사용량 등이, 처리 결과 정보(71)에 포함되어 있어도 된다. 처리 결과 정보(71)는, 기판 처리에 관한 공지의 여러 가지 수단에 의해 취득 가능하다. 예를 들면, 기판(9)의 처리 매수는, 기판 처리 장치(1)에 반입되고, 처리 후에 반출된 기판(9)의 매수를 카운트함으로써 취득 가능하다.
가동 상태 정보(72)에 의해 시간적 내역이 나타내어지는 기판 처리 장치(1) 및 가동부군의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 당해 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있다.
표 1은, 가동 상태의 계층적 분류의 일례를 나타낸다. 표 1에 나타내는 예에서는, 대구분 가동 상태는, 「정지」, 「대기」 및 「처리」의 3개의 가동 상태를 포함한다. 본 실시의 형태에서는, 기판 처리 장치(1), 각 로드 포트(11), 인덱서 로봇(12), 센터 로봇(22) 및 각 처리 유닛(21) 각각의 가동 상태가, 표 1에 나타내는 바와 같이 계층적으로 분류된다.
[표 1]
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「정지」 상태는, 「전원 정지(Power Off)」, 「준비 전(Not Ready)」, 「경보 처리 정지(Alarm Stop)」, 「요(要)복구 작업(Maintenance)」 및 「복구 작업 중(Recovery)」의 5개의 소구분 가동 상태로 분류된다. 「전원 정지」는, 기판 처리 장치(1)나 가동부의 전원이 Off로 되어 있는 상태 등을 나타낸다. 「준비 전」은, 기판 처리 장치(1)나 가동부에 있어서 기판(9)의 처리의 준비가 되어 있지 않은 상태를 나타낸다. 「경보 처리 정지」는, 알람에 의해 기판(9)의 처리가 정지되어 있는 상태를 나타낸다. 「요복구 작업」은, 이상 처리 등에 의해 정지하여, 오퍼레이터에 의한 복구 작업이 필요한 상태를 나타낸다. 「복구 작업 중」은, 오퍼레이터에 의한 복구 작업 중의 상태를 나타낸다.
「대기」 상태는, 「지시 대기(Ready)」, 「정지 지시(Operator Stop)」 및 「준비 처리(Prepare)」의 3개의 소구분 가동 상태로 분류된다. 「지시 대기」는, 기판(9)을 처리 가능한 상태이기는 하지만, 기판(9)의 처리의 지시가 없기 때문에 대기하고 있는 상태를 나타낸다. 「정지 지시」는, 오퍼레이터에 의한 정지 지시에 의해, 기판(9)의 처리를 중단하고 있는 상태를 나타낸다. 「준비 처리」는, 기판(9)을 처리하기 위한 준비 처리이며, 준비 처리의 종료 후, 자동적으로 기판의 처리가 개시되는 상태를 나타낸다. 「처리」 상태는, 1개의 소구분 가동 상태인 「처리 중(Execute)」을 포함한다. 「처리 중」은, 기판(9)이 정상적으로 처리되고 있는 상태를 나타낸다. 또한, 「처리」 상태도, 「정지」 상태 및 「대기」 상태와 동일하게, 복수의 소구분 가동 상태로 분류되어도 된다.
가동 상태 정보(72)는, 예를 들면, 각 가동부를 제어하는 제어부로부터의 신호를 집계하는 등, 기판 처리에 관한 공지의 여러 가지 수단에 의해 취득 가능하다. 또한, 상술의 가동 상태의 계층적 분류는, 여러 가지로 변경되어도 된다. 예를 들면, 대구분 가동 상태 및 소구분 가동 상태는, 표 1과는 상이한 분류 기준으로 분류되어도 된다. 또, 기판 처리 장치(1) 및 복수의 가동부에 있어서, 대구분 가동 상태 및 소구분 가동 상태의 분류는 공통일 필요는 없으며, 서로 상이해도 된다. 가동 상태 정보(72)에는, 대구분 가동 상태 및 소구분 가동 상태 이외의 정보가 포함되어 있어도 된다. 예를 들면, 복수의 소구분 가동 상태는, 더 세세한 복수의 세구분 가동 상태로 분류되어도 된다. 혹은, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 알람의 발생 회수, 및, 처리 블록(20) 내에 있어서의 기판(9)의 체재 시간 등의 서브 데이터가 가동 상태 정보(72)에 포함되어도 된다.
표시 제어부(62)는, 처리 결과 정보(71)를, 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 1개 이상의 정리 항목에 대해 정리한 상태로, 디스플레이(87)에 표시시킨다. 당해 정리 항목군은, 기판 처리 장치(1)의 임의의 가동 기간을 정리 항목으로서 포함한다. 당해 가동 기간은, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)에 있어서 기판(9)의 처리가 행해진 날(이하, 「처리일」로도 부른다.)이다. 또, 당해 가동 기간은, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)에 있어서 기판(9)의 처리가 행해진 주, 월 및/또는 년이어도 된다. 정리 항목군은, 당해 가동 기간 이외의 여러 가지 정리 항목(예를 들면, 레시피의 종류 등)을 포함하고 있어도 된다. 표시 제어부(62)는, 예를 들면, 기판 처리 장치(1)에서 처리된 기판(9)의 처리 매수를, 하나의 정리 항목인 처리일별로 정리한 상태로 디스플레이(87)에 표시시킨다.
도 7은, 디스플레이(87)에 있어서의 표시의 일례를 나타내는 도면이다. 도 7 중의 그래프(511)는, 소정의 기간(4월 1일~15일)에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 처리일마다의 기판(9)의 처리 매수(즉, 생산량의 상세)를 나타내는 막대 그래프이다. 디스플레이(87)의 상측부에는, 당해 소정의 기간(이하, 「지정 집계 기간」으로도 부른다.)이 표시되어 있다. 지정 집계 기간은, 오퍼레이터에 의한 입력 등에 의해 변경 가능하다. 그래프(511)의 가로축은 하나의 정리 항목인 처리일을 나타내고, 세로축은 처리 매수를 나타낸다. 또, 그래프(511)의 좌측 상단의 윈도우(512)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 총 처리 매수(즉, 합계 생산량)가 표시된다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 정리 항목은, 처리 결과 정보(71)를 표시할 때의 기준(예를 들면, 그래프의 축)이 되는 파라미터이며, 디스플레이(87)에는, 분석 대상인 처리 결과 정보(71)가 당해 정리 항목별로 나누어(즉, 정리 항목에 대해 정리한 상태로) 표시된다. 즉, 당해 정리 항목은, 처리 결과 정보(71)를 분석하기 위한 분석 항목이기도 하다. 또, 정리 항목은, 후술하는 바와 같이, 가동 상태 정보(72) 표시할 때의 기준(예를 들면, 그래프의 축)이 되는 파라미터이며, 가동 상태 정보(72)를 분석하기 위한 분석 항목이기도 하다.
도 7 중의 그래프(513)는, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태 정보(72)를 나타내는 원 그래프이다. 그래프(513)에서는, 지정 집계 기간(4월 1일~15일)에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태가, 대구분 가동 상태(즉, 처리, 대기 및 정지)로 분류된 상태로 나타내어져 있다. 환언하면, 그래프(513)는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 내역을 나타낸다.
표시 제어부(62)는, 상술의 기판 처리 장치(1)와 같은 구성을 구비하는 다른 기판 처리 장치(1)에 대해서도, 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를 디스플레이(87)에 표시시킬 수 있다. 당해 다른 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)는, 도 1에 나타내는 기판 처리 장치(1)의 컴퓨터(8)에 있어서 정보 기억부(61)에 저장되어 있어도 되고, 컴퓨터(8)가 액세스 가능한 당해 다른 기판 처리 장치(1)의 컴퓨터에 기억되어 있어도 된다.
또, 표시 제어부(62)는, 복수의 기판 처리 장치(1)에 접속된 공용 컴퓨터에 의해 실현되고, 각 기판 처리 장치(1)의 정보 기억부(61)에 저장되어 있는 각 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를, 당해 공용 컴퓨터의 디스플레이에 표시시켜도 된다. 이 경우, 공용 컴퓨터 및 복수의 기판 처리 장치(1) 등에 의해, 기판 처리 시스템이 구성된다. 또한, 상술의 정보 기억부(61)도 당해 공용 컴퓨터에 의해 실현되고, 각 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)는, 공용 컴퓨터의 정보 기억부(61)에 저장되어도 된다.
도 7 중의 좌측의 전환 윈도우(514)에는, 복수의 기판 처리 장치(1)의 명칭 「장치 A」, 「장치 B」, 「장치 C」 및 「장치 D」가 표시되어 있으며, 예를 들면, 당해 명칭 중 어느 1개를 클릭함으로써, 대응하는 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 디스플레이(87)에 표시된다. 도 7에서는, 흰색 문자로 나타내어져 있는 장치 A에 대응하는 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 표시되어 있다. 또한, 이와 같이, 복수의 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 디스플레이(87)에 표시되는 경우, 상술의 정리 항목군에는, 기판 처리 장치(1)의 명칭도 포함된다.
또, 도 7 중의 좌측의 전환 윈도우(514)에 있어서, 장치 A~장치 D를 통합한 「전체 장치」를 클릭함으로써, 4대의 기판 처리 장치(1)(즉, 장치 A~장치 D)를 합친 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 디스플레이(87)에 표시된다. 구체적으로는, 그래프(511)에는, 4대의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 매수의 합계가, 지정 집계 기간(4월 1일~15일)에 대해 처리일별로 나타내어진다. 또, 그래프(513)에는, 4대의 기판 처리 장치(1)를 합친 가동 상태의 내역이 나타내어진다.
표시 제어부(62)는, 기판 처리 장치(1)의 가동부인 3개의 로드 포트(11), 인덱서 로봇(12), 센터 로봇(22) 및 12개의 처리 유닛(21)(도 1 및 도 2 참조)에 대해, 각각 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를 디스플레이(87)에 표시시킬 수도 있다. 도 7 중의 전환 윈도우(514)에는, 현재 선택되어 있는 기판 처리 장치(1)인 장치 A의 가동부의 명칭(LP1~LP3, IR, CR 및 MPC1~MPC12)이 표시되어 있으며, 예를 들면, 당해 명칭 중 어느 1개를 클릭함으로써, 대응하는 가동부의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 디스플레이(87)에 표시된다. 또한, 장치 B~장치 D에 대해서도 동일하게, 각 가동부의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)가 표시 가능하다.
도 8은, 도 7 중의 그래프(511)를, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 처리일마다의 가동 상태의 내역(즉, 가동률의 상세)을 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(511a)(이하, 간단히 「그래프(511a)」로도 부른다.)로 변경한 것이다. 당해 그래프의 변경 등은, 예를 들면, 오퍼레이터가 마우스(86) 등을 조작하여, 디스플레이(87) 상에 있어서 그래프 표시의 풀다운 메뉴 등을 전환함으로써 실현된다. 후술하는 그래프 등의 변경에 대해서도 대략 동일하다. 이와 같이, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를 처리일(즉, 상술의 정리 항목군으로부터 선택된 1개의 정리 항목)에 대해 정리한 상태에서, 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킬 수도 있다. 환언하면, 디스플레이(87)에는, 분석 대상인 가동 상태 정보(72)가, 복수의 대구분 가동 상태로 분류된 상태에서, 처리일별로 나누어 표시된다. 그래프(511a)에서는, 예를 들면, 3개의 대구분 가동 상태인 「처리」, 「대기」 및 「정지」가, 대구분 가동 상태별로 상이한 색으로 색구분되어 표시된다. 도 8에서는, 그래프(513)는 도 7과 같은 것이며, 그래프(511a)와 동일하게 색구분되어 있다. 또한, 그래프(511a)는, 도 8에 예시하는 누적 세로 막대형 그래프 이외의 그래프(예를 들면, 누적 가로 막대형 그래프나 원 그래프 등)로서 표시되어도 된다. 후술하는 그래프(511b~511d, 526~528)에 대해서도 동일하다.
도 9는, 도 8 중의 그래프(511a)를, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 처리일마다의 가동 상태의 더 상세한 내역을 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(511b)(이하, 간단히 「그래프(511b)」로도 부른다.)로 변경한 것이다. 그래프(511a) 및 그래프(511b)를 각각, 「제1의 그래프」 및 「제2의 그래프」로 부르면, 제2의 그래프는, 제1의 그래프의 내역을 세분화한 것이다. 이와 같이, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를 처리일(즉, 상술의 정리 항목군으로부터 선택된 1개의 정리 항목)에 대해 정리한 상태에서, 복수의 소구분 가동 상태(표 1 참조)로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킬 수도 있다. 환언하면, 디스플레이(87)에는, 분석 대상인 가동 상태 정보(72)가, 복수의 소구분 가동 상태로 분류된 상태로, 처리일별로 나누어 표시된다.
도 9에서는, 도 8 중의 그래프(513)도, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태를 소구분 가동 상태로 분류한 상태로 나타내는 그래프(513b)로 변경되어 있다. 또, 도 9에서는, 그래프의 이해를 용이하게 하기 위해, 그래프(511b, 513b) 중의 대구분 가동 상태 「대기」에 포함되는 3개의 소구분 가동 상태를 굵은 선으로 둘러싼다. 또한, 실제의 그래프(511b)에 대해서는, 복수의 소구분 가동 상태를 나타내는 범례가 윈도우(515) 내에 표시되어 있다. 그래프(513b)에 대해서도 동일하게, 복수의 소구분 가동 상태를 나타내는 범례가 표시된다.
도 10은, 도 9 중의 그래프(511b) 중, 좌단의 그래프 요소(516b)를 확대하여 나타내는 도면이다. 그래프(511a, 511b)가 컬러 표시되는 경우, 그래프 요소(516b)에서는, 바람직하게는, 대구분 가동 상태 「대기」에 대응하는 3개의 소구분 가동 상태 「지시 대기」, 「정지 지시」 및 「준비 처리」는, 그래프(511a)(도 8 참조)에 있어서의 「대기」의 색과 동계색으로 색구분된다. 또, 바람직하게는, 대구분 가동 상태 「정지」에 대응하는 5개의 소구분 가동 상태 「전원 정지」, 「준비 전」, 「경보 처리 정지」, 「요복구 작업」 및 「복구 작업 중」은, 그래프(511a)에 있어서의 「정지」의 색과 동계색으로 색구분된다. 더욱 바람직하게는, 대구분 가동 상태 「처리」에 대응하는 소구분 가동 상태 「처리 중」은, 그래프(511a)에 있어서의 「처리」의 색과 동계색으로 착색된다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 내역을 용이하게 인식할 수 있다. 또한, 본 실시의 형태에 있어서의 「동계색」이란, 색상환에 있어서 인접하는 유사색, 및, 1개의 색의 색조(톤)를 변경한 색을 포함하는 개념이다.
그래프(511a)에 있어서 「대기」가 녹색으로 표시되어 있는 경우, 그래프(511b)에서는, 「지시 대기」, 「정지 지시」 및 「준비 처리」는 각각, 예를 들면, 진한 녹색, 중간의 녹색 및 연한 녹색으로 표시된다. 또, 그래프(511a)에 있어서 「정지」가 적색으로 표시되어 있는 경우, 그래프(511b)에서는, 「전원 정지」, 「준비 전」, 「경보 처리 정지」, 「요복구 작업」 및 「복구 작업 중」은 각각, 예를 들면, 농도가 서로 상이한 적색으로 표시된다. 그래프(513b)에 대해서도, 그래프(511b)와 동일하게 착색되어 표시된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 상술의 처리일마다의 기판(9)의 처리 매수를 나타내는 그래프(511)(도 7 참조)와, 처리일마다의 가동 상태를 나타내는 그래프(511a) 및/또는 그래프(511b)(도 8 및 도 9 참조)가, 디스플레이(87)에 동시에 표시되어도 된다. 혹은, 처리일마다의 가동 상태를 대구분 가동 상태로 분류하여 나타내는 그래프(511a)와, 처리일마다의 가동 상태를 소구분 가동 상태로 분류하여 나타내는 그래프(511b)가, 디스플레이(87)에 동시에 표시되어도 된다.
도 11에서는, 도 9 중의 그래프(511b)에 있어서 가동 상태가 나타내어지는 복수의 처리일 중, 하나의 처리일(예를 들면, 4/1)에 대해, 로드 포트(11)마다의 가동 상태의 상세한 내역을 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(511c)(이하, 간단히 「그래프(511c)」로도 부른다.)가, 디스플레이(87)에 표시되어 있다. 환언하면, 표시 제어부(62)는, 로드 포트(11)의 명칭(즉, LP1~LP3)을 상술의 정리 항목으로서, 소구분 가동 상태로 분류된 로드 포트군(110)에 관한 가동 상태 정보(72)를 당해 정리 항목에 대해 정리하고, 로드 포트(11)별로 병기한 상태에서, 디스플레이(87)에 그래프(511c)로서 표시시킨다. 이에 의해, 로드 포트군(110)에 포함되는 복수의 로드 포트(11)의 가동 상태를, 용이하게 비교할 수 있다. 또한, 그래프(511c)에서는, 대구분 가동 상태로 분류된 로드 포트군(110)의 가동 상태 정보(72)가 표시되어도 된다.
도 12에서는, 도 9 중의 그래프(511b)에 있어서 가동 상태가 나타내어지는 복수의 처리일 중, 하나의 처리일(예를 들면, 4/1)에 대해, 처리 유닛(21)마다의 가동 상태의 상세한 내역을 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(511d)(이하, 간단히 「그래프(511d)」로도 부른다.)가, 디스플레이(87)에 표시되어 있다. 환언하면, 표시 제어부(62)는, 처리 유닛(21)의 명칭(즉, MPC1~MPC12)을 상술의 정리 항목으로서, 소구분 가동 상태로 분류된 처리 유닛군(210)에 관한 가동 상태 정보(72)를 당해 정리 항목에 대해 정리하고, 처리 유닛(21)별로 병기한 상태에서, 디스플레이(87)에 그래프(511d)로서 표시시킨다. 이에 의해, 처리 유닛군(210)에 포함되는 복수의 처리 유닛(21)의 가동 상태를, 용이하게 비교할 수 있다. 또한, 그래프(511d)에서는, 대구분 가동 상태로 분류된 처리 유닛군(210) 가동 상태 정보(72)가 표시되어도 된다.
상술의 가동 상태 정보(72)는, 각 가동부의 가동 상태의 시간적 내역에 더하여, 각 가동부의 가동 상태에 관련지어진 당해 가동 상태의 시작점 및 종료점인 타임 스탬프를 포함한다. 예를 들면, 로드 포트(11)의 가동 상태가, 소구분 가동 상태의 「지시 대기」로부터 「처리 중」으로 이행했을 경우, 「지시 대기」의 종료점(즉, 종료 시각), 및, 「처리 중」의 시작점(즉, 개시 시각)이 타임 스탬프로서 가동 상태 정보(72)에 포함된다. 또, 로드 포트(11)의 가동 상태가, 소구분 가동 상태의 「처리 중」으로부터 「준비 처리」로 이행했을 경우, 「처리 중」의 종료점(즉, 종료 시각), 및, 「준비 처리」의 시작점(즉, 개시 시각)이 타임 스탬프로서 가동 상태 정보(72)에 포함된다.
구체적으로는, 「지시 대기」 상태인 로드 포트(11)에 대해, 상술의 가동 제어부로부터 「처리 중」에 대응하는 지령 신호 등이 발신되면, 당해 지령 신호 등이 발신된 시각이, 「지시 대기」의 종료점 및 「처리 중」의 시작점으로서 정보 기억부(61)에 의해 취득되고, 타임 스탬프로서 가동 상태 정보(72)에 포함된다. 또, 「처리 중」 상태인 로드 포트(11)에 대해, 상술의 가동 제어부로부터 「준비 처리」에 대응하는 지령 신호 등이 발신되면, 당해 지령 신호 등이 발신된 시각이, 「처리 중」의 종료점 및 「준비 처리」의 시작점으로서 정보 기억부(61)에 의해 취득되고, 타임 스탬프로서 가동 상태 정보(72)에 포함된다.
표시 제어부(62)는, 상술의 타임 스탬프에 의거하여, 가동부의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(이른바, 타임 라인)를 디스플레이(87)에 표시시킬 수 있다. 도 13은, 1개의 로드 포트(11)의 가동 상태의 시계열 표시(517)를 나타내는 도면이다. 시계열 표시(517)의 각 직사각형은, 당해 로드 포트(11)의 가동 상태의 소구분 가동 상태에 대응한다. 도 13에서는, 각 소구분 가동 상태로의 평행 사선의 부여를 생략하고 있다. 윈도우(518)에는, 당해 로드 포트(11)의 각 소구분 가동 상태의 타임 스탬프가 표시된다. 오퍼레이터는, 시계열 표시(517) 및 당해 타임 스탬프에 의거하여, 가동부의 가동 상태의 경시적 변화를 용이하게 인식할 수 있다. 또한, 기판 처리 장치(1)에서는, 로드 포트(11) 이외의 가동부(예를 들면, 처리 유닛(21))의 가동 상태의 시계열 표시(517)가 디스플레이(87)에 표시되어도 된다. 또, 복수의 가동부의 가동 상태의 시계열 표시(517)가, 가동부별로 병기된 상태로 디스플레이(87)에 동시에 표시되어도 된다.
다음에, 디스플레이(87)에 표시되는 상술의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를 이용한 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 해석에 대해 설명한다. 도 14는, 가동 상태 해석의 흐름의 일례를 나타내는 도면이다.
오퍼레이터는, 우선, 도 15에 나타내는 바와 같이, 상술의 4대의 기판 처리 장치(1)(즉, 장치 A~장치 D)를 합친 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)를, 디스플레이(87)에 표시시킨다. 막대 그래프(521)에는, 4대의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 매수의 합계가, 상술의 지정 집계 기간(4월 1일~15일)에 대해 처리일별로 나타내어진다. 환언하면, 처리 결과 정보(71)는, 기판(9)의 처리일에 대해 정리된 상태에서 그래프(521)로서 표시된다(단계 S11). 또, 그래프(523)에는, 4대의 기판 처리 장치(1)를 합친 가동 상태의 내역이 나타내어진다. 윈도우(522)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 총 처리 매수(즉, 합계 생산량)가 표시된다.
오퍼레이터는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 총 처리 매수가 통상보다 적고, 다른 처리일보다 처리 매수가 적은 처리일(예를 들면, 4/1 및 4/2)이 존재하는 것을 확인하면, 도 16에 나타내는 바와 같이, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)마다의 처리 매수를 나타내는 막대 그래프(525)를 디스플레이(87)에 표시시킨다(단계 S12). 구체적으로는, 오퍼레이터에 의한 조작에 따라, 표시 제어부(62)가, 처리 결과 정보(71)에 의거한 그래프(525)를 디스플레이(87)에 표시시킨다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 어느 기판 처리 장치(1)가 처리 매수 감소의 원인인지를 확인할 수 있다.
오퍼레이터는, 명칭이 「장치 A」인 기판 처리 장치(1)의 지정 집계 기간에 있어서의 처리 매수가, 다른 기판 처리 장치(1)보다 적은 것을 확인하면, 도 17에 나타내는 바와 같이, 지정 집계 기간에 있어서의 장치 A의 처리일마다의 가동 상태의 내역을 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(526)(이하, 간단히 「그래프(526)」로도 부른다.)를 디스플레이(87)에 표시시킨다(단계 S13). 환언하면, 장치 A에 따른 가동 상태 정보(72)가, 기판(9)의 처리일에 대해 정리된 상태에서 복수의 대구분 가동 상태로 분류되어 표시된다. 구체적으로는, 오퍼레이터가 전환 윈도우(524)를 조작함으로써, 표시 제어부(62)가 가동 상태 정보(72)에 의거하여 그래프(526)를 디스플레이(87)에 표시시킨다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리 매수 감소의 원인(즉, 처리 결과의 악화 원인)으로 지목되는 1개 이상의 대구분 가동 상태를, 용이하게 인식할 수 있다. 이하, 오퍼레이터가 디스플레이(87)에 표시시키는 정보는, 특별히 언급이 없는 한, 장치 A의 것이다.
또한, 단계 S12와 단계 S13 사이에 있어서, 장치 A의 처리일마다의 처리 매수를 나타내는 막대 그래프를 디스플레이(87)에 표시시켜도 된다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 처리 매수가 적은 처리일(예를 들면, 4/1 및 4/2)에 있어서, 장치 A가 처리 매수 감소의 원인인 것을 명확하게 인식할 수 있다.
오퍼레이터는, 단계 S13에 있어서, 복수의 대구분 가동 상태 중 「대기」 상태가 처리 매수 감소의 원인이라고 지목하면, 「대기」 상태를 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킨다. 본 실시의 형태에서는, 도 18에 나타내는 바와 같이, 지정 집계 기간에 있어서의 장치 A의 처리일마다의 가동 상태의 내역에 대해, 복수의 대구분 가동 상태가 각각 소구분 가동 상태로 분류된 누적 세로 막대형 그래프(527)(이하, 간단히 「그래프(527)」로도 부른다.)가, 디스플레이(87)에 표시된다(단계 S14). 이에 의해, 오퍼레이터는, 「대기」 상태에 포함되는 복수의 소구분 가동 상태 중, 처리 매수 감소의 원인(즉, 처리 결과의 악화 원인)으로 지목되는 1개 이상의 소구분 가동 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
오퍼레이터는, 「대기」 상태에 포함되는 복수의 소구분 가동 상태 중, 「지시 대기」 상태가 처리 매수 감소의 원인이라고 지목하면, 기판 처리 장치(1)의 가동부군에 있어서, 「지시 대기」 상태에 관련된 가동부의 집합인 관련 가동부군을 선택한다. 이 경우, 기판(9)을 처리할 수 있는 상태임에도 불구하고, 기판(9)의 처리가 행해지지 않은(즉, 「지시 대기」 상태인) 점에서, 처리 예정의 기판(9)이 기판 처리 장치(1)에 반입되어 있지 않은 시간(즉, 캐리어(95)의 반입 대기 시간)이 긴 것이 상정되기 때문에, 오퍼레이터는, 복수의 로드 포트(11)를 관련 가동부군으로서 선택한다. 그리고, 도 19에 나타내는 바와 같이, 다른 처리일보다 처리 매수가 적은 처리일(예를 들면, 4/1)에 대해, 복수의 로드 포트(11)의 가동 상태의 내역을 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 나타내는 누적 세로 막대형 그래프(528)(이하, 간단히 「그래프(528)」로도 부른다.)를 디스플레이(87)에 표시시킨다(단계 S15). 그래프(528)에서는, 복수의 로드 포트(11)의 각각에 있어서 「지시 대기」 상태가 길기 때문에, 오퍼레이터는, 각 로드 포트(11)에 있어서 캐리어(95)의 반입 대기가 발생했다고 짐작을 할 수 있다.
오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)의 상세한 가동 상태를 확인하기 위해, 도 20에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(1)(즉, 장치 A)의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(531)를 디스플레이(87)에 표시시킨다(단계 S16). 도 20에서는, 시계열 표시(531) 중, 기판 처리 장치(1)의 「지시 대기」 상태가 긴 시간대를 확대하여 표시하고 있다.
다음에, 오퍼레이터는, 도 21에 나타내는 바와 같이, 상술의 관련 가동부군(즉, 로드 포트군(110))의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(532)를 디스플레이(87)에 표시시킨다(단계 S17). 도 21에서는, 각 로드 포트(11)의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(532)가, 로드 포트(11)별로 병기된 상태에서, 기판 처리 장치(1)의 시계열 표시(531)와 함께 디스플레이(87)에 표시된다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)의 시계열과 상기 관련 가동부군의 시계열을, 용이하게 비교할 수 있다.
오퍼레이터는, 시계열 표시(531)와 시계열 표시(532)를 비교하여, 기판 처리 장치(1)의 「지시 대기」 상태와 로드 포트군(110)의 「지시 대기」 상태의 타이밍이 대략 일치하고 있는 것을 확인한다. 이에 의해, 기판 처리 장치(1)(장치 A)의 4/1에 있어서의 처리 매수 감소의 원인(즉, 처리 결과의 악화 원인)은, 캐리어(95)의 반입량 부족에 의한 「지시 대기」 상태의 증가라고 특정할 수 있다(단계 S18).
이상으로 설명한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 로드 포트군(110)과, 처리 유닛군(210)과, 반송 기구(상기 예에서는, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22))와, 정보 기억부(61)와, 정보 표시부(즉, 디스플레이(87))와, 표시 제어부(62)를 구비한다. 로드 포트군(110)은, 복수의 기판(9)이 수납된 캐리어(95)를 유지하는 로드 포트(11)의 집합이다. 처리 유닛군(210)은, 기판(9)의 처리가 행해지는 처리 유닛(21)의 집합이다. 반송 기구는, 로드 포트군(110)과 처리 유닛군(210) 사이에서 기판(9)을 반송한다. 정보 기억부(61)는, 로드 포트군(110), 처리 유닛군(210) 및 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보(70)를 저장한다. 표시 제어부(62)는, 가동 정보(70)를 소정의 표시 양태로 디스플레이(87)에 표시시킨다.
가동 정보(70)는, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보(71)와, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 시간적 내역 및 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보(72)를 포함한다. 기판 처리 장치(1) 및 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 당해 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있다. 표시 제어부(62)는, 처리 결과 정보(71)를, 기판 처리 장치(1)의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 디스플레이(87)에 표시시킨다. 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 복수의 대구분 가동 상태 및 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킨다. 이에 의해, 디스플레이(87)를 보는 오퍼레이터는, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판(9)의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식할 수 있다.
상술한 바와 같이, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킬 때에, 대구분 가동 상태별로 색구분된 제1의 그래프(예를 들면, 도 8의 누적 세로 막대형 그래프(511a))로 표시시키는 것이 바람직하다. 또, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킬 때에, 소구분 가동 상태별로 색구분된 제2의 그래프(예를 들면, 도 9의 누적 세로 막대형 그래프(511b))로 표시시키는 것이 바람직하다. 그리고, 당해 제2의 그래프에 있어서, 하나의 대구분 가동 상태에 대응하는 복수의 소구분 가동 상태는, 제1의 그래프에 있어서의 당해 하나의 대구분 가동 상태의 색과 동계색으로 색구분되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 가동부의 가동 상태의 대략적인 내역 및 상세한 내역을, 서로 대응지어 용이하게 인식할 수 있다.
상술한 바와 같이, 가동 상태 정보(72)는, 가동부의 가동 상태에 관련지어진 가동 상태의 시작점 및 종료점인 타임 스탬프를 포함하는 것이 바람직하다. 또, 표시 제어부(62)는, 당해 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(예를 들면, 도 13의 시계열 표시(517))를 디스플레이(87)에 표시시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 가동부의 가동 상태의 경시적 변화를 용이하게 인식할 수 있다.
상술한 바와 같이, 표시 제어부(62)는, 로드 포트군(110)에 관한 가동 상태 정보(72)를, 로드 포트(11)별로 병기한 상태에서(예를 들면, 도 11의 그래프(511c)와 같이) 디스플레이(87)에 표시시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 로드 포트군(110)에 포함되는 복수의 로드 포트(11)의 가동 상태를 용이하게 비교할 수 있다.
상술한 바와 같이, 표시 제어부(62)는, 처리 유닛군(210)에 관한 가동 상태 정보(72)를, 처리 유닛(21)별로 병기한 상태에서(예를 들면, 도 12의 그래프(511d)와 같이) 디스플레이(87)에 표시시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 처리 유닛군(210)에 포함되는 복수의 처리 유닛(21)의 가동 상태를 용이하게 비교할 수 있다.
상술한 바와 같이, 표시 제어부(62)는, 기판 처리 장치(1)와 같은 구성을 구비하는 다른 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72)도, 상기 디스플레이(87)에 표시시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 복수의 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 및 가동 상태를 용이하게 비교할 수 있다. 또, 복수의 기판 처리 장치(1)의 처리 결과를 용이하게 집계할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 해석을 행하는 해석 방법은, 상술의 기판 처리 장치(1)에 있어서, 처리 결과 정보(71)를 기판 처리 장치(1)의 임의의 가동 기간에 대해 정리한 상태로 정보 표시부(즉, 디스플레이(87))에 표시시키는 공정(단계 S11)과, 가동 상태 정보(72)를 기판 처리 장치(1)의 당해 가동 기간에 대해 정리한 상태에서 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시키는 공정(단계 S13)과, 복수의 대구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 대구분 가동 상태를 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 디스플레이(87)에 표시시키는 공정(단계 S14)과, 복수의 소구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 소구분 가동 상태에 주목하여, 가동부군 중 하나의 소구분 가동 상태에 관련된 가동부의 집합인 관련 가동부군(상기 예에서는, 로드 포트군(110))을 선택하고, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(상기 예에서는, 시계열 표시(531)), 및, 관련 가동부군 각각의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시(상기 예에서는, 시계열 표시(532))를 디스플레이(87)에 표시시키는 공정(단계 S16~S17)을 구비한다. 이에 의해, 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리 결과의 악화 원인을 용이하게 특정할 수 있다.
상술의 예에서는, 기판 처리 장치(1)의 컴퓨터(8)에, 가동 정보(70)의 표시에 따른 프로그램(89)이 미리 기억되어 있는데, 이것에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 당해 프로그램(89)은, 이미 사용되고 있는 기판 처리 장치(1)에 나중에 도입(즉, 레트로피트)되어도 된다. 이 경우, 가동 정보(70)를 소정의 표시 양태로 디스플레이(87)에 표시시키는 당해 프로그램(89)이, 컴퓨터(8)에 의해 실행됨으로써, 처리 결과 정보(71)가, 기판 처리 장치(1)의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태로 디스플레이(87)에 표시된다. 또, 가동 상태 정보(72)가, 당해 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태에서, 복수의 대구분 가동 상태 및 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류되어 디스플레이(87)에 표시된다. 이에 의해, 상기와 동일하게, 디스플레이(87)를 보는 오퍼레이터가, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판(9)의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식할 수 있다.
또, 상술의 예에서는, 가동 정보(70)의 표시에 따른 구성은 기판 처리 장치(1)에 포함되어 있는데, 당해 구성은, 기판 처리 장치(1)와는 다른 표시 장치로서 설치되어도 된다. 이 경우, 당해 표시 장치는, 정보 표시부(즉, 디스플레이(87))와, 표시 제어부(62)를 구비한다. 표시 제어부(62)는, 가동 정보(70)를 소정의 표시 양태로 디스플레이(87)에 표시시킨다. 표시 제어부(62)는, 처리 결과 정보(71)를, 기판 처리 장치(1)의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 디스플레이(87)에 표시시킨다. 또, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 복수의 대구분 가동 상태 및 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 디스플레이(87)에 표시시킨다. 이에 의해, 상기와 동일하게, 디스플레이(87)를 보는 오퍼레이터는, 가동부의 상세한 가동 상태를 기판(9)의 처리 결과와 관련지어 용이하게 인식할 수 있다. 또한, 당해 표시 장치는, 1개의 기판 처리 장치(1)의 가동 정보(70)를 표시해도 되고, 복수의 기판 처리 장치(1)의 가동 정보(70)를 표시해도 된다.
도 22는, 디스플레이(87)에 있어서의 표시에 대해, 도 7 등과는 상이한 예를 나타내는 도면이다. 도 22에 나타내는 예에서는, 소정의 지정 집계 기간(4월 1일~15일)에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 처리 결과 정보(71)(도 6 참조)가 디스플레이(87)에 표시되어 있다. 구체적으로는, 지정 집계 기간에 있어서 기판 처리 장치(1)에서 처리된 기판(9)의 처리 매수가, 여러 가지 시점으로 정리된 상태로 표시 제어부(62)(도 5 참조)에 의해 디스플레이(87)에 표시되어 있다.
도 22 중의 윈도우(531)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 처리 결과 정보(71)와, 소정의 참조 집계 기간에 있어서의 처리 결과 정보(이하, 「참조 처리 결과 정보」로도 부른다.)가, 예를 들면 테이블 형식으로 비교 가능하게 표시된다. 도 22에 나타내는 예에서는, 기판 처리 장치(1)에 대해, 지정 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 처리 매수, 참조 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 처리 매수, 및, 지정 집계 기간과 참조 집계 기간의 기판(9)의 처리 매수의 차가, 윈도우(531)에 수치(도 22에서는, 당해 수치를 「****」로 나타낸다.)로 표시된다. 참조 처리 결과 정보는, 미리 준비되어 정보 기억부(61)(도 5 참조)에 기억되어 있다. 참조 집계 기간은, 윈도우(531)의 상측부에 표시되어 있으며, 도 22에 나타내는 예에서는, 3월 1일~15일이다. 지정 집계 기간 및 참조 집계 기간은 적절히 변경되어도 된다. 또, 참조 집계 기간의 길이는, 지정 집계 기간의 길이와 같아도 되고, 상이해도 된다. 윈도우(531)에서는, 기판(9)의 처리 매수 이외의 정보(예를 들면, 단위 시간당 기판(9)의 처리 매수 등)가, 당해 처리 매수를 대신하여, 혹은, 당해 처리 매수와 함께 표시되어도 된다.
표시 제어부(62)는, 처리 결과 정보(71)를 상술의 정리 항목군에 포함되는 복수의 정리 항목에 대해 각각 정리한 상태로, 윈도우(532~536)에 표시한다. 도 23~도 27은 각각, 윈도우(532~536)를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 23에 나타내는 바와 같이, 윈도우(532)에는, 도 7 중의 그래프(511)와 동일하게, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 처리일을 정리 항목으로서 정리한 막대 그래프가 표시된다. 윈도우(532) 중의 그래프의 가로축은 처리일을 나타내고, 세로축은 기판(9)의 처리 매수를 나타낸다.
도 24에 나타내는 바와 같이, 윈도우(533)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 가동 시간대를 정리 항목으로서 정리한 막대 그래프가 표시된다. 윈도우(533) 중의 그래프의 세로축은 가동 시간대를 나타내고, 가로축은 기판(9)의 처리 매수를 나타낸다. 당해 그래프에서는, 1일(24시간)을 24의 시간대로 등분할하여, 지정 집계 기간에 있어서의 각 시간대의 기판(9)의 합계 처리 매수를 나타내고 있다. 또한, 1일의 분할수(즉, 몇 개의 가동 시간대로 분할할지)는 여러 가지로 변경되어도 된다. 또, 1일을 복수의 가동 시간대로 분할할 때는, 반드시 등분할할 필요는 없으며, 예를 들면, 중요한 시간대는 세세하게 분할하고, 별로 중요하지 않은 시간대는 성기게 분할해도 된다.
도 25에 나타내는 바와 같이, 윈도우(534)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 가동 요일을 정리 항목으로서 정리한 막대 그래프가 표시된다. 윈도우(534) 중의 그래프의 세로축은 가동 요일을 나타내고, 가로축은 기판(9)의 처리 매수를 나타낸다. 당해 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 각 요일의 기판(9)의 합계 처리 매수를 나타내고 있다. 또한, 당해 그래프에서는, 복수의 요일(예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 사용 시간이 짧은 2개의 요일)을 1개의 그래프 요소로 통합하여 나타내도 된다.
도 26에 나타내는 바와 같이, 윈도우(535)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 처리 유닛군(210)의 처리 유닛(21)별로 병기한 상태로 나타내는 막대 그래프가 표시된다. 환언하면, 당해 그래프는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 처리 유닛(21)의 명칭(즉, 식별자)을 정리 항목으로서 정리한 그래프이다. 윈도우(535) 중의 그래프의 세로축은 처리 유닛(21)의 명칭을 나타내고, 가로축은 기판(9)의 처리 매수를 나타낸다. 당해 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 각 처리 유닛(21)에 있어서의 기판(9)의 합계 처리 매수를 나타내고 있다.
도 27에 나타내는 바와 같이, 윈도우(536)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 기판(9)의 처리 매수를, 처리 레시피의 종류를 정리 항목으로서 정리한 막대 그래프가 표시된다. 윈도우(536) 중의 그래프의 세로축은 처리 레시피의 종류를 나타내고, 가로축은 기판(9)의 처리 매수를 나타낸다. 당해 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 각 처리 레시피에 의한 기판(9)의 합계 처리 매수를 나타내고 있다.
도 28은, 디스플레이(87)에 있어서의 표시의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 28에 나타내는 예에서는, 상술의 지정 집계 기간(4월 1일~15일)에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태 정보(72)(도 6 참조)가 디스플레이(87)에 표시되어 있다. 구체적으로는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 시간적 내역, 및, 기판 처리 장치(1)의 가동부의 가동 상태의 시간적 내역이, 여러 가지 시점으로 정리된 상태로 표시 제어부(62)(도 5 참조)에 의해 디스플레이(87)에 표시되어 있다.
도 28 중의 윈도우(541)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(72)와, 상술의 참조 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(이하, 「참조 가동 상태 정보」로도 부른다.)가, 예를 들면 테이블 형식으로 비교 가능하게 표시된다. 도 28에 나타내는 예에서는, 기판 처리 장치(1)에 대해, 지정 집계 기간에 있어서의 소구분 가동 상태의 시간적 내역, 참조 집계 기간에 있어서의 소구분 가동 상태의 시간적 내역, 및, 지정 집계 기간과 참조 집계 기간의 당해 시간적 내역의 차가, 윈도우(541)에 수치(도 28에서는, 당해 수치를 「****」로 나타낸다.)로 표시된다. 당해 수치는, 예를 들면, 각 소구분 가동 상태의 합계 시간의 지정 집계 기간 또는 참조 집계 기간에서 차지하는 비율(%)이다. 참조 가동 상태 정보는, 미리 준비되어 정보 기억부(61)(도 5 참조)에 기억되어 있다. 참조 집계 기간은, 윈도우(531)의 상측부에 표시되어 있으며, 도 28에 나타내는 예에서는, 3월 1일~15일이다. 지정 집계 기간 및 참조 집계 기간은 적절히 변경되어도 된다. 또, 참조 집계 기간의 길이는, 지정 집계 기간의 길이와 같아도 되고, 상이해도 된다. 또한, 윈도우(541)의 오른쪽 옆에 배치된 윈도우(547)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 소구분 가동 상태의 시간적 내역이 원 그래프로 표시되어 있다.
표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를 상술의 정리 항목군에 포함되는 복수의 정리 항목에 대해 각각 정리한 상태로, 윈도우(542~546)에 표시한다. 도 29~도 33은 각각, 윈도우(542~546)를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 29에 나타내는 바와 같이, 윈도우(542)에는, 도 18 중의 그래프(527)와 동일하게, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을, 처리일을 정리 항목으로서 정리한 누적 세로 막대형 그래프가 표시된다. 윈도우(542) 중의 그래프의 가로축은 처리일을 나타내고, 세로축은 소구분 가동 상태의 시간적 내역(즉, 1일의 기판 처리 장치(1)의 사용 시간에 있어서의 각 소구분 가동 상태의 합계 시간이 차지하는 비율)을 나타낸다.
도 30에 나타내는 바와 같이, 윈도우(543)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을, 가동 시간대를 정리 항목으로서 정리한 누적 가로 막대형 그래프가 표시된다. 윈도우(543) 중의 그래프의 세로축은 가동 시간대를 나타내고, 가로축은 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타낸다. 당해 그래프에서는, 1일(24시간)을 24의 시간대로 등분할하여, 지정 집계 기간에 있어서의 각 시간대의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타내고 있다. 또한, 1일의 분할수(즉, 몇 개의 가동 시간대로 분할할지)는 여러 가지로 변경되어도 된다. 또, 1일을 복수의 가동 시간대로 분할할 때는, 반드시 등분할할 필요는 없으며, 예를 들면, 중요한 시간대는 세세하게 분할하고, 별로 중요하지 않은 시간대는 성기게 분할해도 된다.
도 31에 나타내는 바와 같이, 윈도우(544)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을, 가동 요일을 정리 항목으로서 정리한 누적 가로 막대형 그래프가 표시된다. 윈도우(544) 중의 그래프의 세로축은 가동 요일을 나타내고, 가로축은 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타낸다. 당해 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 각 요일의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타내고 있다. 또한, 당해 그래프에서는, 복수의 요일(예를 들면, 기판 처리 장치(1)의 사용 시간이 짧은 2개의 요일)을 1개의 그래프 요소로 통합하여 나타내도 된다.
도 32에 나타내는 바와 같이, 윈도우(545)에는, 상술의 로드 포트군(110), 반송 기구(즉, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)), 그리고, 처리 유닛군(210)의 각각에 대해, 지정 집계 기간에 있어서의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 누적 가로 막대형 그래프가 표시된다. 환언하면, 당해 그래프는, 지정 집계 기간에 있어서의 상기 가동부군에 관한 가동 상태 정보(72)를, 당해 가동부군에 포함되는 가동부의 종류별로 병기한 상태로 표시한 그래프이다. 더욱 환언하면, 당해 그래프는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을, 가동부의 종류를 정리 항목으로서 정리한 그래프이다. 윈도우(545) 중의 그래프의 세로축은 가동부의 종류를 나타내고, 가로축은 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타낸다. 또한, 세로축의 LP는 로드 포트군(110)을 나타내고, Robot은 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)을 나타내며, MPC는 처리 유닛군(210)을 나타낸다.
도 33에 나타내는 바와 같이, 윈도우(546)에는, 지정 집계 기간에 있어서의 로드 포트군(110)에 관한 가동 상태 정보(72)를, 로드 포트(11)별로 병기한 상태로 나타내는 누적 가로 막대형 그래프가 표시된다. 환언하면, 당해 그래프는, 지정 집계 기간에 있어서의 로드 포트군(110)의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을, 로드 포트(11)의 명칭(즉, 식별자)을 정리 항목으로서 정리한 그래프이다. 윈도우(546) 중의 그래프의 세로축은 로드 포트(11)의 명칭을 나타내고, 가로축은 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타낸다. 당해 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 각 로드 포트(11)에 있어서의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타내고 있다.
또한, 윈도우(546)에는, 예를 들면, 지정 집계 기간에 있어서의 처리 유닛군(210)에 관한 가동 상태 정보(72)를, 처리 유닛(21)별로 병기한 상태로 나타내는 그래프가 표시되어도 된다. 혹은, 윈도우(546)에는, 예를 들면, 지정 집계 기간에 있어서의 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)에 관한 가동 상태 정보(72)를, 로봇별로 병기한 상태로 나타내는 그래프가 표시되어도 된다.
상술의 윈도우(542~546)에 표시되는 그래프에 있어서, 지정 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(72) 중, 참조 가동 상태 정보와 비교하여 소정의 정도 이상 악화되어 있는 소구분 가동 상태가 존재하는 경우, 표시 제어부(62)는, 그래프 중에 있어서 당해 소구분 가동 상태를 나타내는 부분을 하이라이트 표시하는(즉, 주위보다 눈에 띄도록 표시하는) 것이 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들면, 도 33에 나타내는 로드 포트(11)마다의 소구분 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 그래프에 있어서, LP1의 「지시 대기」의 시간적 내역이, 참조 가동 상태 정보에 있어서의 LP1의 「지시 대기」의 시간적 내역보다 소정 배(예를 들면, 2배) 이상 많은 경우, 도 33의 LP1의 「지시 대기」의 부분이, 주위에 비해 밝게 표시되거나, 점멸하거나 한다. 이에 의해, 어떠한 이상이 발생했을 가능성이 있는 로드 포트(11), 및, 당해 로드 포트(11)에 있어서 이상이 발생했을 가능성이 높은 소구분 가동 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
또, 윈도우(542~546)에 표시되는 그래프에서는, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 대구분 가동 상태의 시간적 내역이 표시되어도 된다. 이 경우도, 상기와 대략 동일하게, 지정 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(72) 중, 참조 가동 상태 정보와 비교하여 소정의 정도 이상 악화되어 있는 대구분 가동 상태가 존재하는 경우, 표시 제어부(62)는, 그래프 중에 있어서 당해 대구분 가동 상태를 나타내는 부분을 하이라이트 표시하는(즉, 주위보다 눈에 띄도록 표시하는) 것이 바람직하다.
도 22에 나타내는 테이블, 및, 도 23~도 27에 나타내는 그래프는, 1개의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 처리 결과 정보(71)를 표시한 것인데, 복수의 기판 처리 장치(1)를 포함하는 기판 처리 장치군에 있어서의 처리 결과 정보(71)가 동일하게 표시되어도 된다. 도 28에 나타내는 테이블, 및, 도 29~도 33에 나타내는 그래프는, 1개의 기판 처리 장치(1)에 있어서의 가동 상태 정보(72)를 표시한 것인데, 복수의 기판 처리 장치(1)를 포함하는 기판 처리 장치군에 있어서의 가동 상태 정보(72)가 동일하게 표시되어도 된다. 어느 경우도, 상술의 정리 항목군에는, 기판 처리 장치(1)의 명칭(즉, 식별자)이 포함된다.
이상으로 설명한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에서는, 상술의 정리 항목군은, 가동 기간, 가동 시간대, 가동 요일 및 처리 레시피 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함하고, 표시 제어부(62)는, 처리 결과 정보(71)를 당해 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 정보 표시부(즉, 디스플레이(87))에 표시 가능한 것이 바람직하다. 이에 의해, 디스플레이(87)를 보는 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 결과를, 여러 가지 각도로부터 용이하게 분석할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에서는, 소정의 참조 집계 기간에 있어서의 처리 결과 정보인 참조 처리 결과 정보가 미리 준비되어 있으며, 표시 제어부(62)는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 처리 결과 정보(71)와 참조 처리 결과 정보를 비교 가능하게 표시하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 지정 집계 기간에 있어서의 기판(9)의 처리에 이상이 발생했을 경우, 당해 이상의 존재를 용이하게 인식할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에서는, 표시 제어부(62)는, 가동부군에 관한 가동 상태 정보(72)를, 당해 가동부군에 포함되는 가동부의 종류별로 병기한 상태로 디스플레이(87)에 표시시키는 것이 바람직하다. 이에 의해, 지정 집계 기간에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 가동 상태를, 가동부의 종류별로 용이하게 확인할 수 있다. 또, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태에 이상이 발생했을 경우, 어느 종류의 가동부에 이상의 원인이 존재하는지의 분석을 용이하게 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에서는, 상술의 정리 항목군은, 가동 기간, 가동 시간대 및 가동 요일 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함하고, 표시 제어부(62)는, 가동 상태 정보(72)를, 당해 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 디스플레이(87)에 표시 가능한 것이 바람직하다. 이에 의해, 디스플레이(87)를 보는 오퍼레이터는, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태를, 여러 가지 각도로부터 용이하게 분석할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)에서는, 소정의 참조 집계 기간에 있어서의 처리 결과 정보인 참조 처리 결과 정보가 미리 준비되어 있으며, 표시 제어부(62)는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(72)를 표시하고, 당해 지정 집계 기간에 있어서의 가동 상태 정보(72) 중, 참조 가동 상태 정보와 비교하여 소정의 정도 이상 악화되어 있는 대구분 가동 상태 또는 소구분 가동 상태를 하이라이트 표시하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태에 이상이 발생했을 경우, 이상이 발생했을 가능성이 있는 가동부, 및, 당해 가동부에 있어서 이상의 원인이라고 생각할 수 있는 대구분 가동 상태 또는 소구분 가동 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
상술의 기판 처리 장치(1), 표시 장치, 프로그램(89) 및, 기판 처리 장치(1)의 가동 상태의 해석을 행하는 해석 방법에서는, 여러 가지 변경이 가능하다.
예를 들면, 당해 해석 방법에서는, 기판 처리 장치(1)의 처리 결과의 악화 원인으로서, 상술의 캐리어(95)의 반입량 부족에 의한 「지시 대기」 상태의 증가 이외의 것이 특정되어도 된다. 또, 상술의 관련 가동부군에 포함되는 가동부의 수는, 1 이상의 범위에서 여러 가지로 변경되어도 된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 디스플레이(87)에 표시되는 가동 정보(70)(즉, 처리 결과 정보(71) 및 가동 상태 정보(72))는, 처리 결과의 악화 원인의 특정 이외의 목적으로 사용되어도 된다. 또, 표시 제어부(62)는, 오퍼레이터로부터의 지시에 따라, 상기 이외의 여러 가지 그래프나 데이터 등을 디스플레이(87)에 표시시켜도 된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 가동 상태 정보(72)를 대구분 가동 상태로 분류하여 표시하는 그래프(예를 들면, 도 8의 누적 세로 막대형 그래프(511a))와, 가동 상태 정보(72)를 소구분 가동 상태로 분류하여 표시하는 그래프(예를 들면, 도 9의 누적 세로 막대형 그래프(511b))에 있어서, 서로 대응하는 대구분 가동 상태와 소구분 가동 상태는, 반드시 동계색으로 표시될 필요는 없다. 단, 대구분 가동 상태와 소구분 가동 상태의 대응 관계가 오퍼레이터에게 용이하게 인식 가능하도록, 대응하는 대구분 가동 상태와 소구분 가동 상태에서, 그래프 상의 육안 확인 가능한 특징(예를 들면, 해칭의 특징 등)을 공통화시키는 것이 바람직하다.
정보 기억부(61)에 기억되는 가동 정보는, 반드시, 가동부군에 포함되는 모든 가동부의 가동 상태 정보(72)를 포함할 필요는 없으며, 가동부군에 포함되는 가동부 중 적어도 일부의 가동부의 가동 상태 정보(72)를 포함하고 있으면 된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 가동부의 가동 상태의 시계열은, 반드시 디스플레이(87)에 표시될 필요는 없다.
기판 처리 장치(1)의 처리 블록(20)에는, 처리 유닛(21) 이외의 여러 가지 구조의 처리 유닛이 설치되어도 된다. 또, 당해 처리 유닛에 있어서, 기판(9)에 대한 액처리 이외의 여러 가지 처리가 행해져도 된다.
상술의 기판 처리 장치(1)는, 반도체 기판 이외에, 액정 표시 장치 또는 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치 등의 평면 표시 장치(Flat Panel Display)에 사용되는 유리 기판, 혹은, 다른 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 처리에 이용되어도 된다. 또, 상술의 기판 처리 장치(1)는, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 및 태양전지용 기판 등의 처리에 이용되어도 된다.
상기 실시의 형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했는데, 기술(旣述)의 설명은 예시적이며 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
1 기판 처리 장치
9 기판
11 로드 포트
12 인덱서 로봇
21 처리 유닛
22 센터 로봇
61 정보 기억부
62 표시 제어부
70 가동 정보
71 처리 결과 정보
72 가동 상태 정보
87 디스플레이
110 로드 포트군
210 처리 유닛군
S11~S18 단계

Claims (14)

  1. 기판 처리 장치로서,
    복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과,
    기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과,
    상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구와,
    상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 저장하는 정보 기억부와,
    정보 표시부와,
    상기 가동 정보를 소정의 표시 양태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 표시 제어부
    를 구비하고,
    상기 가동 정보는,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와,
    상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보
    를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분(大區分) 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분(小區分) 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있으며,
    상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키고,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킬 때에, 대구분 가동 상태별로 색구분된 제1의 그래프로 표시시키고,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시킬 때에, 소구분 가동 상태별로 색구분된 제2의 그래프로 표시시키고, 상기 제2의 그래프에 있어서, 하나의 대구분 가동 상태에 대응하는 복수의 소구분 가동 상태는, 상기 제1의 그래프에 있어서의 상기 하나의 대구분 가동 상태의 색과 동계색(同系色)으로 색구분되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가동 상태 정보는, 상기 가동부의 가동 상태에 관련지어진 상기 가동 상태의 시작점 및 종료점인 타임 스탬프를 포함하고,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시를 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동부군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 종류별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 상기 로드 포트군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 로드 포트별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 상기 처리 유닛군에 관한 상기 가동 상태 정보를, 처리 유닛별로 병기한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 정리 항목군은, 상기 가동 기간, 가동 시간대, 가동 요일 및 처리 레시피 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함하고,
    상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 정리 항목군은, 상기 가동 기간, 가동 시간대 및 가동 요일 중 1개 이상의 항목을 정리 항목으로서 포함하고,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 1개 이상의 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    소정의 참조 집계 기간에 있어서의 상기 처리 결과 정보인 참조 처리 결과 정보가 미리 준비되어 있으며,
    상기 표시 제어부는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 상기 처리 결과 정보와 상기 참조 처리 결과 정보를 비교 가능하게 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    소정의 참조 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보인 참조 가동 상태 정보가 미리 준비되어 있으며,
    상기 표시 제어부는, 선택된 지정 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보를 표시하고, 상기 지정 집계 기간에 있어서의 상기 가동 상태 정보 중, 상기 참조 가동 상태 정보와 비교하여 소정의 정도 이상 악화되어 있는 대구분 가동 상태 또는 소구분 가동 상태를 하이라이트 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 표시 제어부는, 상기 기판 처리 장치와 같은 구성을 구비하는 다른 기판 처리 장치의 상기 처리 결과 정보 및 상기 가동 상태 정보도, 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 기판 처리 장치의 가동 상태의 해석을 행하는 해석 방법으로서,
    a) 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리 결과 정보를 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과,
    b) 상기 가동 상태 정보를 상기 가동 기간에 대해 정리한 상태에서 상기 복수의 대구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과,
    c) 상기 복수의 대구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 대구분 가동 상태를 상기 복수의 소구분 가동 상태로 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정과,
    d) 상기 복수의 소구분 가동 상태 중, 처리 결과의 악화 원인으로 지목되는 하나의 소구분 가동 상태에 주목하여, 상기 가동부군 중 상기 하나의 소구분 가동 상태에 관련된 가동부의 집합인 관련 가동부군을 선택하고, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시, 및, 상기 관련 가동부군 각각의 가동 상태를 시계열로 나타내는 시계열 표시를 상기 정보 표시부에 표시시키는 공정
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 해석 방법.
  13. 복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과, 기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과, 상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구를 구비하는 기판 처리 장치의 가동 상태를 표시하는 표시 장치로서,
    정보 표시부와,
    상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 소정의 표시 양태로 상기 정보 표시부에 표시시키는 표시 제어부
    를 구비하고,
    상기 가동 정보는,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와,
    상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보
    를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있으며,
    상기 표시 제어부는, 상기 처리 결과 정보를, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태로 상기 정보 표시부에 표시시키고,
    상기 표시 제어부는, 상기 가동 상태 정보를, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리한 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류하여 상기 정보 표시부에 표시시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  14. 복수의 기판이 수납된 캐리어를 유지하는 로드 포트의 집합인 로드 포트군과, 기판의 처리가 행해지는 처리 유닛의 집합인 처리 유닛군과, 상기 로드 포트군과 상기 처리 유닛군 사이에서 기판을 반송하는 반송 기구를 구비하는 기판 처리 장치에 대해, 상기 로드 포트군, 상기 처리 유닛군 및 상기 반송 기구를 포함하는 가동부군의 가동에 관한 정보인 가동 정보를 소정의 표시 양태로 정보 표시부에 표시시키는, 저장 매체에 기록된, 프로그램으로서,
    상기 가동 정보는,
    상기 기판 처리 장치에 있어서의 기판의 처리 결과를 나타내는 처리 결과 정보와,
    상기 기판 처리 장치의 가동 상태의 시간적 내역 및 상기 가동부군에 포함되는 가동부의 가동 상태의 시간적 내역을 나타내는 가동 상태 정보
    를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치 및 상기 가동부의 가동 상태는 각각, 대분류인 복수의 대구분 가동 상태와, 상기 복수의 대구분 가동 상태를 더 분류한 복수의 소구분 가동 상태로, 계층적으로 분류되어 있으며,
    상기 프로그램이 컴퓨터에 의해 실행됨으로써,
    상기 처리 결과 정보가, 상기 기판 처리 장치의 임의의 가동 기간을 포함하는 소정의 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태로 상기 정보 표시부에 표시되고,
    상기 가동 상태 정보가, 상기 정리 항목군으로부터 선택된 정리 항목에 대해 정리된 상태에서, 상기 복수의 대구분 가동 상태 및 상기 복수의 소구분 가동 상태로 각각 분류되어 상기 정보 표시부에 표시되는 것을 특징으로 하는 프로그램.
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