JPS5878115A - テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズ - Google Patents
テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズInfo
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- JPS5878115A JPS5878115A JP56176828A JP17682881A JPS5878115A JP S5878115 A JPS5878115 A JP S5878115A JP 56176828 A JP56176828 A JP 56176828A JP 17682881 A JP17682881 A JP 17682881A JP S5878115 A JPS5878115 A JP S5878115A
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- lens
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B15/14—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective
- G02B15/145—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective having five groups only
- G02B15/1451—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective having five groups only the first group being positive
- G02B15/145127—Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective having five groups only the first group being positive arranged ++-++
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- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本尭−はテレセンドリンク照明系の高倍側の変倚域を増
大させる丸めのテレセンドリンク照明用補助コンデンサ
ーレンズに関する。
大させる丸めのテレセンドリンク照明用補助コンデンサ
ーレンズに関する。
従来、例えば投影検査ＩＩＩＩ／ＩＩｆｉにおけｈＩ１
１＠系では、ＩＩＩ走時の合焦１１ｉ１１による影響を
極力小さくするため、テレセントリック＠＠が採用堪れ
ている。そして、倍率を変化させても常に明るい投影像
を得るために、本願と同一出願人によゐ噴略５！＄１４
１９９７号、特願昭５ｌ−ｅａ？！９′号のととく対物
レンズの倍率変化に応じて照明領域を変えるととＯで自
る炭倍テレ曾ントリック照明系が提案されている。しか
じな′”がら照明系の変倍比には限界が６如、現実には
投影レンズの極低倍から超高倍への倍率比に比較して大
変小さい。そこで超高倍での明るさを確保するためテレ
セントリック照明系の高倍側の変倍域な増大させゐこと
が必要である。
１＠系では、ＩＩＩ走時の合焦１１ｉ１１による影響を
極力小さくするため、テレセントリック＠＠が採用堪れ
ている。そして、倍率を変化させても常に明るい投影像
を得るために、本願と同一出願人によゐ噴略５！＄１４
１９９７号、特願昭５ｌ−ｅａ？！９′号のととく対物
レンズの倍率変化に応じて照明領域を変えるととＯで自
る炭倍テレ曾ントリック照明系が提案されている。しか
じな′”がら照明系の変倍比には限界が６如、現実には
投影レンズの極低倍から超高倍への倍率比に比較して大
変小さい。そこで超高倍での明るさを確保するためテレ
セントリック照明系の高倍側の変倍域な増大させゐこと
が必要である。
従来は第１図のごと亀テレセントリック照明系において
コンデンサーレンズＬ（１と物体面０との間に第２Ｈの
如く収斂性のレンズ群りを付加し、禎照明物体０の近傍
に４光源像Ｂ′を形成″Ｓ＜て明る窃を増加させること
が一般に行なわれていた。しかし、この方式ではテレセ
ントリック１ｌＩｌ１０１に件が崩れるので一定機とし
ては好まし−くな（、また、光源像な被照明物体に近す
けすぎるとフィラメントが見え九シ、照明ムラＯ原因と
なる等不都合な点が多い、１０九めある程度光源像を被
照明物体よ）離さざるを得す、第８図Ｏどとく周辺光束
が有効ＫＩ！えな（な〉、光量の損失が多く能率が曳く
ない。ｔた、投影レンズはテレセンドリンクに設計書れ
てお如、その中でも特に作動距離の長いレンズであると
先玉の有効価も大急くなる九め、テレセントリック照明
から大急（崩れた照明をすると実際に偉形成に利用され
ない光がレンズに入射し、フレアー、ゴー・ストの原因
ともなる。
コンデンサーレンズＬ（１と物体面０との間に第２Ｈの
如く収斂性のレンズ群りを付加し、禎照明物体０の近傍
に４光源像Ｂ′を形成″Ｓ＜て明る窃を増加させること
が一般に行なわれていた。しかし、この方式ではテレセ
ントリック１ｌＩｌ１０１に件が崩れるので一定機とし
ては好まし−くな（、また、光源像な被照明物体に近す
けすぎるとフィラメントが見え九シ、照明ムラＯ原因と
なる等不都合な点が多い、１０九めある程度光源像を被
照明物体よ）離さざるを得す、第８図Ｏどとく周辺光束
が有効ＫＩ！えな（な〉、光量の損失が多く能率が曳く
ない。ｔた、投影レンズはテレセンドリンクに設計書れ
てお如、その中でも特に作動距離の長いレンズであると
先玉の有効価も大急くなる九め、テレセントリック照明
から大急（崩れた照明をすると実際に偉形成に利用され
ない光がレンズに入射し、フレアー、ゴー・ストの原因
ともなる。
本発明の目的は上述のとと自欠点を解決し、テレセンド
リンク照明系の光源及び光束を有効に使用しつつ高倍側
Ｏ変倍域な増大させ、明るくよ如為倍の照明を行なうこ
とので自るテレセントリック照明用補助コシャーヤーレ
ンズを得ることに奉る。
リンク照明系の光源及び光束を有効に使用しつつ高倍側
Ｏ変倍域な増大させ、明るくよ如為倍の照明を行なうこ
とので自るテレセントリック照明用補助コシャーヤーレ
ンズを得ることに奉る。
本実−によるテレセントリック照明用補助コンデンサー
レンズは、相！０１点距離Ｏ和だけ分離されて配置され
え第１と第３の２つの収斂性レンズ評を有し、所定のテ
レ曾ントリック照＠装置の物体ｌｌ１Ｋ挿入されて該所
定のテレセンドリンク照明装置による照−状態よ妙高倍
率のテレセンドリンク照明を達成するものである。
レンズは、相！０１点距離Ｏ和だけ分離されて配置され
え第１と第３の２つの収斂性レンズ評を有し、所定のテ
レ曾ントリック照＠装置の物体ｌｌ１Ｋ挿入されて該所
定のテレセンドリンク照明装置による照−状態よ妙高倍
率のテレセンドリンク照明を達成するものである。
以下、本発明を図画を用いて説明する。第３図は本発明
の基本構成を示す光路図である。
の基本構成を示す光路図である。
被照明物体０＠よシ収斂性の第１群レンズＬｌ及び同じ
く収斂性の第３群レンズＬ、よ〉構成され、被照明物体
０とテレセントリック照明系レンズＬ、との関に挿入さ
れた時、テレセントリック照明系の図示なき光源及び視
野絞）Ｋ対する共役関係、つｔｅ光源の位置は無限達即
ち平行光束系で６シ、かつ視野絞）の像を被照明物体０
上に形成するという状態を維持し九壕★照明領域を縮小
し照明開口を増大させる。この九めには第１群レンズＬ
ｈ第２群レンズＬ、（ＤＪＩ折力を夫々ｆ１ ｅ ’
１１第１レンズＬ１と第２群レンズＬ、１０間隔をｂ１
１第１レンズＬ、と被照明物体０との間隔を１１第２群
レンズＬ、と被照明物体０との間隔を６１補助コンデン
サーレンズによる変倍比をｌとすると、第１群レンズＬ
ａ１第２群レンズＬ、の焦点距離ｆ、、ｔ、及び間隔ｂ
１１第１レンズＬ、と被照明物体００間隔畠の諸量につ
いて次の条件を満足することが必要である。
く収斂性の第３群レンズＬ、よ〉構成され、被照明物体
０とテレセントリック照明系レンズＬ、との関に挿入さ
れた時、テレセントリック照明系の図示なき光源及び視
野絞）Ｋ対する共役関係、つｔｅ光源の位置は無限達即
ち平行光束系で６シ、かつ視野絞）の像を被照明物体０
上に形成するという状態を維持し九壕★照明領域を縮小
し照明開口を増大させる。この九めには第１群レンズＬ
ｈ第２群レンズＬ、（ＤＪＩ折力を夫々ｆ１ ｅ ’
１１第１レンズＬ１と第２群レンズＬ、１０間隔をｂ１
１第１レンズＬ、と被照明物体０との間隔を１１第２群
レンズＬ、と被照明物体０との間隔を６１補助コンデン
サーレンズによる変倍比をｌとすると、第１群レンズＬ
ａ１第２群レンズＬ、の焦点距離ｆ、、ｔ、及び間隔ｂ
１１第１レンズＬ、と被照明物体００間隔畠の諸量につ
いて次の条件を満足することが必要である。
ｔ／ａ＋ｔ／ｂ、 ”ｆ／ｆ、 自−−
ａｓ（１）１／（ｂ−ｂ＋ ）−１／（ａ＋ｂ）−１／
ｆ＊ ・・・・・（２）ｂ＝ｆ、＋ｆ、
・・・嗜＠＠）／ ＝ ｆ
＊／ｆｔ ・・・・・偵）ｄｔａ＝＠
＋ ｂ ・・・・・（５）上記ａ）、（
２））式はテレセントリック照明系中に設けられる図示
なき視舒欽シに対する共役関係を構えす４ので、ｔｌｌ
はＩＩＷＩＩＩ！シの共役点と第１１２１群も、との距
離を表わし゛ている。
ａｓ（１）１／（ｂ−ｂ＋ ）−１／（ａ＋ｂ）−１／
ｆ＊ ・・・・・（２）ｂ＝ｆ、＋ｆ、
・・・嗜＠＠）／ ＝ ｆ
＊／ｆｔ ・・・・・偵）ｄｔａ＝＠
＋ ｂ ・・・・・（５）上記ａ）、（
２））式はテレセントリック照明系中に設けられる図示
なき視舒欽シに対する共役関係を構えす４ので、ｔｌｌ
はＩＩＷＩＩＩ！シの共役点と第１１２１群も、との距
離を表わし゛ている。
０）式は光源の位置に関するｔ−の、（４）式は補助コ
ンデンサーレンズの変倍比な決定するもの・３である。
ンデンサーレンズの変倍比な決定するもの・３である。
以上ω〜・）式を解くととによｐ％ｆｔｅｔ＠ 、ａ、
ｂはそれぞれ ｔ、 ＝ａ （β−１）／／（β＋１） ・・・・・
（６）ｒ、−ｄ（／−ｔ）／（β＋１） ・・・・・
■ａ ＝ ａ／／ ・・・・・（８）
ｂ＝＝１（β−１）／β ・・・・・（９）で与
えられる。
ｂはそれぞれ ｔ、 ＝ａ （β−１）／／（β＋１） ・・・・・
（６）ｒ、−ｄ（／−ｔ）／（β＋１） ・・・・・
■ａ ＝ ａ／／ ・・・・・（８）
ｂ＝＝１（β−１）／β ・・・・・（９）で与
えられる。
以上のように構成することにより第３図のごとくテレセ
ントリック照明の条件を保ちつつ照明領域を縮小でき、
また斜光束の主光線Ｐも被照明物体の中心を通り照明光
束を有効に使用することが可能である。さらに本体のテ
レセントリック照明系に視野絞）、開口絞ｐ（テレセン
トリック絞如）がある場合社、補助コンデンサーレンズ
を使用した状態でも絞りに関する共役関係を不変に保っ
ているため・、その壜★使用可能である。従って本体の
テレセントリック照明の変倍域を増加させ九のと同様の
効果がある。
ントリック照明の条件を保ちつつ照明領域を縮小でき、
また斜光束の主光線Ｐも被照明物体の中心を通り照明光
束を有効に使用することが可能である。さらに本体のテ
レセントリック照明系に視野絞）、開口絞ｐ（テレセン
トリック絞如）がある場合社、補助コンデンサーレンズ
を使用した状態でも絞りに関する共役関係を不変に保っ
ているため・、その壜★使用可能である。従って本体の
テレセントリック照明の変倍域を増加させ九のと同様の
効果がある。
本発明による補助コンデンサーレンズは基本的にはケプ
ラ一式Ｏ璽達鏡の構成をしているが、各−の屈折力、間
隔及び位置について（６）〜（２））式の条件を満足し
ていることが必要であシ、この条件を満足していない場
合は本体のテレセントリック照＠（Ｄ＊源及び視野絞り
の両方の共役関係を同時に不変に保つことがで龜ず、光
量の損失及び照明ムラが生じて好ましくない。また構成
上の理由より（６）〜（９）式の近傍の値に設定できれ
ば十分実用上使用できることはいうまでもない。
ラ一式Ｏ璽達鏡の構成をしているが、各−の屈折力、間
隔及び位置について（６）〜（２））式の条件を満足し
ていることが必要であシ、この条件を満足していない場
合は本体のテレセントリック照＠（Ｄ＊源及び視野絞り
の両方の共役関係を同時に不変に保つことがで龜ず、光
量の損失及び照明ムラが生じて好ましくない。また構成
上の理由より（６）〜（９）式の近傍の値に設定できれ
ば十分実用上使用できることはいうまでもない。
第４図は本発明による補助コンデンサーレンズを特願昭
５５−６８９９７号に開示し丸テレ曾ントリックズー五
ａ１１系に親会せる場合を例示し九光路図である。ｆｓ
ｌレンレン１と第８レンズＬ−とｔＴｏもかしめ一体的
に組合せておき、これら會物体０儒に挿入するにけでよ
く、広範囲の変倍が可ｍなズーム方式のｊｌｌ！、１に
よ）一層高倍率のテレセントリックＩｌ＠を付加し、変
倍領域を一段と拡大することができる。
５５−６８９９７号に開示し丸テレ曾ントリックズー五
ａ１１系に親会せる場合を例示し九光路図である。ｆｓ
ｌレンレン１と第８レンズＬ−とｔＴｏもかしめ一体的
に組合せておき、これら會物体０儒に挿入するにけでよ
く、広範囲の変倍が可ｍなズーム方式のｊｌｌ！、１に
よ）一層高倍率のテレセントリックＩｌ＠を付加し、変
倍領域を一段と拡大することができる。
次に、本発明によるテレセンドリンク補助コンデンサー
レンズの各群のパワー配分に関する数値例を示す、ただ
し％ ｆｌ ｅ ’ｌは第１群及び第２群の焦点距離、
ｂは第１群と第２群の間隔、１は第１群と被照明物体の
間隔、ｄは第２群と被照明物体の間隔、ｌは補助コンデ
ンサーレンズの変倍比を表わすものとする。
レンズの各群のパワー配分に関する数値例を示す、ただ
し％ ｆｌ ｅ ’ｌは第１群及び第２群の焦点距離、
ｂは第１群と第２群の間隔、１は第１群と被照明物体の
間隔、ｄは第２群と被照明物体の間隔、ｌは補助コンデ
ンサーレンズの変倍比を表わすものとする。
β＝４ 、 ｄ＝８８■
を初期条件として与えると（６）〜（９）式よ〉ｆＩ＝
１ ＆２ａｗｉ 、 ｆｌ ＝５２．８ｍ亀＝２２■
、ｂ−６６■ の諸量が得られる。従って、焦点距離が１＆２−の第ル
ンズと、焦点距離が５２．８−の第２レンズとを間隔６
６ｍで一体的に組合せ、これを所定の倍率のテレセント
リック照明系と植機物体との間で、第ルンズと被検物体
面との距離が２２−になる位置に挿入すれば、さらに４
倍の高倍率の優れ九テレセン１トリック照明を達成する
ことができる。
１ ＆２ａｗｉ 、 ｆｌ ＝５２．８ｍ亀＝２２■
、ｂ−６６■ の諸量が得られる。従って、焦点距離が１＆２−の第ル
ンズと、焦点距離が５２．８−の第２レンズとを間隔６
６ｍで一体的に組合せ、これを所定の倍率のテレセント
リック照明系と植機物体との間で、第ルンズと被検物体
面との距離が２２−になる位置に挿入すれば、さらに４
倍の高倍率の優れ九テレセン１トリック照明を達成する
ことができる。
以上のように、本実例の補助コンデンサーレンズを任意
のテレセントリック照明系に付加す、＆ことによ抄高倍
側の変倍域を増加で亀、極めて高倍率の対物レンズを用
いる場合でも明るく能率の曳いテレセントリック照明を
得ることが可能である。この丸め比較的明るい場所で使
用する投影検査器の超高倍レンズでも明るく観察でき、
操作性が非常に向上する。
のテレセントリック照明系に付加す、＆ことによ抄高倍
側の変倍域を増加で亀、極めて高倍率の対物レンズを用
いる場合でも明るく能率の曳いテレセントリック照明を
得ることが可能である。この丸め比較的明るい場所で使
用する投影検査器の超高倍レンズでも明るく観察でき、
操作性が非常に向上する。
伺、本発明による補助コンデンサーレンズは投影検査器
のみならず、テレセントリック照明が必要な工場顕微鏡
等に４使用できることはいうまで４ｔい。
のみならず、テレセントリック照明が必要な工場顕微鏡
等に４使用できることはいうまで４ｔい。
第１図及びｔｓ２図は従東の補助コン、デンサーレンズ
の例を示す説明間、 第３図は本発明の基本構成図、 第４図は本発明による一実施例の光路図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｌｃ ・・・・・テレセントリック照明系のレンズ
群ＬＳ Ｉ−・・・・・ｎｍコンデンサーレンズの各群
０ ・・・・・被照明物体 Ｓ ・・・・・光源 ８′ ・・・・・光源俸 Ｐ ・・・・・斜光束の主光線 出願人 二 日本光学工業株式会社
の例を示す説明間、 第３図は本発明の基本構成図、 第４図は本発明による一実施例の光路図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｌｃ ・・・・・テレセントリック照明系のレンズ
群ＬＳ Ｉ−・・・・・ｎｍコンデンサーレンズの各群
０ ・・・・・被照明物体 Ｓ ・・・・・光源 ８′ ・・・・・光源俸 Ｐ ・・・・・斜光束の主光線 出願人 二 日本光学工業株式会社
Claims (1)
- 相互の焦点距離の和だけ分離されて配置ｔされた第１と
１ｓ２０２つの収斂性レンズ群を有し、所定のテレセン
ドリンク照＠装置の物体側に挿入されて一所定のテレセ
ント、リツ′り照明装置によ゛る照明状態よ〕高倍率の
テレ曾ントリックｙＩＡ明を達成することを特徴とする
テレセンドリンク照明用補助コンデンヤ−レンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56176828A JPS5878115A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズ |
| US06/418,031 US4526443A (en) | 1981-11-04 | 1982-09-14 | Telecentric illumination system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56176828A JPS5878115A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878115A true JPS5878115A (ja) | 1983-05-11 |
| JPS6322286B2 JPS6322286B2 (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=16020545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56176828A Granted JPS5878115A (ja) | 1981-11-04 | 1981-11-04 | テレセントリツク照明用補助コンデンサ−レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4526443A (ja) |
| JP (1) | JPS5878115A (ja) |
Cited By (6)
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| USRE37846E1 (en) | 1995-01-06 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus using the same |
| USRE38421E1 (en) | 1994-04-28 | 2004-02-10 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having catadioptric projection optical system |
| USRE38438E1 (en) | 1994-08-23 | 2004-02-24 | Nikon Corporation | Catadioptric reduction projection optical system and exposure apparatus having the same |
| USRE39296E1 (en) | 1993-03-12 | 2006-09-19 | Nikon Corporation | Catadioptric projection systems |
Families Citing this family (13)
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| US4988873A (en) * | 1989-09-29 | 1991-01-29 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for scanning transparent phosphors |
| JP2734696B2 (ja) * | 1989-12-01 | 1998-04-02 | ミノルタ株式会社 | コンパクトなズームレンズ系 |
| JPH0456689A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-02-24 | Mitsubishi Motors Corp | チルトキャブ型車両のトーションバー構造 |
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-
1981
- 1981-11-04 JP JP56176828A patent/JPS5878115A/ja active Granted
-
1982
- 1982-09-14 US US06/418,031 patent/US4526443A/en not_active Expired - Fee Related
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| USRE37846E1 (en) | 1995-01-06 | 2002-09-17 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6322286B2 (ja) | 1988-05-11 |
| US4526443A (en) | 1985-07-02 |
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