JP4875891B2 - Withstand voltage test equipment - Google Patents
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Description
本発明は耐電圧試験装置に関し、さらに詳しく言えば、不合格判定とされた場合の不良品解析を行いやすくした耐電圧試験装置に関するものである。 The present invention relates to a withstand voltage test apparatus, and more particularly, to a withstand voltage test apparatus that facilitates the analysis of defective products when a failure determination is made.
電気・電子機器の安全性および信頼性を評価するパラメータとしては、第1に電気絶縁性があげられる。絶縁は事故防止のための重要な要素であり、そのため、IEC規格,UL規格,電気用品安全法などの各種安全規格により、その試験方法が規定されている。 As a parameter for evaluating the safety and reliability of an electric / electronic device, firstly, electrical insulation can be mentioned. Insulation is an important element for preventing accidents. Therefore, the test method is defined by various safety standards such as the IEC standard, the UL standard, and the Electrical Appliance and Material Safety Law.
試験電圧や試験時間は製品ごとに決められているが、基本的には、電圧発生部より製品(被試験体)の電極端子間に所定の試験電圧(一般的には交流電圧)を印加し、そのとき被試験体に流れる試験電流(漏れ電流)Iaを測定して、あらかじめ設定されている閾値Ibと比較し、Ia<Ib(もしくはIa≦Ib)であればPASS(合格)判定とし、Ia≧Ib(もしくはIa>Ib)であればFAIL(不合格)判定とする。 The test voltage and test time are determined for each product. Basically, a predetermined test voltage (generally an AC voltage) is applied between the electrode terminals of the product (device under test) from the voltage generator. Then, the test current (leakage current) Ia flowing through the device under test is measured and compared with a preset threshold value Ib. If Ia <Ib (or Ia ≦ Ib), a PASS (pass) determination is made. If Ia ≧ Ib (or Ia> Ib), it is determined as FAIL (failure).
図5に従来一般的に行われている耐電圧試験のフローチャートを示す。まず、ユーザーによって被試験体に印加する「試験電圧」,合否判定基準となる「試験電流の閾値」および「試験時間」が設定されたのち、試験が開始される。この試験中、測定部により被試験体に流れる試験電流Iaが測定され、試験電流Iaと試験電流の閾値Ibとの大小関係が判断される。 FIG. 5 shows a flowchart of a withstand voltage test that has been generally performed. First, the test is started after the user sets the “test voltage” to be applied to the DUT, the “test current threshold” and the “test time”, which are pass / fail criteria. During this test, the measurement unit measures the test current Ia flowing through the device under test, and determines the magnitude relationship between the test current Ia and the test current threshold Ib.
その結果、Ia<Ibであれば、試験時間が経過するまで試験を継続し、試験時間経過後にPASS判定を出す。これに対して、Ia≧Ibであれば、試験時間の経過を待つことなくその時点で試験を停止してFAIL判定を出す。
試験電流の閾値Ibを設定する場合、通常では安全をみて絶縁破壊に至る電流値よりも低めに設定される。一例として、絶縁破壊に至る電流値が40mAであるとして、試験電流の閾値Ibが20mAに設定されると、上記従来例では、試験電流Iaがこれをわずかに上回った場合(例えば20.1mA)でも、試験を停止してFAIL判定が出される。 When setting the threshold value Ib of the test current, it is usually set lower than the current value that leads to dielectric breakdown for safety. As an example, assuming that the current value leading to dielectric breakdown is 40 mA, and the test current threshold Ib is set to 20 mA, in the conventional example, the test current Ia slightly exceeds this (for example, 20.1 mA). However, the test is stopped and a FAIL judgment is issued.
PASSかFAILかだけを選別するのであれば、上記のように試験電流Iaが閾値Ibをわずかに上回った場合でも試験を停止することに問題はないが、FAIL判定が出されたとき、どの程度の試験電流Iaが流れてFAIL判定となったのかを知ることができない。 If only PASS or FAIL is selected, there is no problem in stopping the test even when the test current Ia slightly exceeds the threshold value Ib as described above. It is not possible to know whether the test current Ia of the current flowed and a FAIL judgment was made.
すなわち、閾値Ibをわずかに超えてFAIL判定になったのか、閾値Ibを大きく超える試験電流Iaが流れてFAIL判定になったのかを判断できないため、その不良品の解析を行う場合には、閾値Ibを設定し直して再度試験を行う必要がある。 That is, since it cannot be determined whether the FAIL judgment is made slightly exceeding the threshold value Ib or the test current Ia that greatly exceeds the threshold value Ib flows, the FAIL judgment is made. It is necessary to reset the Ib and perform the test again.
この点を解決するには、FAIL判定時に、そのときの試験電流値を表示するようにすればよい。しかしながら、通常、試験電流値の表示には平均値が用いられるため、FAIL判定時にその時点で試験が停止してしまうと平均値演算が間に合わず、したがってFAIL判定時に試験電流値を表示することはできない。 In order to solve this problem, the test current value at that time may be displayed at the time of FAIL judgment. However, since the average value is normally used to display the test current value, if the test is stopped at that time at the time of FAIL judgment, the average value calculation will not be in time, so it is not possible to display the test current value at the time of FAIL judgment. Can not.
したがって、本発明の課題は、耐電圧試験において、FAIL判定とされた場合、どの程度の試験電流が流れてFAIL判定となったのかを解析しやすくすることにある。 Therefore, an object of the present invention is to make it easy to analyze how much test current has flowed to determine FAIL when a FAIL determination is made in a withstand voltage test.
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、被試験体に対して所定の試験電圧を印加する電圧発生部と、上記試験電圧の印加により上記被試験体に流れる試験電流を測定する測定部と、制御部と、上記制御部に少なくとも試験電圧値,試験時間および合否判定基準となる試験電流の閾値を設定する試験条件入力部と、試験結果を表示する表示部とを含み、上記試験条件入力部より設定される各試験条件に基づいて上記制御部により上記電圧発生部が制御され、上記測定部にて測定される上記試験電流の値により上記被試験体の耐電圧特性を検査する耐電圧試験装置において、上記試験条件入力部より上記制御部に対して、上記試験電流の閾値とは別に上記試験電流の閾値よりも大きな試験停止電流値が設定可能であり、上記制御部は、試験開始後から上記試験条件入力部から設定された上記試験時間の間、上記測定部にて測定される上記試験電流を監視し、上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも小さい場合には、上記試験時間経過後、上記表示部に合格判定を出力する第1ルーチンを実行し、上記試験電流が上記試験停止電流値よりも大きい場合には、上記試験時間の経過を待つことなく、上記試験電流が上記試験停止電流値よりも大きいと判定された時点で試験を停止して上記表示部に不合格判定を出力する第2ルーチンを実行し、上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも大きく、かつ、上記試験停止電流値よりも小さい場合には、上記試験時間が終了するまで試験を継続して上記表示部に不合格判定を出力する第3ルーチンを実行することを特徴としている。 In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is a voltage generator that applies a predetermined test voltage to the device under test, and a test current that flows through the device under test when the test voltage is applied. A measurement unit, a control unit, a test condition input unit that sets at least a test voltage value, a test time, and a test current threshold value as a pass / fail criterion in the control unit, and a display unit that displays a test result, The voltage generator is controlled by the controller based on each test condition set from the test condition input unit, and the withstand voltage characteristics of the device under test are determined by the value of the test current measured by the measuring unit. In the withstand voltage test device to be inspected, a test stop current value larger than the test current threshold can be set separately from the test current threshold to the control unit from the test condition input unit, and the control unit Is During after start of the test of the test time set from the test condition input unit, monitors the test currents measured at the measuring section, when the upper Symbol test current is smaller than the threshold value of the test current , after the test time, performing a first routine for outputting the acceptance on the display section, when the upper Symbol test current is greater than the stop test current value, without waiting for the elapse of the test time, the test current has stopped the test when it is determined to be greater than the stop test current running second routine for outputting a fail judgment on the display unit, the upper Symbol test current of the test current threshold And when the test stop current value is smaller than the test stop current value, the test is continued until the test time ends, and a third routine for outputting a failure determination to the display unit is executed. Yes.
請求項2に記載の発明は、上記請求項1において、上記制御部は、上記第2ルーチンの場合、上記表示部に上記試験時間の経過前に試験を停止したことを意味する表示を出力し、上記第3ルーチンの場合、上記表示部に上記試験時間まで試験を継続したことを意味する表示を出力することを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, in the case of the second routine, the control unit outputs a display indicating that the test is stopped before the test time has elapsed in the second routine. In the case of the third routine, a display indicating that the test has been continued until the test time is output to the display unit.
請求項3に記載の発明は、上記請求項1または2において、上記制御部は、上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも大きく、かつ、上記試験停止電流値よりも小さい場合に実行される上記第3ルーチンにおいて、上記試験時間の終了時点で、上記試験電流が上記試験電流の閾値より小さくなった場合でも、上記表示部に不合格判定を出力することを特徴としている。 The invention according to claim 3 is executed in the first or second aspect, wherein the control unit is executed when the test current is larger than a threshold value of the test current and smaller than the test stop current value. In the third routine, even when the test current becomes smaller than the test current threshold at the end of the test time, a failure determination is output to the display unit.
請求項4に記載の発明は、上記請求項1ないし3のいずれか1項において、上記制御部は、上記試験時間中に、上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも小さい合格判定期間と、上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも大きく、かつ、上記試験停止電流値よりも小さい不合格判定期間の双方が含まれる場合には、上記試験時間が終了するまで試験を継続して上記表示部に非断定的不合格判定を出力することを特徴としている。 According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the control unit includes a pass determination period in which the test current is smaller than a threshold of the test current during the test time; If the test current is larger than the test current threshold and includes both failure determination periods smaller than the test stop current value, the test is continued until the test time is over and the display is continued. A non-assertive failure determination is output to the part.
請求項5に記載の発明は、上記請求項1ないし4のいずれか1項において、上記制御部は、上記試験停止電流値を所定の料率をもって上記試験電流の閾値と連動して設定することを特徴としている。 According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the control unit sets the test stop current value at a predetermined rate in conjunction with a threshold value of the test current. It is a feature.
請求項1に記載の発明によれば、合否判定基準となる試験電流の閾値と、それよりも大きな試験停止電流値とが設定され、被試験体に流れる試験電流が試験電流の閾値よりも大きいとき不合格(FAIL)判定が出されるが、試験電流が試験停止電流値よりも大きい場合には、その時点で試験を停止するのに対して、試験電流が試験電流の閾値よりも大きく、かつ、試験停止電流値よりも小さい場合には、試験時間が終了するまで試験が継続されるため、これによりFAIL判定時における試験電流が、試験停止電流値よりも小さいのか、試験停止電流値よりも大きいのかを区別することができ、不良品の解析を行いやすくなる。 According to the first aspect of the present invention, the threshold value of the test current that is a pass / fail judgment criterion and a test stop current value larger than that are set, and the test current flowing through the device under test is larger than the test current threshold value. When the test current is larger than the test stop current value, the test is stopped at that time, whereas the test current is larger than the test current threshold, and If the test stop current value is smaller than the test stop current value, the test is continued until the test time is finished. Therefore, whether the test current at the time of FAIL judgment is smaller than the test stop current value or less than the test stop current value. It is possible to distinguish whether it is large or not, and it becomes easy to analyze a defective product.
請求項2に記載の発明によれば、第2ルーチンの場合には、表示部に試験時間の経過前に試験を停止したことを意味する表示が出力され、第3ルーチンの場合には、表示部に試験時間まで試験を継続したことを意味する表示が出力されるため、例えばユーザーが試験装置に付きっきりでなくても、その表示を見ることにより、FAIL判定時における試験電流が、試験停止電流値よりも小さいのか、試験停止電流値よりも大きいのかを即座に認識することができる。 According to the second aspect of the present invention, in the case of the second routine, a display indicating that the test is stopped before the lapse of the test time is output on the display unit, and in the case of the third routine, the display is displayed. Since the display indicating that the test was continued until the test time is output to the part, for example, even if the user is not completely attached to the test device, the test current at the time of FAIL judgment is Whether it is smaller than the value or larger than the test stop current value can be immediately recognized.
請求項3に記載の発明によれば、試験電流が試験電流の閾値よりも大きく、かつ、試験停止電流値よりも小さい場合に実行される第3ルーチンにおいて、試験時間の終了時点で、試験電流が試験電流の閾値より小さくなった場合でも、表示部に不合格判定が出力されることにより、一旦耐圧不良を示した被試験体を見逃すことなく不合格判定とすることができ、信頼性の高い耐電圧試験を行うことができる。 According to the third aspect of the present invention, in the third routine executed when the test current is larger than the test current threshold and smaller than the test stop current value, the test current is reached at the end of the test time. Even if the test current becomes smaller than the threshold of the test current, the failure judgment is output to the display unit, so that the failure judgment can be made without overlooking the DUT that once showed a breakdown voltage failure. A high withstand voltage test can be performed.
請求項4に記載の発明によれば、試験時間中に、試験電流が試験電流の閾値よりも小さい合格判定期間と、試験電流が試験電流の閾値よりも大きく、かつ、試験停止電流値よりも小さい不合格判定期間の双方が含まれる場合には、試験時間が終了するまで試験を継続して表示部に非断定的不合格判定が出力されるため、ユーザーに対して、被試験体が一時的に耐圧不良となった原因の一つとして、試験条件や操作方法などの見直しを示唆することができる。 According to the invention described in claim 4, during the test time, the pass determination period in which the test current is smaller than the test current threshold, the test current is larger than the test current threshold, and the test stop current value is smaller than the test stop current value. If both of the small failure determination periods are included, the test is continued until the test time ends, and the non-deterministic failure determination is output on the display unit. As one of the causes of the breakdown voltage failure, it is possible to suggest a review of test conditions and operation methods.
また、請求項5に記載の発明によれば、試験停止電流値が所定の料率をもって試験電流の閾値と連動して設定されるため、試験の都度、試験停止電流値を設定する手間を省くことができる。 Further, according to the invention described in claim 5, since the test stop current value is set in conjunction with the test current threshold at a predetermined rate, it is possible to save the trouble of setting the test stop current value for each test. Can do.
次に、図1ないし図4により本発明のいくつかの実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は本発明による耐電圧試験装置の一例を示す概略的なブロック図,図2は本発明の第1実施形態に係る動作フローチャート,図3および図4は本発明の第2実施形態,第3実施形態に係る動作フローチャートである。 Next, some embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4, but the present invention is not limited thereto. FIG. 1 is a schematic block diagram illustrating an example of a withstand voltage test apparatus according to the present invention, FIG. 2 is an operation flowchart according to the first embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are second and third embodiments of the present invention. It is an operation | movement flowchart which concerns on 3rd Embodiment.
図1に示すように、この耐電圧試験装置は、被試験体EUTに対して所定の試験電圧を印加する電圧発生部11と、その試験電圧の印加により被試験体EUTに流れる試験電流Iaを測定する測定部12と、制御部13と、制御部13に試験条件を与える入力部14と、試験結果を表示する表示部15および試験結果を図示しないパソコンなどの外部機器に送信するための出力部16とを備える。
As shown in FIG. 1, the withstand voltage test apparatus includes a
被試験体EUTは、電気・電子機器,電子部品,電子材料などであってよく、図示しない一対の電極端子間に電圧発生部11より試験電圧が印加される。耐電圧試験装置では、電圧発生部11に交流電源が用いられるのが一般的であるが、場合によっては、直流電源が用いられてもよい。試験電圧は、被試験体EUTごとに決められる。
The device under test EUT may be an electric / electronic device, an electronic component, an electronic material, or the like, and a test voltage is applied from the
測定部12は、被試験体EUTの試験電流Iaが流される電流検出抵抗と、電流検出抵抗に生ずる電圧降下を測定する電圧計(ともに図示しない)とにより構成することができる。制御部13には、CPU(中央演算処理ユニット)やマイクロコンピュータなどが用いられてよい。
The
制御部13には、入力部14より各種の試験条件が設定されるが、本発明によると、その試験条件には、試験電圧,試験時間,合否判定基準となる試験電流の閾値Ibのほかに、試験停止電流値Icが含まれる。入力部14には、キーボードなどの操作盤が用いられてよい。
Various test conditions are set in the
この試験停止電流値Icは、試験電流の閾値Ibよりも大きな値であって、好ましくは被試験体EUTが明らかに絶縁破壊を起こすであろうと判断される電流値が採用される。なお、試験停止電流値Icは、各被試験体EUTごとに設定されてもよいが、一律に試験電流の閾値Ibの例えば50%増のように、所定の料率をもって試験電流の閾値Ibと連動して設定することもできる。 The test stop current value Ic is a value larger than the test current threshold value Ib, and preferably a current value at which it is determined that the EUT will obviously cause dielectric breakdown. The test stop current value Ic may be set for each EUT to be tested. However, the test stop current value Ic is linked to the test current threshold value Ib at a predetermined rate, for example, a 50% increase in the test current threshold value Ib. You can also set it.
制御部13は、測定部12から入力される試験電流Iaと試験電流の閾値Ibとの大小関係および試験電流Iaと試験停止電流値Icとの大小関係を判定する。すなわち、Ia<IbであればPASS(合格)判定とし、Ib≦Ia≦IcであればFAIL(不合格)判定とするが、この場合試験は試験時間終了まで続行する。Ia>Icであれば、FAIL判定とし、その時点で電圧発生部11を出力を止めて試験を停止する。
The
なお、上記のように大小関係を判定する場合、等号の付け方は上記の例に限定されず、別の例として、Ia≦Ib,Ib<Ia<Ic,Ia≧IcもしくはIa≦Ib,Ib<Ia≦Ic,Ia>Icなどのようにしてもよい。 In the case of determining the magnitude relationship as described above, the way of attaching the equal sign is not limited to the above example, and as another example, Ia ≦ Ib, Ib <Ia <Ic, Ia ≧ Ic or Ia ≦ Ib, Ib <Ia ≦ Ic, Ia> Ic may be used.
表示部15には、液晶表示パネルやプラズマディスプレイが好ましく採用されるが、プリンタが用いられてもよい。また、出力部16は所定のプロトコルで外部機器と通信できるものであれば、いずれも採用されてよい。
The
次に、図2のフローチャートにしたがって、本発明の第1実施形態の動作例について説明する。まず、試験前の準備として、ステップST21〜ST24で、試験電圧,試験電流の閾値Ib,試験時間,試験停止電流値Icを設定する。なお、ステップST21〜ST24は順不同である。耐電圧試験において、試験時間は通常1分程度である。 Next, an operation example of the first embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. First, as preparations before the test, a test voltage, a test current threshold value Ib, a test time, and a test stop current value Ic are set in steps ST21 to ST24. Steps ST21 to ST24 are in no particular order. In the withstand voltage test, the test time is usually about 1 minute.
ステップST25で試験が開始されると、ステップST26で被試験体EUTに流れる試験電流Iaが検出(測定)され、次段のステップST27でIa≧Ibかを判断する。その結果がNOでIa<Ibであれば、ステップST28で試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過していなければステップST26に戻り、Ia<Ibの状態で試験時間が経過した場合には、ステップST29で表示部15にPASS(合格)判定を表示し、試験を終了する。
When the test is started in step ST25, the test current Ia flowing through the device under test EUT is detected (measured) in step ST26, and it is determined whether Ia ≧ Ib in the next step ST27. If the result is NO and Ia <Ib, it is determined whether the test time has elapsed in step ST28. If the test time has not elapsed, the process returns to step ST26, and the test time has elapsed in the state of Ia <Ib In step ST29, a PASS (pass) determination is displayed on the
上記ステップST27でIa≧Ibの場合には、ステップST30に移行して表示部15にFAIL判定を行う。そして、ステップST31でIa≧Icかを判断し、その結果がYESでIa≧Icの場合には、ステップST32で表示部15にFAIL(不合格)判定とともにIa≧Icであることを表示し、その時点で試験を終了(強制停止)する。
When Ia ≧ Ib in step ST27, the process proceeds to step ST30 and the
上記ステップST31の判断結果がNOでIa<Icであれば、ステップST33で試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過していなければステップST26に戻り、Ia<Icの状態で試験時間が経過した場合には、ステップST34で表示部15にFAIL判定とともに試験時間経過後であることを表示して、試験を終了する。
If the determination result in step ST31 is NO and Ia <Ic, it is determined whether the test time has elapsed in step ST33. If the test time has not elapsed, the process returns to step ST26, and the test time is in the state of Ia <Ic. In step ST34, it is displayed on the
このようにして、第1実施形態によれば、FAIL判定がなされた場合、上記ステップST32,ST34での表示により、試験電流Iaが試験停止電流値Icよりも小さいのか、試験停止電流値Icよりも大きいのかを区別することができ、上記従来例のように、閾値Ibを設定し直して再度試験を行う必要がなくなる。 Thus, according to the first embodiment, when the FAIL determination is made, whether or not the test current Ia is smaller than the test stop current value Ic or less than the test stop current value Ic by the display in the steps ST32 and ST34. Therefore, it is not necessary to reset the threshold value Ib and perform the test again as in the conventional example.
なお、上記の例では、ステップST32でIa≧Icであることを表示するようにしているが、これとともにもしくはこれに代えて試験時間経過前の試験停止であることを表示してもよい。また、ステップST34では試験時間経過後であることを表示するようにしているが、これとともにもしくはこれに代えてIb<Ia<Icであることを表示してもよい。 In the above example, it is displayed that Ia ≧ Ic in step ST32. However, it may be displayed that the test is stopped before the test time elapses together with or instead of this. Further, in step ST34, it is displayed that the test time has elapsed, but it may be displayed that Ib <Ia <Ic together with or instead of this.
さらには、ステップST32,ST34においてFAIL判定のみを表示させてもよく、この場合には、ユーザーは試験時間の長短、すなわち試験終了が試験時間経過前であるか試験時間満了によるものであるかによって、試験電流Iaが試験停止電流値Icよりも小さいか、大きいかを判断することになる。 Furthermore, only the FAIL judgment may be displayed in steps ST32 and ST34. In this case, the user determines whether the test time is long or short, that is, whether the test end is before the test time elapses or the test time has expired. Therefore, it is determined whether the test current Ia is smaller or larger than the test stop current value Ic.
次に、図3のフローチャートにしたがって、本発明の第2実施形態の動作例について説明する。この第2実施形態においても、上記第1実施形態と同じく、ステップST21〜〜ST24で、試験電圧,試験電流の閾値Ib,試験時間,試験停止電流値Icを設定する。なお、ステップST21〜ST24は順不同であってよい。ステップST25で試験が開始されると、ステップST26で被試験体EUTに流れる試験電流Iaが検出(測定)され、次段のステップST27でIa≧Ibかを判断する。 Next, an operation example of the second embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. Also in the second embodiment, the test voltage, the test current threshold value Ib, the test time, and the test stop current value Ic are set in steps ST21 to ST24, as in the first embodiment. Steps ST21 to ST24 may be out of order. When the test is started in step ST25, the test current Ia flowing through the device under test EUT is detected (measured) in step ST26, and it is determined whether Ia ≧ Ib in the next step ST27.
上記ステップST27での判断がNOでIa<Ibであれば、ステップST28aで試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過するまでステップST26,ステップST27を繰り返し実行する。これに対して、上記ステップST27でIa≧Ibの場合、この第2実施形態では、ステップST29aでFAILフラグを立てたのち、ステップST30aでIa≧Icかを判断する。 If the determination in step ST27 is NO and Ia <Ib, it is determined in step ST28a whether the test time has elapsed, and steps ST26 and ST27 are repeatedly executed until the test time has elapsed. On the other hand, if Ia ≧ Ib in step ST27, in the second embodiment, after setting the FAIL flag in step ST29a, it is determined whether Ia ≧ Ic in step ST30a.
上記ステップST30aでの判断がYESでIa≧Icの場合には、ステップST33aで表示部15にFAIL判定とともに、上記第1実施形態と同様にIa≧Icであることを表示し、その時点で試験を終了(強制停止)する。
If the determination in step ST30a is YES and Ia ≧ Ic, in step ST33a, FAIL determination is displayed on the
上記ステップST30aの判断結果がNOでIa<Icであれば、ステップST28aで試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過していなければステップST26に戻る。そして、試験時間が経過した時点で、ステップST31aでFAILフラグが立っているかどうかを判断する。 If the determination result in step ST30a is NO and Ia <Ic, it is determined in step ST28a whether the test time has elapsed. If the test time has not elapsed, the process returns to step ST26. Then, when the test time has elapsed, it is determined in step ST31a whether the FAIL flag is set.
上記ステップST31aでの判断がNOでFAILフラグが立っていない場合、ステップST32aで表示部15にPASS判定を表示し、試験を終了する。これに対して、上記ステップST31aでの判断がYESでFAILフラグが立っているときには、ステップST33aで表示部15にFAIL判定とともに、この場合には上記第1実施形態と同様に試験時間経過後であることを表示して、試験を終了する。
If the determination in step ST31a is NO and the FAIL flag is not set, a PASS determination is displayed on the
上記第2実施形態によれば、試験電流Iaが試験電流の閾値Ibよりも大きい場合、ステップST29aで必ずFAILフラグが立てられるため、試験電流Iaが試験停止電流値Icよりも小さい場合で、試験時間経過後に何らかの原因で試験電流Iaが試験電流の閾値Ibよりも小さくなったとしても、PASS判定が行われず、FAIL判定がなされることにより、一旦耐圧不良を示した被試験体を見逃すことなく不合格判定とすることができ、信頼性の高い耐電圧試験を行うことができる。 According to the second embodiment, if the test current Ia is larger than the test current threshold value Ib, the FAIL flag is always set in step ST29a, so that the test current Ia is smaller than the test stop current value Ic. Even if the test current Ia becomes smaller than the test current threshold value Ib for some reason after the elapse of time, the PASS determination is not performed and the FAIL determination is performed, so that the DUT that once showed a breakdown voltage failure is not overlooked. A failure determination can be made, and a highly reliable withstand voltage test can be performed.
次に、図4のフローチャートにしたがって、本発明の第3実施形態の動作例について説明する。この第3実施形態においても、上記第1実施形態と同じく、ステップST21〜〜ST24で、試験電圧,試験電流の閾値Ib,試験時間,試験停止電流値Icを設定する。なお、ステップST21〜ST24は順不同であってよい。ステップST25で試験が開始されると、ステップST26で被試験体EUTに流れる試験電流Iaが検出(測定)され、次段のステップST27でIa≧Ibかを判断する。 Next, an operation example of the third embodiment of the present invention will be described with reference to the flowchart of FIG. Also in the third embodiment, similarly to the first embodiment, the test voltage, the test current threshold value Ib, the test time, and the test stop current value Ic are set in steps ST21 to ST24. Steps ST21 to ST24 may be out of order. When the test is started in step ST25, the test current Ia flowing through the device under test EUT is detected (measured) in step ST26, and it is determined whether Ia ≧ Ib in the next step ST27.
上記ステップST27での判断がNOでIa<Ibの場合、この第3実施形態では、ステップST27bでPASSフラグを立てたのち、ステップST28bで試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過するまでステップST26,ステップST27を繰り返し実行する。 When the determination in step ST27 is NO and Ia <Ib, in the third embodiment, after setting the PASS flag in step ST27b, it is determined whether the test time has elapsed in step ST28b, and the test time has elapsed. Steps ST26 and ST27 are repeatedly executed.
これに対して、上記ステップST27でIa≧Ibの場合、この第3実施形態においても、上記第2実施形態と同じく、ステップST29bでFAILフラグを立てたのち、ステップST30bでIa≧Icかを判断する。 On the other hand, if Ia ≧ Ib in step ST27, in the third embodiment as well, as in the second embodiment, after setting the FAIL flag in step ST29b, it is determined whether Ia ≧ Ic in step ST30b. To do.
上記ステップST30bでの判断がYESでIa≧Icの場合には、ステップST34bで表示部15にFAIL判定とともに、上記第1実施形態と同様にIa≧Icであることを表示し、その時点で試験を終了(強制停止)する。 If the determination in step ST30b is YES and Ia ≧ Ic, in step ST34b, along with the FAIL determination, it is displayed that Ia ≧ Ic as in the first embodiment, and the test is performed at that time. Is terminated (forced stop).
上記ステップST30bの判断結果がNOでIa<Icであれば、ステップST28bで試験時間が経過したかを判断し、試験時間が経過していなければステップST26に戻る。そして、試験時間が経過した時点で、ステップST31bでPASSフラグとFAILフラグの両フラグが立っているかどうかを判断する。 If the determination result in step ST30b is NO and Ia <Ic, it is determined in step ST28b whether the test time has elapsed. If the test time has not elapsed, the process returns to step ST26. When the test time has elapsed, it is determined in step ST31b whether both the PASS flag and the FAIL flag are set.
上記ステップST31bでの判断がNOでPASSフラグ,FAILフラグの両フラグが立っていない場合には、次のステップST32bでPASSフラグのみが立っているかどうかを判断する。その結果がYESで、PASSフラグのみが立っている場合には、ステップST33bで表示部15にPASS判定を表示して試験を終了する。
If the determination in step ST31b is NO and neither the PASS flag nor the FAIL flag is set, it is determined in the next step ST32b whether only the PASS flag is set. If the result is YES and only the PASS flag is set, a PASS determination is displayed on the
これに対して、上記ステップST32bでの結果がNOで、PASSフラグが立てられていないときには、ステップST34bで表示部15にFAIL判定とともに、この場合には上記第1実施形態と同様に試験時間経過後であることを表示して試験を終了する。
On the other hand, when the result in step ST32b is NO and the PASS flag is not set, in step ST34b, the FAIL judgment is made on the
また、上記ステップST31bでの判断がYESでPASSフラグ,FAILフラグの両フラグが立っている場合には、ステップST35bで表示部15にグレー判定を表示して試験を終了する。
If the determination in step ST31b is YES and both the PASS flag and FAIL flag are set, gray determination is displayed on the
このグレー判定時は、試験時間中に、試験電流Iaが試験電流の閾値Ibよりも小さい合格判定期間と、試験電流Iaが試験電流の閾値Ibよりも大きく、かつ、試験停止電流値Icよりも小さい不合格判定期間の双方が含まれていることを意味し、不合格判定の原因が被試験体EUTにあるのか、試験条件や操作方法などにあるのか特定できないことから、非断定的不合格判定ということができる。 At the time of this gray determination, the test current Ia is smaller than the test current threshold Ib during the test time, the test current Ia is larger than the test current threshold Ib, and is larger than the test stop current value Ic. It means that both of the small failure judgment periods are included, and it is not possible to specify whether the cause of the failure judgment is in the EUT or the test conditions or operation method. It can be called determination.
したがって、このグレー判定により、ユーザーに対して、被試験体EUTが一時的に耐圧不良となった原因の一つとして、試験条件や操作方法などの見直しを示唆することができる。 Therefore, this gray determination can suggest to the user a review of the test conditions, the operation method, etc. as one of the causes of the temporary failure of the device under test EUT.
なお、試験終了後に、表示部15に例えば最初にFAIL判定とされたときの電流値,試験中の最大値,試験終了時の電流値などを表示させることもできる。また、本発明の耐電圧試験装置は単機能の機器として製品化されてもよいし、他の測定機能を有する電気測定器の一つの機能として組み込まれてもよい。
Note that, after the test is completed, for example, the current value when the FAIL judgment is first made, the maximum value during the test, the current value at the end of the test, and the like can be displayed on the
11 電圧発生部
12 測定部
13 制御部
14 入力部
15 表示部
16 出力部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
上記試験条件入力部より上記制御部に対して、上記試験電流の閾値とは別に上記試験電流の閾値よりも大きな試験停止電流値が設定可能であり、
上記制御部は、試験開始後から上記試験条件入力部から設定された上記試験時間の間、上記測定部にて測定される上記試験電流を監視し、
上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも小さい場合には、上記試験時間経過後、上記表示部に合格判定を出力する第1ルーチンを実行し、
上記試験電流が上記試験停止電流値よりも大きい場合には、上記試験時間の経過を待つことなく、上記試験電流が上記試験停止電流値よりも大きいと判定された時点で試験を停止して上記表示部に不合格判定を出力する第2ルーチンを実行し、
上記試験電流が上記試験電流の閾値よりも大きく、かつ、上記試験停止電流値よりも小さい場合には、上記試験時間が終了するまで試験を継続して上記表示部に不合格判定を出力する第3ルーチンを実行することを特徴とする耐電圧試験装置。
A voltage generator for applying a predetermined test voltage to the device under test; a measurement unit for measuring a test current flowing through the device under test by applying the test voltage; a control unit; and at least a test voltage for the control unit. A test condition input unit for setting a threshold value of a test current serving as a value, a test time, and a pass / fail judgment criterion, and a display unit for displaying a test result, and the above-mentioned based on each test condition set by the test condition input unit In the withstand voltage test apparatus in which the voltage generating unit is controlled by the control unit, and the withstand voltage characteristic of the device under test is inspected by the value of the test current measured by the measuring unit.
A test stop current value larger than the test current threshold value can be set to the control unit from the test condition input unit separately from the test current threshold value,
The control unit monitors the test current measured by the measurement unit during the test time set from the test condition input unit after the start of the test,
When the upper Symbol test current is smaller than the threshold value of the test current, after the test time, performing a first routine for outputting the acceptance on the display unit,
When the upper Symbol test current is greater than the stop test current value, without waiting for the elapse of the test time, to stop the test at the time when the test current is determined to be greater than the stop test current value A second routine for outputting a failure determination to the display unit is executed,
Upper Symbol test current is greater than the threshold value of the test current, and, when smaller than the stop test current value, to continue the test until the test time is completed to output the fail decision on the display unit A withstand voltage test apparatus that executes a third routine.
5. The withstand voltage test apparatus according to claim 1, wherein the control unit sets the test stop current value at a predetermined rate in conjunction with a threshold value of the test current. 6.
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