JP2010525589A - マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系 - Google Patents

Abstract

マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）として、特にデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）として実現することができる反射要素のアレイを含むような照明系を提供する。マイクロリソグラフィ露光装置（１０）においてマスク（１６）を照明するための照明系は、光軸（６０；４６０）及び瞳面（７０；４７０）を有する。系は、ミラーのような反射又は透過ビーム偏向要素（Ｍ_ij）のビーム偏向アレイ（４６；４４６）を含み、各偏向要素（Ｍ_ij）は、制御信号に応答して可変である偏向角だけ入射光線を偏向するようになっている。ビーム偏向要素（Ｍ_ij）は、第１の平面（４０；４４０）に配置される。系は、更に、複数のマイクロレンズ及び／又は回折構造を含む光学ラスター要素（３４；４３４）を含む。第１の平面（４０；４４０）に配置されたビーム偏向要素（Ｍ_ij）、及び第２の平面（３４；４３４）に配置された光学ラスター要素（３４；４３４）は、２次元遠視野強度分布（Ｃ）を共同で発生させる。光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）は、第１の平面（４０；４４０）を第２の平面（３４；４３４）に対して光学的に共役にする。
【選択図】図２

Description

関連出願への相互参照
本出願は、ともに２００７年４月２５日出願の米国特許仮出願第６０／９１３，９６２号及び第６０／９１３，９５６号の「３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．１１９（ｅ）（１）」の利益を主張する。

本発明は、一般的に、マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系に関する。より具体的には、本発明は、マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）として、特にデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）として実現することができる反射要素のアレイを含むような照明系に関する。

マイクロリソグラフィ（フォトリソグラフィ又は単純にリソグラフィとも呼ばれる）は、集積回路、液晶ディスプレイ、及び他の微小構造デバイスの加工のための技術である。より具体的には、マイクロリソグラフィ工程は、エッチング処理と共に、基板、例えば、シリコンウェーハ上に形成された薄膜積層体内に特徴部をパターン形成するのに用いられる。加工の各層では、最初にウェーハが、深紫外（ＤＵＶ）光のような放射線に敏感な材料であるフォトレジストで被覆される。次に、上部にフォトレジストを有するこのウェーハは、投影露光装置内で投影光に露光される。この装置は、パターンを含むマスクをこのマスクパターンによって決定されるある一定の位置においてのみフォトレジストが露光されるようにフォトレジスト上に投影する。露光の後にフォトレジストは現像され、マスクパターンに対応する像が発生する。次に、エッチング処理が、このパターンをウェーハ上の薄膜積層体内に転写する。最後に、フォトレジストが除去される。異なるマスクに対してこの工程を繰り返すことにより、多層微小構造構成要素が生じる。

一般的に、投影露光装置は、マスクを照明するための照明系、マスクを位置合わせさせるためのマスクステージ、投影対物系、及びフォトレジストで被覆したウェーハを位置合わせさせるためのウェーハアラインメントステージを含む。照明系は、例えば、細長い矩形スリットの形状を有することができるマスク上の視野を照明する。

現在の投影露光装置では、２つの異なる種類の装置の間で区別を付けることができる。一方の種類では、ウェーハ上の各ターゲット部分は、マスクパターン全体を１回の進行でターゲット位置上に露光することによって照射され、そのような装置は、一般的にウェーハステッパと呼ばれる。一般的に、逐次走査装置又はスキャナと呼ばれる他方の種類の装置では、各ターゲット部分は、投影ビームの下で所定の基準方向にマスクパターンを漸次的に走査し、それと同時にウェーハステージをこの方向に対して平行又は非平行に走査することによって照射される。ウェーハの速度とマスクの速度の比は、投影対物系の倍率と等しく、１：４のように通常は１よりも小さい。

「マスク」（又はレチクル）という用語は、パターン形成手段として広義に解釈されるものであると理解されるものとする。一般的に用いられるマスクは、透過又は反射パターンを含み、例えば、２値の交互位相シフト式、減衰位相シフト式、又は様々な混成マスク形式のものとすることができる。しかし、能動マスク、例えば、プログラマブルミラーアレイとして実現されるマスクも存在する。そのようなデバイスの例は、粘弾性制御層及び反射面を有するマトリックスアドレス可能表面である。そのようなミラーアレイの更に別の情報は、例えば、ＵＳ５，２９６，８９１、ＵＳ５，５２３，１９３、ＵＳ６，２８５，４８８Ｂ１、ＵＳ６，５１５，２５７Ｂ１、及びＷＯ２００５／０９６０９８Ａ２から収集することができる。また、ＵＳ５，２２９，８７２に説明されているように、プログラマブルＬＣＤアレイを能動マスクとして用いることができる。簡略化のために、本明細書の残りの部分は、具体的にマスク及びマスクステージを含む装置に関する場合があるが、そのような装置において解説する一般的な原理は、上記に示すパターン形成手段という広義の背景において捉えられたい。

微小構造デバイスを製造するための技術が進歩すると、照明系に対する要求も増大の一途を辿る。理想的には、照明系は、マスク上の照明視野の各点を明確に定められた照射及び角度分布を有する投影光で照明する。角度分布という用語は、マスク平面内の特定の点に向って収束する光束の全光エネルギが、光束を構成する光線が伝播する様々な方向の間で如何に分布されるかを表している。

通常、マスク上に入射する投影光の角度分布は、フォトレジスト上に投影されるパターンの種類に適合される。例えば、比較的大きいサイズの特徴部は、小さいサイズの特徴部とは異なる角度分布を必要とする場合がある。投影光の最も一般的に用いられる角度分布は、従来の照明環境、環状照明環境、双極照明環境、及び四重極照明環境と呼ばれる。これらの用語は、照明系における瞳面内の照射分布を意味する。例えば、環状照明環境を用いると、瞳面内で環状の領域のみが照らされる。これに関して、投影光の角度分布において小さい角度範囲しか存在せず、従って、全ての光線は、マスク上に同様の角度で傾斜して入射する。

望ましい照明環境を得るために、マスク平面内の投影光の角度分布を修正する異なる手段が当業技術で公知である。最も単純な場合には、１つ又はそれよりも多くの開口を含む絞り（ダイヤフラム）が、照明系の瞳面内に位置決めされる。瞳面内の位置は、マスク平面のようなフーリエ関係にある視野平面内の角度へと変換されるので、瞳面内の開口のサイズ、形状、及び位置は、マスク平面内の角度分布を決める。しかし、照明系のいかなる変更も、絞りの置換を必要とする。それによってサイズ、形状、又は位置が若干異なる開口を有する非常に多くの絞りが必要になるので、最終的に照明環境を調節することが困難になる。

従って、多くの一般的な照明系は、瞳面の照明を少なくともある一定の程度まで連続的に変更することを可能にする調節可能な要素を含む。従来、この目的のために、ズーム対物系及び１対のアキシコン要素を含むズームアキシコン系が用いられている。アキシコン要素は、片側に円錐形表面を有して通常はその反対側で平面である屈折レンズである。一方が凸円錐形表面を有し、他方が補完的な凹円錐形表面を有する１対のそのような要素を設けることにより、光エネルギを半径方向にシフトすることができる。このシフトは、アキシコン要素間の距離の関数である。ズーム対物系は、瞳面内の照明区域のサイズを変更することを可能にする。

しかし、そのようなズームアキシコン系を用いても、従来の照明環境及び環状照明環境しか発生させることができない。他の照明環境、例えば、双極又は四重極照明環境では、付加的な絞り又は光学ラスター要素が必要である。光学ラスター要素は、その表面上の各点において、遠視野内のある一定の照明区域に対応する角度分布を発生させる。多くの場合に、そのような光学ラスター要素は、回折光学要素、特にコンピュータ生成ホログラム（ＣＧＨ）として実現される。そのような要素を瞳面の前に位置決めし、これらの間に集光レンズを配置することにより、瞳面内で殆どいかなる任意の強度分布も発生させることができる。付加的なズームアキシコン系は、光学ラスター要素によって発生する照明分布を限られた範囲まで変更することを可能にする。

しかし、ズームアキシコン系は、照明環境の限られた調節性しかもたらさない。例えば、四重極照明環境の４つの極のうちの１つだけを任意の方向に沿って位置を変えることはできない。この目的のためには、瞳面内のこの特定の強度分布に向けて具体的に設計された別の光学ラスター要素を用いなければならない。そのような光学ラスター要素の設計、製造、及び輸送は、時間を消費する高価な工程であり、従って、瞳面内の光強度分布を投影露光装置のオペレータの要求に適合させる柔軟性に乏しい。

マスク平面内で異なる角度分布を発生させる上での柔軟性を高めるために、瞳面を照明するミラーアレイを用いることが提案されている。

ＥＰ１，２６２、８３６Ａ１では、ミラーアレイは、１０００個よりも多くの微小ミラーを含むマイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）として実現されている。ミラーの各々は、互いに対して垂直な２つの異なる平面内で傾斜することができる。従って、そのようなミラーデバイス上に入射する放射線を（実質的に）あらゆる望ましい半球方向へと反射することができる。ミラーアレイと瞳面の間に配置された集光レンズは、ミラーによって発生する反射角を瞳面内の位置へと変換する。この公知の照明系は、各々が１つの特定の微小ミラーに関連付けられ、このミラーを傾斜させることによって瞳面にわたって自由に移動することができる複数の円形スポットで瞳面を照明することを可能にする。

同様の照明系は、ＵＳ２００６／００８７６３４Ａ１及びＵＳ７，０６１，５８２Ｂ２のような他の特許文献から公知である。

ＷＯ２００５／０２６８４３Ａ２は、回折光学要素が照明系のミラーアレイと瞳面の間のビーム経路に配置された照明系を開示している。この回折光学要素は、ミラーアレイのミラーによって発生する角度分布上に重ね合わせされる付加的な角度分布を発生させる。ここで、瞳面内の強度分布は、ミラーアレイによって発生する強度分布と回折光学要素によって発生する強度分布との畳み込みとして表すことができる。

回折光学要素によって発生する角度分布は、それが、フライアイレンズとして形成されたそれに続く光結合器のチャンネルの幾何学形状に適合するように設計される。それによってチャンネルがミラーアレイによって部分的にのみ照らされることになることが阻止される。従って、回折光学要素は、光ビームが要素の何処を通じて伝播するかに関係なく同じ角度分布を発生させる。

ＷＯ２００５／０２６８４３Ａ２に説明されている別の実施形態では、ミラーアレイのミラーは、回折光学構造又は同等の効果を有する構造を支持する。これらのミラーは、例えば、近い必要はない複数の光スポットで構成することができる基本的分布を発生させるように設計することができる。個々のミラーを傾斜させることにより、光スポットの配列を瞳面にわたってシフトすることができる。更に別の実施形態では、ミラー表面は湾曲されるが、回折構造を支持しない。個々のミラーの湾曲は、各個々のミラーによって瞳面内に発生する光スポットのサイズに影響を与える。

反射アレイを含む公知の照明系は、照明環境の望ましい可変性を得るために、非常に多数の反射要素を必要とする。反射要素の数が少な過ぎた場合には、瞳面内で非常に粗いパターンの照明区域しか可能ではない。例えば、反射要素が瞳面内で円形スポットを発生させる場合には、瞳面内のより大きい連続区域を照明することは不可能である。ミラー要素が、上述のＷＯ２００５／０２６８４３Ａ２から公知の回折光学要素と組み合わされる場合には、照明区域を連続的にすることができるが、照明区域の湾曲した例えば円形の外周を近似するのは困難である。非常に多数、例えば、１００００個を超えるミラー要素を用いると、スポットは、瞳面内で任意の外周を有するより大きい区域を疑似連続的に照明するほど十分に小さい。しかし、そのようなアレイの製造及び信頼性は、未だ満足できるものではなく、残りの技術的な問題が解決されたとしても、そのようなアレイが極めて高価になることは明らかであろう。

米国特許仮出願第６０／９１３，９６２号 米国特許仮出願第６０／９１３，９５６号 ＵＳ５，２９６，８９１ ＵＳ５，５２３，１９３ ＵＳ６，２８５，４８８Ｂ１ ＵＳ６，５１５，２５７Ｂ１ ＷＯ２００５／０９６０９８Ａ２ ＵＳ５，２２９，８７２ ＥＰ１，２６２，８３６Ａ１ ＵＳ２００６／００８７６３４Ａ１ ＵＳ７，０６１，５８２Ｂ２ ＷＯ２００５／０２６８４３Ａ２

従って、マイクロリソグラフィ投影露光装置においてマスクを照明するための改善された照明系を提供することが目的である。この照明系は、反射要素数を増加する必要なく更なる改善された可変性を有する反射要素のアレイ（又は、同様の効果を有するデバイス）を含むはずである。

本発明の第１の態様によると、この目的は、光軸、瞳面、及び反射又は透過ビーム偏向要素から成るビーム偏向アレイを含む照明系によって達成される。ビーム偏向アレイの各偏向要素は、制御信号に応答して可変である偏向角で入射光線を偏向するようになっている。偏向要素は、第１の平面に配置される。更に、この照明系は、複数のマイクロレンズ及び／又は回折構造を含み、第２の平面に配置された光学ラスター要素を含む。ビーム偏向アレイ及び光学ラスター要素は、瞳面内に２次元強度分布を共同で発生させる。本発明によると、更にこの照明系は、第１の平面を第２の平面に対して光学的に共役にする光学結像系を含む。

第１の平面と第２の平面の間の共役性の結果、瞳面内の２次元強度分布は、ビーム偏向アレイによって発生する遠視野強度分布と、光学ラスター要素によって発生する遠視野強度分布との畳み込みである。一方、ＷＯ２００５／０２６８４３Ａ２から公知である従来技術の照明系とは対照的に、本発明のこの態様による照明系は、一方でビーム偏向アレイ上の位置と、他方で光学ラスター要素上の位置との間の明確な１対１の関係を保証する。

例えば、第２の平面が光学結像系の物体面であり、第１の平面が光学結像系の像平面であると仮定される場合には、上述のことは、光学ラスター要素上の特定の位置上に入射する全ての光線が、ビーム偏向アレイの特定の偏向要素上の同じ位置上にも入射することを意味する。それによって特定の偏向要素上の位置に対応する光学ラスター要素上の位置をこの光学ラスター要素がこの特定の偏向要素に理想的に適合するように設計することが可能になる。そのような適合は、特定の偏向要素に到達することが許される光の量、又は光学ラスター要素が偏光効果を有する場合はその偏光状態に関連するものとすることができる。

しかし、恐らくこの光学共役性の最も有利な効果は、光学ラスター要素が、光学結像系によって発生する光学共役により、各々がビーム偏向アレイの少なくとも１つの偏向要素に関連付けられた複数の区画を含むことができることである。少なくとも２つの区画は、異なる遠視野強度分布を発生させることができる。上述の場合のように、ビーム偏向アレイが、光学ラスター要素と瞳面の間に配置されることが仮定される場合には、上述のことは、異なる偏向要素が、それに関連付けられた区画によって決定される異なる遠視野強度分布を発生させることを意味する。制御信号に応答して偏向要素の偏向角を変更することにより、次に、この遠視野強度分布を瞳面にわたって移動することができる。

更に、光学ラスター要素によって発生する異なる遠視野強度分布は、幅広く異なる構成を発生させることができるように、瞳面内で異なる構成で組み合わせることができる。光学ラスター要素の区画によって発生する異なる遠視野強度分布を適切に選択することにより、非常に少ない個数の偏向要素、例えば、１００個よりも少ないか、又は更に５０個よりも少ない要素で、非常に幅広く異なる強度分布を瞳面内に発生させることができる。

当然ながら、光学ラスター要素がビーム偏向アレイと瞳面の間に配置された場合にも同じことが当て嵌まる。この場合には、第１の平面は、光学結像系の物体面であり、第２の平面は、光学結像系の像平面である。光学ラスター要素の区画は、これらの偏向要素又はこの区画の区域に光学的に共役な区域に配置された偏向要素によってのみ照らされる。特定の偏向要素の反射角を変更することにより、この偏向要素に関連付けられた区画上に入射する光線の方向を変更することができる。特定の区画と、それに関連付けられた偏向要素との組合せによって発生する全角度分布は、ここでも、区画によって発生する遠視野強度分布と偏向要素によって発生する遠視野強度分布との畳み込みとして表すことができる。

複数の偏向要素が、特定の角度分布を発生させる単一の区画を照明する場合には、単純に、注目している偏向要素の偏向角を変更することにより、複数の等しい遠視野強度分布を自由に配置することができる。

各又は一部の偏向要素は、「オン」状態又は「オフ」状態のいずれかに置かれるようにすることができる。「オン」状態は、偏向された光ビームが瞳面を所定の位置で通過することを特徴とする。「オフ」状態は、偏向された光ビームが瞳面を通過しないことを特徴とする。通常、そのようなデジタル反射アレイは、より単純な機械的構成を有する。

１つよりも多くの偏向要素が、特定の遠視野強度分布を発生させる単一の区画と関連付けられた場合には、そのようなデジタルビーム偏向アレイは、依然としてこの分布の全強度を修正することを可能にすることになる。更に、区画によって発生する遠視野内の全強度は、それぞれの区画に関連付けられた望ましい個数の偏向要素を単純にオンとオフを切り換えることによって修正することができる。

ビーム偏向要素は、互いの間にある一定の角度をなす２つの傾斜軸によって傾斜することができるミラーとして構成することができる。別の実施形態では、ビーム偏向要素は、透過電気光学要素又は音響光学要素である。

別の態様によると、反射又は透過ビーム偏向要素から成るビーム偏向アレイを含む、マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系を提供する。各ビーム偏向要素は、制御信号に応答して可変である偏向角だけ入射光線を偏向するようになっている。少なくとも１つの偏向要素は、回転非対称に湾曲され、及び／又は回転非対称遠視野強度分布を発生させる回折構造を支持する。本発明のこの態様によると、少なくとも１つのビーム偏向要素は、３つの回転自由度を有するようにマウントされる。

通常は直交する２つの傾斜軸に加えて、好ましくは、ビーム偏向要素の光学面、例えば、ビーム偏向要素がミラーである場合はミラー表面に対して少なくとも実質的に垂直に延びる回転軸によってビーム偏向要素を回転させることができる。ビーム偏向要素が電気光学要素又は音響光学要素、又は他の透過要素である場合には、この付加的な回転軸は、この光出射表面に対して少なくとも実質的に垂直なものとすることができる。

本発明の様々な特徴及び利点は、添付図面と共に以下の詳細説明を参照することにより、より容易に理解することができるであろう。

本発明による投影露光装置の大幅に簡略化した斜視図である。 図１に示す投影露光装置に収容される照明系を通じた子午断面図である。 図２の照明系内に含まれるミラーアレイの斜視図である。 図３のミラーアレイを通じた断面図である。 光学ラスター要素の区画及びミラー要素によって発生する遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素の区画及びミラー要素によって発生する遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素の区画及びミラー要素によって発生する遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素及び異なる構成のミラーアレイによって発生する異なる遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素及び異なる構成のミラーアレイによって発生する異なる遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素及び異なる構成のミラーアレイによって発生する異なる遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素及び異なる構成のミラーアレイによって発生する異なる遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 光学ラスター要素及び異なる構成のミラーアレイによって発生する異なる遠視野強度分布の畳み込みを示す概略図である。 図６と同様の概略図であるが、異なる光学ラスター要素に関する図である。 図６と同様の概略図であるが、異なる光学ラスター要素に関する図である。 図６と同様の概略図であるが、更に別の光学ラスター要素に関する図である。 図１３に示す光学ラスター要素を用いるが、異なる構成のミラーアレイを用いて得られる全遠視野強度分布の図である。 図１３に示す光学ラスター要素を用いるが、異なる構成のミラーアレイを用いて得られる全遠視野強度分布の図である。 図１３に示す光学ラスター要素を用いるが、異なる構成のミラーアレイを用いて得られる全遠視野強度分布の図である。 本発明の別の実施形態による照明系を通じた子午断面図である。 瞳面の概略図を有する図１７の照明系内に含まれる光学ラスター要素の平面図である。 図１７の照明系内に含むことができる異なる光学ラスター要素の平面図である。 本発明の別の態様による照明系を通じた子午断面図である。 回折構造を支持するミラーを含む、図２０の照明系における使用のためのミラーアレイの斜視図である。 図２１に示すアレイのミラーによって支持される回折構造によって発生する遠視野強度分布の図である。 回折構造を支持して３つの回転自由度を有するミラーを含む、図２０に示す照明系における使用のためのミラーアレイの斜視図である。 ２つの異なる回転位置にある図２３に示すアレイの単一のミラー要素の斜視図である。 ２つの異なる回転位置にある図２３に示すアレイの単一のミラー要素の斜視図である。 図２３に示すアレイの第１の回転位置に配置されたミラーによって支持される回折構造によって発生する遠視野強度分布の図である。 図２５に示す第１の回転位置に配置されたミラーを用いて得られる全遠視野強度分布（双極設定）の図である。 ミラーが第２の回転位置に配置された図２５と同様の図である。 図２７に示す第２の回転位置に配置されたミラーを用いて得られる全遠視野強度分布（環状設定）の図である。

１．投影露光装置の一般的な構造
図１は、集積回路及び他の微小構造構成要素の製造に用いられる投影露光装置１０の大幅に簡略化した斜視図である。投影露光装置は、投影光を発生させる光源、及び投影光を注意深く規定された特性を有する投影光束へと変換する照明光学系を含む照明系を含む。投影光束は、微小構造１８を含むマスク１６上の視野１４を照明する。この実施形態では、照明視野１４は、ほぼリングセグメント形状を有する。しかし、他の形状、例えば、矩形の照明視野１４も同様に考えられている。

投影対物系２０は、照明視野１４内の構造１８を基板２４上に付加された感光層２２、例えば、フォトレジスト上に結像する。シリコンウェーハによって形成することができる基板２４は、感光層２２の上面が、投影対物系２０の像平面に正確に位置するようにウェーハステージ（示していない）上に配置される。マスク１６は、マスクステージ（示していない）を用いて投影対物系２０の物体面内に位置決めされる。投影対物系２０は、１よりも小さい倍率、例えば、１：４を有するので、照明視野１４内の構造１８の縮小像１４’が、感光層２２上に形成される。

２．照明系の一般的な構造
図２は、図１に示している第１の実施形態の照明系１２を通じたより詳細な子午断面図である。明瞭化のために、図２の図は、大幅に単純化しており、正確な縮尺のものではない。特に、これは、異なる光学ユニットを極めて少数の光学要素だけによって表していることを意味する。実際には、これらのユニットは、かなりより多くのレンズ及び他の光学要素を含むことができる。

照明系１２は、ハウジング２８、及び図示の実施形態ではエキシマレーザ３０として実現された光源を含む。エキシマレーザ３０は、約１９３ｎｍの波長を有する投影光を放射する。同様に、他の種類の光源及び他の波長、例えば、２４８ｎｍ又は１５７ｎｍが考えられている。

図示の実施形態では、エキシマレーザ３０によって放射される投影光は、ビーム拡大ユニット３２に入射し、ここで光束は、幾何学形状的光束を変化させることなしに拡大される。ビーム拡大ユニット３２は、図２に示しているようにいくつかのレンズを含むことができ、又はミラー配列として実現することができる。ビーム拡大ユニット３２を通過した後に、投影光は、交換ホルダ３５内に交換可能に受け取られた光学ラスター要素３４上に入射する。

図６を参照して下記により詳細に説明することになるが、光学ラスター要素３４は、図示の実施形態では、光学ラスター要素３４が延びる平面内で規則的な格子状アレイを形成する複数の隣接する区画Ｚ_ijを含む。各区画Ｚ_ijは、遠視野内に注意深く設計された強度分布を発生させる回折光学要素を含む。遠視野では、回折光学要素によって発生する強度分布が観測される距離は、要素内に含まれる回折構造の一般的な幅と比較すると大きい。この場合には、遠視野強度分布は、回折構造の幾何学形状を表す振幅関数のフーリエ変換によって与えられる。この理由から、適切な回折光学要素を用いてほぼあらゆる任意の望ましい遠視野強度分布に向けて設計を行うことができる。回折光学要素は、望ましい遠視野強度分布の逆フーリエ変換によって与えられる振幅関数を有する。この種の回折光学要素は、多くの場合に「コンピュータ生成ホログラム（ＣＧＨ）」と呼ばれ、様々な光学技術供給元から容易に入手可能である。

代替的に、光学ラスター要素３４の区画Ｚ_ijは、複数のマイクロレンズ、例えば、球面、非球面、円柱、又はプリズム形のマイクロレンズを含むことができる。球面及び円柱マイクロレンズは、例えば、それぞれ円盤又は矩形ストリップの幾何学形状を有する遠視野強度分布を発生させる。

光学ラスター要素３４が延びる平面は、図２の概略図に２つの正のレンズ４０及び４１によって表している光学結像系３８の物体面３６である。光学結像系３８は、物体面３６を像平面４０へと結像し、それによって物体面３６と像平面４０の間に光学共役を完成する。従って、物体面３６内の特定の物体点から発散する各光束は、像平面４０内の関連付けられた像点に収束する。図２では、これを物体面３６内の軸上の点から出射する光束の周辺光線を表す点線ＭＲによって示している。

この特定の実施形態では、光学結像系３８は、照明系１２の全体の長さを短縮する平面折り返しミラー４２を含む。折り返しミラー４２は、光学ラスター要素３４の区画Ｚ_ijによって発生する遠視野分布が、折り返しミラー４２上に形成されるように瞳平面４４に配置される。しかし、折り返しミラー４２は、全く不要にすることができ、又は光学結像系３８の瞳平面を外して配置することができる。

光学結像系３８の像平面４０には、ミラーアレイ４６が配置される。下記により詳細に説明することになるが、ミラーアレイ４６は、好ましくは、互いに対して垂直に調整された２つの傾斜軸により、互いに独立して傾斜することができる複数の小さい個々のミラー要素Ｍ_ijを含む。ミラー要素Ｍ_ijの全個数は、好ましくは、１００個よりも少なく、より一層好ましくは、５０個よりも少ない。ミラー要素Ｍ_ijの反射面は平面とすることができるが、付加的な反射力が望ましい場合には、少なくとも１つの方向に沿って湾曲させることができる。例えば、ミラー要素Ｍ_ijは、湾曲が１つの方向だけに限定される場合には、凸又は凹の円柱ミラーとして構成することができる。ミラー要素Ｍ_ijが、２つの方向に沿って湾曲される場合には、湾曲は回転対称又は非対称とすることができる。回転非対称の場合には、ミラー要素Ｍ_ijは、歪像反射力を有することができる。ミラー要素Ｍ_ijの湾曲を適切なアクチュエータを用いて修正することができる場合は特に有利である。

個々のミラー要素Ｍ_ijの傾斜の動きは、照明系１２の全体システム制御器５２に接続したミラー制御ユニット５０によって制御される。ミラー要素Ｍ_ijの望ましい傾斜角を設定するのに用いられるアクチュエータは、各個々のミラー要素Ｍ_ijが、制御信号に応答して可変である反射角で入射光線を反射することができるような制御信号をミラー制御ユニット５０から受信する。ここに図示した実施形態では、傾斜角、及び従って個々のミラー要素Ｍ_ijを配置することができる反射角の連続する範囲が存在する。他の実施形態では、アクチュエータは、限られた数の個別の傾斜角のみを設定することができるように構成される。２つの異なる傾斜角しか持たない実施形態を以下に説明する。

図３は、８×８＝６４個のミラー要素Ｍ_ijを含むミラーアレイ４６の斜視図を示している。ミラーアレイ４６上に入射する平行光束５４ａは、ミラー要素Ｍ_ijの傾斜角に依存して異なる方向へと反射される。この概略図では、ミラー要素Ｍ₃₅及びＭ₇₇によって反射される光束５４ｂ、５４ｂ’が、それぞれ異なる方向に反射されるように、特定のミラー要素Ｍ₃₅が、別のミラー要素Ｍ₇₇に対して２つの傾斜軸５６、５８の回りに傾斜されることを仮定している。

図４の断面図は、ＹＺ平面内で様々な傾斜角で傾斜された複数の隣接するミラー要素Ｍ_ijにより、平行光をＹＺ平面内で異なる方向へと如何に反射することができるかを示している。

再度図２を参照すると、照明系１２は、可変焦点距離を有するズームレンズ系５８を更に含む。図２では、ズームレンズ系５８を双方向矢印６２で示しているように、照明系１２の光軸に沿って変位可能な単一のレンズによって表している。

ズームレンズ系５８の背後には、対向する円錐表面を有するアキシコン要素６６、６８の対６４が配置される。両方のアキシコン要素６６、６８が直接に接触する場合には、アキシコン対６４は、平行平面プレートの効果しか持たない。図２において双方向矢印６９で示しているように、両方のアキシコン要素６６、６８が移動して分離された場合には、アキシコン要素６６、６８の間の間隔は、半径方向に外向きに光エネルギのシフトを引き起こす。アキシコン要素は、当業技術で公知なので、これらについてより詳細には説明しない。

参照番号７０は、マスク１４上に入射する光の角度分布を実質的に定める照明系１２の瞳面を表している。瞳面７０は、通常は平面であり、又は若干湾曲され、複数の２次光源を発生させる光結合器７２内、又はその直近に配置される。図示の実施形態では、光結合器７２は、各々が、平行な円柱マイクロレンズの２つの直交アレイを含む２つの基板７４、７６を含むフライアイレンズとして実現される。光結合器７２は、光線と照明系１２の光軸ＯＡとの間で形成される角度範囲を拡大する。瞳面７０内の角度分布は、それに続く視野平面内の強度分布へと直接変換されるので、光結合器７２は、マスク１６上の照明視野１４の幾何学形状を実質的に決める。光結合器７２は、Ｙ方向よりもＸ方向に有意に大きく角度範囲を拡大するので、照明視野１４は、Ｙ方向（すなわち、走査方向）よりもＸ方向に沿って大きい寸法を有する。

光結合器７２によって発生する２次光源から出射する投影光は、図２に、簡略化の目的のみから単一のレンズによって表している集光器７８に入射する。集光器６２は、瞳面７０と、それに続く、視野絞り８２が配置された中間視野平面８０との間のフーリエ関係を保証する。集光器７８は、２次光源によって中間視野平面８０内に発生する光束を重ね合わせ、それによって中間視野平面８０の非常に均一な照明が得られる。視野絞り８２は、複数の可動ブレードを含むことができ、マスク１６上の照明視野１４の鮮明な縁部を保証する。

視野絞り対物系８４は、中間視野平面８０とマスク１６が配置されたマスク平面８６との間に光学共役をもたらす。従って、視野絞り８２は、視野絞り対物系８４によってマスク１６上に鮮明に結像される。

３．照明系の機能
以下では、照明系１２の一般的な機能を図５ａから図５ｃ及び図６から図１１を参照して説明する。

図６は、その上の部分に、格子状アレイを形成するように光学ラスター要素３４上に配置された区画Ｚ_ijの略正面図を示している。インデックスｉは、Ｘ方向に沿って延びる特定の行を表し、インデックスｊは、Ｙ方向に沿って延びる特定のアレイ列を表している。この特定の例では、光学ラスター要素３４が、全部で２４個の区画Ｚ_ijを含むことを仮定している。更に、各区画Ｚ_ijが、ミラーアレイ４６内の厳密に１つのミラー要素Ｍ_ijと関連付けられるように、同じ個数の対応するミラー要素Ｍ_ijの配列がＭミラーアレイ４６内に存在する。区画Ｚ_ijのサイズ及び幾何学形状は、各区画Ｚ_ijが、これらに関連付けられたミラー要素Ｍ_ij上に完全に又は少なくとも実質的に完全に光学結像系３８を用いて結像されるように選択される。これは、特定の区画Ｚ_ijを通じて伝播する全ての光が、ミラーアレイ４６内の対応するミラー要素Ｍ_ij上に（のみ）入射することを意味する。

図６の上の部分にある光学ラスター要素３４の図では、各区画Ｚ_ijは、それぞれの区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ_ijを示すことになる二等辺三角形を含む。図６から分るように、全ての区画Ｚ_ijは、二等辺三角形という基本幾何学形状を有するが、異なる角度方向を有する遠視野強度分布Ｄ_ijを発生させる。この実施形態では、３６０°／２４＝１５°の規則的角度で分離された２４個の異なる角度方向が存在する。各区画Ｚ_ijに含まれる回折構造は、遠視野内で強度分布Ｄ_ijへと変換される角度分布を発生させるように設計される。

光学結像系３８によって引き起こされる光学共役の結果、これらの角度分布は、ミラーアレイ４６のミラー要素Ｍ_ij上に「結像」される。その結果、各ミラー要素Ｍ_ijは、角度分布、及び従って光学ラスター要素３４のこれらミラー要素に関連付けられた区画Ｚ_ijの遠視野強度分布Ｄ_ijを基本的に発生させる。しかし、ミラー要素Ｍ_ijは、傾斜することができるので、特定のミラー要素Ｍ_ijの傾斜角に依存する付加的なオフセット角がこの角度分布に重ね合わせされる。遠視野では、ミラー要素Ｍ_ijを傾斜させることによって発生する付加的なオフセット角は、これらのミラー要素に関連付けられた区画Ｚ_ijによって発生するそれぞれの遠視野強度分布Ｄ_ijの付加的なオフセット変位へと変換される。言い換えれば、遠視野強度分布Ｄ_ijをこれらの遠視野強度分布に関連付けられたミラー要素Ｍ_ijを適切に傾斜することによって空間的にシフトすることができる。

数学的には、光学ラスター要素３４の区画Ｚ_ijと、これらの区画に関連付けられたミラーアレイ４６のミラー要素Ｍ_ijとの組合せによって発生する遠視野分布は、畳み込みとして表すことができる。図５ａでは、左の部分は、区画Ｚ₁₁の遠視野強度分布Ｄ₁₁を示しており、中央部分には、区画Ｚ₁₁に関連付けられたミラーアレイ４６のミラー要素Ｍ₁₁によって発生した遠視野分布Ｄ’₁₁を示している。クロス記号は、照明系１２の光軸６０を示している。ミラーが平行な光束を反射することになる場合には、遠視野強度分布Ｄ’₁₁が得られることになる。

畳み込み記号８８によって示している両方の遠視野強度分布Ｄ₁₁及びＤ’₁₁の畳み込みは、遠視野強度分布Ｄ₁₁のシフトを生じ、それによって強度分布Ｄ₁₁は、今度はミラーアレイ４６のミラー要素Ｍ₁₁によって発生する強度分布Ｄ’₁₁に対して中心に置かれる。この構成では、ミラー要素Ｍ₁₁の傾斜角は、畳み込まれた遠視野強度分布Ｃ₁₁を形成する三角形の頂点が光軸６０上に位置するように選択される。

図５ｂは、区画Ｚ₄₁によって発生する遠視野強度分布と、区画Ｚ₄₁に関連付けられたミラー要素Ｍ４１の遠視野強度分布Ｄ’₄₁との畳み込みを示している。遠視野強度分布Ｄ₄₁は、１８０°だけ回転されたその角度方向を除き、遠視野強度分布Ｄ₁₁と同一である。区画Ｚ₄₁に関連付けられたミラー要素Ｍ₄₁は、遠視野強度分布Ｄ’₄₁が、遠視野強度分布Ｄ’₁₁と比較して光軸６０の反対側に配置されるように傾斜される。図５ｂの右手側から分るように、それによって−Ｙ方向に沿っての遠視野強度分布Ｄ₄₁のシフトが生じ、畳み込まれた遠視野強度分布Ｃ₄₁を形成する三角形の頂点は、ここでも光軸６０上に位置決めされる。

図５ａに例示している区画Ｚ₁₁とミラーＭ₁₁との組合せによって発生する光学遠視野分布Ｃ₁₁を図５ｂに点線で示している。図５ｂは、区画Ｚ_ijによって発生する個々の遠視野強度分布Ｄ_ijを区画Ｚ_ijに関連付けられたミラー要素Ｍ_ijを用いて移動し、組み合わせることにより、如何により複雑な遠視野強度分布を組み立てることができるかを示している。

図５ｃは、区画Ｚ₁₃によって発生する遠視野強度分布Ｄ₁₃と、区画Ｚ₁₃との光学共役によって関連付けられたミラー要素Ｍ₁₃によって発生する遠視野強度分布Ｄ’₁₃との畳み込みにおける同様の図を示している。

畳み込まれた遠視野強度分布Ｃ_ijを加算するこの処理を全てのミラー要素Ｍ_ijに対して繰り返した場合には、畳み込まれた遠視野強度分布Ｃ_ijの重ね合わせである全遠視野強度分布Ｃが得られる。この原理は、異なるジグソーパズルの一片を新しいパターンへと組み合わせるのと同様である。ジグソーパズルの一片（すなわち、遠視野強度分布Ｄ_ij）は、言わばこれらの一片に関連付けられたミラー要素Ｍ_ijを傾斜させることによってある一定の平面内で移動される。

ミラー要素Ｍ_ijが、少なくとも１つの方向に湾曲される場合には、ミラー要素Ｍ_ijの反射力を考慮に入れるべきである。ミラー要素Ｍ_ijの遠視野強度分布Ｄ’_ijは、もはや一般的に単純に点ではなくなり、その形状が変化することになり、例えば、楕円とすることができる。従って、区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ_ijとの畳み込みは、単純にこの遠視野強度分布Ｄ_ijの変位ではなくなり、遠視野強度分布Ｄ_ijの変形をも含むことになる。ミラー要素を変形させることにより、畳み込まれた遠視野強度分布Ｃ_ijの形状を少なくともある一定の限度内で変更することができる。

再度図６を参照すると、２次元全遠視野強度分布Ｃ_aがほぼ円盤幾何学形状を有するように如何に遠視野強度分布Ｄ_ijが組み合わされるかを例示されている。個々の遠視野強度分布Ｄ_ijは、三角形の幾何学形状を有するので、この円盤の外周は完全に円形ではなく、ｚが区画Ｚ_ijの全個数である時に、ｚ＝２４個のコーナを有する正多角形によって表すことができる。そのような遠視野強度分布を得るためには、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijが、図６の中央に示しているように、光軸６０の回りの円上に配置されるように、ミラー要素Ｍ_ijを傾斜すべきである。

更に別の説明から明らかになるが、ミラー要素Ｍ_ijを適切に傾斜することにより、様々な異なる全遠視野強度分布を発生させることができ、それによって区画Ｚ_ijによって発生する個々の遠視野強度分布Ｄ_ijは、瞳面７０内で移動される。図２に図示の実施形態では、ズームレンズ系５８及びアキシコン要素６６、６８の対６４によって付加的な自由度がもたらされる。これは、これらの光学要素がマスク１６上に入射する投影光の角度分布を最終的に決める瞳面７０内の強度分布を付加的に修正することによる。例えば、瞳平面５４内で照らされる区域のサイズは、ズームレンズ系５８の焦点距離を変更することによって変更することができる。図６に例示している構成では、これは、瞳面７０内の（ほぼ）円盤形の照明区域の直径を最適なコヒーレンシσを有する従来の照明環境が得られるように選択することができることを意味する。アキシコン要素６６、６８が、移動して分離された場合には、瞳面７０内で環状領域が照らされることになり、ズームレンズ系５８の焦点距離を変更することによってある一定の幾何学形状パラメータを更に修正することができる。

しかし、瞳面７０の照明に関する高い柔軟性は、次の節で説明することになる区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ_ijをミラーアレイ４８を用いてほぼ自由に移動する機能によってもたらされる。

４．ミラーアレイを用いる照明環境の変動
図７から図１０は、光学ラスター要素３４の区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ_ijを如何にして異なる構成で組み立てることができ、それによって様々な異なる照明環境が得られるかを示す図６と同様の概略図である。

図７の下の部分に例示している構成は、個々のミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijが図６に示している構成と比較して大きい直径を有する光軸６０の周囲の円上に位置するようにミラー要素Ｍ_ijを傾斜させることで得られる。その結果、遠視野強度分布Ｄ_ijは、図７の下の部分から分るように、半径方向に外向きに移動される。遠視野強度分布Ｄ_ijは、今度は小さい間隙によって互いから分離され、得られる全遠視野強度分布Ｃ_bは、今度は環状強度分布に近似する。

上記第３節で説明したように、ミラー要素Ｍ_ijが変形可能である場合には、遠視野強度分布Ｄ_ijの間の間隙のサイズが縮小するか又は完全に消滅するような程度にまでミラー要素Ｍ_ijを変形することにより、遠視野強度分布Ｄ_ijを拡幅することができる。これを図７の左下部分に略示しており、ここでは、遠視野強度分布Ｄ_ijの変形された分布Ｄ_ij、dへの拡幅が、如何に間隙の充填、及び従って環状強度分布のより良好な近似を生じるかを示している。

図８に例示している構成では、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijは、更に一層半径方向に外向きにシフトされ、全遠視野強度分布Ｃ_cを生じる。その結果、畳み込み記号８８によって示している畳み込みは、照明環が依然として同じ幅を有するが、大きい内側直径及び外側直径を有する近似的角度照明環境が生じる。

図９の下の部分に例示している構成は、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijを光軸６０に中心を置く楕円上に位置させることによって得られる。この遠視野強度分布を光学ラスター要素３４によって発生する遠視野強度分布Ｄ_ijと畳み込むことにより、図９の下の部分から分るように、実質的に楕円環の形状を有する全遠視野強度分布Ｃ_dが生じる。この実施形態は、複数の個々に制御可能なミラー要素Ｍ_ijの付設が、レンズ又はアキシコン要素のような回転対称光学要素を用いては得ることができない照明環境の非対称の修正を発生させることを可能にすることを明らかにしている。

図１０の下の部分に例示している構成は、図８に示している構成から始めて、隣接する遠視野強度分布Ｄ’_ijの間の距離がＹ座標の増加と共に短縮するように、個々のミラー要素Ｍ_ijのうちの少なくとも一部の傾斜角を追加で若干調節することによって得られる。図１０の下の部分から分るように、ミラー要素Ｍ_ijのこの特定の構成において得られる全遠視野強度分布Ｃ_eは、依然として角度照明環境に近似する。従って、限られた入射角度範囲しか存在せず、この範囲の下で、光線は、マスク１６上に傾斜して当たる。

しかし、図８及び図１０の下の部分にそれぞれ示している全遠視野強度分布Ｃ_c及びＣ_eを比較すると、エネルギ分布が若干異なることが明らかになる。より具体的には、対向する−Ｘ及び＋Ｘ方向と比べて対向する＋Ｙ及び−Ｙ方向からより大きい光エネルギがマスク平面８６内の点上に入射する。すなわち、場合によっては瞳楕円率と呼ばれるマスク平面８６内に発生する異なる角度区分内のエネルギ分布は、一部又はそれよりも多くのミラー要素Ｍ_ijの傾斜角を変更することによって修正することができる。この効果は、瞳照明の非対称性（すなわち、瞳楕円率Ｅ≠１）を発生させるのに用いることができ、これは、ある一定の種類のマスク１６を投影するのに有利なものとすることができる。しかし、通常は、そのような非対称性は望ましくない。従って、一般的な場合には、ミラーアレイ４８を用いて瞳楕円率を調節する機能は、むしろ、照明系１２の他の光学構成要素によって発生する瞳楕円率に対する有害な効果を補償するのに用いられることになり、それによって（ほぼ）完全に対称な瞳照明（すなわち、瞳楕円率Ｅ＝１）が得られる。

図１１の下の部分に例示している構成は、照明系１２のビーム経路内に導入される異なる光学ラスター要素２３４を用いて得られる。この目的のために、異なる光学ラスター要素を光学ビーム経路内に挿入することを可能にする交換ホルダを設けることができる。そのような交換ホルダは、複数の異なる光学ラスター要素を収容するターレットとして実現することができ、このターレットを回転することにより、これらの光学ラスター要素を個々に光学ビーム経路内に導入することができる。

光学ビーム経路内にこの時点で挿入される光学ラスター要素２３４は、同じ個数の区画Ｚ_ijを含むが、これらの区画Ｚ_ijは、上記に解説した光学ラスター要素３４の区画と同じ遠視野強度分布Ｄ_ijを発生させない。より具体的には、遠視野強度分布Ｄ_ijは、ここでも二等辺三角形の形状を有するが、これらの三角形の角度方向は、２つの小さい角度範囲内でしか変化しない。光学ラスター要素２３４の上半分に示している遠視野強度分布Ｄ_ijのうちの半分では、三角形は−Ｘ方向を指す。光学ラスター要素２３４の下半分に示している遠視野強度分布Ｄ_ijの他方の半分では、三角形は＋Ｘ方向を指す。同様に同じ角度方位を有する３つの等しい遠視野強度分布が必ず存在する。ミラーアレイ４６を用いてこれらの遠視野強度分布Ｄ_ijを適切に配置することにより、２つの対向する極がＸ方向に沿って形成された全遠視野強度分布Ｃ_fが得られ、それによって双極照明系が得られる。この場合には、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijは、光軸６０に対して対称に配置された２つの曲線上に配置される。

図１２の下の部分に例示している構成は、遠視野強度分布Ｄ_ijを若干配置し直すことによって得られる。より具体的には、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布Ｄ’_ijが互いにより近くに位置決めされるようにミラー要素Ｍ_ijが調節された場合には、得られる遠視野強度分布Ｃ_gの２つの極は、Ｙ方向に沿って縮小した幅を有することになる。

図１３は、更に別の光学ラスター要素３３４によって発生する遠視野強度分布と、ミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布との畳み込みを図６と同様の図で示している。光学ラスター要素３３４は、図２に示している光学ラスター要素３４と置き換わる。

光学ラスター要素３３４は、２つだけの異なる遠視野強度分布が区画Ｚ_ijによって発生することにおいて、上述の光学ラスター要素３４及び２３４とは異なる。しかし、ここでも、この特定の実施形態では正六角形によって定められる遠視野強度分布の基本形状が存在する。遠視野強度分布Ｄ₁₁からＤ₃₆は、六角形の中心の回りの３０°の回転、又は一般的にｋ＝０、１、２、３、…である時に３０°＋ｋ・ｘ・６０°の回転によって遠視野強度分布Ｄ₄₁からＤ₆₆から得られる。一方の遠視野強度分布Ｄ₁₁からＤ₃₆と、他方の遠視野強度分布Ｄ₄₁からＤ₆₆とは異ならないので、光学ラスター要素３３４は、異なる角度方向の六角形遠視野強度分布Ｄ₁及びＤ₂をそれぞれ発生させる２つだけの異なるより大きい区画Ｚ₁及びＺ₂を含むものと考えることができる。つまり、６×６のミラーアレイのミラー要素Ｍ₁₁からＭ₃₆は、共通して区画Ｚ₁と関連付けられ、残りのミラー要素Ｍ₄₁からＭ₆₆は、区画Ｚ₂に関連付けられる。

図１３では、ミラー要素Ｍ_ijは、得られる全遠視野強度分布Ｃ_hが四重極照明環境に対応する４つの極を含むように傾斜される。１つの向きで配置された六角形（すなわち、遠視野強度分布Ｄ₄₁からＤ₆₆）は、Ｘ方向に沿って２つの極を形成し、３０°だけ回転された六角形（すなわち、遠視野強度分布Ｄ₁₁からＤ₃₆）は、Ｙ方向に沿って他方の極対を形成する。異なる角度方向の結果、Ｘ方向に沿って延びる２つの極は、Ｙ方向に沿って延びる極と形状及び配列において完全に対称である。一般的に六角形幾何学形状の遠視野強度分布Ｄ_ijは、隣接する遠視野強度分布Ｄ_ijの間にいかなる間隙も残さずに、六角形をより大きい区域へと組み立てることができるという利点を有する。しかし、矩形と比較すると、六角形にも関わらず曲線に近似する外形を有する連続強度分布を発生させることができる。

図１４は、ミラー要素Ｍ_ijを用いて遠視野強度分布Ｄ_ijのうちの一部を再配置することにより図１３に示している構成から得られるＣ_iによって表している再調節された全遠視野強度分布を示している。四重極照明環境の極は、ここでは図１３に示している遠視野強度分布Ｃ_hと比較するとより三角形の形状を有する。

図１５は、Ｃ_jで表している別の遠視野強度分布を示している。この図では、９０によって表している部分抜粋図から明らかに分るように、異なる角度方向を有する２つの六角形遠視野強度分布Ｄ₁及びＤ₂の対が重ね合わせされる。瞳面７０内の特定の位置で重ね合わせされる２つの遠視野強度分布Ｄ₁、Ｄ₂は、強度が二倍になった１２角形によって形成される中心部分を有する１２角の正多角形の形状を有する結合遠視野強度分布を生じる。Ｃ_jで表しており、複数のこれらの結合遠視野強度分布から組み立てられると捉えることができる全遠視野強度分布は、ここでも、双極照明環境に対応するＹ方向に沿って配置された２つの極を含む。

図１６は、同じ光学ラスター要素３２４におけるＣ_kで表している同様の全遠視野強度分布を示している。この全遠視野強度分布Ｃ_kは、図１３及び図１４を参照して上述したものと同様の手法でミラー要素Ｍ_ijの一部を傾斜させることによって得られる。

５．代替実施形態
依然として本発明の範囲にある様々な代替実施形態が現時点で考えられることを十分に理解すべきである。

例えば、ミラーアレイ４６は、適切な制御信号の印加により、構造上に入射する光線を構造の異なる部分において個々に変更することができる様々な方向へと誘導することを可能にするいずれかの他の反射構造と置換することができる。そのような別の構造は、例えば、電気光学要素又は音響光学要素を含むことができる。そのような要素では、適切な材料をそれぞれ超音波又は電界に露出することによって屈折率を変更することができる。これらの効果は、入射光を様々な方向に誘導する屈折率格子を製造するのに利用することができる。

当然ながら、ズームレンズ系５８及び／又はアキシコン要素６６、６８の対６４は、完全に不要にすることができる。フライアイレンズ７２は、いずれか他の光学要素、例えば、幾何学形状的光束を増加させる回折光学要素によって置換することができる。フライアイレンズの代わりに、光混合ロッド用いることも考えられている。更に、照明視野１４が、少なくとも１つの方向に沿って鮮明な縁部を有する必要がない場合には、マスク１６を視野平面８０内に直接位置決めすることができる。

以上のことから、光学ラスター要素３４及びミラーアレイ４６の順序を等しく逆にすることができることも明らかになったはずである。そのような構成を有する照明環境４１２を図２と同様に概略図である図１７に示している。図１７では、図２に示しているものに対応する構成要素を同じ参照番号を４００だけ増して表しており、これらの構成要素の大部分に対しては、再度説明しないことにする。

ここでもまた、ミラーアレイ４４６の各ミラー要素Ｍ_ijは、光学共役により、光学結像系４３８とズームレンズ系４５８の間に配置された光学ラスター要素４３４上のある一定の区画に関連付けられる。光束が、光学ラスター要素４３４上の特定の区画Ｚ_ij上に入射する方向は、区画Ｚ_ijに関連付けられたミラー要素Ｍ_ijの傾斜角に依存する。

図１８は、図６の上の部分と同様の図で光学ラスター要素４３４の部分抜粋図を示している。この図では、区画Ｚ_ijは、同じ円形スポット状の基本形状を有するが、遠視野内の異なる位置に配置された異なる遠視野強度分布Ｄ_ijを発生させる。これは、上述の実施形態とは対照的である。なぜならば、これらの実施形態では、個別区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布が、分布自体は中央に置かれながら、これらの分布の形状のみが異なっていたからである。

図１８に図示の実施形態では、スポット状の遠視野強度分布Ｄ_ijの位置は、図１８の下の部分に示しているように、瞳面４７０が、これらの分布Ｄ_ijでほぼ完全に充填されるように判断される。

光学ラスター要素４３４のそのような構成は、ミラー要素Ｍ_ijが、「オン」状態又は「オフ」状態のいずれかに置かれるようになっているミラーアレイを用いることを可能にする。「オン」状態では、反射光ビームは、瞳面４７０を通過し、「オフ」状態では、反射光線は瞳面４７０を通過することを許されない。

上述の実施形態の場合のように連続する傾斜角度範囲に影響を及ぼす必要がないので、そのようなデジタルミラーアレイ４４６は、非常に単純な構造を有することができる。従って、瞳面４７０は、個々のミラー要素Ｍ_ijをオン及びオフに切り換えることで、任意のパターンの小円形照明スポットで充填することができる。

光学ラスター要素４３４の区画Ｚ_ijは、異なる位置に照明スポットを発生させるので、ミラー要素Ｍ_ijの傾斜角は、全ての「オン」状態で同じとすることができる。それによってミラーアレイ４４６の構造及び制御がここでも単純化される。全ての区画Ｚ_ijが厳密に同じ遠視野強度分布を生成した場合には、ミラー要素Ｍ_ijの「オン」状態は、異なる傾斜角に対応することになる。

図１８に示しているように区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布が円形スポットである場合には、全てのミラー要素が「オン」状態にある時に、瞳面７０の全充填率は、π／４＝７８．５％である。他の遠視野強度分布、例えば、図１３に示している六角形幾何学形状では、瞳面４７０のより高い充填比又は完全な充填でさえ実現することができる。

瞳面７０の各位置において強度を変更することが可能になる場合には、異なる区画Ｚ_ijによって発生する少なくとも２つの遠視野強度分布を重ね合わせることができることが必要である。一般的に、Ｎ＋１個の等間隔強度値が存在することになる場合には、瞳面内の特定の位置で遠視野強度分布を重ね合わせるＮ個のミラー要素Ｍ_ijが存在すべきである。

これは、図１９において、厳密に同じ遠視野強度分布を発生させる区画対が単一のミラー要素Ｍ_ijに関連付けられた光学ラスター要素４３４’で例示している。例えば、区画Ｚ₁₅及びＺ₃₅が、これらの区画に関連付けられたミラー要素Ｍ₁₅及びＭ₃₅を切り換えることによって作動された場合には、瞳面４７０内のそれぞれの位置は、Ｍ₁₅及びＭ₃₅のうちの片方のみが「オン」状態になった場合に得られることになる強度の２倍の強度で照らされる。

図２０は、本発明の別の態様による照明系５１２の実施形態を示している。図２０では、図２に示しているものに対応する構成要素を同じ参照番号を５００だけ増して表しており、これらの大部分に対しては、再度説明しないことにする。

照明系５１２では、光学ラスター要素５３４及びミラーアレイ５４６は、光学結像系によって光学的に共役な平面には配置されず、対応する平面に配置される。この目的のために、ミラー要素Ｍ_ijは回折構造Ｓ_ijを支持し、回折構造Ｓ_ijのうちの少なくとも２つは、異なる遠視野強度分布を発生させる。これをミラーアレイ５４６の斜視図を示している図２１に例示している。この図では、ミラー要素Ｍ₇₇が、ミラー要素Ｍ₃₅よりも幅狭な角度分布を発生させることを仮定している。それによって光学ラスター要素の異なる区画がミラー要素上に結像される場合、又はその逆の場合と基本的に同じ効果が得られる。

それによって回折構造Ｓ_ijは、少なくとも原理的には、上述の実施形態の区画Ｚ_ijと同じ遠視野強度分布を発生させることができることが明らかになる。図２２は、ミラー要素Ｍ_ijによって支持される回折構造Ｓ_ijによって得ることができる遠視野分布Ｄ_ijの例を示している。これらの遠視野強度分布Ｄ_ijは、ミラーアレイ４６上に結像される光学ラスター要素３４に対して図１２を参照して上述した遠視野強度分布と同一である。しかし、ミラー要素Ｍ_ijによって支持される回折構造Ｓ_ijにより、上述の遠視野強度分布だけでなく、ほぼあらゆる任意の遠視野強度分布を発生させることができることは理解されるものとする。

回折構造を支持するミラー要素Ｍ_ijを有する概念は、図２に図示の実施形態に適用することができる。すなわち、付加的な回折構造によって発生する遠視野強度分布は、ミラーアレイ４６及び光学ラスター要素３４によって発生する全遠視野強度分布に「加算」される。より具体的には、この場合、瞳面７０内の全遠視野強度分布は、ミラーアレイ４６のミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布と、ミラー要素Ｍ_ijに対応する光学ラスター要素の区画Ｚ_ijによって発生する遠視野強度分布と、それぞれのミラー要素Ｍ_ij上の付加的な回折構造によって発生する遠視野強度分布とを畳み込むことによって得られる畳み込遠視野強度分布の重ね合わせである。

一部又は全てのミラー要素Ｍ_ijが、傾斜できるだけでなく、個々のミラー要素Ｍ_ijに関連付けられたアクチュエータを用いて変形することができるように構成される場合には、付加的な自由度が得られる。図２１は、これをアクチュエータシステムＡ₁₂によって変形されたミラー要素Ｍ₁₂で例示的に示している。図７を参照して上述したように、ミラー変形の効果は、それぞれのミラー要素Ｍ_ijによって発生する遠視野強度分布の変化である。従って、ミラー変形は、例えば、瞳面５７０内で得られる全遠視野強度分布における個々の遠視野強度分布の間の間隙を低減するために全遠視野強度分布を更に修正するのに用いることができる。

電気光学要素又は音響光学要素のような透過ビーム偏向要素も、回折構造を支持することができる。透過ビーム偏向要素はまた、この要素が結合されたアクチュエータによって発生する変形を受ける場合がある。

図２３は、同様に図２０に示している照明系５１２において用いることができるミラーアレイ６４６の斜視図である。ミラーアレイ６４６は、同様に回折構造Ｓ_ijを支持するミラー要素Ｍ_ijを含むが、ミラー要素Ｍ_ijは、２つの直交する傾斜軸６５６、６５８だけでなく、第３の回転軸６５９に関しても回転可能である。図２３では、この付加的な回転自由度を双方向矢印ＤＡによって示している。

３つの自由度のうちの２つに関連付けられた傾斜軸６５６、６５８は、図示の実施形態では、ある一定の平面に対して平行に延び、付加的な第３の回転自由度に関連付けられた回転軸６５９は、この平面と交差する。好ましくは、交差角は６０°と９０°の間にある。図示の実施形態では、ミラー要素Ｍ_ijの反射面は平面であり、傾斜軸６５６、６５８に対して平行であり、付加的な回転軸６５９は、各ミラー要素Ｍ_ijの平面反射面に対して垂直に調整される。回転軸の向きの他の特定の例は、（１）ミラーアレイ６４６の基部プレートに対して垂直のもの、又は（２）瞳面５７０に対して垂直のものである。この他の向きを考えることもできる。

図２４ａ及び図２４ｂは、図２３に示しているミラーアレイ６４６の単一のミラー要素Ｍ_ijの２つの異なる回転位置における拡大斜視図である。これらの図では、破線で示している三角形は、ミラー要素Ｍ_ijによって支持される回折構造Ｓ_ijによって照明系５１２の瞳面５７０内に発生する遠視野強度分布Ｄ_ijを示している。ミラー要素Ｍ_ijが、図２４ａの矢印の方向に沿って回転された場合には、遠視野強度分布Ｄ_ijも、同じ角度だけ瞳面５７０内で回転することになる。

ミラー要素Ｍ_ijの第３の回転軸回りの回転を容易にするために、ミラー要素Ｍ_ijは、円形幾何学形状を有する。この円形幾何学形状は、隣接するミラー要素Ｍ_ijの間の間隙を伴い、従って、ミラーアレイ６４６の全非反射である面積が大きく拡大する。図２０に示している照明系では、それによって投影露光装置の処理機能を低減する場合がある重大な光損失が生じることになる。そのような光損失は、間隙内での光吸収によって発生する熱に関する問題を引き起こす可能性もある。この熱は、冷却システムによって効率的に除去しなければならず、この冷却システムは、照明系の複雑性を高める。

マイクロレンズアレイが、ビーム拡大ユニット５３２とミラーアレイ６４６の間に配置される場合には、そのような問題を回避することができる。各マイクロレンズは、入射する光を１つの個々のミラー要素Ｍ_ij上に合焦し、従って、光は間隙内で損失しない。

付加的な回転自由度は、図２１に示しているミラーアレイ５４６の場合と同様に、より幅広く異なる照明環境を発生させることを可能にする。図２１に示しているミラーアレイ５４６を用いると、図１１及び図１２に示しているような異なる双極照明環境を発生させることができる。図６から図１０に示しているもののような従来の照明環境又は環状照明環境は、ミラーアレイ５４６では適正に発生させることができず、ミラーアレイ６４６を用いてのみ適正に発生させることができる。

これを図２５から図２８に例示している。図２５は、図２２と同様の図である。この図は、三角形遠視野強度分布Ｄ_ijが若干だけ変化する向きを有するように、ミラー要素６４６のミラー要素Ｍ_ijが回転されることを仮定している。ミラー要素Ｍ_ijを適切に傾斜することにより、図２６に示しているような双極照明環境を得ることができる。

図２８に示しているような環状照明環境を発生させることになる場合には、個々のミラー要素Ｍ_ijは、三角形の全ての可能な向きが図２７に示しているように表されるように回転される。次に、これらの異なって方向付けされた三角形は、図２８に示している全遠視野強度分布Ｃ_dが得られるように、ミラー要素Ｍ_ijを適切に傾斜することによって組み立てられる。

付加的な回転自由度は、ミラー要素Ｍ_ijを傾斜及び回転するのに必要な軸受及びアクチュエータの一部の機械的修正を必要とする。ミラーアレイ６４６は、非常に多数のミラー要素を必要としないので、通常は、精密機械的な対処法で十分である。そのような軸受及びアクチュエータにおける特定の機械的構成は、本出願と同日に本出願人によって出願され、２００７年４月２５日出願の米国特許仮出願第６０／９１３、９５６号の優先権を主張する「マイクロリソグラフィ投影露光装置のためのミラーマトリックス」という名称の現在特許出願中の国際特許出願に説明されている。

ミラー要素Ｍ_ijが、回折構造Ｓ_ijを支持しないが、少なくとも１つの方向に沿った回転非対称湾曲の結果として反射力を有する場合には、同様の効果を得ることができる。この状況を図２３の上部ミラー要素Ｍ₁₆において示している。湾曲が回転非対称である場合には、遠視野強度分布も回転非対称になる。従って、そのようなミラーの回転は、異なる遠視野強度分布を生じることになる。湾曲ミラー要素Ｍ_ijを用いて、例えば、図２５又は図２７に示しているような鮮明な多角形遠視野強度分布を発生させることはできないが、それにも関わらず、湾曲ミラーを用いると容易に発生させることができる楕円形遠視野強度分布を回転することができることは有利であろう。

好ましい実施形態の上記説明は、一例として与えたものである。与えた開示内容から、当業者は、本発明及びそれに伴う利点を理解するだけでなく、開示した構造及び方法への明らかで様々な変更及び修正も見出すであろう。従って、本出願人は、特許請求の範囲及びその均等物によって定められる本発明の精神及び範囲に収まるものとして全てのそのような変更及び修正を含めるように求めている。

Claims (38)

1. ａ）光軸（６０；４６０）、
   ｂ）瞳面（７０；４７０）、
   ｃ）反射又は透過ビーム偏向要素（Ｍ_ij）のビーム偏向アレイ（４６；４４６）、ここで、
   各偏向要素（Ｍ_ij）が、制御信号に応答して可変である偏向角だけ入射光線を偏向するようになっており、かつ
   前記偏向要素（Ｍ_ij）が、少なくとも実質的に第１の平面（４０；４４０）に配置されるものであり、
   ｄ）複数のマイクロレンズ及び／又は回折構造を含み、かつ第２の平面（３４；４３４）に配置された光学ラスター要素（３４；４３４）、
   を含み、
   前記ビーム偏向アレイ（４６；４４６）及び前記光学ラスター要素（３４；４３４）が、２次元遠視野強度分布（Ｃ）を共同で発生させる、
   マイクロリソグラフィ露光装置（１０）においてマスク（１６）を照明するための照明系であって、
   光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）が、前記第１の平面（４０；４４０）を前記第２の平面（３４；４３４）に対して光学的に共役にする、
   ことを特徴とする照明系。
2. 前記２次元遠視野強度分布（Ｃ）は、前記ビーム偏向アレイ（４６；４４６）によって発生する遠視野強度分布（Ｄ’_ij）と、前記光学ラスター要素（３４；４３４）によって発生する遠視野強度分布（Ｄ_ij）との畳み込みであることを特徴とする請求項１に記載の照明系。
3. 前記光学ラスター要素（３４；４３４）は、複数の区画（Ｚ_ij）を含み、
   各区画が、前記光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）によって発生する光学共役により、前記ビーム偏向アレイ（４６；４４６）の少なくとも１つのビーム偏向要素（Ｍ_ij）に関連付けられ、
   少なくとも２つの区画（Ｚ_ij）が、異なる遠視野強度分布（Ｄ_ij）を発生させる、
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明系。
4. 各ビーム偏向要素（Ｍ_ij）が、「オン」状態又は「オフ」状態のいずれかにあるようになっており、
   前記「オン」状態は、偏向された光ビームが前記瞳面（４７０）を通るように決められ、
   前記「オフ」状態は、偏向された光線が前記瞳面（４７０）を通らないように決められる、
   ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明系。
5. 前記複数の区画（Ｚ_ij）によって発生する前記遠視野強度分布（Ｄ_ij）は、全てのビーム偏向要素（Ｍ_ij）が前記「オン」状態にある場合には、前記瞳面（４７０）の使用可能区域が少なくとも実質的に照らされるように決められることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の照明系。
6. 前記複数の区画（Ｚ_ij）によって発生する前記遠視野強度分布は、全てのビーム偏向要素（Ｍ_ij）が前記「オン」状態である場合には、前記瞳面の前記使用可能区域の少なくとも７０％が照らされるように決められることを特徴とする請求項５に記載の照明系。
7. 前記少なくとも２つの区画（Ｚ_ij）の各々は、少なくとも実質的にｎ個（ｎ≠４）の角を有する多角形の形状を有する遠視野強度分布（Ｄ_ij）を発生させることを特徴とする請求項３、請求項５、又は請求項６のいずれか１項に記載の照明系。
8. 前記多角形は、異なる角度方向を有することを特徴とする請求項７に記載の照明系。
9. いくつかの第１の区画（Ｄ₁₁からＤ₃₆）によって発生する遠視野強度分布（図１３のＤ₁₁からＤ₃₆）が、第１の正六角形であり、
   いくつかの第２の区画（Ｚ₄₁からＺ₆₆）によって発生する遠視野強度分布（Ｄ₄₁からＤ₆₆）が、３０°の回転によって前記第１の六角形から得られる第２の正六角形である、
   ことを特徴とする請求項３、請求項５、又は請求項６のいずれか１項に記載の照明系。
10. 前記第１の平面（４０；４４０）は、前記光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）の物体面であり、
    前記第２の平面（３４；４３４）は、前記光学結像系の像平面である、
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明系。
11. 前記第２の平面（３４；４３４）は、前記光学結像系の物体面であり、
    前記第１の平面（４０；４４０）は、前記光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）の像平面である、
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明系。
12. 少なくとも実質的に平面の折り返しミラー（４１；４４２）が、前記光学結像系（４０、４１；４４０、４４１）内に配置されることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明系。
13. 瞳形成集光器（５８；４５８）が、前記像平面と前記瞳面（７０；４７０）の間にフーリエ関係を確立することを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明系。
14. 前記瞳形成集光器は、可変焦点距離を有するズーム光学系（５８；４５８）を含むことを特徴とする請求項１３に記載の照明系。
15. 前記瞳形成集光器（５８；４５８）は、通過して伝播する光を半径方向に再分配するアキシコン系（６４；４６４）を含むことを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載の照明系。
16. 前記アキシコン系は、１対（６４；４６４）のアキシコン要素（６６、６８；４６６、４６８）を含み、各々が、円錐光学面と、前記光軸（６０；４６０）に沿って該アキシコン要素間の距離を調節するための駆動機構とを有することを特徴とする請求項１５に記載の照明系。
17. フライアイ光結合器（７２；４７２）が、前記瞳面（７０；４７０）に又はその直近に配置されることを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の照明系。
18. 視野形成集光器（７８；４７８）が、前記瞳面（７０；４７０）と照明系（１２；４１２）の視野平面（８０；４８０）との間にフーリエ関係を確立することを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の照明系。
19. 視野絞り（８２；４８２）が、照明系の前記視野平面（８０；４８０）に配置されることを特徴とする請求項１８に記載の照明系。
20. 視野絞り対物系（８４；４８４）が、前記視野平面（８０；４８０）をマスク平面（８６；４８６）上に結像することを特徴とする請求項１９に記載の照明系。
21. 前記第１の平面（４０；４４０）は、前記光軸（６０；４６０）に対して斜めに配置されることを特徴とする請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の照明系。
22. 前記ビーム偏向要素（Ｍ_ij）は、ミラーであることを特徴とする請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の照明系。
23. 前記ミラー（Ｍ_ij）は、角度をなす２つの傾斜軸によって傾斜させることができることを特徴とする請求項２２に記載の照明系。
24. 前記角度は、９０°であることを特徴とする請求項２３に記載の照明系。
25. 前記ビーム偏向アレイ（４６；４４６）は、１００個よりも少ない個々のミラー（Ｍ_ij）を含むことを特徴とする請求項２２から請求項２４のいずれか１項に記載の照明系。
26. 前記ビーム偏向アレイ（４６；４４６）は、５０個よりも少ない個々のミラー（Ｍ_ij）を含むことを特徴とする請求項２５に記載の照明系。
27. 前記ビーム偏向要素は、電気光学要素又は音響光学要素であることを特徴とする請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の照明系。
28. 前記光学ラスター要素（３４；４３４）を交換可能に受け取る交換ホルダ（３５）を含むことを特徴とする請求項１から請求項２７のいずれか１項に記載の照明系。
29. 反射又は透過ビーム偏向要素（Ｍ_ij）のビーム偏向アレイ（５４６）、
    を含み、
    各ビーム偏向要素が、制御信号に応答して可変である偏向角だけ入射光線を偏向するようになっており、
    少なくとも１つの第１のビーム偏向要素（Ｍ₃₅）が、第１の回折構造（Ｓ₃₅）を支持し、かつ
    少なくとも１つの第２のビーム偏向要素（Ｍ₇₇）が、第２の回折構造（Ｓ₇₇）を支持する、
    マイクロリソグラフィ露光装置（１０）においてマスク（１６）を照明するための照明系（５１２）であって、
    前記第１の回折構造（Ｓ₃₅）及び前記第２の回折構造（Ｓ₇₇）が、異なる遠視野強度分布を発生させる、
    ことを特徴とする照明系。
30. 前記第１の回折構造（Ｓ₃₅）及び前記第２の回折構造（Ｓ₇₇）によって発生する遠視野強度分布（図２２のＤ_ij）が、少なくとも実質的に多角形の形状を有することを特徴とする請求項２９に記載の照明系。
31. 前記多角形は、ｎ個（ｎ≠４）の角を有することを特徴とする請求項３０に記載の照明系。
32. 前記第１の回折構造（Ｓ₃₅）及び前記第２の回折構造（Ｓ₃₅）によって発生する前記遠視野強度分布は、それらの角度方向に関して異なっていることを特徴とする請求項２９から請求項３１のいずれか１項に記載の照明系。
33. 少なくとも１つのビーム偏向要素（図２３のＭ_ij）は、それが３つの回転自由度を有するようにマウントされることを特徴とする請求項２９から請求項３２のいずれか１項に記載の照明系。
34. 少なくとも１つのビーム偏向要素（図２１のＭ₁₂）は、該少なくとも１つのビーム偏向要素を変形するように構成されたアクチュエータ（Ａ₁₂）に結合されることを特徴とする請求項２９から請求項３３のいずれか１項に記載の照明系。
35. 反射又は透過ビーム偏向要素（Ｍ_ij）のビーム偏向アレイ（６４６）、
    を含み、
    各ビーム偏向要素（Ｍ_ij）が、制御信号に応答して可変である偏向角だけ入射光線を偏向するようになっており、かつ
    少なくとも１つの偏向要素（図２３のＭ₁₆）が、回転非対称的に湾曲され、及び／又は回転非対称遠視野強度分布（図２４ａ、図２４ｂのＤ_ij）を発生する回折構造（Ｓ_ij）を支持する、
    マイクロリソグラフィ露光装置（１０）においてマスク（１６）を照明するための照明系（５１２）であって、
    少なくとも１つのビーム偏向要素が、それが３つの回転自由度を有するようにマウントされる、
    ことを特徴とする照明系。
36. ２つの回転自由度が、平面に対して平行な傾斜軸（６５６、６５８）に関連付けられ、
    第３の回転自由度が、前記平面と交差する回転軸（６５９）に関連付けられる、
    ことを特徴とする請求項３５に記載の照明系。
37. 前記回転軸は、５０°と９０°の間、好ましくは９０°の前記平面との交差角を形成することを特徴とする請求項３６に記載の照明系。
38. 請求項１から請求項３７のいずれか１項に記載の照明系（１２；４１２；５１２）と、
    マスク（１６）を感光層（２２）上に結像する投影対物系（２０）と、
    を含むことを特徴とするマイクロリソグラフィ露光装置。

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