TW200303825A - Nozzle drive device and method, liquid droplet discharging device, nozzle drive program, and device manufacturing method and device - Google Patents

Description

200303825 * (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係爲噴頭驅動裝置及方法，液滴吐出裝置，噴 . 頭驅動程式’以及裝置製造方法及裝置關係，特別是吐出 有高黏度的液狀樹脂等黏性體之噴頭驅動的裝置以及方法 ，其噴頭裝置具備液滴吐出裝置、噴頭驅動程式、以及含 有使用上述方法的黏性體吐出過程、液晶顯示裝置、有機 發光二極體（Electroluminescence )顯示器、彩色濾光電路 板、微透鏡陣列、含有護膜層的光學元件、其他裝置製造 方法及裝置之相關。 【先前技術】 近年來，電腦以及攜帶資訊機器等電子機器有顯著的 發展，隨著這些機器的發展的液晶顯示裝置，特別是具備 顯不能力局的液晶顯不裝置的電子機器增加，此外，彩色 液晶顯示裝置因小型及顯示能力高，使用的用途（範圍）變 得更廣泛。彩色液晶顯示裝置爲了使顯示圖像爲彩色化具 備了彩色濾光電路板。爲了製造各種彩色濾光電路板提案 出了各種方法，這些方法其中之一的提案爲對於電路板使 R (紅）、G (綠）、B (藍）各液滴所定的模式固定的液滴吐出 方式。 爲了實現這種液滴吐出方式須具備複數的液滴吐出噴 頭。各液滴吐出噴頭具備了從外部供給液滴的暫時儲存液 滴的液室，讓液室內的液體加壓吐出所規定量的壓電元件 -6- (2) 200303825 (例如P i e z 〇元件），從液室讓液滴吐出的穿開的噴管面。 這些液滴吐出噴頭互相爲等間隔配置的噴頭群所構成，沿 著噴頭群的掃描方向（例如X軸方向）對於電路板邊掃描邊 · 使噴液吐出，使得電路板上R、G、Β各液滴固定。此外 ，對垂直掃描方向（例如Υ軸方向）的電路板位置調整，是 由電路板所搭載之搭載台來移動調整。 【發明內容】 · 然而製造上述彩色液晶顯示裝置的彩色濾光電路板， 多半使用比一般家庭所使用的彩色印表機墨水黏度高的黏 性體。一般家庭所使用的彩色印表機爲低黏度的黏性體（ 例如常溫（25°C )3 0[mPa · s(毫帕斯卡•秒）]程度黏性程度 下的黏性體）因爲黏性阻擋比較低的關係壓力元件的啓動 時間較短’也可以吐出需要量的液滴。此外，一般家庭所 使用的彩色印表機爲了追求高速的印刷，驅動液滴吐出噴 頭的噴頭驅動裝置也爲了實現高速印刷關係，壓電元件被 ® 設計爲高速振動方式。 例如，之前的噴頭驅動裝置爲具備當壓電元件輸入了 印刷啓動訊號的一個基準時脈相當的電壓値變化量所表示 的資料與讓啓動訊號電壓値變化時間所規定的時脈訊號等 · 被輸入，這個資料及時脈訊號爲基準再與基準時脈同步之 驅動訊號分成的驅動訊號生成部分。輸入驅動訊號生成的 基本時脈，其頻率約爲10MHz，資料爲符號加上了約10 位元大小的數位訊號，這數位訊號生成部，直到上述時脈 -7- (3) (3)200303825 訊號被輸入爲止，每當基準時脈被輸入時因輸入資料數値 的累積，會生成驅動訊號的向上以及向下的波形。 關於過去的噴頭驅動裝置’驅動訊號要生成急劇的波 形，須將驅動訊號生成部的輸入資料値增加或減少即可。 例如，資料的最大値或最小値（負値）輸入驅動訊號生成部 後，驅動訊號可以在基準時脈的1週期分的時間內急速地 生成向上或向下的訊號。此外，實際上因爲讓驅動訊號生 成部與壓電元件之間所設的D/A變換器會收發延遲，驅 動訊號的向上或向下的時間會比基準時脈的1週期分長。 此外，要生成較緩的向上或向下波形之驅動訊號，只 須將驅動訊號生成部的資料調小，及以緩慢的時間將時脈 訊號輸入即可。現在爲了將資料簡單化資料爲沒有符號的 10位元的數位訊號。如此，驅動訊號可取得21()= 1 024種 的數値，爲了生成緩慢的向上波形將最小的資料輸入，驅 動訊號的電壓値會於基準時脈的1 024時脈分從最小値變 化成最大値。基準時脈爲10MHz時其一週期分的時間爲 0 1 // s，所以理論上驅動訊號向上與向下需要的時間可以 在0 . 1〜1 0 2 4 // s程度的範圍改變。 但爲製造彩色濾光電路板的液滴吐出裝置，使用上述 黏度高的黏性體，爲吐出需要的液滴，須用長時間將壓電 元件振動。例如，製造彩色濾光片，須讓其振動數毫秒。 此外，製造微透鏡時須讓其振動1秒左右的長時間。如上 述，至今爲止的噴頭驅動裝置是以讓壓電元件高速振動所 設計，波形向上與向下所需的時間最長只能設定到102.4 -8 - (4) (4)200303825 β s ’所以在一般家庭所使用的噴頭驅動裝置無法轉型爲 使用吐出高黏度黏性體液滴吐出裝置的噴頭驅動裝置爲其 問題。 适個問題’不只會在液晶顯不裝置所設置的彩色漉光 電路板製造時所發生，在製造有機發光二極體 (Electroluminescence)顯示器時，使用高黏度透明液狀樹 脂製造微透鏡陣列時，使用高黏度的液狀樹脂形成眼鏡鏡 片等光學元件表面的護膜層等，在製造過程中之一吐出黏 性體所製造裝置的製造法一般常會產生的問題。 本發明爲反映上述問題點，能使從壓電元件等的壓電 發生元件所具備的噴頭吐出需要量的黏性體之噴頭驅動裝 置及方法，其噴頭驅動裝置所具備的液滴吐出裝置、噴頭 驅動程式、以及含有使用上述方法的黏性體吐出過程裝置 製造方法與上述液滴吐出裝置或使用裝置製造方法所製造 的裝置提供其爲目的。 [用以解決課題之方法] 爲了解決上述問題，本發明之噴頭驅動裝置具備，與 基準時脈（CLK2)同步執行，壓力產生元件（48a)所具備的 噴頭（1 8)的其壓力產生元件（4 8 a)施加驅動訊號（COM)使其 壓力產生元件（48a)變形吐出黏性體噴頭驅動裝置（3〇)，前 述壓力產生元件（48a)使它變形時，前述基準時脈（CLK2) 與其同步數値變化之第一期間（T i a)與其述基準時脈 (CLK2)的複數週期分，數値所維持的第2期間（Tlb)反複 -9 - (5) (5)200303825 產生驅動訊號（COM)之驅動訊號產生方法（34、36)爲其特 徵。 本發明，由於壓力產生元件驅動訊號的數値使其變化 的第1期間與此數値保持的第2期間反覆的產生驅動訊號 ，第1期間的變化量以及第2期間所含的基準時脈的時脈 數能自由自在的產生數値緩慢變化的驅動訊號以及數値急 劇變化的驅動訊號。此外，可以設定第1期間的變化量以 及第2期間所含的基準時脈的時脈數，並不須大幅更改裝 置結構，可以不使成本上昇而實現本發明。如此，爲了實 現本發明可以利用先前的裝置結構，所以可以繼續使用先 前的裝置結構來達到資源之有效利用。 此外，本發明的噴頭驅動裝置爲，可因需要設定前述 第1期間（T la)之前述數値的變化率，與前述第 2期間 (Tib)之前述數値所被保持的基準時脈（CLK2)的週期數， 前述壓力產生元件（4 8 a)的一單位時間之變形率爲其特徵 。由於本發明，壓力產生元件的一單位時間的變形率，第 1期間之數値變化率與第2期間數値保持之基準時脈的週 期數所被設定，壓力產生元件的一單位時間的變形率可自 由控制。 要使黏度高的黏性體需要的量吐出時，必先將黏性體 緩慢的加入噴頭內再以某程度的速度吐出。此外，當壓力 產生元件緩慢的變形短時間恢復的控制。這個發明，爲了 可以自在的產生對應第一期間的變化量及第二期間所含的 基準時脈的時脈之數値的緩慢變化的驅動訊號以及數値急 -10- (6) (6)200303825 速變化的驅動訊號，是極爲適合黏性體吐出之環境。 此外，本發明的噴頭驅動裝置其特徵爲，可設定上述 第1期間（Tla)爲上述基準時脈（CLK2)同步使上述數値變 · 化次數，及上述第2期間（Tib)爲此上述數値保持的基準 時脈（CLK2)之週期數，對上述壓力產生元件（48a)之一單 位時間之變形率。 本發明爲，因壓力產生元件的一單位發生時間之變形 率，第1期間之驅動訊號之數値變化次數，及第2期間所 φ 保持之數値的基準時脈的週期數所被設定，所以壓力產生 元件的一單位發生時間之變形率更可以自在的控制。 此外，本發明之噴頭驅動裝置其特徵爲，前述壓力產 生元件（48 a)具備供給前述驅動訊號（COM)之供給裝置（55 、.56)，前述第1期間（Tla)之前述基準時脈同期之前述數 値使其變化次數，及前述第2期間（Tib)之前述數値所保 持的基準時脈（CLK2)，及前述驅動訊號（COM)對於前述供 給裝置（5 5、5 6 )之順從機能所被設定。 · 依照本發明，因爲當更加讓壓力產生元件供給驅動訊 號之供給裝置的追從固定並使其第一期間之驅動訊號數値 變化的次數，及使第二期間之數値保持基準頻率週期數所 被設定，所以可製成含有供給裝置的追從特性之驅動信號 · 。其結果爲，可精密控制使壓力產生元件變形。 此外，本發明噴頭驅動裝置爲，前述壓力產生元件 (4 8a)之一單位時間的變形率爲，對應前述黏性體的黏度 戶斤被設定如此則較佳，另外，較適合的前述黏性體之黏度 -11 - (7) (7)200303825 爲，在常溫（25¾) 10〜40,000[mPa· s]的範圍內。 依照本發明，因爲對應黏性體的黏度設定壓力產生元 件在一單位時間的變形率，例如高黏度的黏性體可以使用 長時間使其變形，低黏度的黏性體可以使用短時間使其變 形等多樣的控制，當吐出需要量的黏性體時可以非常適合 控制。 此外，本發明噴頭裝置其特徵爲，含有因前述壓力產 生元件（48a)，因驅動訊號（COM)之施加伸縮振動及彎曲振 動使前述黏性體之加壓壓電振盪器。依照本發明，擁有伸 縮振動之壓力振盪器做爲壓力產生元件，此外，擁有彎曲 振動的壓力振盪器做爲壓力產生元件之噴頭因可以驅動各 種噴頭，所以可以適用於所有的裝置，並且，不需要大幅 度變更裝置結構。 爲了解決上述問題，本發明之噴頭驅動方法其特徵， 爲基準時脈（CLK2)同步動作，壓力產生元件（48a)所具備 之噴頭（18)其壓力產生元件（4 8 a)因驅動訊號施加及使其壓 力產生元件（4 8 a)變形使黏性體吐出噴頭驅動裝置之噴頭 驅動方法，使前述壓力產生元件（4 8 a)變形時，使前述基 準時脈（CLK2)同步之前述驅動訊號（COM)之數値變化的第 1步驟（S18)，及前述基準時脈（CLK2)之複數週期分，保 持前述驅動訊號（COM)之數値的第2步驟（S24)反覆執行。 * 依照本發明，因將壓力產生元件施加使驅動訊號的數 値使其變化的第1步驟與使數値保持的第2步驟反覆執行 來生成驅動訊號，相應第1步驟的變化量以及第2步驟所 -12- (8) (8)200303825 含的基準時脈的時脈數其數値緩慢的變化時的驅動訊號以 及數値激烈的變化之驅動訊號可以自由自在的生成。 此外，本發明噴頭驅動方法其特徵爲，前述第1步驟 、 (S18)之前述數値的變化率，及前述第2步驟（S24)之前述 數値保持基準時脈（CLK2)之週期數，此外’前述壓力產生 元件（4 8 a)對於供給前述驅動訊號（COM)之供給驅動裝置 (5 5、56)之驅動訊號（COM)追從性能來設定。 依照本發明，更因對於壓力產生元件所供給驅動訊號 鲁 之供給裝置的追從固定相應的使第1步驟之驅動訊號變化 次數，與第2步驟之所被保持之數値基本時脈的週期數所 被設定，所以可以考量供給裝置的追蹤特性來生成驅動訊 號。其結果，可更精密的控制使控制壓力產生元件變形。 此外，本發明之噴頭驅動方法爲前述壓力產生元件 (4 8 a)之一單位發生時間之變形率，對應前述黏性體的黏 度所被設定如此則較佳，另外，較適合的前述黏性體之黏 度爲，在常溫（25°C ) 10〜40,000[mPa · s]的範圍內。 φ 依照本發明，因爲對應黏性體的黏度設定壓力產生元 件在一單位時間的變形率，例如高黏度的黏性體可以使用 長時間使其變形，低黏度的黏性體可以使用短時間使其變 形等多樣的控制，當吐出需要量的黏性體時可以非常適合 . 控制。 爲了解決上述問題，本發明之液滴吐出裝置其特徵爲 ，具備上述所記載的各種噴頭驅動裝置。此外，爲了實現 噴頭驅動方法之全體驅動程式及一部分可讓電腦讀取之軟 -13- (9) (9)200303825 碟片、CD-ROM、CD-R、CD-RW' DVD(註冊商標）、0卩0-R、DVD-RW、DVD-RAM、磁帶（streamer)、硬碟、記憶 體、其他的儲存媒體中儲存。 - 爲了解決上述問題，裝置製造方法其特徵爲，含有使 用上述所記載的各噴頭驅動方法之黏性體吐出過程爲裝置 製造過程之一。依照本發明，因爲可以吐出所需要各種需 黏性體的量，所以可以廣泛的利用在各式各樣的裝置製造 規格範圍上。 鲁 爲了解決上述問題，本發明之裝置爲，使用上述液滴 吐出裝置及裝置製造方法所製造。依照本發明，可以吐出 所需要的各種黏性體的量之裝置及其方法製造裝置，所以 可以廣泛的利用在各式各樣的裝置製造規格範圍上。 【實施方式】 以下，參考附圖詳細說明本發明之一實施方式詳細說 明噴頭驅動裝置及方法、液滴吐出裝置、噴頭驅動程式、 ® 以及裝置製造方法及裝置。以下關於說明爲，首先，液滴 吐出裝置具備，裝置製造時所被使用的裝置製造裝置及其 使用裝置製造裝置所被製造裝置及裝置製造方法之舉例說 明，其次，液滴吐出裝置所設的噴頭驅動裝置、噴頭驅動 · 方法、噴頭驅動程式依序說明。 〔液滴吐出裝置之裝置整體結構〕 圖1爲，表示本發明之一實施方法之液滴吐出裝置所 -14- (10) (10)200303825 具備的裝置製造裝置的整體結構平面圖。如圖一所表示， 本實施方法的液滴吐出裝置所具備的裝置製造裝置其具備 爲’被加工的電路板（坡璃電路板：以下，稱爲晶圓w) 所收納的晶圓W供給部1、及從晶圓供給部1所被傳送的 晶圓W之所決定描繪方向的晶圓迴轉部2 '從晶圓W迴 轉部所被傳送的晶圓W使其附著液滴R(紅）之液滴吐出裝 置3、從液滴吐出裝置3所被傳送之晶圓W所被乾燥烘烤 爐4、及這些裝置之間傳送晶圓W之作業的機器人5 a、 5 b、以及從烘烤爐4傳送晶圓W到下一步驟爲止使其冷 卻及決定描繪方向之中間搬送部6、從中間搬送部6傳送 晶圓W使其附著液滴G(綠）吐出裝置7、從液滴吐出裝置 7所被傳送之晶圓W所被乾燥烘烤爐8、及這些裝置之間 傳送晶圓W之作業的機器人9a、9b、以及從烘烤爐8傳 送晶圓W到下一步驟爲止使其冷卻及決定描繪方向之中 間搬送部1 〇、從中間搬送部1 0傳送晶圓W使其附著液滴 B(藍）吐出裝置11、從液滴吐出裝置11所被傳送之晶圓 W所被乾燥烘烤爐1 2、及這些裝置之間傳送晶圓W之作 業的機器人1 3 a、1 3 b、以及從烘烤爐1 2傳送晶圚W至決 定收藏方向的晶圓迴轉部1 4，及從晶圓迴轉部1 4傳送晶 圓W使其收容的晶圓收容部1 5爲組成槪要。 晶圓供給部爲，具備例如一台中有上下方向收容20 片之晶圓W之電梯結構的兩台自動送板機1 a、1 b，可以 依順序供給晶圓W。晶圓迴轉部2爲決定液滴吐出裝置3 對於晶圓W用何方向描繪之描繪方向的決定，及決定傳 -15- (11) (11)200303825 送到液滴吐出裝置3之前的暫時位置，由於兩台的晶圓迴 轉台2 a、2 b ’可以正確的保持垂直方向之軸線爲9 〇度的 等間隔。液滴吐出裝置3、7、1 1之詳細內容爲後述，在 此省略說明。 烘烤爐4爲例如晶圓w在1 2 〇度下的加熱環境中放 置5分f里’使侍液滴吐出裝置3傳送來之晶圓W的紅色 液滴乾燥，因此，可以防止晶圓 W在移動中紅色的黏性 體飛散等問題。機器人5a、5b其構造爲，具備可以基台 爲中心可做伸展動作及回轉動作等之機器手臂（省略圖示） ，因爲此機器手臂之前端裝備著真空吸引墊保持吸附晶圓 W，可以使各裝置之間的晶圓W的傳送作業順暢並有效率 的執行。 中間搬送部6爲，使用機器人5b從烘烤爐4傳送來 的在加熱狀態之晶圓W送往下一工程之前的冷卻用冷卻 裝置6 a，及對於冷卻後的晶圓W因液滴吐裝置7，使用 何方向描繪之描繪方向決定，及傳送到液滴吐出裝置7之 前暫時位置決定的晶圓迴轉台6b，些爲配置於冷卻器6a 及晶圓迴轉台6b之間，及爲了吸收液滴吐出裝置3、7之 間速度處理的差之緩衝器6c。晶圓迴轉台6b爲可以使晶 圓W依照垂直方向之軸線做90度間隔或1 8 0度間隔的迴 轉。 烘烤爐1 0爲與上述烘烤爐6擁有同樣構造之加熱爐 ，例如晶圚W於1 20度下的加熱環境中放置5分鐘，使 得液滴吐出裝置7傳送來之晶圓W的綠色液滴乾燥，因 -16- (12) (12)200303825 此，可以防止晶圓w在移動中綠色的黏性體飛散等問題 。機益人9a、9b與上述機窃人5a、5b具有相同的構造， 具備可以基台爲中心可做伸展動作及回轉動作等之機器手 . 臂（省略圖示），因爲此機器手臂之前端裝備著真空吸引墊 保持吸附晶圓W，可以使各裝置之間的晶圓w的傳送作 業順暢並有效率的執行。 中間搬送部其構造1 〇爲，與上述中間搬送部6擁有 相同的構造，使用機器人9b從烘烤爐8傳送來的在加熱 鲁 狀態之晶圓W送往下一工程之前的冷卻用冷卻裝置i 〇 a， 及對於冷卻後的晶圓W因液滴吐裝置1 1，使用何方向描 繪之描繪方向決定，及傳送到液滴吐出裝置1 1之前暫時 位置決定的晶圓迴轉台1 〇b，些爲配置於冷卻器1 〇a及晶 圓迴轉台1 Ob之間，及爲了吸收液滴吐出裝置7、1 1之間 速度處理的差之緩衝器l〇c。晶圓迴轉台10b爲可以使晶 圓W依照垂直方向之軸線做90度間隔或1 80度間隔的迴 轉。 · 晶圓迴轉部1 4爲，對於從各液滴吐出裝置3、7、1 1 所形成之RGB模式，可以個別決定向一定方向迴轉之迴 轉位置。即，晶圓迴轉部14爲具備二台的晶圓迴轉台 14a、14b，可以正確的保持晶圓W及垂直方向軸線及90 · 度間隔之迴轉。晶圓收容部1 5爲，從晶圓迴轉部傳送來 的完成品晶圓W(彩色濾光電路板），在1台之中，例如具 備上下方向可以收納2 0片之電梯結構的兩台自動送板機 1 5 a、1 5 b，可以依順序收藏晶圓W。 -17- (13) (13)200303825 〔裝置製造方法〕 其次’爲說明本發明之一實施方法之裝置製造方法及 使用此裝置製造方法所製造的裝置之一例。此外，以下說 Η月爲’舉例說明使用上述裝置製造裝置所製造彩色濾光電 路板之製造方法。圖2爲，表示含有使用裝置製造裝置形 成之RGB模式彩色濾光電路板之一連串製造過程圖。 製造彩色濾光電路板所使用之晶圓W爲，例如長方 形薄版形狀之透明電路板，並具備適合的機器強度及高度 透光性質。作爲此晶圓W，例如需要使用透明玻璃電路板 、壓克力玻璃、塑膠電路板、塑膠薄膜及此類表面處理物 等最佳。此外，本晶圓W爲，對於RGB模式製造過程之 前期過程來說，從生產提昇的觀點來看，複數的彩色濾光 區域爲先被製成爲陣列狀，由於後期過程裁切本彩色濾光 片區域之RGB模式製造過程，使彩色濾光電路板適合使 用於液晶顯示裝置。 在此，圖3爲，表示從裝置製造裝置具備液滴吐裝置 所形成之RGB模式之例圖，（a)爲表示線條型模式之斜視 圖，（b)爲表示馬賽克型模式之部分放大圖，（c)爲表示 三角型模式之部分放大圖。如圖3所表示’彩色濾光片區 域爲R(紅）色之黏性體、G(綠）色之黏性體、以及B(藍）色 之黏性體爲，從後述液滴吐出噴頭1 8形成所設定之模式 。本形成模式爲，有圖3 (a)所表示線條型模式，其他圖 3 (b )所表示之馬賽克型模式，此外’圖3 ( c)爲三角型模式 (14) (14)200303825 可是本發明關於其形成模式爲，沒有特別做限制。 回至圖2，前期過程之黑色陣列之製造過程爲，如圖 2 (a)所表示，對於透明晶圓W之單邊的面（爲彩色濾光電 路板的基本面），無透光性樹脂爲（黑色爲佳），由於旋轉 塗佈等方法，塗上所指定之厚度（例如2 // m左右），之後 ，以光蝕刻等方法將陣列形狀至黑色陣列BM，…形成。 這些黑色陣列B Μ，…之所被方格包圍之最小的顯示要素 爲窗型，所謂的過濾元件FE，…所被稱爲，晶圓內側的 單邊方向（例如X軸方向）之寬長度爲30/zm，向這個方向 垂直交叉之方向（例如Y軸方向）長的長度爲100 m左右的 大小。晶圓上的黑色陣列B Μ，形成之後，使用無圖示之 電熱器加熱後，燒成在晶圓上之樹脂。 如此般黑色陣列形成之晶圓W爲，如圖1所表示晶 圓供給部1所含之各自動送板機1 a、1 b，繼續進行RGB 模式製造過成。RGB模式之製造過程爲，首先，自動送 板機la、lb其一將含有的晶圓W，用機器人5a之機器手 臂吸附後，晶圓迴轉台2a、2b放置爲其一方。之後，晶 圓迴轉台2 a、2 b爲，將紅色液滴附著前之準備，進行其 描繪方向及位置決定。 其次，機器人5a爲，再度將在各晶圓迴轉台2a、2b 上之晶圓W吸附後，傳送至液滴吐出裝置3。本液滴吐出 裝置3爲圖2 (b )表示，爲了形成所指定模式之過濾元件 FE，…內，使紅色液滴RD附著。此時各液滴RD的量爲 ’考慮到因加熱過程液滴RD的體積減少而所需充分的量 -19- (15) (15)200303825 如圖所示全部的過濾元件FE，…將紅色液滴RD塡 充過後的晶圓W，及指定溫度（例如，70度左右）做乾燥處 . 理。此時，當液滴RD之溶媒蒸發，如圖2(c)所表示因爲 RD的體積減少，當體積減少激烈時，彩色濾光電路板爲 了得到充分的黏性體膜厚爲止，反覆的進行液滴RD之附 著作業與乾燥作業。因此處理，使液滴RD之溶媒蒸發， 最後的得到液滴RD留下膜化固體分。 · 此外，紅色模式之製作過程中的乾燥作業爲，由圖1 所示的烘烤爐4所進行。其次，乾燥作業後的晶圓爲，因 在加熱狀態下，同圖所示的機器人5b搬送到冷卻器6a使 其冷卻。冷卻後的晶圓W爲使保存與緩衝器6c內，當時 間調整之後，移轉至晶圓迴轉台6b，之後作爲準備附著 綠色液滴，其描繪方向及位置決定。其次，機器人9a， 將迴轉台6b上的晶圓W吸附後，傳送到液滴吐出裝置7 • 液滴吐出裝置7爲，如圖2(b)所表示，爲了形成指定 模式之所指定位置的過濾元件FE，…內，使得綠色液滴 GD附著。此時各液淌GD的量爲，考慮到因加熱過程液 滴GD的體積減少而所需充分的量。如圖所示全部的過濾 · 元件FE，…將綠色液滴GD塡充過後的晶圓W，及指定 溫度（例如’ 70度左右）做乾燥處理。此時’當液滴GD之 溶媒蒸發’如圖2(c)所表示因爲GD的體積減少’當體積 減少激烈時’彩色濾光電路板爲了得到充分的黏性體膜厚 -20- (16) (16)200303825 爲止，反覆的進行液滴GD之附著作業與乾燥作業。因此 處理，使液滴RD之溶媒蒸發，最後的得到液滴GD留下 膜化固體分。 此外，綠色模式之製作過程中的乾燥作業爲，由圖1 所示的烘烤爐8所進行。其次，乾燥作業後的晶圓爲，因 在加熱狀態下，同圖所示的機器人9b搬送到冷卻器1 〇a 使其冷卻。冷卻後的晶圓W爲使保存與緩衝器1 〇c內， 當時間調整之後，移轉至晶圓迴轉台1 〇 b，之後作爲準備 附著藍色液滴，其描繪方向及位置決定。其次，機器人 1 3 a，將迴轉台1 Ob上的晶圓W吸附後，傳送到液滴吐出 裝置1 1。 液滴吐出裝置1 1爲，如圖2(b)所表示，爲了形成指 定模式之所指定位置的過濾元件FE，…內，使得藍色液 滴BD附著。此時各液滴BD的量爲，考慮到因加熱過程 液滴B D的體積減少而所需充分的量。如圖所示全部的過 濾元件FE，…將藍色液滴BD塡充過後的晶圓W，及指 定溫度（例如，70度左右）做乾燥處理。此時，當液滴BD 之溶媒蒸發，如圖2(c)所表示因爲BD的體積減少，當體 積減少激烈時，彩色濾光電路板爲了得到充分的黏性體膜 厚爲止，反覆的進行液滴BD之附著作業與乾燥作業。因 此處理，使液滴BD之溶媒蒸發，最後的得到液滴BD留 下膜化固體分。 此外，藍色模式之製作過程中的乾燥作業爲，由圖1 所示的烘烤爐1 2所進行。其次，乾燥作業後的晶圓爲， -21 - (17) (17)200303825 因在加熱狀態下，同圖所示的機器人1 3 b搬送到晶圓迴轉 台14a、14b及一方，之後，決定迴轉位置使其向一定方 向。決定迴轉位置的晶圓W爲，使用機器人丨3 b使其收 容至自動送板機15a、15b。由於上述，完成rgb模式製 造過程。之後的過程爲，圖2(b)所表示之後期過程。 後期過程之一爲圖2(b)所表示保護膜形成過程，液滴 RD、GD、B D爲使其完全乾燥，以所指定溫度及所指定時 間加熱。乾燥完成後，爲了使形成黏性體膜的晶圓W之 表面保護及表面平坦化形成保護膜CR。此保護膜CR爲 ，使用例如旋轉塗佈法、滾筒式塗佈法、點線處理法等所 形成。形成保護膜過程後如圖2(e)所表示之透明電極形程 過程爲，使用潑濺法 '及真空吸引法等方法，使形成保護 膜CR全部遮蓋之透明電極TL。繼透明電極形成過程後 圖2(f)模式印刷過程爲，透明電極TL，做爲畫素電極TL 。此外，液晶顯不板之驅動TFT(Thin Film Transistor)等 使用開關元件的情況下不需使模式印刷過程。經過以上說 明各過程，圖2(f)所示之彩色濾光電路板CF所被製造。 其次，本彩色濾光電路板CF於反方向電路板（省略圖 示）被相對排列，經過在其中夾持液晶之過程完成製造液 晶顯示裝置。如此般被製造之液晶顯示裝置，加入CPU( 中央處理器）等具備及主機板、鍵盤、硬碟等電子零件組 成於機殼內，例如圖4所表示筆記型個人電腦20 (裝置）所 被製造。圖4爲，經過使用本發明之一實施方式，使用其 裝製製造方法所被製造裝置例圖之一。此外，關於圖示 -22- (18) (18)200303825 21爲機殻，22爲液晶顯示裝置’ 23爲鍵盤。 此外，不僅限制於上述說明之製造過程所形成之彩色 濾光電路板C F裝備之裝置爲筆記型電腦2 0、攜帶型電話 、電子筆記簿、呼叫器、P 〇 S終端、IC卡、MD播放機、 液晶投影機、工程工作站（EWS)、文書處理機、電視機、 景觀窗型或螢幕直視型之攝影機、電子計算機、衛星導航 裝置、具備觸控板之裝置、時鐘、遊戲機器等，可舉出各 種電子機器。此外，使用本實施形態之液滴吐出裝置，以 前述製造方法所製造之裝置爲不限於彩色濾光電路板CF ，有機發光二極體（Electroluminescence)顯示器、微透鏡 陣列、含有護膜層的光學元件、其他裝置亦可。 〔液滴吐出裝置及噴頭驅動裝置〕 其次爲，說明本發明之一實施方式之液滴吐出裝置及 噴頭驅動裝置的電子構造。圖5爲，所表示本發明之一實 施方式之液滴吐出裝置及噴頭驅動裝置的電子構造塊狀圖 。此外，因爲圖1所表示3、7、1 1爲同一構造，以液滴 吐出裝置3來舉例說明。 關於圖5，液滴吐出裝置3爲，含有印刷控制器3 0 與印刷引擎40所構成。印刷引擎40爲具備記錄頭40、 移動裝置42、以及往返台構造43。在此，移動裝置42爲 ’製造彩色濾光電路板晶圓W等電路板載置之載置台使 其移動主要是進行副掃描，往返台構造4 3爲使記錄頭4 1 進行主掃描。 -23- (19) (19)200303825 印刷控制器30其具備’從電腦（圖非顯示）得到多値 色階資訊所含有之圖像貪料（§2錄資訊）等收丨目介面3 1 »與 記錄多値色階資訊等的DRAM成爲之輸入緩衝區23a以 及影像緩衝區2 3 b，以及s RAM所成爲之輸出緩衝區，與 爲處理各種資料之程式等的記錄ROM33，與含有CPU及 記憶體控制部3 4等振盪電路3 5 ’與產生驅動訊號C Ο Μ 至記錄頭4 1驅動訊號生成部3 6，與點模式資料展開之印 字資料及爲將驅動訊號輸出至印刷引擎40之介面。此外 ，控制部3 4及驅動訊號生成部3 6相當於本發明驅動訊號 生成方法之物。 其次，關於說明記錄頭4 1之結構說明。記錄頭4 1爲 構成，使基於從印刷控制器3 0所輸出之印製資料及驅動 訊號（COM)於指定的時機將液滴吐出噴頭的噴口 48c將 液滴吐出，複數的噴口 48c，及與各噴口 48c相連之複數 壓力產生室48b，及將壓力產生室內之黏性體各個加壓使 各噴口 4 8 c將液滴吐出之壓力產生元件4 8 a。此外，記錄 頭41爲具備，移位暫存器44、閂鎖電路45、電位偏移 46、以及切換電路47之噴頭驅動電路49。 其次，說明上述說明過構造之使液滴吐出裝置吐出液 滴時整體之動作。首先，印刷控制器3 0之點模式資料的 記錄資料SI爲，傳送序列至錄頭41之移位暫存器44， 照順序被設定。此時，首先，噴口之記錄資料SI之最上 層位元資料以序列傳送，使最上級位元資料以序列傳送完 時，將從上層的第2個位元資料以序列傳送。以下相同的 -24- (20) (20)200303825 依照順序到最下層的位元資料以序列傳送。 上述位元之記錄資料爲全噴口分，將移位暫存器 的各元件設定，控制部3 4會依指定時機將閂鎖電路4 5 閂鎖訊號LAT輸出。由此閂鎖訊號LAT，使閂鎖電路 將移位暫存器所記錄資料閂鎖。使閂鎖電路45所閂鎖 料爲，被電壓變換器之電位偏移46施加。此電位偏移 爲，例如記錄資料SI爲「1」時，切換電路4 7將可能 動電壓時，例如數十伏特的電壓値輸出。從電位偏移 所輸出之訊號被切換電路47所設之各開關元件所施加 各開關元件成爲連接狀態。在此，切換電路47所設置 各開關元件爲，從所被供予驅動訊號生成部3 6輸出之 動訊號COM，切換電路47之各開關元件爲連接狀態時 其開關元件會被連接之壓力產生元件 48a之驅動訊 COM所施加， 並且，記錄頭4 1爲，可以控制因記錄資料SI以驅 訊號COM決定壓力產生元件48a是否施加。例如資料 ^ 1」之期間時切換電路4 7所設置的開關元件成爲連接 態，所以可以供予驅動訊號COM至壓力產生元件48a 因爲被供予之驅動訊號COM壓力產生元件48a會變位（ 形）。對此，記錄資料SI爲「0」期間時切換電路47 設的開關元件成爲非連結狀態’所以壓力產生元件4 8 a 間的驅動訊號COM爲被切斷。記錄資料SI爲「0」之 間，此外，各壓力產生元件48a會保持稍前之帶電，所 會維持稍前之變形狀態。在此’切換電路47之所設的 -25- (21) (21)200303825 關元件成爲開啓狀態時，驅動訊號COM會被壓力產生元 件4 8 a所施加，噴口 4 8 c因連接之壓力產生室4 8 b壓縮使 得壓力產生室48b內的黏性體加壓，所以壓力產生室48b 內的黏性體成爲液滴從噴口 48c吐出，在電路板上形成點 。由於以上的動作，從液滴吐出裝置吐出液滴。 其次，對於本發明特徵部分之控制部3 4及驅動訊號 生成部3 6做說明。圖6爲驅動訊號生成部3 6之構成所表 示之塊狀圖。圖6所表示之驅動訊號生成部3 6爲，控制 部3 4所設置的資料記憶部依照所記錄的各種資料分成驅 動訊號C OM。如圖6所表示，驅動訊號生成部3 6爲，從 控制部3 4接收各種訊號之暫時記錄之記憶體5 0，記憶體 5 0將其內容讀出並暫時保持閂鎖5 1，使閂鎖5 1之輸出及 另一個閂鎖53之輸出加算之加法器52，使閂鎖53之輸 出變換成類比訊號D/A變換器，D/A變換器54所變換之 類比訊號放大至驅動訊號COM的電壓爲止電壓放大部55 ，及電壓放大部5 5所電壓放大之驅動訊號所電流放大之 電流放大部5 6所構成。此外，電壓放大部5 5及電流放大 部5 6使相當於本發明供給裝置。 從控制部34至驅動訊號部36爲，供給時脈訊號CLK、 資料訊號DATA、位址訊號AD1〜AD4、時脈訊號CLK1、 CLK2、重設訊號RST、及底部訊號FLR。時脈訊號CLK爲 從振盪電路35所輸出之時脈訊號CLK與相同頻率數，例如 10 MHz左右之訊號。資料訊號DATA爲所表示驅動訊號 C Ο Μ的電壓變化之訊號。位址訊號AD 1〜AD 4爲收藏資料 (22) (22)200303825 訊號DAT A所指定之位址訊號。詳細說明爲後述，爲了生 成驅動訊號COM時因從控制部34輸出複數電壓變化量所表 示資料訊號DAT A至驅動訊號生成部36，爲了分別記錄資 料訊號DATA所以需要位址訊號AD1〜AD4。 時脈訊號CLK1爲，當使驅動訊號COM之電壓値變化 時設定開始時點及結束時點的訊號。時脈訊號CLK2爲相 當於設定驅動訊號生成部3 6之執行時機的基準時脈之訊號 ，其頻率爲例如，被設定爲與上述時脈訊號CLK相同。驅 動訊號COM與此時脈訊號CLK2同步並被產生。重設訊號 RST爲，因閂鎖51及閂鎖53初始化，輸出「0」至加法器 52之訊號，底部訊號HLR爲使驅動訊號COM之電壓値變化 時，爲了淸除閂鎖13之底部8位元（閂鎖5 3爲8位元）之訊號 〇 其次，說明因上述構成驅動訊號生成部所產生驅動訊 號波形之例。圖7爲，表示驅動訊號生成部產生驅動訊號 波形之例圖。如圖7所表示，產生驅動訊號COM首先需要 ，從控制部34至驅動訊號生成部36顯示電壓變化量之資料 訊號DATA，及所表示其資料訊號DAT A的位址之位址訊號 AD1〜AD4與時脈訊號CLK同步並被輸出。資料訊號DATA 爲，如圖8所表不，與時脈訊號CLK同步並序列傳送。圖8 爲，表示從控制部3 4至驅動訊號生成部3 6之資料訊號 DATA與位址訊號AD1〜AD4傳送時機之時序圖。 由圖8所表示，從控制部3 4傳送表示所指定的電壓變 化量之資料DATA時，首先，與時脈訊號CLK同步並將複 (23) (23)200303825 數位元資料訊號D AT A輸出。其次，將收藏此資料訊號 DAT A之位址與啓動訊號EN同步做爲位址訊號AD1〜AD 4 以及輸出。圖6所表示的記憶體50爲，將啓動訊號EN輸出 之時機以位址訊號AD 1〜AD4讀取，得到的資料訊號 DAT A再以位址訊號AD1〜AD4所表示位址輸入。因位址 訊號AD1〜AD4爲4位元訊號，最大可以記錄16種的電壓 變化量所表示資料訊號DATA至記憶體50。 此外，所被使用資料訊號DATA的上層位元爲符號。 當執行完以上所說明處理，資料訊號ADATA以位址訊號 AD1〜AD4儲存於所指定記憶體50之位置。另外，在此當 爲位址A、B、C被資料訊號所記錄。之後，當爲重設訊號 RST及底部訊號SLR被輸入，閂鎖51、53爲初始化。 至各位址 A、B、…之電壓變化量設定結束後，圖7 所表示，當由於位址訊號AD 1〜AD4指定位址B，因最初 的時脈訊號CLK 1，此位址B所對應電壓變化量因閂鎖5 1 所被保持。此狀態，將下一個時脈訊號CLK輸入後，閂 鎖5 3之輸出及閂鎖5 1之輸出加算數値被閂鎖5 3所保存 。一旦，因閂鎖5 1電壓變化量所被保持，之後每輸入時 脈訊號CLK2，閂鎖53之輸出會跟著電壓變化量增減。因 記憶體5 0之位址B所收藏的電壓變化量△ B 1與時脈訊號 CLK2之週期△ T及決定驅動波形的轉換速率。此外，增 加或減少爲，因各位址所儲存之資料符號所決定。 圖7所表示的例爲，電壓變化量爲數値〇，即維持電壓 之數値所被收藏。此外，因時脈訊號CLK1使位址A有效， (24) (24)200303825 驅動訊號C OM會保持在波形不增減的水平狀態。另外，位 址C爲，爲了決定驅動波形之轉換速率，時脈訊號CLK2之 一週期之電壓變化量△ V2所被收藏。因時脈訊號CLK1使 位址C有效後，使電壓變化量V2之量的電壓緩慢下降。如 此一般，從控制部3 4從驅動訊號生成部3 6，位址訊號AD 1 〜AD4及時脈訊號CLK1、CLK2輸出，即可自由控制驅動 訊號COM之波形。 以上說明動作爲控制驅動訊號COM之波形之基本動作 ，本實施方式爲，當使驅動訊號電壓値變化（例如，圖7中 的向上期間T1或向下期間T3)，控制部34爲，生成數値變 化之第1期間及數値保持之第2期間反覆之驅動訊號。圖9 ，爲當轉換速率被設爲緩慢時，從驅動訊號生成部3 6輸出 驅動訊號C Ο Μ所表示之例圖。此外，圖9所表示之例爲使 驅動訊號COM的數値上升時之波形例以圖表示。關於圖9 ，期間Tla爲相當本發明所述第1期間，期間Tlb相當爲本 發明所述第2期間。 當生成圖7所表不波形之驅動訊號COM時，關於向 上期間T1，爲輸入時脈訊號CLK2時驅動訊號COM之電 壓値上升的波形。但圖9所表示的例爲，因時脈訊號 CLK2所輸入驅動訊號COM的電壓値上升期間Tla之間 設有保持驅動訊號C OM之電壓値的期間τ 1 b，則驅動訊 號COM之轉換速率低下。 在此，使驅動訊號之轉換速率低下之原因爲，從液滴 吐出裝置吐出之液滴黏度高，並一次吐出液滴的量爲數 -29- (25) (25)200303825 # g亦有比過去高數百倍之情形，爲了吐出需要量的液滴 ’有必要使壓力產生元件48a緩慢的變形。例如，圖7所 表示向上期間、保持期間T2、及向下期間T3，各爲is、 5 〇 〇 m s、2 0 # s所被設定。此外，向上期間T 1、保持期間 T2、向下期間T3在此，黏性體之黏度爲，例如在常溫（25 C)l〇 〜40,000[mPa· s ]之範圍。 當將向上期間T 1設爲一秒左右的長時間之原因爲，則 壓力產生元件48a快速的變形時，因爲黏性體的黏性高使 得彎月面崩潰，防止從噴口 48c進入氣泡。此外，保持期 間ΤΙ 1被設定爲向上時間T1的一半左右（ 5 00ms左右），這是 因爲要避免因噴頭1 8的構造所被決定之對於液滴吐出噴頭 1 8的固定振動數的影響。即，向上期間T 1經過後因黏性體 表面張力引起液滴吐出噴頭1 8之固定振動數所振動。振動 爲時間的經過所衰減，到最後成爲停止狀態。因爲黏性體 表面振動時之狀態爲不適於黏性體的吐出，保持期間T2爲 被設定於使表面振動停止所需要充分的長度。向下期間T3 爲，爲得到黏性體的吐出速度，被設定爲2 0 // s左右的短 暫時間。 圖9所表示的例爲，驅動訊號COM的轉換速率爲，，因 期間Tla之驅動訊號的電壓變化量△ VI 1和期間Tib所含的 時脈訊號CLK2的時脈數所被決定，此爲，壓力產生元件 48a之一單位時間的變形率所被設定。例如，要使壓力產 生元件48 a順暢的變形時，須將電壓變化量△ VI 1之數値變 小，期間T1所含的時脈訊號CLK2之時脈數增加。爲簡化 (26) (26)200303825 ，驅動訊號COM的電壓變化量之資料訊號DATA當爲無符 號之10位元訊號。此時，電壓變化量可取得21C)= 1 0 24種類 之數値，但爲了形成緩慢的向上波形最小値之電壓變化量 所被設定。 爲了形成驅動訊號COM的電壓値最小値到最大値之變 化時間爲Is之波形，因爲驅動訊號COM所取得値爲21()， 在Is之間有必要將期間T1 a與期間Tib反覆1 024次。並，期 間Tla與期間Tib的時間所被設定爲ls/ 1 024 = 0 976ms。在 此，因時脈訊號CLK2的波長爲10MHz，及1週期分的時間 爲0 1 // s，期間Tib所含的時脈訊號CLK2的數爲，1 0000 時脈左右所被設定。 此外，圖9所表示之例爲，期間T1 a被設定爲時脈訊號 CLK2的1週期分的時間，期間T2被設定爲時脈訊號CLK2 的1 0000週期左右分的時間，但將期間Tla設定爲時脈訊號 CLK2的複數週期分亦可，圖10爲，當期間Tla被設定爲時 脈訊號CLK2的複數週期分表示驅動訊號COM波形的例圖 此外，關於圖10，亦表示驅動訊號COM之數値上升時的波 形之例圖。 圖1〇所表示之例爲，週期Tla被設定爲時脈訊號CLK2 的4週期分。此時，爲了產生驅動訊號COM的電壓値從最 小値變化到最大値時間爲1 s，期間T 1 b的時間所被設定爲 圖9所表示期間Tib所設定時間的4倍。如此般，關於期間 T 1 a使驅動訊號C Ο Μ的電壓値變化次數與關於期間T 1 b對 於基準訊號COM之電壓値所保持的時脈訊號CLK2之時脈 (27) (27)200303825 數爲’因壓力產生元件48a —單位時間變形率所被設定。 此外，圖9所表示的驅動訊號c 〇 Μ之非轉換速率圖1 〇所表 示驅動訊號C Ο Μ之轉換速率皆相同。如圖丨〇般，期間τ } a 之時間設定爲時脈訊號CLK2之複數週期分，關於此期間 Tla之內驅動訊號COM之電壓値的電壓變化量△ VII爲複 數倍之變化爲以下理由。 艮P ’參照圖6所產生的驅動訊號D/A變換器54將類比 訊號變換後，電壓放大部5 5及電流放大部5 6之電壓値及電 流値各個被放大，但爲了怕時間0 1 // s之間使得驅動訊號 的電壓變化量V △ 1 1變化時，可能電壓放大部5 5及電流放 大部56不反應所擁有。爲了避免此錯誤狀況，如圖10所表 示，時脈訊號CLK2的複數週期分之間使驅動訊號的電壓 値上升。因執行此控制，使得電壓放大部5 5及電流放大部 5 6確實的執行。如此般，使本實施方式爲，使期間Tla驅 動訊號C OM的電壓値之變化次數與使期間T 1 b之基準訊號 COM的電壓値保持時脈訊號CLK2的時脈數，驅動訊號 COM做爲供給壓力產生元件48a之供給裝置並相應電壓放 大部5 5及電流放大部5 6之追從性能爲佳。 圖11爲，圖9及圖1〇所表示之驅動訊號波形產生時之 控制部3 4及驅動訊號生成部3 6動作之流程圖。此外’圖1 1 爲，只表示圖7之中的向上期間τ 1的波形產生時的動作。 當產生圖7中向上期間Τ 1之波形時’控制部34中所設置的 CPU做爲預先將控制部34內記憶部所藏之期間Τ1之時間長 讀出之物。 -32- (28) (28)200303825 控制部34所設的CPU爲，讀取控制部34內之資料記憶 部事先所收藏之壓力變化量νΔ 11及圖9和圖10所表示之 期間Tla的時脈CLK2之時脈數以及期間Tib的時脈CLK2的 時脈數（步驟S10)。其次，控制部34所設的CPU爲，讀取過 的電壓變化量轉換成資料訊號輸出至驅動訊號生成部3 6( 步驟S12)。此資料訊號輸出至驅動訊號生成部36後，照圖 8所說明，被儲存於驅動訊號生成部36內之記憶體50。以 上的處理結束後，從控制部34將時脈訊號CLK1輸出於驅 動訊號生成部3 6 (步驟S 1 4 )。 因此時脈訊號CLK1，記憶體50所記錄資料訊號（顯示 電壓變化量V △ 1 1之訊號）被閂鎖5 1所閂鎖。其次，控制部 34爲，將時脈訊號CLK1輸出後，輸出至驅動訊號生成部 3 6之時脈訊號CLK2的時脈數爲，判斷是否爲步驟S10所讀 取出期間T 1 a的時脈數以上（步驟S 1 6)。此判斷結果爲「 NO」時，以驅動訊號生成部3 6之加法器5 2，使電壓變化 量加算，驅動訊號COM的電壓値爲時脈CLK2同步上升（步 驟S 1 8)。假設，設定形成如圖1 0所表示之波形的驅動訊號 時，步驟S16、S18之處理會被反覆4次。此外，步驟S18爲 ，相當於本發明之第1步。 此外，步驟S 1 6的判斷結果爲「YE S」時，從控制部 34輸出時脈訊號CLK1至驅動訊號生成部36(步驟S20)。當 輸入此時脈訊號CLK 1，數値「0」所表示的訊號被閂鎖5 1 所閂鎖。其次，控制部34爲，當步驟S20之處理將時脈訊 號CLK1輸出後，被輸出至驅動訊號生成部36之時脈訊號 (29) (29)200303825 CLK2的時脈數，判斷是否爲步驟S10所讀取期間Tib之時 脈數以上（步驟S22)。此判斷結果「NO」時，因閂鎖51 爲，數値「〇」所表示之訊號被閂鎖，驅動訊號COM的電 壓値被保持（步驟S 2 4 )。 假設，產生如圖九所表示之波形驅動訊號所被設定時 ，步驟S12、S24被反覆處理1 0000次左右。此外，步驟S24 爲，相當於本發明第2步。步驟S22之判斷結果爲^ YES」 時，判斷是否有經過期間T1 (步驟S 16)。此判斷結果^ NO 」時，回到步驟S 1 4的處理，反覆上述處理過程。此外， 步驟S26的判斷結果爲「YES」時，結束形成期間T1的波 形之處理。 以上爲，相當於本發明之一的實施方法之噴頭驅動方 法的說明，但上述噴頭驅動方法爲，從圖7所表示的向上 期間T 1、保持期間T2、以及向下期間T3來形成驅動訊號 COM時之說明。本實施方法之噴頭驅動裝置以及方法爲， 不限於從上述3個期間所產生的驅動訊號C OM，例如產生 圖1 2所表示之波型的驅動訊號之情況下亦適合使用。 圖1 2爲，表示考量液滴吐出後之液滴的隨體及黏性體 之彎月面的驅動訊號COM之波形。黏度高的液滴吐出時， 例如壓力產生元件48 a使其緩慢的變形將黏性體吸入吐出 噴頭18內後，需要再使壓力產生元件48 a急速變形（還原） 及得到某種程度的速度將液滴吐出。因此，如圖1 2所表示 ，使壓力產生元件變形之期間T 1 0被長時間（1 s左右）左右 所設定，還原期間T12爲短期間（20 // s左右）所被設定。 (30) (30)200303825 在此，對於圖1 2所表示期間T 1 0〜T 1 3之波形所擁有 之驅動訊號施加時之液滴吐出噴頭1 8的液滴吐出動作做爲 說明。圖1 3爲，爲了說明圖1 2所表示擁有期間Τ 1 0〜Τ 1 3 之驅動訊號COM施加時液滴吐出噴頭18液滴吐出動作的說 明圖。首先，關於期間T10，當將驅動訊號COM的電壓値 緩慢上升，如圖1 3 ( a)所表示將液滴吐出噴頭1 8所設的壓 力產生元件48a緩慢的變形，黏性體從黏性體室48d供予壓 力產生室48b，並圖示接近噴口 48c位置之黏性體也稍微向 壓力產生室48b內部方向所被吸入。 其次，關於期間Τ 1 1之驅動訊號C OM的電壓値所指定 時間（例如，50ms)被保持後，對於期間T1 2以20 // s左右的 時間以快速的將壓力產生元件4 8 a變形（還原）後，如圖 13(b)所表示從噴口 48c將液滴D1吐出。經過期間T12後， 因爲不使驅動訊號COM之電壓値變化以及黏性體中有高度 黏性，如圖13(b)所表示，液滴D1的尾部D2之一部分分離 ，如圖13(c)所表示，除了原本的液滴D3以外會產生隨體 ST。使隨體ST爲因與液滴D3不同方向飛散，當液滴D3噴 著時，有污染噴著面的可能性。此外，圖1 2中的期間Τ 1 0 〜T1 2之波形的驅動訊號反覆的將壓力產生元件48a施加， 當以所指定的時間間隔連續吐出液滴時，因黏性體之黏性 高使噴口 4 8 c之彎月面崩潰，發生吐出液滴時不好的狀況 〇 爲了防止這些不好的情況，在圖1 2中之期間Τ 1 0〜期 間Τ 1 2波形後，設置壓力產生元件4 8 a使其所指定量變形期 -35- (31) (31)200303825 間T 1 4、T 1 5 (後期維護期間）。此期間T 1 4、T 1 5的驅動訊號 爲相當於本發明之輔助驅動訊號。後期維護期間爲在期間 Τ 1 2之後，例如所被設定爲1 0 # s左右期間Τ 1 3之後設置。 ， 在此，後期維護期間Τ 1 4設定爲2 〇 // s左右’期間Τ 1 5設定 爲1 s左右。期間Τ 1 4被設定爲2 0 # s左右的短時間之原因爲 ，因此壓力產生元件4 8 a急速變形，將從噴口 4 8 c吐出的液 滴一部分吸回，防止隨體ST。此外，期間T 1 5被設定爲1 s 左右的長時間，是爲了防止彎月面崩潰。 擊 使用圖1 4來做說明。圖1 4爲，爲了說明後期維護期間 所設置之驅動訊號C OM施加時液滴吐出噴頭1 8之液滴吐出 動作的圖。首先，圖12中的期間T10爲，驅動訊號COM的 電壓値緩慢上升時，如圖14(a)所表示液滴吐出噴頭18所 設之壓力產生元件48a緩慢變形，黏性體從黏性室48b供予 壓力產生室48b並如圖示之噴口 48c附近的位置也稍微向壓 力產生室48b內部方向吸引。 其次，期間ΤΙ 1之驅動訊號COM的電壓値所定時間（例 β 如，5 0 m s )被保持後，當期間Τ 1 2以2 0 s左右的時間將壓力 產生元件變形（還原），如圖14(b)所表示，從噴口 48c吐出 液滴D 1。經過期間Τ 1 2後，經過期間Τ 1 3至期間Τ 1 4所圖示 之波形驅動訊號COM將壓力產生元件48a施加，壓力產生 · 元件4 8 a如圖1 4 ( c )所表示之變形，從噴口 4 8 c吐出的液滴 之D1的一部分（圖l4(b)所表示尾部D2)被噴口內48c所吸入 。如此，因爲發生隨體ST的原因之尾部D2噴口 48c內可以 防止隨體的發生。 -36- (32) (32)200303825 如上述，因期間T 1 4的波形可以防止隨體的發生，但 期間Τ1 4使壓力產生元件48a變形，如圖14(c)所表示黏性 體的表面成爲吸入噴口 48c內的狀態，彎月面稍微崩潰。 爲了修補崩潰，期間T1 5使壓力產生元件48a緩慢變形（還 原）使彎月面維持一定狀態（參考圖l4(d))。 因後期維護期間所設置的驅動訊號COM使液滴吐出噴 頭1 〇驅動時，關於期間T 1 0及期間T 1 5有必要將壓力產生 元件48 a緩慢的變形及復原，此外，關於期間T1 2及期間 T 14有必要將壓力產生元件48 a急速復原及變形。如此般產 生驅動訊號COM擁有一部分做爲低轉換速率及高轉換速率 之波形時也，本實施方法爲相應轉換速率期間T 1 a之電壓 變化量及期間Tla的時脈訊號 CLK2之時脈數，並將，期 間Tib之時脈訊號CLK2之時脈數以適合的設定即可對應。 此外，考慮黏性體表面狀態及隨體等，驅動訊號COM可以 設定成任何波形形狀。 〔液滴吐出噴頭的具體構成〕 以上之說明爲表示說明簡略構成之液滴吐出噴頭1 8 ’ 以下爲對於液滴吐出噴頭1 8做具體的說明。圖1 5爲’表示 液滴吐出噴頭1 8之機器斷面構造之例圖。關於圖1 5 ’第1 的蓋材部70爲，厚度6// m左右的氧化銷之薄板所構成’ 其表面爲成爲一側的極之共通電極7 1所構成，此外’共通 電極71表面爲如後述PZT等構成之壓力產生元件48 a所固 定並且，壓力產生元件48a之表面Au等較柔軟的金屬構成 -37- (33) (33)200303825 驅動電極7 2。 壓力產生元件4 8 a與第1的蓋材部7 0，彎曲振動形的振 動器所構成，當壓力產生元件被充電後即收縮壓力產生室 ， 4 8 b進行體積的縮小變形，壓力產生元件4 8 a放電後即伸長 壓力產生室48b之體積向原本方向擴大變形。逆電流器73 爲，厚度例如1 # m之氧化锆等陶瓷板穿孔所形成之物 。逆電流器7 3被第1蓋材部7 0以及後續之第2蓋材部7 4兩面 封閉形成壓力產生室48b。 φ 第2蓋材部74爲與第1蓋材部70相同由氧化锆的陶瓷板 所形成。此第2蓋材部74爲壓力產生室48b與後述黏性體供 給口 75與其相連接連通孔76、壓力產生室48b之他側及噴 口 48c與其相連接噴口連通洞77所形成。噴口板82爲，爲 吐出黏性體之噴口 48c所形成。這些的黏性體供給口電路 板78、黏性體室形成電路板80、以及噴口板82，之間因擁 有熱融接片及黏著劑等黏著層83、84將其固定並與流路裝 置87合一。此流入裝置87與前述自動器裝置86，因熱融片 ® 及黏著劑連接層85使其固定構成液滴吐出噴頭1 8。 關於以上之構成的液滴吐出噴頭1 8，當壓力產生元件 4 8 a放電後，壓力產生室48b會膨脹，壓力產生室48b內的 壓力下降從黏性體室48d流入黏性體室壓力產生室48b內。 · 與此相反的，當壓力產生元件48 a充電時，壓力產生室48b 縮小，使得壓力產生室48b內壓力上升壓力產生室48b內的 黏性體變成液滴經由噴口 4 8 c向外部吐出。 -38- (34) (34)200303825 圖1 6爲，圖1 5所表示構成之供予液滴吐出噴頭的驅 動訊號C OM波形之圖。關於圖16，使得壓力產生元件 4 8 a動作的驅動訊號C Ο Μ爲，當中間電位v C只以維持到 所指定時間時刻11 1後（持續脈衝Ρ 1 )，從時刻t 1 1到時刻 112之期間T21之間的最低放電位VB爲止以一定斜度的 電壓値下降（放電脈衝P2)。此期間T21爲，執行如圖1 1 所表示之處理，使驅動訊號COM之電壓値變化之期間 Tla之中，形成保持驅動訊號COM之電壓値的期間T2b 所設之波形驅動訊號。 此最低電位VB維持到時刻tl2到時刻tl3之期間T22中 後（持續脈衝P3)，從時刻U3到時刻tl4之期間T21之間的最 高放電電位爲止VH以一定斜度使其上升（充電脈衝P4)，使 最高電位VH自時刻11 5爲止只以所定時間維持（持續脈衝 P5)，之後，到時刻tl6爲止的期間T25之間到中間電位VC 止再度使其下降（放電脈衝P 6 )。 如此般驅動信號COM如圖1 5所表示施加液滴吐出噴 頭後，先前被施加之充電脈衝使液滴吐出後的黏性體之彎 月面爲，保持脈衝τ 1在被施加間，因黏性體表面張力所 指定之週期震動引起噴頭開口 48C爲中心之震動，伴隨著 此時間經過，邊使彎月面震動衰減，慢慢進入靜止狀態。 其次，放電脈衝T2施加後，壓力產生元件48a向壓力產 生48b之容積膨脹方向彎曲，壓力產生室48b產生負壓。 其結果爲，引起彎月面向噴口 48c內部動作，彎月面被噴 口 4 8 c吸入。 -39- (35) (35)200303825 其次，持續脈衝P 3被施加之間，此狀態被保持後，充 電脈衝被施加時，壓力產生室48b正壓，從噴口 48c擠出彎 月面，液滴即被吐出。之後，放電脈衝P 6施加後，壓力產 生元件48a向壓力產生48b之容積膨脹方向彎曲，壓力產生 室48b產生負壓。其結果爲，引起彎月面向噴口 48c內部動 作。其次，因黏性體表面張力所定週期的振動引起以噴□ 4 8 c爲中心之振動，伴由時間經過，邊使彎月面振動衰減 ，再度慢慢回到靜止狀態。以上，關於圖1 5所表示液滴吐 出噴頭供給驅動訊號的波形之說明，但爲了維持一定狀態 之彎月面以及防止隨體發生，設置了圖1 2所表示的後期維 護期間，因黏性體黏度以及液滴吐出噴頭的反應特性產生 波形爲佳。 圖1 7爲液滴吐出噴頭1 8的機器斷面構造的他種例子 所表示圖。其次，圖17爲，表示使用伸縮振動之壓電振 盪器的壓力產生元件之記錄頭41之機器斷面構造表示例 。圖17關於所表示液滴吐出噴頭18，90爲噴口板，91 爲流路形成板。噴口板90被噴口 48c所形成，流路形成 板9 1爲’劃分壓力產生室48b之通孔，劃分連通壓力產 生室4 8 b兩側之兩個的黏性體供給口 9 2通孔及溝，以及 劃分連通這些黏性體供給口 92之兩個共用的黏性體室 4 8 b的通孔所被形成。 振動板9 3爲，由可彈性變形的薄板所構成，與壓電 元件等壓力產生元件4 8 a之前端相接夾著流路形成板9 1 與噴口板9〇及液密合爲一體及固定，構成流路裝置94。 -40- (36) (36)200303825 基台95爲，由收容壓力產生元件48a振動可能之收容室 96，及支持流路裝置94之開口 97所構成，壓力產生元件 的先端經開口 97使其成爲露出狀態壓力產生元件48a以 固定電路板所固定。此外，基台95爲，振動板93之隔離 部93a與壓力產生元件48a相接之狀態，流路裝置94固 定於開口 9 7與液滴吐出噴頭合一。 圖1 8爲，圖1 7所表示之液滴吐出噴頭所供給之驅動 訊號COM之波形所表示之圖。關於圖18，爲了使壓力產 生元件動作之驅動訊號COM爲其電壓値從中間電位 VC 啓動之後（持續脈衝PI 1)，從時刻t21至時刻t22之間的 期間T3 1以一定斜度至最高電位VH上升（充電脈衝P12) 。圖1 1爲表示處理的進行，驅動訊號COM的電壓値使其 變化之期間Tla之間，產生驅動訊號COM的電壓値保持 期間T2b所設之波形的驅動訊號。 此最高電位VH在時刻t22至時刻t23的期間T32之間維 持後（持續脈衝P13)，從時刻t23至時刻t24的期間T33之間 的最低電位VB爲止後以一定的斜度下降（放電脈衝P 1 4 ) 時刻t24至時刻t25的期間T34之間，最低電位VB只維持至 所指定時間（持續脈衝P15)。之後，從時刻t25至時刻t26 爲止電壓値爲中間電位VC爲止以一定的斜度上升（充電脈 衝 P 1 6)。 關於如此般構造記錄頭4 1，當驅動訊號所含之充電 脈衝P12被壓力產生元件48a施加後，壓力產生元件48a 向壓力產生室48b膨脹方向彎曲，使壓力產生室48b內產 (37) (37)200303825 生負壓。其結果爲，半月形吸入噴口 48c內。其次放電脈 衝P14施加後，壓力產生元件48a向壓力產生室48b容積 收縮方向彎曲，使壓力產生室48b產生正壓。其結果爲’ 從噴口 4 8 c將液滴吐出。其次，持續脈衝p 1 5施加後施加 充電脈衝P1 6，減少彎月面的振動。以上’對於圖1 7所 表示供給液滴吐出噴頭驅動訊號之波形的說明’但要維持 一定狀態的彎月面及防止隨體’圖1 2所表示設置圖1 2所 表示的後期維護期間液滴吐出噴頭反應特性產生波形爲佳 〇 關於以上曾述本實施方法之噴頭驅動方法爲，爲實現 此方法之全體驅動程式及一部分可讓電腦讀取之軟碟片、 CD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD(註冊商標）、DVD-R、 DVD-RW、DVD-RAM、磁帶（streamer)、硬碟、記憶體、 其他的儲存媒體中儲存即可。 如以上說明，依照本實施方法之噴頭驅動方式及方法 ，形成驅動訊號COM的向上期間或向下期間之波形時，控 制部34及驅動訊號生成部36，形成驅動訊號COM於使電壓 値變化期間T 1 a之間之電壓値保持期間T 1 b。因此，可以對 應驅動訊號COM的電壓値一單位時間的變化率期間Tla電 壓變化量Δ VI 1及期間Tla所含的時脈訊號CLK2之時脈數 以及期間Tib所含的時脈訊號CLK2之時脈數做適當的設定 。並且，可以將液滴吐出噴頭1 8所設的壓力產生元件4 8 s 以數秒緩慢的變形使其復原，與數百奈秒短時間使其變形 及復原。 -42- (38) (38)200303825 吐出擁有高黏性的黏性體時需要先將黏性體緩慢的吸 入液滴吐出噴頭18(壓力產生室48b)內，再以某種程度的 速度將滴液吐出。關於本實施方法爲，如上述’因壓力產 生元件48a以數秒將其緩慢的變形及復原’與數百奈秒短 時間使其變形及復原，吐出擁有高黏度的黏性體時極爲適 合。 此外，本實施方法爲，對應驅動訊號COM的電壓値 一單位時間的變化率期間T 1 a電壓變化量△ V 1 1及期間 T 1 a所含的時脈訊號CLK2之時脈數以及期間T 1 b所含的 時脈訊號CLK2之時脈數做適當的設定，適合使用的波形 形狀沒有做特別的限定。此外，關於使液滴吐出的動作之 間，可以容易的形成時常的維持彎月面的良好，及防止污 染原因的隨體之波形形狀。關於其結果爲，可以時常以高 精度將所指定的黏性體吐出。 其次，關於本實施方法，可以對應驅動訊號COM的 電壓値一單位時間的變化率期間τ 1 a電壓變化量△ V 1 1及 期間Tla所含的時脈訊號CLK2之時脈數以及期間Tib所 含的時脈訊號CLK2之時脈數做適當的設定，但使其成爲 相關的構成不須大幅變更裝置構成大約只須更改軟體即可 實現。並且，幾乎沒有必要新製造製造設備使用現存設備 即可實現。此外，可以計畫有效利用固有裝置來達到資源 的有效利用。並且，本實施方法之裝置製造方法，因液滴 吐出裝置3、7、1 1所含的製造工程，裝置採用其裝置製 造構成。依此構成，可讓產品內容改變時等彈性的對應， -43- (39) (39)200303825 所以可以用在各式各樣範圍廣泛內容的裝置製造上。 以上’說明過本發明實施方法，但本發明不限制於上 述實施方法’在本發明之範圍內可自由變更構成。例如， 上述實施方法爲’如圖1所表示，此液滴從紅（R)噴著之 液滴吐出裝置3 ’綠（G))噴著之液滴吐出裝置7，及藍（B) )噴著之液滴吐出裝置1 1被各別的設置，各液滴吐出裝置 3、7、1 1從所設置的液滴吐出噴頭1 8吐出單色液滴之裝 置製造裝置舉例說明。 但是，本發明爲紅色液滴吐出噴頭、綠色液滴吐出噴 頭、及藍色液滴吐出噴頭一體化之液滴吐出噴頭也適合使 用。此外’例如，本液滴吐出模式技術可以供予金屬材料 及絕緣材料，也可以金屬配件及絕緣膜等直接的細微模式 ，應用在因製造高性能的裝置製作上。 此外’本實施方法之液滴吐出裝置之裝置製造裝置爲 ’最初進行R(紅色）模式的形成，其次G(綠色）模式的形 成，最後進行B (藍色）模式的形成，但不限於此，因需要 和改變其他的順序之模式形成即可。另外上述實施方法爲 ’以高黏度黏性體舉例，但本發明不限定於單吐出黏性體 ，含有黏性的液體 '樹脂通常吐出時也可以使用。此外， 上述方法爲，液滴吐出噴頭所設的壓力產生元件爲使用壓 電振盪器時爲例，但本發明爲因熱使壓力產生室內之壓力 產生液渦吐出噴頭等液_吐出裝置等也適合使用。 【圖式簡單說明】 -44 - (40) (40)200303825 [圖1]本發明之一實施方法之液滴吐出裝置之裝置製 造裝置整體構成所表示之平面圖。 [圖2]使用裝置製造裝置形成含有RGB模式之彩色濾 光電路板一連串製造過程所表示之圖。 [圖3 ]因裝置製造裝置所具備的液滴吐出裝置所形成 的RGB模式之例圖，爲表示電條型模式之斜視圖， 爲表示馬賽克型模式的部分放大圖，（c)爲三角型型模式 所表示的部分放大圖。 [圖4]使用本發明之一實施方法之裝置製造方法所製 造的裝置之例圖。 [圖5]本發明之一實施方法之液滴吐出裝置及噴頭驅 動裝置的電子構成所表示的區塊圖。 [圖6]表示構成驅動訊號生成部36之區塊圖。 [圖7]表示驅動訊號生成部36所產生的驅動訊號波形 之一例圖。 [圖8 ]表示從控制部3 4至驅動訊號生成部3 6資料訊 號DATA及位址訊號AD 1〜AD4之傳送時機的時序圖。 [圖9]表示當轉換速率所輸出之驅動訊號COM的一例 圖。 [圖1〇]表示當期間Tla將時脈訊號CLK2的複數週期 分設定時驅動訊號C Ο Μ的一例圖。 [圖Π ]表示形成圖9或圖1 0所表示之驅動訊號波形 時之控制部3 4及驅動訊號生成部3 6的動作流程圖。 [圖12]考慮到液滴吐出之後，液滴的彎月面及黏性體 (41) (41)200303825 的隨體驅動訊號C Ο Μ之圖。 [圖1 3 ]爲說明圖1 2所表示擁有期間Τ 1 0〜Τ 1 3之波形 之驅動訊號C ΟΜ施加時液滴吐出噴頭1 8之液滴吐出動作 的圖。 [圖14]爲說明後期維護期間所設的驅動訊號COM施 加時C OM施加時液滴吐出噴頭1 8之液滴吐出動作的圖。 【圖1 5】液滴吐出噴頭1 8之機器斷面之一例圖 【圖1 6】表示圖1 5之液滴吐出噴頭所被供給的驅動 訊號COM之圖。 [圖17]液滴吐出噴頭18之機器斷面之其他例圖 [圖18]表示圖17之液滴吐出噴頭所被供給的驅動訊 號COM之圖。 [符號說明] 18……液滴吐出噴頭（噴頭） 30……印刷控制器（噴頭驅動裝置） · 34……控制部（驅動訊號生成方法） 36……驅動訊號生成部（驅動訊號生成方法） 48a……壓力產生元件 5 5……電壓放大部（供給裝置） . 56……電流放大部（供給裝置） CLK2……時脈訊號（基準時脈） COM……驅動訊號 -46-

Claims (1)

1. (1) (1)200303825 拾、申請專利範圍 1、 一種噴頭驅動裝置，屬於同步於基準時脈而動作 ，於具備壓力產生元件之噴頭之該壓力產生元件，經由施 加驅動信號，變形該壓力產生元件，吐出黏性體的噴頭驅 動裝置， 其特徵係 於變形前述壓力產生元件之時，具備生成重覆變化同 步於前述基準時脈之値之第1期間和按前述基準時脈之複 數同步部分，保持數値之第2期間的驅動信號的驅動信號 生成方法。 2、 如申請專利範圍第1項之噴頭驅動裝置，其中， 前述第1期間之前述値之變化率，和保持前述第2期間之 前述値的基準時脈的頻率，係對應前述壓力產生元件之每 單位時間之變形率加以設定者。 3、 如申請專利範圍第1項之噴頭驅動裝置，其中， 於前述第1期間，同步於前述基準時脈’變化前述數値之 次數，和於前述第2期間，保持前述數値之基準時脈之頻 率，則對應前述壓力產生元件之每單位時間之變形率加以 設定者。 4、 如申請專利範圍第3項之噴頭驅動裝置，其中， 具備於前述壓力產生元件供給前述驅動信號之供給裝置’ 於前述第1期間，同步於前述基準時脈’變化前述數値之 次數，和於前述第2期間’保持前述數値之基準時脈之頻 率，則更對應對於前述驅動信號之前述供給裝置之追蹤性 -47- (2) (2)200303825 能加以設置。 5、 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項之噴頭 驅動裝置，其中，前述壓力產生元件之每單位時間之變形 率’係對應前述黏性體之黏度加以設定。 6、 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項之噴頭 驅動裝置，其中，前述黏性體之黏度爲常溫（25 t )1 0〜40000[mPa s]之範圍。 7、 如申請專利範圍第1項至第3項之任一項之噴頭 驅動裝置，其中，前述壓力產生元件係包含經由前述驅動 信號之施加，進行伸縮振動或彎曲振動，加壓前述黏性體 之壓電振盪器。 8、 一種噴頭驅動方法，屬於同步於基準時脈而動作 ，於具備壓力產生元件之噴頭之該壓力產生元件，經由施 加驅動信號，變形該壓力產生元件，吐出黏性體的噴頭驅 動裝置之噴頭驅動方法， 其特徵係 於變形前述壓力產生元件之時，重覆變化同步於前述 基準時脈之前述驅動信號之値的第1步驟’和前述基準時 脈之複數同步部分’保持前述驅動信號之値之第2步驟。 9、 如申請專利範圍第8項之噴頭驅動方法，其中， 前述第1步驟之前述値之變化率’和於前述第2步驟’前 述値被保持的基準時脈的頻率，係對應前述壓力產生元件 之每單位時間之變形率加以設定者。 1 0、如申請專利範圍第8項之噴頭驅動方法’其中， -48- (3) (3)200303825 於前述第1步驟，同步於前述基準時脈，變化前述數値之 次數，和於前述第2步驟，保持前述數値之基準時脈之頻 率，則對應前述壓力產生元件之每單位時間之變形率加以 設定者。 1 1、如申請專利範圍第1 0項之噴頭驅動方法，其中 ，於前述第1步驟，同步於前述基準時脈，變化前述數値 之次數，和於前述第2步驟，保持前述數値之基準時脈之 頻率，則更於前述壓力產生元件，對應對於供給前述驅動 信號之供給裝置之前述驅動信號的追蹤性能加以設置。 1 2、如申請專利範圍第8項至第1 1項之任一項之噴 頭驅動方法，其中，前述壓力產生元件之每單位時間之變 形率，係對應前述黏性體之黏度加以設定。 • 1 3、如申請專利範圍第8項至第1 1項之任一項之噴 頭驅動方法，其中，前述黏性體之黏度爲常溫（25 °C )10 〜40000[mPa s]之範圍。 1 4、一種液滴吐出裝置，其特徵係具備如申請專利範 圍第1項至第7項之任一項記載之噴頭驅動裝置。 1 5、一種程式，其特徵係執行如申請專利範圍第8項 至第1 3項之任一項記載之噴頭驅動方法的程式。 1 6、一種裝置製造方法，其特徵係將使用如申請專利 範圍第8項至第1 3項之任一項之噴頭驅動方法’吐出前 述黏性體之工程，包含做爲裝置製造工程之一個。 1 7、一種裝置，其特徵係使用如申請專利範圍第14 項記載之液滴吐出裝置或如申請專利範圍第1 6項記載之 -49- (4)200303825 裝置製造方法加以製造者。

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