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JPH05211791A - Method and device for controlling motor - Google Patents

Method and device for controlling motor

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Publication number
JPH05211791A
JPH05211791A JP4014760A JP1476092A JPH05211791A JP H05211791 A JPH05211791 A JP H05211791A JP 4014760 A JP4014760 A JP 4014760A JP 1476092 A JP1476092 A JP 1476092A JP H05211791 A JPH05211791 A JP H05211791A
Authority
JP
Japan
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motor
speed
command curve
acceleration
speed command
Prior art date
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Pending
Application number
JP4014760A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuuji Oohashi
▲ゆう▼二 大橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Priority to JP4014760A priority Critical patent/JPH05211791A/en
Publication of JPH05211791A publication Critical patent/JPH05211791A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Control Of Electric Motors In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワイヤボンダのモータ制御方法において、加
速域の加速時間を短縮させ、インデックスをアップさ
せ、単位時間当たりの生産量を増大させる。 【構成】 速度指令カーブに基づきモータを加速制御
し、減速制御を経て目的位置で停止させるワイヤボンダ
のモータ制御方法において、加速域では、速度変化の大
きい速度指令カーブを用いてモータを加速制御し、減速
域では、速度変化の小さい速度指令カーブを用いてモー
タを減速制御する制御方法とした。
(57) [Abstract] [Purpose] In a motor control method for a wire bonder, the acceleration time in the acceleration region is shortened, the index is increased, and the production amount per unit time is increased. [Composition] In a wire bonder motor control method of accelerating and controlling a motor based on a speed command curve and stopping at a target position through deceleration control, in a accelerating region, a motor is accelerated and controlled using a speed command curve with a large speed change, In the deceleration range, a control method is used in which the motor is decelerated using a speed command curve with a small speed change.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、モータ制御方法および
装置に関し、特に、たとえばワイヤボンダのツールモー
タあるいはXYテーブルモータを制御するモータ制御方
法および装置に適用して有効な技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a motor control method and apparatus, and more particularly to a technique effectively applied to a motor control method and apparatus for controlling a tool motor or an XY table motor of a wire bonder.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のモータ制御方法としては、たと
えば図2 (a), (b)および図4(a), (b),(c)に
示すようなものがある。
2. Description of the Related Art Motor control methods of this type include, for example, those shown in FIGS. 2 (a), (b) and 4 (a), (b), (c).

【0003】図2(a),(b)は従来例の速度指令カー
ブおよび加速度指令カーブを示す図、図4(a),(b),
(c)は従来例におけるワイヤボンダのツールモータ、
XYテーブルモータおよびツール変位の1サイクルタイ
ミングを示す図である。
2 (a) and 2 (b) are views showing a speed command curve and an acceleration command curve of a conventional example, and FIGS. 4 (a), 4 (b),
(C) is a conventional wire bonder tool motor,
It is a figure which shows 1 cycle timing of XY table motor and a tool displacement.

【0004】すなわち、このモータ制御方法は、加速域
から減速域にわたって追従性や加速性を考慮し、ほぼ対
称な等加速度指令カーブやサイクロイドカーブを速度指
令カーブとして用い、この速度指令カーブに基づきモー
タを加速制御し、減速制御を経て目的位置で停止させる
制御方法となっている。
That is, in this motor control method, a substantially symmetrical constant acceleration command curve or cycloid curve is used as a speed command curve in consideration of followability and acceleration performance from the acceleration range to the deceleration range, and the motor is based on this speed command curve. Is a control method for accelerating control, decelerating control, and stopping at a target position.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
のモータ制御方法では、加速域から減速域にわたって追
従性や加速性を考慮し、ほぼ対称な等加速度指令カーブ
やサイクロイドカーブを速度指令カーブとして用い、こ
の速度指令カーブに基づきモータを加速制御し、減速制
御を経て目的位置で停止させる制御方法となっているの
で、加速域の加速時間が増大するという問題があった。
However, in the conventional motor control method described above, a substantially symmetrical constant acceleration command curve or cycloid curve is used as the speed command curve in consideration of the followability and the acceleration property from the acceleration region to the deceleration region. However, since the control method is such that the motor is accelerated based on this speed command curve and is stopped at the target position through deceleration control, there is a problem that the acceleration time in the acceleration range increases.

【0006】このため、インデックスが低下し、単位時
間当たりの生産量が減少するという問題があった。
Therefore, there is a problem that the index is lowered and the production amount per unit time is reduced.

【0007】本発明の目的は、加速域の加速時間を短縮
させることのできるモータ制御方法および装置を提供す
ることにある。
An object of the present invention is to provide a motor control method and apparatus capable of shortening the acceleration time in the acceleration region.

【0008】本発明の他の目的は、インデックスをアッ
プさせ、単位時間当たりの生産量を増大させることので
きるモータ制御方法および装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a motor control method and apparatus capable of increasing the index and increasing the production amount per unit time.

【0009】本発明の前記、並びに他の目的と新規な特
徴は、本発明の記述及び添付図面から明らかになるであ
ろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of the present invention and the accompanying drawings.

【0010】[0010]

【課題を決定するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
[Means for Determining the Problem] Of the inventions disclosed in the present application, a brief description will be given to the outline of typical ones.
It is as follows.

【0011】本発明におけるモータ制御装置は、モータ
の回転位置を検出する位置検出部と、この位置検出部に
より検出した回転位置に基づき速度を求めて入力側に戻
し、制御指令の速度と比較する比較部と、制御指令の速
度にモータの回転速度が一致するように適切な操作量を
求めて訂正動作を行う制御部とを備えたモータ制御装置
であって、前記制御指令の速度指令カーブは、加速域に
おける速度変化の大きい速度指令カーブと減速域におけ
る速度変化の小さい速度指令カーブとからなる構造とし
たものである。
The motor control apparatus according to the present invention detects the rotational position of the motor and a speed based on the rotational position detected by the position detection unit, returns the speed to the input side, and compares it with the speed of the control command. A motor control device comprising a comparison unit and a control unit that performs a corrective operation by obtaining an appropriate operation amount so that the rotation speed of the motor matches the speed of the control command, and the speed command curve of the control command is The structure has a speed command curve with a large speed change in the acceleration range and a speed command curve with a small speed change in the deceleration range.

【0012】この場合、前記加速域の速度指令カーブ
は、円滑でかつノンリニア的に変化する構造とすること
ができる。
In this case, the speed command curve in the acceleration region can be structured so as to change smoothly and non-linearly.

【0013】[0013]

【作用】モータの制御を行う場合、加速域では、速度変
化の大きい速度指令カーブを用いてモータを加速制御
し、減速域では、速度変化の小さい速度指令カーブを用
いてモータを減速制御する。
When the motor is controlled, the motor is accelerated and controlled in the acceleration range by using the speed command curve with a large speed change, and the motor is decelerated and controlled in the deceleration range by using the speed command curve with a small speed change.

【0014】その結果、加速域の加速時間を短縮させる
ことができる。
As a result, the acceleration time in the acceleration region can be shortened.

【0015】したがって、インデックスをアップさせ、
単位時間当たりの生産量を増大させることができる。
Therefore, by increasing the index,
The production amount per unit time can be increased.

【0016】また、前記加速域の加速時間の短縮によ
り、減速域の減速時間を増大させることができるので、
減速域の速度を円滑にし、追従性および安定性を向上さ
せることができる。
Since the acceleration time in the acceleration range can be shortened, the deceleration time in the deceleration range can be increased.
It is possible to smooth the speed in the deceleration region and improve the followability and stability.

【0017】この場合、前記加速域の速度指令カーブ
は、円滑でかつノンリニア的に変化する構造としたの
で、加速域の振動の発生を防止することができる。
In this case, since the velocity command curve in the acceleration region has a structure that changes smoothly and non-linearly, it is possible to prevent vibration in the acceleration region.

【0018】[0018]

【実施例】図1は本発明の一実施例であるモータ制御装
置を示すブロック図、図3(a),(b)は図1の制御装
置の速度指令カーブおよび加速度指令カーブを示す図で
ある。
1 is a block diagram showing a motor control device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 (a) and 3 (b) are diagrams showing a speed command curve and an acceleration command curve of the control device of FIG. is there.

【0019】本実施例におけるモータ制御装置は、比較
部1、制御部2、駆動部3、モータ4、位置検出部5お
よび変換部6を備え、モータ4の回転位置を検出し、こ
の検出した回転位置に基づき速度を求めて入力側に戻
し、制御指令の速度と比較し、それらを一致させるよう
に、適切な操作量を求めて訂正動作を行う閉ループ方式
の制御構造となっている。
The motor control device in this embodiment comprises a comparison section 1, a control section 2, a drive section 3, a motor 4, a position detection section 5 and a conversion section 6, detects the rotational position of the motor 4, and detects this. It has a closed-loop control structure in which the speed is calculated based on the rotational position, returned to the input side, compared with the speed of the control command, and an appropriate operation amount is calculated so as to match them, and a correction operation is performed.

【0020】前記制御指令は、メモリにデータあるいは
数式により格納された速度指令カーブに基づき行われる
もので、この速度指令カーブは加速域の速度指令カーブ
と減速域の速度指令カーブとからなる。
The control command is issued based on a speed command curve stored in the memory as data or a mathematical formula, and this speed command curve is composed of a speed command curve in the acceleration region and a speed command curve in the deceleration region.

【0021】加速域では、加速度を大きく設定し、モー
タ4の指令位置と実位置との偏差量が大きくなっても、
これを無視し、振動が発生しないように速度を円滑にす
る速度指令カーブを用いる。
In the acceleration range, even if the acceleration is set to a large value and the deviation amount between the command position and the actual position of the motor 4 becomes large,
Ignoring this, a speed command curve is used to smooth the speed so that vibration does not occur.

【0022】減速域では、加速度を小さく設定し、モー
タ4の指令位置と実位置との偏差量をなくしうる速度指
令カーブを用いる。
In the deceleration region, a speed command curve is used which can set the acceleration small and eliminate the deviation amount between the command position of the motor 4 and the actual position.

【0023】なお、本実施例では、v1はモータ4の定
格回転数に対応した最高速度、a1は従来のモータの定
加速度、a2は本実施例のモータの最高加速度であり、
モータ4は定格回転数以下で前記速度指令カーブに基づ
き制御される構造となっている。
In the present embodiment, v1 is the maximum speed corresponding to the rated speed of the motor 4, a1 is the constant acceleration of the conventional motor, and a2 is the maximum acceleration of the motor of the present embodiment.
The motor 4 is structured so as to be controlled based on the speed command curve at a rated rotation speed or less.

【0024】次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

【0025】図5(a),(b),(c)は本実施例におけ
るワイヤボンダのツールモータ、XYテーブルモータお
よびツール変位の1サイクルタイミングを示す図であ
る。
FIGS. 5A, 5B and 5C are diagrams showing the tool motor of the wire bonder, the XY table motor and one cycle timing of the tool displacement in this embodiment.

【0026】モータ4を制御する場合、前記した速度指
令カーブを用いてモータ4を制御すると、図3(a)に
示すように、前半の加速域では、速度は著しく大きい
が、その変化はゆるやかになり、後半の減速域では、速
度は小さくかつなめらかになる。
In controlling the motor 4, if the motor 4 is controlled using the speed command curve described above, as shown in FIG. 3 (a), the speed is remarkably large in the acceleration region in the first half, but its change is gentle. In the latter half of the deceleration range, the speed becomes small and smooth.

【0027】したがって、前半の加速域では、速度カー
ブが急なので、追従性が得られない。しかし、後半の減
速域では、追従性および安定性が向上し、指令停止寸前
では、指令位置に実位置が追従し、偏差がなくなり、安
定した停止が得られる。
Therefore, in the acceleration region in the first half, the speed curve is steep, so followability cannot be obtained. However, in the deceleration range in the latter half, the followability and stability are improved, and the actual position follows the command position immediately before the command stop, and the deviation disappears, and a stable stop can be obtained.

【0028】移動時間については、図3(a)におい
て、速度指令カーブで囲まれる面積が移動距離s2を示
し、この移動距離s2は従来例の移動距離s1と等しい
ので、モータ4の最高速度を上げることなく、移動時間
t2を従来例の移動時間t1よりも短縮させることがで
きる。
Regarding the moving time, in FIG. 3 (a), the area surrounded by the speed command curve indicates the moving distance s2. Since this moving distance s2 is equal to the moving distance s1 of the conventional example, the maximum speed of the motor 4 is The traveling time t2 can be made shorter than the traveling time t1 of the conventional example without increasing it.

【0029】このようなモータ制御装置をワイヤボンダ
のツールモータおよびXYテーブルモータ4に適用する
場合、1stボンド面へのツール下降動作,2ndボン
ド面からトーチ放電高さまでのツール上昇,2ndボン
ディング後の2ndボンド点から1stボンド点へのX
Yテーブル移動に前記した速度指令カーブを使用する。
When such a motor control device is applied to the tool motor of the wire bonder and the XY table motor 4, the tool lowering operation to the 1st bond surface, the tool rising from the 2nd bond surface to the torch discharge height, the 2nd after the 2nd bonding. X from bond point to 1st bond point
The speed command curve described above is used to move the Y table.

【0030】その結果、加速域の加速時間を短縮させる
ことができる。
As a result, the acceleration time in the acceleration region can be shortened.

【0031】したがって、1サイクル時間を短縮させ、
つまりインデックスをアップさせ、単位時間当たりの生
産量を増大させることができる。
Therefore, one cycle time is shortened,
That is, the index can be increased and the production amount per unit time can be increased.

【0032】また、加速域の加速時間の短縮により、減
速域の減速時間を増大させることができるので、減速域
の速度を円滑にし、追従性および安定性を向上させるこ
とができる。
Further, since the deceleration time in the deceleration region can be increased by shortening the acceleration time in the acceleration region, the speed in the deceleration region can be made smooth, and the followability and stability can be improved.

【0033】この場合、前記加速域の速度指令カーブ
は、円滑でかつノンリニア的に変化する構造としたの
で、加速域の振動の発生を防止することができる。
In this case, since the speed command curve in the acceleration region has a structure that changes smoothly and non-linearly, it is possible to prevent vibration in the acceleration region.

【0034】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0035】たとえば、前記実施例では、閉ループ方式
のモータ制御方法の場合について説明したが、これに限
らず、モータとしてステップモータを使用し、開ループ
方式のモータ制御方法に適用することもできる。
For example, in the above embodiment, the case of the closed loop type motor control method has been described, but the present invention is not limited to this, and a step motor may be used as a motor, and the present invention may be applied to an open loop type motor control method.

【0036】以上の説明では、主として本発明者を用い
てなされた発明をその背景となった利用分野であるワイ
ヤボンダのモータ制御方法で説明したが、ステッパ、工
作機あるいはロボットなどのモータ制御方法にも適用で
きる。
In the above description, the invention mainly made by the present inventor has been described with respect to the motor control method of the wire bonder which is the field of application which is the background of the invention. However, the motor control method of a stepper, a machine tool or a robot is described. Can also be applied.

【0037】[0037]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0038】(1).加速域では、速度変化の大きい速度指
令カーブを用いてモータを加速制御し、減速域では、速
度変化の小さい速度指令カーブを用いてモータを減速制
御するモータ制御方法および装置としたので、加速域の
加速時間を短縮させることができる。
(1) In the acceleration region, the motor is accelerated and controlled by using the speed command curve having a large speed change, and in the deceleration region, the motor is decelerated and controlled by using the speed command curve having a small speed change. Since the device is used, the acceleration time in the acceleration region can be shortened.

【0039】(2).前記(1) の効果により、インデックス
をアップさせ、単位時間当たりの生産量を増大させるこ
とができる。
(2) Due to the effect of (1), the index can be increased and the production amount per unit time can be increased.

【0040】(3).前記(1) の効果により、減速域の減速
時間を増大させることができるので、減速域の速度を円
滑にし、追従性および安定性を向上させることができ
る。
(3) Due to the effect of the above (1), the deceleration time in the deceleration region can be increased, so that the speed in the deceleration region can be made smooth and the followability and stability can be improved.

【0041】(4).前記(1) の場合、加速域の速度指令カ
ーブは、円滑でかつノンリニア的に変化する構造とした
ので、加速域の振動の発生を防止することができる。
(4) In the case of the above (1), since the speed command curve in the acceleration region has a structure that changes smoothly and non-linearly, it is possible to prevent vibration in the acceleration region.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるモータ制御装置を示す
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a motor control device according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a),(b)は従来例の速度指令カーブおよび
加速度指令カーブを示す図である。
2A and 2B are diagrams showing a speed command curve and an acceleration command curve of a conventional example.

【図3】(a),(b)は図1のモータ制御装置の速度指
令カーブおよび加速度指令カーブを示す図である。
3 (a) and 3 (b) are diagrams showing a speed command curve and an acceleration command curve of the motor control device of FIG.

【図4】(a),(b),(c)は従来例におけるワイヤボ
ンダのツールモータ、XYテーブルモータおよびツール
変位の1サイクルタイミングを示す図である。
4 (a), (b) and (c) are diagrams showing one cycle timing of a tool motor, an XY table motor and a tool displacement of a wire bonder in a conventional example.

【図5】(a),(b),(c)は本実施例におけるワイヤ
ボンダのツールモータ、XYテーブルモータおよびツー
ル変位の1サイクルタイミングを示す図である。
5 (a), (b) and (c) are diagrams showing the tool motor of the wire bonder, the XY table motor and one cycle timing of tool displacement in the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 比較部 2 制御部 3 駆動部 4 モータ 5 位置検出部 6 変換部 v1 モータの定格回転数に対応した最高速度 a1 従来例のモータの定加速度 a2 本実施例のモータの最高加速度 S1 従来例の移動距離 S2 本実施例の移動距離 T1 従来例の移動時間 T2 本実施例の移動時間 1 comparison unit 2 control unit 3 drive unit 4 motor 5 position detection unit 6 conversion unit v1 maximum speed corresponding to the rated rotation speed of the motor a1 constant acceleration of the motor of the conventional example a2 maximum acceleration of the motor of this embodiment S1 of the conventional example Moving distance S2 Moving distance of this embodiment T1 Moving time of conventional example T2 Moving time of this embodiment

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 速度指令カーブに基づきモータを加速制
御し、減速制御を経て目的位置で停止させるモータ制御
方法であって、加速域では、速度変化の大きい速度指令
カーブを用いてモータを加速制御し、減速域では、速度
変化の小さい速度指令カーブを用いてモータを減速制御
することを特徴とするモータ制御方法。
1. A motor control method for accelerating a motor on the basis of a speed command curve, stopping the motor at a target position through deceleration control, and accelerating the motor using a speed command curve with a large speed change in an acceleration range. In the deceleration region, the motor control method is characterized by decelerating the motor using a speed command curve with a small speed change.
【請求項2】 モータの回転位置を検出する位置検出部
と、この位置検出部により検出した回転位置に基づき速
度を求めて入力側に戻し、制御指令の速度と比較する比
較部と、制御指令の速度にモータの回転速度が一致する
ように適切な操作量を求めてモータの訂正制御を行う制
御部とを備えたモータ制御装置であって、前記制御指令
の速度指令カーブは、加速域における速度変化の大きい
速度指令カーブと減速域における速度変化の小さい速度
指令カーブとからなることを特徴とするモータ制御装
置。
2. A position detection unit for detecting a rotation position of a motor, a comparison unit for obtaining a speed based on the rotation position detected by the position detection unit, returning the speed to the input side, and comparing the speed with a control command, and a control command. Is a motor control device including a control unit for performing a correction control of the motor by obtaining an appropriate operation amount so that the rotation speed of the motor matches the rotation speed of the motor. A motor control device comprising a speed command curve having a large speed change and a speed command curve having a small speed change in a deceleration region.
【請求項3】 前記加速域の速度指令カーブは、円滑で
かつノンリニア的に変化することを特徴とする請求項2
記載のモータ制御装置。
3. The speed command curve in the acceleration range changes smoothly and non-linearly.
The described motor control device.
JP4014760A 1992-01-30 1992-01-30 Method and device for controlling motor Pending JPH05211791A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002057185A (en) * 2000-08-07 2002-02-22 Nec Corp Wire bonding device
KR100604307B1 (en) * 2000-05-27 2006-07-24 삼성테크윈 주식회사 How to design speed profile of wire bonding system

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