JP2008259266A

JP2008259266A - Vibration actuator, lens barrel and camera

Info

Publication number: JP2008259266A
Application number: JP2007096525A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Sato; 高広佐藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2007-04-02
Filing date: 2007-04-02
Publication date: 2008-10-23

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator stably driven, a lens barrel with the same, and a camera. <P>SOLUTION: The vibration actuator (10, 20, 30 or 40) have a vibrator (11), a relative movement member (14) pressed and contacting the vibrator and relatively moving between the moving object, and a pressing section (18, 28, 38 or 48) for pressing and contacting the vibrator and the relative movement member. The pressing section has a displacement section (18d, 28d, 38d or 48d) displacing in the pressing direction depending on a temperature change. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラに関するものである。 The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel including the vibration actuator, and a camera.

従来、振動アクチュエータに用いられる振動体は、弾性体と電気機械変換素子とを有しており、振動アクチュエータでは、電気機械変換素子を駆動信号によって伸縮させ、この伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波とする）を発生させる。そして、この進行波によって、振動体の駆動面に楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した相対移動部材が駆動されることにより、駆動力が取り出される。
このような振動アクチュエータは、使用される環境の温度によって、その特性が変化する。そのため、特に高温や低温の環境下において、常温での駆動に比べて駆動特性が変化するという問題があった。 Conventionally, a vibrating body used for a vibration actuator has an elastic body and an electromechanical conversion element. In the vibration actuator, the electromechanical conversion element is expanded and contracted by a drive signal, and the elastic body is driven using the expansion and contraction. A progressive vibration wave (hereinafter referred to as a traveling wave) is generated on the surface. The traveling wave causes an elliptical motion on the driving surface of the vibrating body, and the driving force is taken out by driving the relative moving member in pressure contact with the wavefront of the elliptical motion.
The characteristics of such a vibration actuator vary depending on the temperature of the environment in which it is used. For this reason, there is a problem that the drive characteristics change compared to the drive at room temperature, particularly in a high or low temperature environment.

このような振動アクチュエータの温度に対する駆動特性の変化を安定させるために、特許文献１には、振動体を構成する圧電体（電気機械変換素子）に、駆動電極とともに少なくとも２つ以上のセンサ電極を形成し、振動体の温度を検出して、移動体（相対移動部材）の速度制御の温度補正を行う例が開示されている。
しかし、このような手法では、検出や制御のための回路等が必要となり、構成が複雑になって、生産コストが高くなるという問題があった。
特開平５−３４４７６１号公報 In order to stabilize the change of the drive characteristics with respect to the temperature of the vibration actuator, Patent Document 1 discloses that at least two or more sensor electrodes together with the drive electrodes are provided on the piezoelectric body (electromechanical transducer) constituting the vibration body. An example is disclosed in which the temperature of the moving body (relatively moving member) is controlled and temperature is corrected by detecting the temperature of the vibrating body.
However, such a technique requires a circuit for detection and control, and has a problem that the configuration becomes complicated and the production cost increases.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-344761

本発明の課題は、駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration actuator with stable driving, a lens barrel including the same, and a camera.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項１の発明は、振動体（１１）と、前記振動体に加圧接触され、前記振動体の振動により、前記振動体との間で相対移動する相対移動部材（１４）と、前記振動体と前記相対移動部材とを加圧接触させる加圧部（１８，２８，３８，４８）とを有する振動アクチュエータであって、前記加圧部は、温度変化に応じて加圧方向（矢印Ａ）に変位する変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（１８ｄ，２８ｄ）は、可撓性を有する材料よって形成され、密閉された空間（１８ｅ，２８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項３の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（２８ｄ）は、前記加圧方向（矢印Ａ）に直交する方向の端部の厚さに比べて、前記加圧方向の端部の厚さの方が薄いこと、を特徴とする振動アクチュエータ（２０）である。
請求項４の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（３８ｄ）は、本体部（３８１）と、前記加圧方向（矢印Ａ）に移動可能な可動部（３８２）とを有し、前記本体部と前記可動部とによって密閉された空間（３８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（３０）である。
請求項５の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（４８ｄ）は、本体部（４８１）と、可撓性を有する材料で形成された可撓部（４８２）とを有し、前記本体部と前記可撓部とによって密閉された空間（４８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（４０）である。
請求項６の発明は、請求項２から請求項５に記載の振動アクチュエータにおいて、前記密閉された空間（１８ｅ，２８ｅ，３８ｅ，４８ｅ）には、気体又は液体が封入されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記加圧部（１８，２８，３８，４８）は、加圧力を発生させる弾性部材（１８ｂ）を有し、前記弾性部材は、前記加圧方向（矢印Ａ）において、前記変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）よりも前記振動体（１１）側に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）を備えるレンズ鏡筒（３）である。
請求項９の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）を備えるカメラ（１）である。
なお、本発明をわかり易く説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。さらに、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。 The present invention solves the above problems by the following means.
The invention of claim 1 includes a vibrating body (11), a relative movement member (14) that is in pressure contact with the vibrating body, and moves relative to the vibrating body by vibration of the vibrating body, and the vibration. A vibration actuator having a pressurizing section (18, 28, 38, 48) for pressurizing and contacting a body and the relative movement member, wherein the pressurizing section is adapted to a pressurizing direction (arrow A) according to a temperature change. The vibration actuator (10, 20, 30, 40) is characterized by having a displacement portion (18d, 28d, 38d, 48d).
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the first aspect, the displacement portion (18d, 28d) is formed of a flexible material and has a sealed space (18e, 28e). This is a vibration actuator (10, 20).
According to a third aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the second aspect, the displacement portion (28d) is more than the thickness of an end portion in a direction orthogonal to the pressure direction (arrow A). The vibration actuator (20) is characterized in that the thickness of the end portion in the direction is thinner.
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the first aspect, the displacement portion (38d) includes a main body portion (381) and a movable portion (382) movable in the pressurizing direction (arrow A). The vibration actuator (30) is characterized by having a space (38e) sealed by the main body portion and the movable portion.
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration actuator according to the first aspect, the displacement portion (48d) includes a main body portion (481) and a flexible portion (482) formed of a flexible material. The vibration actuator (40) is characterized by having a space (48e) sealed by the main body portion and the flexible portion.
A sixth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the second to fifth aspects, wherein the sealed space (18e, 28e, 38e, 48e) is filled with gas or liquid. Vibration actuators (10, 20, 30, 40).
A seventh aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to sixth aspects, wherein the pressurizing portion (18, 28, 38, 48) is an elastic member that generates a pressurizing force ( 18b), and the elastic member is provided closer to the vibrating body (11) than the displacement portion (18d, 28d, 38d, 48d) in the pressing direction (arrow A). This is a characteristic vibration actuator (10, 20, 30, 40).
The invention of claim 8 is a lens barrel (3) provided with the vibration actuator (10, 20, 30, 40) according to any one of claims 1 to 7.
The invention of claim 9 is a camera (1) comprising the vibration actuator (10, 20, 30, 40) according to any one of claims 1 to 7.
In addition, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description has been made in association with the reference numerals of the drawings showing the embodiments. However, the present invention is not limited to this, and the configuration of the embodiments described later is appropriately improved. Alternatively, at least a part of the structure may be replaced with another component. Further, the configuration requirements that are not particularly limited with respect to the arrangement are not limited to the arrangement disclosed in the embodiment, and can be arranged at a position where the function can be achieved.

本発明によれば、駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a vibration actuator with stable driving, a lens barrel and a camera including the vibration actuator.

以下、図面等を参照して、本発明の実施形態を挙げてさらに詳しく説明する。なお、以下の実施形態は、振動アクチュエータとして、超音波領域の振動を利用した超音波モータを例に挙げて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In the following embodiments, an ultrasonic motor using vibration in an ultrasonic region will be described as an example of a vibration actuator.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１では、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４は、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が回転すると、レンズ４は、カム筒５とのカム係合によって光軸方向へ移動し、焦点調節が行われる。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating a camera 1 according to the first embodiment.
The camera 1 of the present embodiment includes a camera body 2 having an image sensor 6 and a lens barrel 3. The lens barrel 3 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 2. In the camera 1 of the present embodiment, an example in which the lens barrel 3 is an interchangeable lens is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, a lens barrel integrated with the camera body may be used.
The lens barrel 3 includes a lens 4, a cam barrel 5, an ultrasonic motor 10, and the like. In the present embodiment, the ultrasonic motor 10 has a substantially annular shape, and is disposed in the lens barrel 3 so that the center axis direction of the ring substantially coincides with the optical axis direction (the direction of arrow A in FIG. 1). Has been. The ultrasonic motor 10 is used as a driving source for driving the lens 4 during the focusing operation of the camera 1, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 10 is transmitted to the cam cylinder 5. The lens 4 is cam-engaged with the cam cylinder 5, and when the cam cylinder 5 is rotated by the driving force of the ultrasonic motor 10, the lens 4 is moved in the optical axis direction by the cam engagement with the cam cylinder 5, Focus adjustment is performed.

図２は、第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。図２では、超音波モータ１０の円環中心軸方向での断面を示している。なお、以下に示す図３から図５においても同様の断面での形状を示している。
第１実施形態の超音波モータ１０は、振動子１１，移動体１４，緩衝部材１５，支持体１６，緩衝部材１７，加圧部１８，固定部材１９等を備えている。
振動子１１は、略円環形状の部材であり、弾性体１２，圧電体１３等を備えている。
弾性体１２は、ステンレス材料やインバー材料等の鉄合金や真鍮等の弾性変形が可能な金属材料を用いて形成された略円環形状の部材であり、一方の端面には、圧電体１３が設けられ、他方の面には、複数の溝１２ａを切って形成された櫛歯部１２ｂが形成されている。この櫛歯部１２ｂの先端面は、圧電体１３の励振により、進行波が発生し、移動体１４を駆動する駆動面となる。 FIG. 2 is a diagram illustrating the ultrasonic motor 10 according to the first embodiment. FIG. 2 shows a cross section of the ultrasonic motor 10 in the direction of the center axis of the ring. Note that the same cross-sectional shape is also shown in FIGS.
The ultrasonic motor 10 according to the first embodiment includes a vibrator 11, a moving body 14, a buffer member 15, a support body 16, a buffer member 17, a pressure unit 18, a fixing member 19, and the like.
The vibrator 11 is a substantially annular member, and includes an elastic body 12, a piezoelectric body 13, and the like.
The elastic body 12 is a substantially ring-shaped member formed using a metal material that can be elastically deformed, such as an iron alloy such as stainless steel or invar material, or brass, and a piezoelectric body 13 is formed on one end surface. Provided on the other surface is a comb tooth portion 12b formed by cutting a plurality of grooves 12a. The front end surface of the comb tooth portion 12 b is a driving surface that drives the moving body 14 by generating a traveling wave due to excitation of the piezoelectric body 13.

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有し、本実施形態では、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いて形成され、導電性の接着剤等を用いて、弾性体１２に接合されている。
圧電体１３上には、不図示のフレキシブルプリント基板と電気的に接続された不図示の電極が形成されており、このフレキシブルプリント基板から供給される駆動信号によって、圧電体１３が励振される。 The piezoelectric body 13 has a function of converting electrical energy into mechanical energy. In this embodiment, the piezoelectric body 13 is formed using PZT (lead zirconate titanate), and an elastic body 12 using a conductive adhesive or the like. It is joined to.
An electrode (not shown) that is electrically connected to a flexible printed board (not shown) is formed on the piezoelectric body 13, and the piezoelectric body 13 is excited by a drive signal supplied from the flexible printed board.

移動体１４は、略円環形状の部材であり、後述する加圧部１８の加圧力によって弾性体１２の駆動面に加圧接触され、弾性体１２の進行波によって摩擦駆動される。
緩衝部材１５は、ゴム等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材１５は、移動体１４の振動を支持体１６側へ伝えないようにする部材であり、移動体１４と支持体１６との間に設けられている。
支持体１６は、移動体１４を支持する部材であり、移動体１４と一体となって回転して移動体１４の回転運動を不図示の被駆動部材に伝達し、かつ、移動体１４の回転中心軸方向の位置を規制する部材である。 The moving body 14 is a substantially ring-shaped member, is brought into pressure contact with the driving surface of the elastic body 12 by the pressure applied by the pressurizing unit 18 described later, and is frictionally driven by the traveling wave of the elastic body 12.
The buffer member 15 is a substantially ring-shaped member formed using rubber or the like. The buffer member 15 is a member that prevents the vibration of the moving body 14 from being transmitted to the support body 16 side, and is provided between the moving body 14 and the support body 16.
The support 16 is a member that supports the moving body 14, rotates together with the moving body 14, transmits the rotational motion of the moving body 14 to a driven member (not shown), and rotates the moving body 14. It is a member that regulates the position in the central axis direction.

加圧部１８は、振動子１１と移動体１４とを加圧接触させる加圧力を発生する部分であり、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部１８ｄ等を備えている。加圧部１８についての詳細な説明は、後述する。
緩衝部材１７は、不織布やフェルト等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材１７は、振動子１１の振動を加圧部１８側へ伝えないようにする部材であり、圧電体１３と加圧板１８ａとの間に設けられている。
固定部材１９は、本実施形態の超音波モータ１０をレンズ鏡筒３に固定する部材である。 The pressurizing unit 18 is a part that generates a pressurizing force that causes the vibrator 11 and the movable body 14 to come into press contact, and includes a pressurizing plate 18a, a disc spring 18b, an auxiliary plate 18c, a pressurizing adjusting unit 18d, and the like. . A detailed description of the pressurizing unit 18 will be described later.
The buffer member 17 is a substantially ring-shaped member formed using a nonwoven fabric, felt, or the like. The buffer member 17 is a member that prevents the vibration of the vibrator 11 from being transmitted to the pressurizing unit 18 side, and is provided between the piezoelectric body 13 and the pressurizing plate 18a.
The fixing member 19 is a member that fixes the ultrasonic motor 10 of the present embodiment to the lens barrel 3.

本実施形態の超音波モータ１０の加圧部１８について説明する。加圧部１８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部１８ｄを備え、超音波モータ１０の円環中心軸方向（図２中の矢印Ａ方向）に沿って加圧力を発生させ、振動子１１と移動体１４とを加圧接触させる機能を有する。なお、本実施形態では、加圧部１８の加圧方向は、カメラ１の光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）に略等しい。
皿バネ１８ｂは、矢印Ａ方向の加圧力を発生させる部材であり、加圧板１８ａは、皿バネ１８ｂが発生する加圧力を受ける、略円環形状の板である。 The pressurizing unit 18 of the ultrasonic motor 10 of this embodiment will be described. The pressurizing unit 18 includes a pressurizing plate 18 a, a disc spring 18 b, an auxiliary plate 18 c, and a pressurizing force adjusting unit 18 d, and pressurizing force along the annular central axis direction (direction of arrow A in FIG. 2) of the ultrasonic motor 10. And has a function of bringing the vibrator 11 and the moving body 14 into pressure contact. In the present embodiment, the pressing direction of the pressing unit 18 is substantially equal to the optical axis direction of the camera 1 (the direction of arrow A in FIG. 1).
The disc spring 18b is a member that generates a pressing force in the direction of arrow A, and the pressurizing plate 18a is a substantially annular plate that receives the pressing force generated by the disc spring 18b.

加圧力調整部１８ｄは、加圧部１８が発生する加圧力を調整する部材であり、本実施形態では、皿バネ１８ｂより固定部材１９側に設けられている。加圧力調整部１８ｄは、本実施形態では、略円環形状の部材であって、可撓性及び気密性を有する材料を用いて中空に形成されている。加圧力調整部１８ｄは、全周にわたって中空であり、内部には密閉された空間１８ｅが形成され、気体が所定の圧力で封入されている。本実施形態では、密閉された空間１８ｅに封入された気体は、空気である。
この加圧力調整部１８ｄは、超音波モータ１０が使用される環境の温度によって、密閉された空間１８ｅに封入された空気の体積が変化することにより変位する。 The pressurizing force adjusting portion 18d is a member that adjusts the pressurizing force generated by the pressurizing portion 18, and in this embodiment, is provided on the fixed member 19 side from the disc spring 18b. In the present embodiment, the pressure adjusting unit 18d is a substantially ring-shaped member, and is formed hollow using a material having flexibility and airtightness. The pressurizing force adjusting portion 18d is hollow over the entire circumference, and a sealed space 18e is formed therein, and gas is sealed at a predetermined pressure. In the present embodiment, the gas enclosed in the sealed space 18e is air.
The pressure adjusting unit 18d is displaced by changing the volume of air enclosed in the sealed space 18e according to the temperature of the environment in which the ultrasonic motor 10 is used.

なお、加圧力調整部１８ｄの変位が、加圧方向のみの変位となるように、加圧力調整部１８ｄの内周及び外周の両端部に接するように不図示の壁部等を設けてもよい。
また、本実施形態では、加圧力調整部１８ｄは、その加圧方向における断面が略円形状としたが、これに限らず、例えば、補助板１８ｃ、固定部材１９と接する面を平面状とし、内径側及び外形側は円弧状であるような略長円形状としてもよい。 In addition, a wall portion (not shown) or the like may be provided so as to be in contact with both inner and outer end portions of the pressure adjusting portion 18d so that the pressure adjusting portion 18d is displaced only in the pressurizing direction. .
Further, in the present embodiment, the pressure adjusting unit 18d has a substantially circular cross section in the pressurizing direction, but is not limited thereto, and for example, the surface contacting the auxiliary plate 18c and the fixing member 19 is planar, The inner diameter side and the outer shape side may have a substantially oval shape such as an arc shape.

補助板１８ｃは、皿バネ１８ｂと加圧力調整部１８ｄとの間に設けられた略円環形状の板であり、加圧力調整部１８ｄの加圧方向の変位を皿バネ１８ｂに伝える部材である。補助板１８ｃを設けることにより、加圧力調整部１８ｄの変位を皿バネ１８ｂ側の周方向において偏りなく均一に伝えることができる。 The auxiliary plate 18c is a substantially annular plate provided between the disc spring 18b and the pressurizing force adjusting portion 18d, and is a member that transmits the displacement in the pressurizing direction of the pressurizing force adjusting portion 18d to the disc spring 18b. . By providing the auxiliary plate 18c, the displacement of the pressure adjusting portion 18d can be uniformly transmitted in the circumferential direction on the disc spring 18b side without deviation.

ここで、本実施形態の超音波モータ１０の温度変化に対する駆動特性について説明する。
超音波モータでは、使用される環境の温度変化によって、その駆動特性が変化するという問題があった。これは、温度変化によって、弾性体と圧電体との熱膨張係数の違いから弾性体と圧電体の接合面が変形したり、使用される環境下の空気の湿度が変化して振動子と移動体との摩擦接触面の摩擦係数が変化したり、圧電体の静電容量が変化したりするためである。
例えば、超音波モータが高温環境下に置かれた場合、圧電体の静電容量が大きくなり、振動子の発する進行波が移動体を駆動する力は増大し、移動体の回転数が上がり、超音波モータの発する駆動力が大きくなる。また、弾性体と圧電体との接合面が変形し、移動体の駆動が不安定になり易くなる。そのため、超音波モータは、高温環境下では、常温時に比べ、移動体の回転数の向上や、それに伴う移動体の振動によって異音が発生し易くなるという傾向がある。
一方、超音波モータが低温環境下に置かれた場合、圧電体の静電容量が小さくなり、振動子の発する進行波が移動体を駆動する力は減少し、超音波モータの発する駆動力が小さくなる。また、低温環境下では、空気中の水分量が低下するため、振動子と移動体との摩擦接触面の摩擦係数が上がる。このようなことから、超音波モータは、低温環境下では、起動特性や低速での駆動特性等が常温時に比べて劣るという傾向がある。 Here, the drive characteristic with respect to the temperature change of the ultrasonic motor 10 of the present embodiment will be described.
The ultrasonic motor has a problem that its drive characteristics change depending on the temperature change of the environment in which it is used. This is because the joint surface between the elastic body and the piezoelectric body is deformed due to the difference in thermal expansion coefficient between the elastic body and the piezoelectric body due to the temperature change, or the humidity of the air in the environment used changes and moves with the vibrator. This is because the friction coefficient of the frictional contact surface with the body changes or the capacitance of the piezoelectric body changes.
For example, when an ultrasonic motor is placed in a high temperature environment, the capacitance of the piezoelectric body increases, the traveling wave generated by the vibrator increases the driving force of the moving body, and the rotational speed of the moving body increases. The driving force generated by the ultrasonic motor increases. Further, the joint surface between the elastic body and the piezoelectric body is deformed, and the driving of the moving body is likely to become unstable. Therefore, the ultrasonic motor tends to be more likely to generate abnormal noise in a high-temperature environment than at normal temperature due to an improvement in the number of rotations of the moving body and vibrations of the moving body associated therewith.
On the other hand, when the ultrasonic motor is placed in a low-temperature environment, the capacitance of the piezoelectric body is reduced, the traveling wave generated by the vibrator reduces the force driving the moving body, and the driving force generated by the ultrasonic motor is reduced. Get smaller. Also, in a low temperature environment, the amount of moisture in the air decreases, so the friction coefficient of the frictional contact surface between the vibrator and the moving body increases. For this reason, ultrasonic motors tend to have inferior starting characteristics, low-speed driving characteristics, and the like in a low temperature environment as compared to normal temperatures.

本実施形態の超音波モータ１０では、例えば、高温環境下に置かれた場合、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された気体の体積が膨張する。
例えば、室温が２５℃から４０℃に変化した場合、気体の体積は、約５％膨張する。このような気体の熱膨張率は、気体の種類による差が殆ど無いに等しい。従って、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された空気の体積も、室温が２５℃から４０℃に変化した場合、約５％膨張する。
加圧部１８は、加圧方向における寸法が定められているため、皿バネ１８ｂは、加圧力調整部１８ｄの変位に応じて伸縮する。従って、加圧力調整部１８ｄの変位に応じて、加圧部１８全体として発生する加圧力は変化する。
従って、高温環境下では、密閉された空間１８ｅに封入された空気が膨張することによって、皿バネ１８ｂが縮み、加圧部１８全体が発生する加圧力は増大する。この増大した加圧力によって、高速で回転しているために生じている移動体１４の振動が抑えられる。
よって、本実施形態によれば、高温環境下で超音波モータを駆動した場合に発生し易い異音を抑制することができる。 In the ultrasonic motor 10 of the present embodiment, for example, when placed in a high temperature environment, the volume of the gas enclosed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d expands.
For example, if the room temperature changes from 25 ° C. to 40 ° C., the volume of the gas expands by about 5%. The thermal expansion coefficient of such a gas is equal to almost no difference depending on the type of gas. Accordingly, the volume of the air enclosed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d also expands by about 5% when the room temperature changes from 25 ° C to 40 ° C.
Since the pressurizing unit 18 has a dimension in the pressurizing direction, the disc spring 18b expands and contracts according to the displacement of the pressure adjusting unit 18d. Therefore, the pressurizing force generated as a whole of the pressurizing unit 18 changes according to the displacement of the pressurizing force adjusting unit 18d.
Therefore, in a high temperature environment, the air enclosed in the sealed space 18e expands, so that the disc spring 18b contracts, and the pressurizing force generated by the entire pressurizing unit 18 increases. Due to this increased applied pressure, vibration of the moving body 14 caused by rotating at a high speed is suppressed.
Therefore, according to the present embodiment, it is possible to suppress abnormal noise that is likely to occur when the ultrasonic motor is driven in a high temperature environment.

一方、低温環境下に本実施形態の超音波モータが置かれた場合、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された空気の体積が収縮する。
例えば、室温が２５℃から−１０℃に変化した場合、気体の体積は、約１３％収縮する。高温時の体積の膨張と同様に、低温時の体積の収縮率も、気体の種類による差が殆ど無いに等しい。従って、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入された空気の体積も、室温が２５℃から−１０℃に変化した場合、約１３％収縮する。
従って、低温環境下では、密閉された空間１８ｅに封入された空気が収縮したことによって、皿バネ１８ｂが伸び、加圧部１８全体が発生する加圧力は減少するので、移動体１４の回転数が上がる。
よって、本実施形態によれば、低温環境下で超音波モータを駆動した場合の、起動特性や、低速での駆動特性を向上させることができる。 On the other hand, when the ultrasonic motor of the present embodiment is placed in a low temperature environment, the volume of air enclosed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d contracts.
For example, if the room temperature is changed from 25 ° C. to −10 ° C., the gas volume shrinks by about 13%. Similar to the expansion of the volume at the high temperature, the shrinkage ratio of the volume at the low temperature is equal to almost no difference depending on the type of gas. Therefore, the volume of the air enclosed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d also contracts by about 13% when the room temperature changes from 25 ° C. to −10 ° C.
Therefore, in a low temperature environment, the air sealed in the sealed space 18e contracts, so that the disc spring 18b extends and the pressure generated by the entire pressurizing unit 18 decreases. Goes up.
Therefore, according to the present embodiment, it is possible to improve the starting characteristics and the driving characteristics at a low speed when the ultrasonic motor is driven in a low temperature environment.

なお、本実施形態では、通常超音波モータ１０が使用されると想定される温度範囲内（例えば、−１０℃から４０℃までの範囲）における、密閉された空間１８ｅ内に封入された気体の体積変化は、予め測定や計算等によって求められており、それに合わせて、封入時の圧力等が規定されている。従って、気体の膨張等による加圧力調整部１８ｄの破損等の恐れはない。 In the present embodiment, the gas sealed in the sealed space 18e within a temperature range (for example, a range from −10 ° C. to 40 ° C.) in which the ultrasonic motor 10 is normally used is used. The volume change is obtained in advance by measurement, calculation, or the like, and the pressure at the time of sealing is defined in accordance with the change. Therefore, there is no fear of the pressurizing force adjusting portion 18d being damaged due to gas expansion or the like.

上述のように、本実施形態によれば、超音波モータ１０が使用される環境の温度によって、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入された気体の体積は、気体の熱膨張率に従って変化するので、加圧部１８の加圧力や使用環境の温度，移動体１４の回転数等を検出するセンサや、加圧力調整部１８ｄに封入された気体の圧力や移動体１４の回転数等を制御する制御装置等を用いずとも、加圧部１８全体の加圧力を調整でき、移動体１４の回転数等を自動的に制御でき、温度変化に依らず、安定した駆動を得ることができる。
また、加圧力調整部１８ｄは、製造が容易であって、生産コストを抑えることができる。 As described above, according to the present embodiment, the volume of the gas enclosed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d depends on the temperature of the environment in which the ultrasonic motor 10 is used. Therefore, the pressure of the pressurizing unit 18, the temperature of the usage environment, the rotational speed of the moving body 14, the pressure of the gas sealed in the pressing force adjusting unit 18 d, and the rotational speed of the mobile body 14 are changed. The pressure applied to the entire pressure unit 18 can be adjusted without using a control device or the like for controlling the pressure, and the rotational speed of the moving body 14 can be automatically controlled to obtain a stable drive regardless of temperature changes. Can do.
Further, the pressure adjusting unit 18d is easy to manufacture and can reduce the production cost.

さらに、本実施形態によれば、超音波モータ１０の組み立て工程時に、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入される気体の圧力を調整することにより、皿バネ１８ｂや振動子１１等の個体差による超音波モータ１０の個々の駆動特性のばらつきを抑えることができる。例えば、皿バネ１８ｂは、規格範囲内であるが、発生する加圧力に個体差を有している場合がある。そこで、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入される気体の圧力を調整することにより、加圧部１８の加圧力のばらつきを抑え、超音波モータ１０の個々の駆動特性のばらつきを抑えることができる。
従って、本実施形態によれば、超音波モータ１０の個体差を抑え、品質の安定した超音波モータ１０を提供することができる。 Furthermore, according to the present embodiment, during the assembly process of the ultrasonic motor 10, the disc spring 18b, the vibrator 11 and the like are adjusted by adjusting the pressure of the gas sealed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d. Variations in individual drive characteristics of the ultrasonic motor 10 due to individual differences can be suppressed. For example, the disc spring 18b may be within a standard range, but may have individual differences in the applied pressure. Therefore, by adjusting the pressure of the gas sealed in the sealed space 18e of the pressure adjusting unit 18d, the variation in the pressing force of the pressurizing unit 18 is suppressed, and the variation in individual driving characteristics of the ultrasonic motor 10 is suppressed. Can be suppressed.
Therefore, according to the present embodiment, it is possible to provide the ultrasonic motor 10 with stable quality while suppressing individual differences of the ultrasonic motor 10.

（第２実施形態）
図３は、第２実施形態の超音波モータ２０を示す図である。
第２実施形態の超音波モータ２０は、加圧部２８の加圧方向（円環中心軸方向）における断面形状が、第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。従って、第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。なお、後述する第３実施形態、第４実施形態においても同様に、第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
第２実施形態の超音波モータ２０に用いられる加圧部２８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部２８ｄを有している。
加圧力調整部２８ｄは、図３に示すように、加圧方向（図３中に示す矢印Ａ方向）での厚さが、加圧方向に直交する方向（超音波モータ１０の径方向）での厚さに比べて薄く形成されている。
加圧力調整部２８ｄをこのような形状とすることによって、温度変化による加圧力調整部２８ｄの変位を、加圧方向の変位のみとすることができる。従って、加圧力調整部２８ｄの変位による超音波モータ１０の駆動制御をより的確に行うことができる。 (Second Embodiment)
FIG. 3 is a diagram illustrating the ultrasonic motor 20 according to the second embodiment.
The ultrasonic motor 20 of the second embodiment is different from the pressure adjusting unit 18d shown in the first embodiment in that the cross-sectional shape in the pressurizing direction (annular center axis direction) of the pressurizing unit 28 is different. It is a form substantially the same as the ultrasonic motor 10 of 1st Embodiment. Accordingly, the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment, and overlapping descriptions are omitted as appropriate. Similarly, in the third embodiment and the fourth embodiment to be described later, parts having the same functions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is appropriately omitted.
The pressure unit 28 used in the ultrasonic motor 20 of the second embodiment includes a pressure plate 18a, a disc spring 18b, an auxiliary plate 18c, and a pressure adjustment unit 28d.
As shown in FIG. 3, the pressure adjusting unit 28d has a thickness in the pressurizing direction (arrow A direction shown in FIG. 3) in a direction perpendicular to the pressurizing direction (radial direction of the ultrasonic motor 10). It is formed thinner than the thickness.
By adopting such a shape for the pressure adjusting part 28d, the displacement of the pressure adjusting part 28d due to the temperature change can be limited to the displacement in the pressurizing direction. Therefore, the drive control of the ultrasonic motor 10 by the displacement of the pressure adjusting unit 28d can be performed more accurately.

（第３実施形態）
図４は、第３実施形態の超音波モータ３０を示す図である。
第３実施形態の超音波モータ３０は、加圧力調整部３８ｄの形状が第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。
第３実施形態の超音波モータ３０に設けられた加圧部３８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，加圧力調整部３８ｄを有している。
加圧力調整部３８ｄは、本体部３８１と、可動蓋部３８２と、本体部３８１と可動蓋部３８２とによって密閉された空間３８ｅを有しており、例えば、シリンダー（本体部３８１に相当）とピストン（可動蓋部３８２に相当）のように、密閉された空間３８ｅの体積の変化によって可動蓋部３８２が加圧方向に移動する形態である。 (Third embodiment)
FIG. 4 is a diagram illustrating an ultrasonic motor 30 according to the third embodiment.
The ultrasonic motor 30 of the third embodiment is substantially the same as the ultrasonic motor 10 of the first embodiment, except that the shape of the pressure adjusting unit 38d is different from the pressure adjusting unit 18d shown in the first embodiment. It is a form.
The pressure unit 38 provided in the ultrasonic motor 30 of the third embodiment includes a pressure plate 18a, a disc spring 18b, and a pressure adjustment unit 38d.
The pressure adjusting unit 38d has a main body 381, a movable lid 382, and a space 38e sealed by the main body 381 and the movable lid 382. For example, a cylinder (corresponding to the main body 381) and Like the piston (corresponding to the movable lid portion 382), the movable lid portion 382 moves in the pressurizing direction by a change in the volume of the sealed space 38e.

本体部３８１は、略円環形状の部材であり、図４に示すように、皿バネ１８ｂ側の端面に全周にわたって凹形状３８１ａが形成されており、本体部３８１の径方向での断面形状は、皿バネ１８ｂ側が略矩形に凹んだ形態となっている。
可動蓋部３８２は、本体部３８１の凹形状３８１ａの開口側に配置された略円環形状の部材であり、密閉部３８２ａとバネ受け部３８２ｂとを有している。
密閉部３８２ａは、本体部３８１の凹形状３８１ａの開口を密閉する部分であり、本体部３８１と密閉部３８２ａとにより密閉された空間３８ｅが形成されている。密閉部３８２ａの径方向の幅は、凹形状３８１ａの径方向の幅に等しい。バネ受け部３８２ｂは、皿バネ１８ｂと接する部分であり、その径方向における幅は皿バネ１８ｂの径方向における幅に略等しい。 The main body portion 381 is a substantially ring-shaped member, and as shown in FIG. 4, a concave shape 381a is formed on the end surface on the disc spring 18b side over the entire circumference, and the cross-sectional shape of the main body portion 381 in the radial direction. Has a shape in which the disc spring 18b side is recessed in a substantially rectangular shape.
The movable lid portion 382 is a substantially annular member disposed on the opening side of the concave shape 381a of the main body portion 381, and includes a sealing portion 382a and a spring receiving portion 382b.
The sealing portion 382a is a portion that seals the opening of the concave shape 381a of the main body portion 381, and a space 38e sealed by the main body portion 381 and the sealing portion 382a is formed. The radial width of the sealing portion 382a is equal to the radial width of the concave shape 381a. The spring receiving portion 382b is a portion in contact with the disc spring 18b, and its radial width is substantially equal to the radial width of the disc spring 18b.

可動蓋部３８２は、密閉された空間３８ｅ内に封入された気体（本実施形態では、空気）の体積の変化に合わせて、本体部３８１の凹形状３８１ａの内壁を密閉部３８２ａの側面が摺動しながら、加圧部３８の加圧方向（図４中の矢印Ａ方向）に移動可能である。
なお、本体部３８１及び可動蓋部３８２は、共に気密性を有する材料を用いて形成されているが、可動蓋部３８２の密閉部３８２ａの本体部３８１との接触面に、ゴム等で形成されたＯリングを用いてもよいし、密閉部３８２ａと本体部３８１との接触面にグリス等を用いてもよい。 The movable lid portion 382 slides the inner wall of the concave shape 381a of the main body portion 381 on the side surface of the sealed portion 382a in accordance with the volume change of the gas (air in this embodiment) sealed in the sealed space 38e. While moving, it can move in the pressurizing direction of the pressurizing unit 38 (the direction of arrow A in FIG. 4).
The main body 381 and the movable lid 382 are both formed using an airtight material. However, the main body 381 and the movable lid 382 are formed of rubber or the like on the contact surface of the sealed portion 382a of the movable lid 382 with the main body 381. An O-ring may be used, and grease or the like may be used for the contact surface between the sealing portion 382a and the main body portion 381.

本実施形態によれば、温度変化によって密閉された空間３８ｅ内に封入された気体の体積の変化を、加圧力調整部３８ｄの加圧方向のみの変位とすることができ、より的確に超音波モータ３０の駆動特性を制御し、温度変化に依らず、安定した駆動を行う超音波モータ３０とすることができる。 According to the present embodiment, the change in the volume of the gas sealed in the space 38e sealed by the temperature change can be made the displacement only in the pressurizing direction of the pressurizing force adjusting unit 38d, and the ultrasonic wave can be more accurately detected. The driving characteristics of the motor 30 can be controlled, and the ultrasonic motor 30 can be driven stably without depending on the temperature change.

（第４実施形態）
図５は、第４実施形態の超音波モータ４０を示す図である。
第４実施形態の超音波モータ４０は、加圧力調整部４８ｄの形状が第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。
第４実施形態の超音波モータ４０の加圧部４８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部４８ｄを有している。
加圧力調整部４８ｄは、本体部４８１と、可撓蓋部４８２と、本体部４８１と可撓蓋部４８２とによって密閉された空間４８ｅを有している。 (Fourth embodiment)
FIG. 5 is a diagram illustrating an ultrasonic motor 40 according to the fourth embodiment.
The ultrasonic motor 40 of the fourth embodiment is substantially the same as the ultrasonic motor 10 of the first embodiment, except that the shape of the pressure adjusting unit 48d is different from the pressure adjusting unit 18d shown in the first embodiment. It is a form.
The pressure unit 48 of the ultrasonic motor 40 according to the fourth embodiment includes a pressure plate 18a, a disc spring 18b, an auxiliary plate 18c, and a pressure adjustment unit 48d.
The pressurizing force adjusting unit 48d has a main body 481, a flexible lid 482, and a space 48e sealed by the main body 481 and the flexible lid 482.

本体部４８１は、第３実施形態に示した加圧力調整部３８ｄの本体部と略同様の形態であり、略円環形状であって、図５に示すように、皿バネ１８ｂ側の端面に全周にわたって凹形状４８１ａが形成され、本体部４８１の径方向での断面形状は、皿バネ１８ｂ側が略矩形に凹んだ形態となっている。
可撓蓋部４８２は、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口を密閉するように設けられた部材であり、可撓性及び気密性を有する材料によって形成されている。この可撓蓋部４８２によって、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口を密閉することにより、密閉された空間４８ｅが形成されている。 The main body portion 481 is substantially the same form as the main body portion of the pressurizing force adjusting portion 38d shown in the third embodiment, has a substantially annular shape, and has an end surface on the side of the disc spring 18b as shown in FIG. A concave shape 481a is formed over the entire circumference, and the cross-sectional shape of the main body portion 481 in the radial direction is a shape in which the disc spring 18b side is recessed in a substantially rectangular shape.
The flexible lid portion 482 is a member provided so as to seal the opening of the concave shape 481a of the main body portion 481, and is formed of a material having flexibility and airtightness. By this flexible lid portion 482, the opening of the concave shape 481a of the main body portion 481 is sealed, thereby forming a sealed space 48e.

密閉された空間４８ｅ内に封入された気体（本実施形態では、空気）には、所定の圧力が与えられており、常温環境下では、可撓蓋部４８２は、図５に示すように、皿バネ１８ｂ側への緩やかな凸形状となるように張り出している。
高温環境下では、この可撓蓋部４８２は、密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積が膨張するため、これに合わせて皿バネ１８ｂ側へさらに凸形状となるように張り出し、皿バネ１８ｂが縮み、加圧部４８全体の加圧力が増大する。
また、低温環境下では、密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積が収縮するため、可撓蓋部４８２は、皿バネ１８ｂ側への突出量が減って撓み、皿バネ１８ｂが伸びて、加圧部４８全体の加圧力が減少する。なお、超音波モータ４０の使用環境として想定される最も低温時には、密閉された空間４８ｅ内の気体の体積が、凹形状４８１ａの体積と略同等まで収縮し、可撓蓋部４８２は、本体部４８１の皿バネ１８ｂ側端部を径方向に平行に覆う形状となる。
よって、温度変化に応じて加圧力調整部４８ｄが加圧方向（図５中の矢印Ａ方向）に変位し、加圧部４８全体の加圧力を調整するので、超音波モータ４０の温度変化に対する駆動特性が安定する。 A predetermined pressure is applied to the gas (air in the present embodiment) sealed in the sealed space 48e. Under a normal temperature environment, the flexible lid 482 has a structure as shown in FIG. It protrudes so as to have a gentle convex shape toward the disc spring 18b.
Under a high temperature environment, the volume of the gas enclosed in the sealed space 48e expands in the flexible lid 482, and accordingly, the flexible lid 482 projects to the disc spring 18b side so as to have a convex shape. The spring 18b contracts, and the pressurizing force of the entire pressure unit 48 increases.
Further, in a low temperature environment, the volume of the gas sealed in the sealed space 48e contracts, so that the flexible lid 482 bends with the amount of protrusion toward the disc spring 18b reduced, and the disc spring 18b extends. Thus, the pressurizing force of the entire pressurizing unit 48 is reduced. At the lowest temperature assumed as the usage environment of the ultrasonic motor 40, the volume of the gas in the sealed space 48e contracts to substantially the same as the volume of the concave shape 481a, and the flexible lid 482 It becomes a shape which covers the 481 disk spring 18b side edge part in parallel with radial direction.
Therefore, the pressurizing force adjusting unit 48d is displaced in the pressurizing direction (in the direction of arrow A in FIG. 5) according to the temperature change and adjusts the pressurizing force of the entire pressurizing unit 48. Drive characteristics are stable.

本実施形態によれば、温度変化によって加圧力調整部４８ｄの密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積の変化を、加圧力調整部４８ｄの加圧方向のみの変位とすることができ、より的確に超音波モータ４０の駆動特性を制御することができる。また、加圧力調整部４８ｄは、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口側を密閉するだけでよく、製造が容易である。 According to the present embodiment, the change in the volume of the gas enclosed in the sealed space 48e of the pressurizing force adjusting unit 48d due to the temperature change can be made the displacement only in the pressurizing direction of the pressurizing force adjusting unit 48d. Thus, the drive characteristics of the ultrasonic motor 40 can be controlled more accurately. Further, the pressurizing force adjusting portion 48d only needs to seal the opening side of the concave shape 481a of the main body portion 481, and is easy to manufacture.

（変形形態）
以上説明した各実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能である。
（１）各実施形態において、皿バネは、加圧力調整部よりも加圧方向において振動体側に配置される例を示したが、これに限らず、加圧方向において加圧力調整部を皿バネよりも振動体側に配置してもよい。 (Deformation)
Various modifications and changes are possible without being limited to the embodiments described above.
(1) In each embodiment, although the disc spring showed the example arrange | positioned at the vibrating body side in a pressurization direction rather than a pressurization adjustment part, not only this but a pressurization adjustment part in a pressurization direction is a disc spring. You may arrange | position on the vibrating body side rather than.

（２）各実施形態において、加圧力調整部の密閉された空間には空気が封入されている例を示したが、これに限らず、気体の熱膨張率は気体の種類を問わず略同様であるので、他の気体を用いてもよい。また、加圧力調整部の密閉された空間には、気体に限らず、液体を封入してもよく、例えば、体積膨張係数が約１．０×１０^-3／℃と他の液体に比べて非常に大きいシリコンオイル等が好ましい。また、線膨張係数が大きい材料であるならば、固体を用いてもよく、その場合は、そのような材料を用いてリング状に形成した部材を加圧力調整部として用いればよい。 (2) In each embodiment, an example is shown in which air is sealed in the sealed space of the pressure adjusting unit. However, the present invention is not limited to this, and the thermal expansion coefficient of gas is substantially the same regardless of the type of gas. Therefore, other gases may be used. In addition, the sealed space of the pressure adjusting unit is not limited to gas but may contain liquid. For example, the volume expansion coefficient is about 1.0 × 10 ⁻³ / ° C. compared to other liquids. Very large silicone oil is preferred. Moreover, if it is a material with a large linear expansion coefficient, you may use a solid, In that case, what is necessary is just to use the member formed in ring shape using such a material as a pressurizing force adjustment part.

（３）各実施形態において、密閉された空間は、加圧力調整部の略全周にわたって形成される例を示したが、これに限らず、例えば、周方向において複数の部分に分断する仕切りが設けられていてもよいし、密閉された空間が加圧力調整部の周方向において等間隔に配置された形態としてもよい。 (3) In each embodiment, although the sealed space showed the example formed over substantially the perimeter of a pressurizing force adjustment part, it is not restricted to this, For example, the partition divided | segmented into a several part in the circumferential direction is shown. It may be provided, or a sealed space may be arranged at equal intervals in the circumferential direction of the pressure adjusting unit.

（４）第３実施形態及び第４実施形態において、本体部は、全周にわたって凹形状が形成され、凹形状の開口側を密閉するように可動蓋部，可撓蓋部が設けられる例を示したが、これに限らず、本体部は、加圧方向の両端部が開口した形状とし、可動蓋部，可撓蓋部は、その両端部の開口を密閉するように設けてもよい。 (4) In the third embodiment and the fourth embodiment, the main body portion is formed with a concave shape over the entire circumference, and an example in which a movable lid portion and a flexible lid portion are provided so as to seal the concave opening side. However, the present invention is not limited to this, and the main body portion may have a shape in which both end portions in the pressurizing direction are opened, and the movable lid portion and the flexible lid portion may be provided so as to seal the openings at both end portions.

（５）各実施形態において、超音波モータは、その円環中心軸が光軸方向と略一致するようにレンズ鏡筒内に配置される例を示したが、これに限らず、円環中心軸が光軸方向とは異なる方向に沿って配置されてもよい。 (5) In each embodiment, the example in which the ultrasonic motor is arranged in the lens barrel so that the center axis of the ring substantially coincides with the optical axis direction is not limited thereto. The axis may be arranged along a direction different from the optical axis direction.

（６）各実施形態において、振動アクチュエータとして、移動体が回転駆動される超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア型の振動アクチュエータとしてもよい。また、ロッド型、ペンシル型、円盤型等の振動アクチュエータとしてもよい。 (6) In each embodiment, the ultrasonic actuator in which the moving body is rotationally driven has been described as an example of the vibration actuator. However, the present invention is not limited to this, and a linear vibration actuator in which the moving body is driven in a linear direction. It is good. Moreover, it is good also as vibration actuators, such as a rod type, a pencil type, and a disk type.

（７）各実施形態において、振動アクチュエータとして、超音波領域の振動を用いる超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を利用する振動アクチュエータとしてもよい。 (7) In each embodiment, the ultrasonic motor using the vibration in the ultrasonic region has been described as an example of the vibration actuator. However, the present invention is not limited to this, for example, as a vibration actuator that uses vibration outside the ultrasonic region. Also good.

（８）各実施形態において、超音波モータは、カメラのフォーカス動作時のレンズの駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、カメラのズーム動作時の駆動源としてもよいし、カメラの撮像系の一部を駆動して手振れを補正する手振れ補正機構の駆動源として用いてもよい。また、複写機の駆動部、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部、時計の駆動装置等に用いてもよい。
なお、各実施形態及び各変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。 (8) In each embodiment, an example in which an ultrasonic motor is used as a lens driving source during a camera focusing operation is shown. However, the present invention is not limited thereto, and may be a driving source during a camera zoom operation, for example. However, it may be used as a driving source for a camera shake correction mechanism that corrects camera shake by driving a part of the imaging system of the camera. Further, the present invention may be used for a driving unit of a copying machine, a steering wheel tilting device of an automobile, a driving unit of a headrest, a driving device of a timepiece, or the like.
In addition, although each embodiment and each modification can also be used suitably combining, detailed description is abbreviate | omitted.

第１実施形態のカメラ１を示す図である。It is a figure which shows the camera 1 of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。It is a figure showing ultrasonic motor 10 of a 1st embodiment. 第２実施形態の超音波モータ２０を示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic motor 20 of 2nd Embodiment. 第３実施形態の超音波モータ３０を示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic motor 30 of 3rd Embodiment. 第４実施形態の超音波モータ４０を示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic motor 40 of 4th Embodiment.

Explanation of symbols

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０，２０，３０，４０：超音波モータ、１１：振動子、１４：移動体、１８，２８，３８，４８：加圧部、１８ｂ：皿バネ、１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ：加圧力調整部 1: camera, 3: lens barrel, 10, 20, 30, 40: ultrasonic motor, 11: vibrator, 14: moving body, 18, 28, 38, 48: pressure unit, 18b: disc spring, 18d , 28d, 38d, 48d: pressure adjusting part

Claims

A vibration member, a relative movement member that is in pressure contact with the vibration member, and that moves relative to the vibration member by vibration of the vibration member, and a pressure contact between the vibration member and the relative movement member. A vibration actuator having a pressure part,
The pressurizing part has a displacement part that is displaced in the pressurizing direction according to a temperature change,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1,
The displacement part is formed of a flexible material and has a sealed space;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 2,
The displacement portion is thinner at the end in the pressurizing direction than at the end in the direction orthogonal to the pressurizing direction,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1,
The displacement part has a main body part and a movable part movable in the pressurizing direction, and has a space sealed by the main body part and the movable part;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1,
The displacement part has a main body part and a flexible part formed of a flexible material, and has a space sealed by the main body part and the flexible part,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 2 to 5,
The sealed space is filled with gas or liquid,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein
The pressurizing unit has an elastic member that generates a pressing force,
The elastic member is provided closer to the vibrating body than the displacement portion in the pressurizing direction;
Vibration actuator characterized by

A lens barrel comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 7.

A camera comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 7.