JP2002503883A - クリーンルームに基板を搬入搬出する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 クリーンルーム（１２）に基板を搬入搬出するための装置（１０）は、ロック装置（１４）を備えている。基板（１１）を収容するための搬送箱（１３）をこのロック装置上に運ぶことが可能であり、ロック装置は密閉可能なロック開口（４６）を備えている。装置（１０）は更に、ロック開口（４６）に隣接する処理装置（１６）を備えている。ロック装置の交換時に、処理装置に対するロック装置の適切な調節を可能にするために、処理装置（１６）とロック装置（１４）の間に、アダプタ装置（２０）が配置され、ロック装置（１４）がこのアダプタ装置に取り外しできるように固定可能であり、アダプタ装置が処理装置（１６）に保持され、かつ処理装置に対して調節できるようにセット可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、請求項１の上位概念に記載した、クリーンルームに基板を搬入およ
びクリーンルームから基板を搬出するための装置に関する。

【０００２】 この種の公知の装置の場合、処理装置は取扱い操作装置を備えている。搬送箱
をロック開口にドッキングした際に、この取扱い操作装置によって、基板を搬送
箱から処理装置に運び入れるかまたは逆に運び出す。この場合、取扱い操作装置
ひいては処理装置に対する搬送箱の正確な位置が重要である。この整列は装置の
設置の際に時間のかかる方法で一度行われる。いろいろな理由からロック装置を
交換しなければならない場合、交換されたロック装置を処理装置に対して新たに
調節する必要があり、この調節には時間がかかる。

【０００３】 そこで、本発明の課題は、ロック装置を交換する場合にも、処理装置に対して
ロック装置を適切に調節することができる、冒頭に述べた種類のクリーンルーム
に基板を搬入搬出するための装置を提供することである。

【０００４】 この課題を解決するために、冒頭に述べた種類のクリーンルームに基板を搬入
搬出するための装置において、請求項１記載の特徴が提案される。

【０００５】 本発明の手段により、フレーム状のアダプタ装置は処理装置または処理装置の
取扱い操作装置の位置に対して一度調節するだけでよい。なぜなら、このアダプ
タ装置は常に同じ位置にとどまり、ロック装置のための一度調節された受け装置
として役立つからである。これは、ロック装置を例えば欠陥表示の後で他のロッ
ク装置と交換しなければならないときに、作業コストと時間コストを大幅に節約
する。

【０００６】 請求項２記載の特徴により、アダプタ装置は処理装置に対して所望な方向また
は実際に考えられるすべての方向に、例えば垂直方向または水平方向に調節可能
である。

【０００７】 Ｚ方向にアダプタ装置を調節するためにあるいはＸ軸線を中心として傾斜させ
るために、請求項３記載の特徴が提案される。

【０００８】 特に請求項５記載の特徴と共に、請求項４記載の特徴を採用することにより、
Ｙ軸線回りの調節、Ｘ軸線およびＹ軸線方向の調節等が達成される。

【０００９】 調節したものを適当に固定するために、請求項６記載の特徴が提案される。

【００１０】 当該のロック装置とアダプタ装置の連結は、請求項７記載の特徴によって迅速
にかつ簡単に達成される。その際、請求項８記載の特徴に基づいて、ロック装置
の交換が簡単に行われる。

【００１１】 他の実施形では請求項９記載の特徴が提案される。この特徴は、摺動可能な収
容テーブル、すなわちロック開口にドッキング可能な収容テーブル上に、搬送箱
を迅速かつ簡単に予備位置決めして載せることを可能にする。その際、請求項１
０およびまたは１１記載の特徴を採用すると、側方の２つまたは３つの方向から
および上側から、搬送箱をローラ軌道ひいては収容テーブル上に簡単に移動させ
ることができる。ローラ軌道上での搬送箱の所定の保持位置は、請求項１２記載
の特徴によって生じる。

【００１２】 ローラ軌道が請求項１３記載の特徴に従って形成されていると構造的に有利で
ある。それによって、請求項１４〜１６の一つまたは複数に記載の特徴から、ロ
ーラ軌道の合目的な他の実施が可能である。

【００１３】 本発明の他の実施形では、ロックドアによってロック開口を密閉するために、
請求項１７記載の特徴による有利な構造が提案される。請求項１８およびまたは
１９記載の特徴を採用すると、構造的に実施が可能である。

【００１４】 請求項２０およびまたは２１記載の特徴が採用されると、構造的コストおよび
作業技術的コストに関する利点が生じる。

【００１５】 本発明の他の詳細は、次の記載から明らかである。次の記載では、図に示した
実施の形態に基づいて本発明を詳しく説明する。

【００１６】 図１，２では、クリーンルーム１２に基板１１を搬入搬出するための装置１０
は、クリーンルーム１２を形成する処理装置１６に基板１１を受渡しまたは受け
取りするためのロック装置１４を備えている。このロック装置は基板１１を備え
た搬送箱１３を保持または収容する。処理装置は、搬送箱１３に基板１１を受渡
しおよび受け取るための図示していない取扱い操作装置を備えている。

【００１７】 場合によっては垂直方向およびまたは水平方向の正確な方に向いていないロッ
ク装置１４の姿勢に関係なく、処理装置１６に対するロック装置１４の垂直およ
び水平方向を調節するために、装置１０はロック装置１４と処理装置１６の間に
配置されたアダプタ装置２０を備えている。このアダプタ装置２０は上側の開口
２４と下側の開口２３を有するベース板２５を備えている。ベース板２５は定置
された条片２６に調節可能に載っている。この条片はここでは処理装置１６の一
部であり、この条片には、ボールキャスタ２２を備えた２個のジャッキねじ２７
が垂直に支持されている。このジャッキねじはベース板２５のアングル部分に間
隔をおいて、垂直方向にねじ込みおよび弛めることができるように保持されてい
る。ベース板２５は条片２６上で、水平なＸ方向およびそれに対して横方向に延
びる水平なＹ方向に摺動可能である。各々のジャッキねじ２７が調節可能である
ことにより、ベース板２５は垂直なＺ方向にも移動可能であり、かつこのＺ方向
に対して傾斜可能である。ベース板２５は上側と下側の範囲２２，２３に、間隔
をおいて配置された、ねじ込みおよび弛めることができるジャッキねじ２９を備
えている。このジャッキねじは取付けた状態で処理装置１６の面に支持されてい
る。各々のジャッキねじ２９を調節することにより、ベース板２５の方向を処理
装置１６に対して相対的に定めることができる。この場合、Ｘ軸線およびまたは
Ｙ軸線に対してベース板２５を揺動運動させることができる。

【００１８】 ベース板２５はジャッキねじ２９の近くに大径の穴３３を有する。処理装置１
６の隣接する部分のねじ穴３６にねじ込み可能な小径の固定ボルト３４が上記の
大径の穴を通過している。この固定ボルトの頭は座金３７に支持されている（図
４）。それによって、例えばｍｍ範囲の調節が可能であり、処理装置１６に対し
て調節されたアダプタ装置２０の位置を固定することができる。

【００１９】 アダプタ装置２０のベース板２５は例えば４本の割り出しピン３２とねじ穴４
２を備えている。ロック装置１４の垂直方向の底板４０はねじ穴４２にねじ込む
ために割り出しピン３２とボルト３５をほぼ遊びなしに収容するための穴４１を
、対応する穴パターンで備えている。

【００２０】 処理装置１６に対してアダプタ装置２０を調節することによりおよびロック装
置１４に取り外し可能に差込み連結することにより、ロック装置１４を、底板４
０に同じ穴パターンを有する他のロック装置と置き換えることが、他の調節手段
なしに可能である。その際、底板４０とベース板２５は互いに面で接触している
。

【００２１】 図１では、ロック装置１４はケーシング４３を備えている。このケーシングは
正面側が底板４０によって閉鎖されている。底板はケーシング４３から上側に突
出している。ケーシング４３の上側のカバーは支持板４４によって形成されてい
る。この支持板の上方に、搬送箱１３用の収容テーブル４５が保持されている。
収容テーブル４５は後述するように、垂直な底板４０の方に往復移動可能であり
、搬送箱１３と共に底板にドッキング可能である。

【００２２】 底板４０はロック窓４６を備えている。このロック窓はベース板２５の同軸の
開口２４と一直線上に並び、このロック窓と開口は両方共、ロックドア４７によ
って閉鎖可能である。搬送箱１３はロック窓４６と同軸に、開口４８を備えてい
る。この開口は蓋４９によって密封閉鎖可能である。搬送箱１３から基板１１を
受け取り、受け渡すために、搬送箱１３は底板４０の方に移動させられる。蓋４
９は後述するように、ロックドア４７によって搬送箱１３から解錠され、取り外
され、そしてロックドア４７に連結される。蓋４９を備えたロックドア４７がロ
ック窓４６の範囲から移動すると、図示していない取扱い操作装置によって、搬
送箱１３から基板１１を取出し、（クリーンルーム１２内の）処理装置１６に運
び入れるかまたは運び出すことができる。搬送箱１３の搬入後、逆の順序で、蓋
４９はその開口４８を密閉するために搬送箱１３に連結され、ロックドア４７か
ら解錠され、取り外される。

【００２３】 ロック装置１４のケーシング４３内には、収容テーブル４５とロックドア４７
の移動のために必要なすべての駆動兼伝達機構が設けられている。支持板４４の
下面すなわち内面には、図示していない歯車付きモータがフランジ止めされてい
る。このモータは収容テーブルを往復運動させるために、クランク機構５２を介
して収容テーブル４５に連結されている。そのために、クランク機構５２はクラ
ンクローラを備えている。このクランクローラが収容テーブル４５の下側の円状
の溝に係合するので、収容テーブル４５はレールに沿って移動可能である。

【００２４】 支持板４４にはねじ付きスピンドル５７が軸支されている。このねじ付きスピ
ンドルは垂直方向下方に立てて設けられ、床側で歯車付きモータ５８によって駆
動可能である。キャリッジケーシング５９はナット６１を介してねじ付きスピン
ドル５７に沿って昇降可能である。底板４０の方に開放したキャリッジケーシン
グ５９はＬ字形アーム６２の水平部分を収容している。アームの垂直端部にはロ
ックドア４７が固定されている。キャリッジケーシング５９はナット６１と反対
側に、キャリッジ６３を備えている。このキャリッジは底板４０に保持された垂
直ガイドに沿って垂直方向に移動可能に案内されている。ベース板２５の開口２
３と底板４０の開口３９を通過するＬ字形アーム６２の水平部分は端側がキャリ
ッジ６５として形成されている。このキャリッジ６５はキャリッジケーシング５
９の水平ガイド６６に沿って水平方向に往復移動可能に案内されている。Ｌ字形
アーム６２の水平移動はキャリッジケーシング５９にフランジ止めされた歯車付
きモータ６７によって行われる。この歯車付きモータはクランク機構６８を駆動
し、このクランク機構のクランクローラはＬ字形アーム６２のキャリッジ部分６
５の円形の溝に弛く係合している。これにより、ロックドア４７は歯車付きモー
タ６７によって、ロック窓４６または開口２４の方におよびそれから離れるよう
に水平方向に往復移動可能である。一方、Ｌ字形アーム６２ひいてはロックドア
４７は歯車付きモータ５８によって、ロック窓４６の範囲から外でまたはこの範
囲内で垂直方向に移動可能である。

【００２５】 図１，３，４において、ロック装置１４は収容テーブル４５の範囲に、ローラ
軌道７５を備えている。このローラ軌道は収容テーブル４５の両縦側に、ローラ
を備えた平行なローラ条片７７を備えている。両ローラ条片７７は湾曲したＵ字
状のレール７８によって互いに固定連結されている。このＵ字状のレール７８は
両ローラ条片７７の間の中央範囲においてアングルレバー７９の上端に固定連結
されている。このアングルレバーの垂直部分は支持板４４を通過し、その下側の
水平な部分の自由端で、軸受ブッシュ８１を支持している。垂直な軸８２がこの
軸受ブッシュを通って案内されている。支持板４４は半円状の凹部８３を備えて
いる。レバー７９がこの凹部内に達している。この凹部の半径は軸８２を中心と
したレバー７９の揺動半径に等しい。軸受ブッシュ８１を収容する軸８２は定置
されて保持されたガイド８４に沿って垂直方向に昇降案内されている。レバー７
９の揺動運動と垂直方向の昇降運動は一部分が図示していない方法でモータで行
われる。ローラ軌道７５の昇降運動は例えば、歯車付きモータ７１とクランク機
構７２からなる上述の装置によって行われる。軸８２回りのレバー７９の揺動運
動によって、ローラ軌道７５は底板４０またはロック窓４６の方に向いた位置か
ら、９０°だけ一方または他方の揺動方向に動いた位置にもたらすことができる
。これにより、搬送箱１３を互いに垂直な方向またはその間の任意の３つの方向
から、ローラ軌道７５上に水平にもたらすことができる。ローラ軌道７５のロー
ラ条片７７は例えばそれぞれ離隔された２つの範囲において垂直方向上方に突出
する案内傾斜部８６を備えている。この案内傾斜部は搬送箱１３を上側からロー
ラ軌道７５上に降ろすことを可能にする。搬送箱１３をローラ軌道７５上に降ろ
し転がすことによって、収容テーブル４５に対する搬送箱１３の予備位置決めが
達成される。

【００２６】 ローラ軌道７５は軸８２のためのガイド８４に基づいて、収容テーブル４５に
対して昇降可能である。持上げられた位置（図１）において、搬送箱１３はロー
ラ軌道７５上にもたらされるかあるいはこのローラ軌道から運び去られるかまた
は取り去られる。下降した位置（図３）において、収容テーブル４５に間隔をお
いて設けられた固定ピン８７が、搬送箱１３の下面に設けられた収容止り穴８８
に係合するので、収容テーブル４５上での搬送箱１３の正確な位置決めが達成さ
れる。図示した実施の形態の場合、例えば三角形に配置された３本の固定ピン８
７が設けられている。

【００２７】 ローラ軌道７５の両ローラ条片７７は、ドッキング平面または搬入平面８９に
対して傾斜するように、小さな勾配を有する。１つまたは両ローラ条片７７はこ
のドッキング平面または搬入平面側の端部にストッパー９０を備えている。

【００２８】 図５は搬送箱１３に対する蓋４９の錠止機構を示している。間隔をおいて配置
された２個のＴ字状のキー９１がそれぞれ１本の定置された軸９２に揺動可能に
保持されている。駆動は歯車付きモータ９３を介して行われる。この歯車付きモ
ータは継手９４とウォーム９５と介してウォームホイール９６に連結されている
。ウォームホイール９６にはクラッチディスク９７が摩擦的に連結されている。
このクラッチディスクは第１のクランクレバー９８に相対回転しないように連結
されている。このクランクレバーはリンク９９を介して第２のクランクレバー９
８′に連結されている。これにより、平行四辺形運動機構が得られる。リンク９
９の運動はリミットスイッチを有するストッパー１００，１００′によって制限
される。リンク９９はほぼ中央にレバー状突起１０１を備えている。このレバー
状突起は蓋４９の外へ横方向に案内され、モータによる駆動装置の故障時に、動
かなくなった機構の摩擦連結力と通常の開閉力に逆らって、手による開閉を行い
かつ終了させることを可能にする。突起１０１はロックドア４７の側方開口を通
って案内され、ロックドアに連結されたピン１０２を介して操作可能である。こ
の錠止機構はロックドア４７内に配置されているので、蓋４９を装着または取り
外す際に軸方向からキー９１に連結されるかまたはキーから取り外される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の好ましい実施の形態による、基板をクリーンルームに搬入搬出するた
めの装置を部分的に切断して示す側面図である。

【図２】 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って見た、部分的な破断図である。

【図３】 図１の矢印ＩＩＩ方向に見た部分断面図である。

【図４】 図１の矢印ＩＶ方向に見た平面図であり、この場合搬送箱は示していない。

【図５】 図１のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA01 CA04 DA08 EA14 FA03 FA07 GA53 KA20 LA12 LA14 LA16 MA13 MA17 NA02 NA10 PA07

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロック装置（１４）を具備し、このロック装置上に、基板（
   １１）を収容するための搬送箱（１３）を運ぶことが可能であり、ロック装置が
   密閉可能なロック開口（４６）を備え、更に、ロック開口（４６）に隣接する処
   理装置（１６）を具備する、クリーンルーム（１２）に基板を搬入搬出するため
   の装置（１０）において、処理装置（１６）とロック装置（１４）の間に、アダ
   プタ装置（２０）が配置され、ロック装置（１４）にこのアダプタ装置が取り外
   しできるように固定可能であり、アダプタ装置は処理装置（１６）に保持され、
   かつ処理装置に対して調節できるようにセット可能であることを特徴とする装置
   。
2. 【請求項２】 アダプタ装置（２０）が処理装置（１６）に対して高さ（Ｚ
   軸線）を調節可能であり、およびまたは垂直軸線（Ｘ軸線）およびまたは水平軸
   線（Ｙ軸線）に対して傾斜可能であり、およびまたは１つまたは両軸線（Ｘ，Ｙ
   ）に沿って摺動可能であることを特徴とする請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 アダプタ装置（２０）の下側に、間隔をおいて配置された高
   さ調節可能な２個のジャッキねじ（２７）が連結され、このジャッキねじが定置
   された要素（２６）に保持されていることを特徴とする請求項１または２記載の
   装置。
4. 【請求項４】 アダプタ装置（２０）が処理装置（１６）側に、調節可能な
   ジャッキねじ（２９）を備え、このジャッキねじが処理装置（１６）の構成部品
   に支持されていることを特徴とする請求項１〜３の少なくとも一つに記載の装置
   。
5. 【請求項５】 アダプタ装置（２０）がジャッキねじ（２７）によって要素
   （２６）上に縦方向におよびまたは横方向に摺動可能に支持されていることを特
   徴とする請求項３または４記載の装置。
6. 【請求項６】 アダプタ装置（２０）が大径の穴（４１）を通過する固定ボ
   ルト（３５）によって処理装置（１６）に固定可能であることを特徴とする請求
   項１〜５の少なくとも一つに記載の装置。
7. 【請求項７】 アダプタ装置（２０）が離隔された割り出しピン（３２）を
   備え、この割り出しピンがロック装置（１４）の収容穴（４１）内にほぼ遊びの
   ないように差込み可能であることを特徴とする請求項１〜６の少なくとも一つに
   記載の装置。
8. 【請求項８】 各々のロック装置（１４）が底板（４０）を備え、この底板
   がアダプタ装置（２０）の割り出しピン（３２）の配置に対応する穴パターンを
   有することを特徴とする請求項７記載の装置。
9. 【請求項９】 ロック装置（１４）が搬送箱（１３）用の摺動可能な収容テ
   ーブル（４５）を備えている、請求項１〜８の少なくとも一つに記載の装置にお
   いて、ロック装置（１４）が収容テーブル（４５）の範囲にローラ軌道（７５）
   を備えていることを特徴とする装置。
10. 【請求項１０】 ローラ軌道（７５）が垂直な軸（８２）の回りに特に±９
    ０°揺動可能であることを特徴とする請求項９記載の装置。
11. 【請求項１１】 ローラ軌道（７５）が側方に上方に突出する案内傾斜部（
    ８６）を備えていることを特徴とする請求項９または１０記載の装置。
12. 【請求項１２】 ローラ軌道（７５）が処理装置（１６）または搬入搬出平
    面（８９）の方にやや傾斜し、ストッパー（９０）を備えていることを特徴とす
    る請求項９〜１１の少なくとも一つに記載の装置。
13. 【請求項１３】 ローラ軌道（７５）が平行な２個の部品（７７）によって
    形成され、この部品が収容テーブル（４５）の両側に延設され、湾曲部材（７９
    ）に連結されていることを特徴とする請求項９〜１２の少なくとも一つに記載の
    装置。
14. 【請求項１４】 連結湾曲部材（７８）がレバー（７９）に連結され、この
    レバーの他端が垂直な軸（８２）に揺動可能に保持されていることを特徴とする
    請求項１０と１３に記載の装置。
15. 【請求項１５】 ローラ軌道（７５）が収容レーブル（４５）の表面に対し
    相対的に昇降可能であることを特徴とする請求項９〜１４の少なくとも一つに記
    載の装置。
16. 【請求項１６】 レバー（７）または揺動軸（８２）が高さ方向に移動可能
    であることを特徴とする請求項１４と１５に記載の装置。
17. 【請求項１７】 ロック装置（１４）のロック開口（４６）がロックドア（
    ４７）によって密閉可能であり、このロックドアが搬送箱（１３）の蓋（４９）
    に連結可能である、請求項１〜１６の少なくとも一つに記載の装置において、蓋
    （４９）がＴ字形の２個のキーを備え、このキーがロックドア（４７）内に保持
    された平行四辺形機構によって回転可能であることを特徴とする装置。
18. 【請求項１８】 モータで駆動されるウォーム歯車装置によって動かされる
    クラッチディスク（９７）が平行四辺形運動機構に連結されていることを特徴と
    する請求項１７記載の装置。
19. 【請求項１９】 平行四辺形運動機構がリンク接続棒（９９）を備え、外側
    からアクセス可能な手動レバー（１０１）がこのリンク接続棒から突出している
    ことを特徴とする請求項１７または１８記載の装置。
20. 【請求項２０】 ロックドア（４７）の閉鎖運動と、収容テーブル（４５）
    の摺動運動と、ローラ軌道（７５）の下降運動が、同じようなクランク機構を介
    して行われることを特徴とする請求項１〜１９の少なくとも一つに記載の装置。
21. 【請求項２１】 ロックドア（４７）の閉鎖運動と、収容テーブル（４５）
    の摺動運動と、ローラ軌道（７５）とロックドア（４７）の下降運動のための駆
    動ユニットがロック装置（１４）内に配置されていることを特徴とする請求項２
    ０記載の装置。