JP2000092815A - ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置 - Google Patents
ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置Info
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コイルホルダーの表面温度勾配を低減し、位
置決め精度への悪影響を除去することができるステージ
装置を提供する。 【解決手段】 可動ステージ１と、可動ステージ１を所
定方向に駆動するための磁石２とコイル４とからなるリ
ニアモータと、コイル４とコイルホルダー５との間に設
けた冷媒流路６に配管８、９を介して冷媒を循環させて
リニアモータから生じる熱を回収する冷却装置７とを備
えた露光装置等に用いられるステージ装置において、配
管８、９にリニアモータ部を循環する冷媒の流れ方向を
正逆反転させる流路切替弁２１、２２をそれぞれ配設
し、これらの流路切替弁２１、２２を演算制御装置２０
により所定の周期をもって作動させ、リニアモータ部を
循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させ、リニアモータ
部に生じる温度勾配を低減させ、ステージ装置の位置決
め精度への悪影響を除去する。
置決め精度への悪影響を除去することができるステージ
装置を提供する。 【解決手段】 可動ステージ１と、可動ステージ１を所
定方向に駆動するための磁石２とコイル４とからなるリ
ニアモータと、コイル４とコイルホルダー５との間に設
けた冷媒流路６に配管８、９を介して冷媒を循環させて
リニアモータから生じる熱を回収する冷却装置７とを備
えた露光装置等に用いられるステージ装置において、配
管８、９にリニアモータ部を循環する冷媒の流れ方向を
正逆反転させる流路切替弁２１、２２をそれぞれ配設
し、これらの流路切替弁２１、２２を演算制御装置２０
により所定の周期をもって作動させ、リニアモータ部を
循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させ、リニアモータ
部に生じる温度勾配を低減させ、ステージ装置の位置決
め精度への悪影響を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工対象物を高精
度に位置決めするためのステージ装置に関し、特に半導
体露光装置等に用いられるリニアモータ駆動方式のステ
ージ装置、および該ステージ装置を用いた露光装置に関
するものである。
度に位置決めするためのステージ装置に関し、特に半導
体露光装置等に用いられるリニアモータ駆動方式のステ
ージ装置、および該ステージ装置を用いた露光装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路、液晶表示素子、撮像素
子（ＣＣＤ）などの製造に使用される露光装置には、ウ
エハやガラスプレートを高精度に位置決めするためのス
テージ装置が用いられており、ステージ装置における位
置計測には、レーザ干渉計が使用され、また、駆動機構
としては、高速かつ非接触に駆動するために最近はリニ
アモータが使用されている。そして、その位置決め精度
はナノメートル（ｎｍ）のオーダーが要求され、レ−ザ
干渉計光路における空気温度の変化に伴う屈折率変化や
ステージ部材の温度変化に伴う熱膨張収縮が、位置決め
精度に敏感に影響するため、リニアモータ部の発熱対策
が必須になっている。
子（ＣＣＤ）などの製造に使用される露光装置には、ウ
エハやガラスプレートを高精度に位置決めするためのス
テージ装置が用いられており、ステージ装置における位
置計測には、レーザ干渉計が使用され、また、駆動機構
としては、高速かつ非接触に駆動するために最近はリニ
アモータが使用されている。そして、その位置決め精度
はナノメートル（ｎｍ）のオーダーが要求され、レ−ザ
干渉計光路における空気温度の変化に伴う屈折率変化や
ステージ部材の温度変化に伴う熱膨張収縮が、位置決め
精度に敏感に影響するため、リニアモータ部の発熱対策
が必須になっている。
【０００３】図３はこの種のステージ装置の従来例を示
す概略図であり、１０１は位置決め対象物を載置するス
テージ、１０２はリニアモータの可動子となる磁石、１
０３は磁石ホルダー、１０４はリニアモータの固定子と
なるコイル、１０５はコイルホルダー、１０６はコイル
１０４とコイルホルダー１０５との間の冷媒流路、１０
７は冷却装置、１０８および１０９は冷媒を通す供給配
管および排出配管、１１０はレーザ干渉計、１１１はレ
ーザ干渉計光路、１１２はステージ１に固定された反射
ミラーである。
す概略図であり、１０１は位置決め対象物を載置するス
テージ、１０２はリニアモータの可動子となる磁石、１
０３は磁石ホルダー、１０４はリニアモータの固定子と
なるコイル、１０５はコイルホルダー、１０６はコイル
１０４とコイルホルダー１０５との間の冷媒流路、１０
７は冷却装置、１０８および１０９は冷媒を通す供給配
管および排出配管、１１０はレーザ干渉計、１１１はレ
ーザ干渉計光路、１１２はステージ１に固定された反射
ミラーである。
【０００４】図３に図示する構成において、ステージ１
０１はレーザ干渉計１１０により計測された位置情報に
基づき、コイル１０４に適宜通電することにより、図面
左右方向（矢印１１３）に駆動され位置決めされる。こ
のときコイル１０４に発生する熱は冷媒により回収され
る。すなわち、冷却装置１０７から供給配管１０８を通
してコイル１０４の回りの冷媒流路１０６に冷媒が供給
され、熱を吸収した冷媒は排出配管１０９を通って再び
冷却装置１０７に戻される。
０１はレーザ干渉計１１０により計測された位置情報に
基づき、コイル１０４に適宜通電することにより、図面
左右方向（矢印１１３）に駆動され位置決めされる。こ
のときコイル１０４に発生する熱は冷媒により回収され
る。すなわち、冷却装置１０７から供給配管１０８を通
してコイル１０４の回りの冷媒流路１０６に冷媒が供給
され、熱を吸収した冷媒は排出配管１０９を通って再び
冷却装置１０７に戻される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
図示するような従来のステージ装置では、コイル１０４
の回りを流れる冷媒の流れ方向が一定であるため、コイ
ルホルダー１０５の表面温度に勾配が生じる。つまり、
冷媒の流れの上流側では低温になり、下流側では高温に
なる。このため、レーザ干渉計光路１１１の空気温度に
ムラが生じ、計測誤差の原因となる。また、ステージ１
０１が可動範囲のどの位置にいるかによって、コイルホ
ルダー１０５からステージ１０１へ単位時間当たりに流
入する熱量が異なり、ステージ１０１の移動によってス
テージ部材の温度が変動する。その結果、ステージ部材
の熱変形が生じ、位置決め精度に悪影響を及ぼすという
欠点があった。
図示するような従来のステージ装置では、コイル１０４
の回りを流れる冷媒の流れ方向が一定であるため、コイ
ルホルダー１０５の表面温度に勾配が生じる。つまり、
冷媒の流れの上流側では低温になり、下流側では高温に
なる。このため、レーザ干渉計光路１１１の空気温度に
ムラが生じ、計測誤差の原因となる。また、ステージ１
０１が可動範囲のどの位置にいるかによって、コイルホ
ルダー１０５からステージ１０１へ単位時間当たりに流
入する熱量が異なり、ステージ１０１の移動によってス
テージ部材の温度が変動する。その結果、ステージ部材
の熱変形が生じ、位置決め精度に悪影響を及ぼすという
欠点があった。
【０００６】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、コイル
ホルダーの表面温度勾配を低減し、位置決め精度への悪
影響を除去することができるステージ装置および該ステ
ージ装置を用いた露光装置を提供することを目的とする
ものである。
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、コイル
ホルダーの表面温度勾配を低減し、位置決め精度への悪
影響を除去することができるステージ装置および該ステ
ージ装置を用いた露光装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のステージ装置は、可動ステージと、該可動
ステージを所定方向に駆動するリニアモータと、該リニ
アモータに配管系を介して冷媒を循環させて該リニアモ
ータから生じる熱を回収する冷却装置とを備えたステー
ジ装置において、前記リニアモータを循環する冷媒の流
れ方向を正逆反転させる流れ方向切替手段を有すること
を特徴とする。
め、本発明のステージ装置は、可動ステージと、該可動
ステージを所定方向に駆動するリニアモータと、該リニ
アモータに配管系を介して冷媒を循環させて該リニアモ
ータから生じる熱を回収する冷却装置とを備えたステー
ジ装置において、前記リニアモータを循環する冷媒の流
れ方向を正逆反転させる流れ方向切替手段を有すること
を特徴とする。
【０００８】本発明のステージ装置においては、流れ方
向切替手段は、所定の周期をもってリニアモータを循環
する冷媒の流れ方向を正逆反転させることが好ましい。
向切替手段は、所定の周期をもってリニアモータを循環
する冷媒の流れ方向を正逆反転させることが好ましい。
【０００９】また、本発明のステージ装置は、少なくと
もリニアモータの可動方向両端部近傍にそれぞれ配設し
た温度センサーと演算制御装置とを有し、前記演算制御
装置は、前記温度センサーから得られる温度情報に基づ
いて流れ方向切替手段に指令を出し、前記リニアモータ
を循環する冷媒の流れ方向を制御することが好ましい。
もリニアモータの可動方向両端部近傍にそれぞれ配設し
た温度センサーと演算制御装置とを有し、前記演算制御
装置は、前記温度センサーから得られる温度情報に基づ
いて流れ方向切替手段に指令を出し、前記リニアモータ
を循環する冷媒の流れ方向を制御することが好ましい。
【００１０】本発明のステージ装置においては、演算制
御装置は、温度センサーから得られる温度情報に基づい
て、冷却装置が循環させる冷媒の温度をも制御するよう
に構成することが好ましい。
御装置は、温度センサーから得られる温度情報に基づい
て、冷却装置が循環させる冷媒の温度をも制御するよう
に構成することが好ましい。
【００１１】そして、本発明の露光装置は、請求項１な
いし４のいずれか１項に記載のステージ装置を用いるこ
とを特徴とする。
いし４のいずれか１項に記載のステージ装置を用いるこ
とを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明によれば、ステージ装置におけるリニア
モータ部を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させる流
れ方向切替手段を設け、所定の周期をもって冷媒の流れ
方向を正逆反転させることにより、リニアモータ部に生
じる温度勾配を低減でき、位置決め精度への悪影響を除
去することができる。
モータ部を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転させる流
れ方向切替手段を設け、所定の周期をもって冷媒の流れ
方向を正逆反転させることにより、リニアモータ部に生
じる温度勾配を低減でき、位置決め精度への悪影響を除
去することができる。
【００１３】また、リニアモータの可動方向両端部近傍
に温度センサーを設け、温度センサーの温度情報に基づ
き冷媒の流れ方向を制御することにより、リニアモータ
部に生じる温度勾配を所定の範囲内に制御でき、位置決
め精度への悪影響を確実に除去することができ、さら
に、温度センサーの温度情報に基づき冷媒の温度をも制
御でき、よりきめの細かい環境温度制御が可能となる。
に温度センサーを設け、温度センサーの温度情報に基づ
き冷媒の流れ方向を制御することにより、リニアモータ
部に生じる温度勾配を所定の範囲内に制御でき、位置決
め精度への悪影響を確実に除去することができ、さら
に、温度センサーの温度情報に基づき冷媒の温度をも制
御でき、よりきめの細かい環境温度制御が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１５】（実施例１）図１の（ａ）ないし（ｃ）
は、本発明に係るステージ装置の第１の実施例を図示す
る概略図である。
は、本発明に係るステージ装置の第１の実施例を図示す
る概略図である。
【００１６】図１の（ａ）において、１は位置決め対象
物を載置するステージ、２はリニアモータの可動子とな
る磁石、３は磁石ホルダー、４はリニアモータの固定子
となるコイル、５はコイルホルダー、６はコイル４とコ
イルホルダー５との間の冷媒流路、７は冷却装置、８お
よび８ａ、８ｂは、冷媒を冷媒流路６へ供給する流路を
形成する供給配管およびその分岐配管であり、９および
９ａ、９ｂは、冷媒を冷媒流路６から排出する流路を形
成する排出配管およびその分岐配管であり、１０はレー
ザ干渉計、１１はレーザ干渉計光路、１２はステージ１
に固定された反射ミラーであり、また、２１は供給配管
８に設けられた流路切替弁であり、供給配管８の流れを
分岐配管８ａと８ｂのいずれかへ連通させるために流路
を切り替えうるように構成され、２２は排出配管９に設
けられた流路切替弁であり、排出配管９の流れを分岐配
管９ａと９ｂのいずれかへ連通させるために流路を切り
替えうるように構成されている。２３、２５はＴ形継手
であり、２４、２６は冷媒流路６の両端部にそれぞれ接
続された配管である。そして、２０は流路切替弁２１、
２２を制御する演算制御装置である。
物を載置するステージ、２はリニアモータの可動子とな
る磁石、３は磁石ホルダー、４はリニアモータの固定子
となるコイル、５はコイルホルダー、６はコイル４とコ
イルホルダー５との間の冷媒流路、７は冷却装置、８お
よび８ａ、８ｂは、冷媒を冷媒流路６へ供給する流路を
形成する供給配管およびその分岐配管であり、９および
９ａ、９ｂは、冷媒を冷媒流路６から排出する流路を形
成する排出配管およびその分岐配管であり、１０はレー
ザ干渉計、１１はレーザ干渉計光路、１２はステージ１
に固定された反射ミラーであり、また、２１は供給配管
８に設けられた流路切替弁であり、供給配管８の流れを
分岐配管８ａと８ｂのいずれかへ連通させるために流路
を切り替えうるように構成され、２２は排出配管９に設
けられた流路切替弁であり、排出配管９の流れを分岐配
管９ａと９ｂのいずれかへ連通させるために流路を切り
替えうるように構成されている。２３、２５はＴ形継手
であり、２４、２６は冷媒流路６の両端部にそれぞれ接
続された配管である。そして、２０は流路切替弁２１、
２２を制御する演算制御装置である。
【００１７】図１に図示するステージ装置の構成におい
て、ステージ１の駆動位置決め方法は図３に図示する従
来例と同様であり、ステージ１は、レーザ干渉計１０に
より計測された位置情報に基づき、コイル４に適宜通電
することにより、図面左右方向に駆動され位置決めされ
る。コイル４の冷却方法は、従来例と異なり、演算制御
装置２０の指令に基づき、流路切替弁２１、２２を作動
させて、コイル４とコイルホルダー５との間の冷媒流路
６を流れる冷媒の流れ方向を所定の周期をもって反転さ
せることにより行なうものである。図１の（ｂ）および
（ｃ）に冷媒の流れを正逆反転させた状態の流れを示
す。
て、ステージ１の駆動位置決め方法は図３に図示する従
来例と同様であり、ステージ１は、レーザ干渉計１０に
より計測された位置情報に基づき、コイル４に適宜通電
することにより、図面左右方向に駆動され位置決めされ
る。コイル４の冷却方法は、従来例と異なり、演算制御
装置２０の指令に基づき、流路切替弁２１、２２を作動
させて、コイル４とコイルホルダー５との間の冷媒流路
６を流れる冷媒の流れ方向を所定の周期をもって反転さ
せることにより行なうものである。図１の（ｂ）および
（ｃ）に冷媒の流れを正逆反転させた状態の流れを示
す。
【００１８】すなわち、図１の（ｂ）において、供給配
管８の流路切替弁２１は、供給配管８の流れを分岐配管
８ａへ連通するように開き、分岐配管８ｂへの連通を閉
じるように作用し、そして、排出配管９の流路切替弁２
２は、排出配管９と分岐配管９ａの連通を閉じ、排出配
管９と分岐配管９ｂを連通するように開いている。その
結果、冷却装置７から供給配管８を通して供給される冷
媒は、流路切替弁２１を介して分岐配管８ａを通り、Ｔ
形継手２３を経て、配管２４の方からコイル４の回りの
冷媒流路６に流入し、そして、冷媒流路６において熱を
吸収した冷媒は、配管２６からＴ形継手２５を経て排出
配管９の分岐配管９ｂを通り、流路切替弁２２を介し
て、排出配管９から再び冷却装置７に戻される。
管８の流路切替弁２１は、供給配管８の流れを分岐配管
８ａへ連通するように開き、分岐配管８ｂへの連通を閉
じるように作用し、そして、排出配管９の流路切替弁２
２は、排出配管９と分岐配管９ａの連通を閉じ、排出配
管９と分岐配管９ｂを連通するように開いている。その
結果、冷却装置７から供給配管８を通して供給される冷
媒は、流路切替弁２１を介して分岐配管８ａを通り、Ｔ
形継手２３を経て、配管２４の方からコイル４の回りの
冷媒流路６に流入し、そして、冷媒流路６において熱を
吸収した冷媒は、配管２６からＴ形継手２５を経て排出
配管９の分岐配管９ｂを通り、流路切替弁２２を介し
て、排出配管９から再び冷却装置７に戻される。
【００１９】図１の（ｃ）において、供給配管８の流路
切替弁２１は、供給配管８と分岐配管８ｂを連通するよ
うに開き、供給配管８と分岐配管８ａの連通を閉じるよ
うに作用し、そして、排出配管９の流路切替弁２２は、
排出配管９と分岐配管９ａの連通を開き、排出配管９と
分岐配管９ｂの連通を閉じるように作用している。その
結果、冷却装置７から供給配管８を通して供給される冷
媒は、流路切替弁２１を介して分岐配管８ｂを通り、Ｔ
形継手２５を経て、配管２６の方からコイル４の回りの
冷媒流路６に流入し、そして、冷媒流路６において熱を
吸収した冷媒は、配管２４からＴ形継手２３を経て分岐
配管９ａを通り、流路切替弁２２を介して排出配管９か
ら再び冷却装置７に戻される。
切替弁２１は、供給配管８と分岐配管８ｂを連通するよ
うに開き、供給配管８と分岐配管８ａの連通を閉じるよ
うに作用し、そして、排出配管９の流路切替弁２２は、
排出配管９と分岐配管９ａの連通を開き、排出配管９と
分岐配管９ｂの連通を閉じるように作用している。その
結果、冷却装置７から供給配管８を通して供給される冷
媒は、流路切替弁２１を介して分岐配管８ｂを通り、Ｔ
形継手２５を経て、配管２６の方からコイル４の回りの
冷媒流路６に流入し、そして、冷媒流路６において熱を
吸収した冷媒は、配管２４からＴ形継手２３を経て分岐
配管９ａを通り、流路切替弁２２を介して排出配管９か
ら再び冷却装置７に戻される。
【００２０】このように冷媒の流れ方向を反転させる際
の反転の周期は、冷媒をステップ状に供給開始したとき
のコイルホルダー５の表面温度変化の飽和時間から決ま
る時定数以下にすれば、コイルホルダー５の表面温度は
平均化され、温度勾配を低減できる。
の反転の周期は、冷媒をステップ状に供給開始したとき
のコイルホルダー５の表面温度変化の飽和時間から決ま
る時定数以下にすれば、コイルホルダー５の表面温度は
平均化され、温度勾配を低減できる。
【００２１】また、冷却効率の観点からは、冷媒が一巡
する周期以上にするのが望ましく、さらには、図１の
（ｂ）における分岐配管８ｂ、そして、図１の（ｃ）に
おける分岐配管８ａへ僅かにリークさせ、流れ方向反転
時に直ちに低温の冷媒がコイル回りの冷媒流路６に流入
するようにすると、冷却効率を向上させることができ
る。
する周期以上にするのが望ましく、さらには、図１の
（ｂ）における分岐配管８ｂ、そして、図１の（ｃ）に
おける分岐配管８ａへ僅かにリークさせ、流れ方向反転
時に直ちに低温の冷媒がコイル回りの冷媒流路６に流入
するようにすると、冷却効率を向上させることができ
る。
【００２２】（実施例２）図２は本発明に係るステージ
装置の第２の実施例を図示する概略図である。
装置の第２の実施例を図示する概略図である。
【００２３】本実施例は、図１に図示する第１の実施例
に対して、コイルホルダー５の両端部近傍に温度センサ
ー３１、３２を付加し、これらの温度センサー３１、３
２は検出される温度情報を演算制御装置２０に入力する
ように接続しており、その他の構成は同じであって詳細
な説明は省略する。
に対して、コイルホルダー５の両端部近傍に温度センサ
ー３１、３２を付加し、これらの温度センサー３１、３
２は検出される温度情報を演算制御装置２０に入力する
ように接続しており、その他の構成は同じであって詳細
な説明は省略する。
【００２４】図２に図示するステージ装置の構成におい
て、温度センサー３１、３２からの温度情報Ｔ１、Ｔ２
は、演算制御装置２０に入力され、演算制御装置２０
は、例えば温度差（Ｔ１−Ｔ２）を計算し、その温度差
が所定の一定値を越えると流路切替弁２１、２２に指令
信号を出し、冷媒の流れ方向を反転させる。その結果、
コイルホルダー５の温度勾配を所定の範囲内に制御する
ことができる。
て、温度センサー３１、３２からの温度情報Ｔ１、Ｔ２
は、演算制御装置２０に入力され、演算制御装置２０
は、例えば温度差（Ｔ１−Ｔ２）を計算し、その温度差
が所定の一定値を越えると流路切替弁２１、２２に指令
信号を出し、冷媒の流れ方向を反転させる。その結果、
コイルホルダー５の温度勾配を所定の範囲内に制御する
ことができる。
【００２５】本実施例においては、さらには、演算制御
装置２０において、例えば、平均温度（Ｔ１＋Ｔ２）／
２を計算し、冷却装置７から出る冷媒の温度や、コイル
ホルダー５の両端部の温度を制御することもでき、より
きめの細かい環境温度制御が可能である。
装置２０において、例えば、平均温度（Ｔ１＋Ｔ２）／
２を計算し、冷却装置７から出る冷媒の温度や、コイル
ホルダー５の両端部の温度を制御することもでき、より
きめの細かい環境温度制御が可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
リニアモータ部分を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転
させる流れ方向切替手段を設け、所定の周期をもって冷
媒の流れ方向を正逆反転させることにより、リニアモー
タ部分に生じる温度勾配を低減でき、位置決め精度への
悪影響を除去することができる。
リニアモータ部分を循環する冷媒の流れ方向を正逆反転
させる流れ方向切替手段を設け、所定の周期をもって冷
媒の流れ方向を正逆反転させることにより、リニアモー
タ部分に生じる温度勾配を低減でき、位置決め精度への
悪影響を除去することができる。
【００２７】さらに、リニアモータ部分の両端部近傍に
設けた温度センサーの情報に基づき冷媒の流れ方向を制
御することにより、リニアモータ部分に生じる温度勾配
を所定の範囲内に制御でき、位置決め精度への悪影響を
確実に除去することができる。
設けた温度センサーの情報に基づき冷媒の流れ方向を制
御することにより、リニアモータ部分に生じる温度勾配
を所定の範囲内に制御でき、位置決め精度への悪影響を
確実に除去することができる。
【００２８】また、本発明によれば、ステージ装置本体
を格別変更することなく、冷媒を循環させる配管系の簡
単な変更のみで、位置決め精度の向上が望めるという利
点がある。
を格別変更することなく、冷媒を循環させる配管系の簡
単な変更のみで、位置決め精度の向上が望めるという利
点がある。
【図１】（ａ）は本発明に係るステージ装置の第１の実
施例を図示する概略図であり、（ｂ）はステージ装置に
おける冷媒の流れ方向（正方向）を示す図であり、
（ｃ）はステージ装置における冷媒の他の流れ方向（逆
方向）を示す図である。
施例を図示する概略図であり、（ｂ）はステージ装置に
おける冷媒の流れ方向（正方向）を示す図であり、
（ｃ）はステージ装置における冷媒の他の流れ方向（逆
方向）を示す図である。
【図２】本発明に係るステージ装置の第２の実施例を図
示する概略図である。
示する概略図である。
【図３】従来例のステージ装置を図示する概略図であ
る。
る。
１ ステージ ２ 磁石（可動子） ３ 磁石ホルダー ４ コイル（固定子） ５ コイルホルダー ６ 冷媒流路 ７ 冷却装置 ８ 供給配管 ８ａ、８ｂ 分岐配管 ９ 排出配管 ９ａ、９ｂ 分岐配管 １０ レーザ干渉計 １１ レーザ干渉計光路 １２ 反射ミラー ２０ 演算制御装置 ２１、２２ 流路切替弁 ２３、２５ Ｔ形継手 ２４、２６ 配管 ３１、３２ 温度センサー
Claims (5)
- 【請求項１】 可動ステージと、該可動ステージを所定
方向に駆動するリニアモータと、該リニアモータに配管
系を介して冷媒を循環させ該リニアモータから生じる熱
を回収する冷却装置とを備えたステージ装置において、
前記リニアモータを循環する冷媒の流れ方向を正逆反転
させる流れ方向切替手段を有することを特徴とするステ
ージ装置。 - 【請求項２】 流れ方向切替手段は、所定の周期をもっ
てリニアモータを循環する冷媒の流れ方向を正逆反転さ
せることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。 - 【請求項３】 少なくともリニアモータの可動方向両端
部近傍にそれぞれ配設した温度センサーと演算制御装置
とを有し、前記演算制御装置は、前記温度センサーから
得られる温度情報に基づいて流れ方向切替手段に指令を
出し、リニアモータを循環する冷媒の流れ方向を制御す
ることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。 - 【請求項４】 演算制御装置は、温度センサーから得ら
れる温度情報に基づいて、冷却装置が循環させる冷媒の
温度をも制御することを特徴とする請求項３記載のステ
ージ装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項に記載
のステージ装置を用いることを特徴とする露光装置。
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| JP10274409A JP2000092815A (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000092815A true JP2000092815A (ja) | 2000-03-31 |
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ID=17541278
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