DE102020123698B4

DE102020123698B4 - FLOW METER

Info

Publication number: DE102020123698B4
Application number: DE102020123698.0A
Authority: DE
Inventors: Hideyuki Nakao; Makoto Kamei; Katsuyuki Yamamoto
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2019-10-08
Filing date: 2020-09-11
Publication date: 2025-08-07
Anticipated expiration: 2040-09-12
Also published as: CN112629606A; JP2021060298A; JP7415412B2; DE102020123698A1; CN112629606B

Abstract

Durchflussmessgerät (100, 100A), versehen mit:einer Durchflusserfassung (1, 1A), die in einem Strompfad (4, 4A) angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad (4, 4A) strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, undeinem Abdeckelement (7, 7A), das zum Abdecken der Durchflusserfassung (1, 1A) in dem Strompfad (4, 4A) ausgebildet ist, wobei der Strompfad (4, 4A) ein Nebenstrompfad ist, der von einem Hauptstrompfad (3, 3A) abzweigt, durch den das Strömungsmittel fließt, wobei das Durchflussmessgerät in dem Nebenstrompfad (4, 4A) angeordnet ist,wobei das Abdeckelement (7, 7A) aufweist:ein Einlassloch (27, 22), das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass das Strömungsmittel von dem Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A), wobei der Strompfad (4, 4A) an dem Abdeckelement (7, 7A) vorbeiführt, in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, undein Auslassloch (28, 33), das stromabwärts der Durchflusserfassung (1, 1A) vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass das Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, in den Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A), wobei der Strompfad (4, 4A) an dem Abdeckelement (7, 7A) vorbeiführt, ausströmt,wobei eine Außenfläche (10, 10A) des Abdeckelements (7, 7A) stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs (27, 22) geneigt ist.A flow meter (100, 100A) comprising: a flow detector (1, 1A) arranged in a flow path (4, 4A) for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid, which temperature difference changes depending on the flow rate of the fluid flowing through the flow path (4, 4A), and configured to detect the flow using the output value, and a cover member (7, 7A) configured to cover the flow detector (1, 1A) in the flow path (4, 4A), wherein the flow path (4, 4A) is a sub-flow path branching off from a main flow path (3, 3A) through which the fluid flows, wherein the flow meter is arranged in the sub-flow path (4, 4A), wherein the cover member (7, 7A) comprises: an inlet hole (27, 22) arranged upstream of a portion at which the Flow detection (1, 1A) is arranged, and it enables the fluid to flow from the flow path (4, 4A) outside the cover element (7, 7A), wherein the flow path (4, 4A) leads past the cover element (7, 7A), into a section which lies inside the cover element (7, 7A) and on which the flow detection (1, 1A) is arranged, and an outlet hole (28, 33) which is provided downstream of the flow detection (1, 1A), and it enables the fluid to flow from the section which lies inside the cover element (7, 7A) and on which the flow detection (1, 1A) is arranged, into the flow path (4, 4A) outside the cover element (7, 7A), wherein the flow path (4, 4A) leads past the cover element (7, 7A), wherein an outer surface (10, 10A) of the cover element (7, 7A) upstream of the portion at which the flow detection (1, 1A) is arranged has an inclined surface which is inclined towards the inlet of the inlet hole (27, 22).

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL FIELD

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Durchflussmessgerät.The present invention relates to a flow meter.

HINTERGRUNDTECHNIKBACKGROUND TECHNOLOGY

Eine Technik ist offenbart, die zur Messung des Durchflusses eines in einem Strompfad strömenden Strömungsmittels mit einem Flusssensor ausgebildet ist (z.B. JP 3 658 321 B2 , JP 2007 - 086 085 A und JP 2012-141 181 A ). JP 3 658 321 B2 offenbart, dass die Temperaturverteilungsinformation eines Strompfads durch eine Thermosäule in einem thermischen Flusssensor erfasst wird und der Durchfluss eines Strömungsmittels auf der Basis der Temperaturverteilungsinformation berechnet wird. JP 2007 - 086 085 A offenbart, dass ein Durchflusssensor und ein Gleichrichter in einem Strompfad in einem elektronischen Gaszähler installiert sind. JP 2012 - 141 181 A offenbart einen thermischen Flusssensor, der mit einem Substrat mit einem ersten Substrat und einem zweiten Substrat sowie einem auf dem Substrat installierten Abschnitt zur Bildung eines oberen Strompfads ausgebildet ist. Es ist offenbart, dass eine rechteckige Vertiefung auf der unteren Fläche des Abschnitt zur Bildung eines oberen Strompfads vorgesehen ist, wobei die Vertiefung einen zweiten Strompfad mit der oberen Fläche des zweiten Substrats bildet und wobei die Vertiefung mit einem Einlass und einem Auslass versehen ist, die zum äußeren Bereich führen. Weiterer Stand der Technik wird durch die EP 2 163 864 A1 und die US 2014/0069205 A1 gebildet. Die EP 2 163 864 A1 offenbart einen Durchflussmesser mit einer Einlassöffnung, in die ein Messfluid fließt, einer Auslassöffnung, aus der ein Messfluid fließt, und einem die Einlassöffnung und die Auslassöffnung verbindenden Strömungsweg, wobei der Strömungsweg an einem ersten Biegeabschnitt gebogen ist, wobei: eine erste poröse Platte in dem ersten Krümmungsabschnitt des Strömungsweges in einem Winkel relativ zu der Richtung angeordnet ist, in der sich der Strömungsweg vor und nach dem ersten Krümmungsabschnitt erstreckt, und ein Strömungssensor zum Erfassen der Strömungsgeschwindigkeit oder des Strömungsvolumens eines Messfluids, das in dem Strömungsweg strömt, an der Innenwand des Strömungsweges auf der Seite der Ausflussöffnung des ersten Krümmungsabschnittes angeordnet ist.A technique is disclosed which is designed to measure the flow of a fluid flowing in a flow path with a flow sensor (e.g. JP 3 658 321 B2 , JP 2007 - 086 085 A and JP 2012-141 181 A ). JP 3 658 321 B2 discloses that the temperature distribution information of a current path is detected by a thermopile in a thermal flow sensor and the flow rate of a fluid is calculated based on the temperature distribution information. JP 2007 - 086 085 A discloses that a flow sensor and a rectifier are installed in a current path in an electronic gas meter. JP 2012 - 141 181 A discloses a thermal flow sensor formed with a substrate having a first substrate and a second substrate, as well as an upper current path forming portion installed on the substrate. It is disclosed that a rectangular recess is provided on the lower surface of the upper current path forming portion, wherein the recess forms a second current path with the upper surface of the second substrate, and wherein the recess is provided with an inlet and an outlet leading to the outer region. Further prior art is provided by EP 2 163 864 A1 and the US 2014/0069205 A1 formed. The EP 2 163 864 A1 discloses a flowmeter having an inlet port into which a measuring fluid flows, an outlet port from which a measuring fluid flows, and a flow path connecting the inlet port and the outlet port, the flow path being bent at a first bending portion, wherein: a first porous plate is arranged in the first bending portion of the flow path at an angle relative to the direction in which the flow path extends before and after the first bending portion, and a flow sensor for detecting the flow velocity or the flow volume of a measuring fluid flowing in the flow path is arranged on the inner wall of the flow path on the outflow port side of the first bending portion.

ÜBERSICHT DER ERFINDUNGOVERVIEW OF THE INVENTION

Wenn der Durchfluss eines in einem Strompfad strömenden Strömungsmittels mit einem thermischen Flusssensor gemessen wird, ist der thermische Flusssensor derart angeordnet, dass ein Sensorelement, das die Temperaturverteilung des Strompfads erfasst, im Strompfad freiliegt. Wenn das Sensorelement jedoch auf diese Weise angeordnet ist, kann die Ausgabe des Sensorelements, das die Temperaturverteilung erfasst, aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen wie Staub oder Schmutz schwanken, die mit dem im Strompfad strömenden Strömungsmittel vermischt sind. D. h. der Erfinder hat festgestellt, dass die Genauigkeit der Durchflussmessung verringert wird, falls der Flusssensor auf die oben erläuterte Weise angeordnet wird.When measuring the flow rate of a fluid flowing in a flow path with a thermal flow sensor, the thermal flow sensor is arranged such that a sensor element that detects the temperature distribution of the flow path is exposed in the flow path. However, when the sensor element is arranged in this manner, the output of the sensor element that detects the temperature distribution may fluctuate due to the influence of contaminants such as dust or dirt mixed with the fluid flowing in the flow path. Therefore, the inventor has found that the accuracy of flow measurement is reduced if the flow sensor is arranged in the manner explained above.

Vor diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Technik bereitzustellen, die zur Unterdrückung von Schwankungen der Ausgabe eines Sensorelements aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen, die durch einen Strompfad fließen, ausgebildet ist.Against this background, the present invention is based on the object of providing a technique designed to suppress fluctuations in the output of a sensor element due to the influence of impurities flowing through a current path.

Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche. Die Erfindung wird durch die Patentansprüche definiert, wobei Aspekte der Erfindung im Folgenden erläutert sind:This object is achieved by the subject matter of independent claim 1. Preferred embodiments of the invention are the subject matter of the dependent claims. The invention is defined by the claims, with aspects of the invention being explained below:

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Durchflussmessgerät mit einer Durchflusserfassung, die in einem Strompfad angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad strömenden Strömungsmittels ändert, ausgebildet ist, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, und einem Abdeckelement, das zum Abdecken der Durchflusserfassung in dem Strompfad ausgebildet ist, wobei das Abdeckelement aufweist: ein Einlassloch, das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Strompfad außerhalb des Abdeckelements in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, und ein Auslassloch, das stromabwärts der Durchflusserfassung vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, in den Strompfad außerhalb des Abdeckelements ausströmt, wobei eine Außenfläche des Abdeckelements stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs geneigt ist.According to one aspect of the present invention, there is provided a flow meter comprising a flow detector arranged in a flow path, configured to output a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid, which changes depending on the flow rate of the fluid flowing through the flow path, and configured to detect the flow using the output value, and a cover member configured to cover the flow detector in the flow path, wherein the cover member comprises: an inlet hole provided upstream of a portion where the flow detector is arranged, and allowing a fluid to flow in from the flow path outside the cover member into a portion located inside the cover member and at which the flow detector is arranged, and an outlet hole provided downstream of the flow detector, and allowing a fluid to flow out from the portion located inside the cover member and at which the flow detector is arranged into the flow path outside the cover member, wherein an outer surface of the Cover member upstream of the portion where the flow detection is arranged has an inclined surface inclined toward the inlet of the inlet hole.

Wenn die Verunreinigungen zu einer Stelle gelangen, an der die Durchflusserfassung angeordnet ist, ist es denkbar, dass die Information über die Temperaturdifferenz in der Strömungsrichtung des Strömungsmittels, die von der Durchflusserfassung ausgegebenen wird, schwankt. Nach der Ausbildung wird jedoch verhindert, dass die im Strompfad strömenden Verunreinigungen zur Durchflusserfassung gelangen, indem das Abdeckelement vorgesehen ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe von der Durchflusserfassung unterdrückt. Folglich wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt. Wenn der Strompfad innerhalb des Abdeckelements vorgesehen ist, wird die Strömung des Strömungsmittels in dem Nahbereich der Stelle, an der die Durchflusserfassung angeordnet ist, gleichgerichtet. D. h., die Empfindlichkeit des Durchflussmessgeräts wird verbessert.When impurities reach a location where the flow detector is arranged, it is conceivable that the information about the temperature difference in the flow direction of the fluid output from the flow detector fluctuates. However, according to the design, the impurities flowing in the flow path are prevented from reaching the flow detector by providing the cover member. Therefore, the fluctuation of the output from the flow detector is suppressed. Consequently, the reduction in the detection accuracy of the flow is suppressed. When the flow path is provided inside the cover member, the flow of the fluid is rectified in the vicinity of the location where the flow detector is arranged. That is, the sensitivity of the flow meter is improved.

Da ferner das Strömungsmittel nach der vorliegenden Ausbildung entlang der geneigten Fläche der Außenfläche des Abdeckelements im Strompfad strömt, wird dieses zum Einlass des Einlasslochs glatt geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Strompfad unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass die Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Ferner wird die Ansammlung der Verunreinigungen auf der geneigten Fläche unterdrückt. Daher wird unterdrückt, dass die angesammelten Verunreinigungen durch die im Strompfad erzeugten Turbulenzen usw. gestreut werden und zur Durchflusserfassung gelangen. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.Furthermore, according to the present embodiment, since the fluid flows along the inclined surface of the outer surface of the cover member in the flow path, it is smoothly guided to the inlet of the inlet hole. Therefore, the generation of turbulent flow in the flow path is suppressed. Consequently, the scattering of impurities in the flow path is suppressed, thus preventing the impurities from reaching the portion where the flow detector is arranged. Therefore, the fluctuation of the flow detector output is suppressed. Furthermore, the accumulation of impurities on the inclined surface is suppressed. Therefore, the accumulated impurities are suppressed from being scattered by the turbulence etc. generated in the flow path and reaching the flow detector. Consequently, the fluctuation of the flow detector output is suppressed. Therefore, the reduction in the detection accuracy of the flow is suppressed.

Das Durchflussmessgerät gemäß dem einem Aspekt ist mit einem Gleichrichterelement weiter versehen, das zum Gleichrichten der Strömungsrichtung des vom Einlassloch einströmenden Strömungsmittels in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, ausgebildet ist, wobei das Gleichrichterelement am Auslass des Einlasslochs vorgesehen sein und eine Ebene entlang einer Richtung vom Auslass des Einlasslochs zu dem Abschnitt, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, auch aufweisen kann.The flow meter according to one aspect is further provided with a rectifying element configured to rectify the flow direction of the fluid flowing in from the inlet hole toward the portion where the flow detector is arranged, wherein the rectifying element may be provided at the outlet of the inlet hole and may also have a plane along a direction from the outlet of the inlet hole to the portion where the flow detector is arranged.

Nach der Ausbildung wird das Strömungsmittel, das von dem Einlassloch in das Abdeckelement einströmt, derart gleichgerichtet, dass dieses entlang der Ebene des Gleichrichterelements in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, ausgerichtet ist. Daher wird die Empfindlichkeit der Durchflusserfassung bei niedrigem Durchfluss zuverlässiger verbessert.After formation, the fluid flowing into the cover member from the inlet hole is rectified so that it is directed along the plane of the rectifying element toward the portion where the flow detection device is located. Therefore, the sensitivity of the flow detection device at low flow rates is more reliably improved.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt kann das Einlassloch in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels zweifach vorgesehen sein und das Gleichrichterelement kann zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher vorgesehen sein.In the flow meter according to one aspect, the inlet hole may be provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid, and the rectifying element may be provided between the respective outlets of the two inlet holes.

Nach der Ausbildung wird eine plötzliche Änderung der Querschnittsfläche eines Raumes innerhalb des Abdeckelements orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels am Auslass des Einlasslochs unterdrückt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung in dem Nahbereich des Einlasslochs unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass sich die Verunreinigungen mit dem Strömungsmittels vermischen und zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.After formation, a sudden change in the cross-sectional area of a space within the cover member orthogonal to the flow direction of the fluid at the outlet of the inlet hole is suppressed. Therefore, the generation of turbulent flow in the vicinity of the inlet hole is suppressed. Consequently, the scattering of impurities in the flow path is suppressed, thus preventing the impurities from mixing with the fluid and reaching the section where the flow sensor is arranged. Consequently, the fluctuation of the flow sensor output is suppressed. Therefore, the reduction in the detection accuracy of the flow is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt weist der Strompfad eine Vertiefung an einer Seitenwand auf, und eine stromaufwärts gelegene Seite der Vertiefung weist eine geneigte Fläche auf, die zum Boden der Vertiefung hin geneigt ist, wobei das Abdeckelement eine Erhebung aufweisen kann, die in einem Abschnitt des Strompfads gegenüber dem Boden der Vertiefung des Strompfads angeordnet ist und von dem angeordneten Abschnitt in Richtung des Bodens vorsteht, und das Einlassloch ein Loch umfassen kann, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird.In the flow meter according to one aspect, the flow path has a recess on a side wall, and an upstream side of the recess has an inclined surface inclined toward the bottom of the recess, wherein the cover member may have a protrusion disposed in a portion of the flow path opposite to the bottom of the recess of the flow path and protruding from the disposed portion toward the bottom, and the inlet hole may comprise a hole passed through the protrusion.

Nach der Ausbildung strömt das Strömungsmittel im Strompfad entlang der geneigten Fläche der Vertiefung und läuft somit glatt durch die Vertiefung. D. h., das Strömungsmittel wird zum Einlass des Einlasslochs glatt geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Strompfad unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass die Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Da ferner die Seite der Vertiefung die geneigte Fläche aufweist, wird die Ansammlung der Verunreinigungen auf der Seite unterdrückt. Daher wird unterdrückt, dass die angesammelten Verunreinigungen durch die im Strompfad erzeugten Turbulenzen usw. gestreut werden und zur Durchflusserfassung gelangen. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.After formation, the fluid in the flow path flows along the inclined surface of the groove and thus passes smoothly through the groove. That is, the fluid is smoothly guided to the inlet of the inlet hole. Therefore, the generation of turbulent flow in the flow path is suppressed. Consequently, the scattering of impurities in the flow path is suppressed, thus preventing the impurities from reaching the portion where the flow detector is arranged. Therefore, the fluctuation of the flow detector output is suppressed. Furthermore, since the side of the groove has the inclined surface, the accumulation of impurities on that side is suppressed. Therefore, the accumulated impurities are suppressed from being scattered by the turbulence etc. generated in the flow path and reaching the flow detector. Consequently, the fluctuation of the flow detector output is suppressed. Therefore, the reduction in the detection accuracy of the flow is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt ist der Strompfad ein Nebenstrompfad, der vom Hauptstrompfad abzweigt, durch den das Strömungsmittel fließt, wobei das Durchflussmessgerät in dem Nebenstrompfad auch angeordnet sein kann.In the flowmeter according to one aspect, the flow path is a sub-flow path branching off from the main flow path through which the fluid flows, and the flowmeter may also be arranged in the sub-flow path.

Nach der Ausbildung durchströmt das im Hauptstrompfad fließende Strömungsmittel über den Nebenstrompfad die im Abdeckelement vorgesehenen Einlasslöcher und gelangt zu dem Abschnitt, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. D. h., da das durch den Hauptstrompfad fließende Strömungsmittel nicht direkt in das Abdeckelement einströmt, wird verhindert, dass mit dem Strömungsmittel vermischte Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe von der Durchflusserfassung unterdrückt.After formation, the fluid flowing in the main flow path passes through the inlet holes provided in the cover member via the sub-flow path and reaches the section where the flow sensor is located. That is, since the fluid flowing through the main flow path does not directly enter the cover member, impurities mixed with the fluid are prevented from reaching the section where the flow sensor is located. Therefore, the fluctuation in the flow sensor output is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt ist eine Verhaltenserfassung weiter vorgesehen, die in einem zweiten, von dem Strompfad unterschiedlichen Strompfad angeordnet ist und zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf die Temperatur des zweiten Strompfads, die sich abhängig vom Verhalten des durch den zweiten Strompfad strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Verhaltens unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, wobei das Abdeckelement ein zweites Loch weiter aufweisen kann, das die Verhaltenserfassung umschließt und die Verhaltenserfassung in dem zweiten Strompfad freilegt.In the flow meter according to one aspect, a behavior detector is further provided which is arranged in a second current path different from the current path and is configured to output a value related to the temperature of the second current path, which changes depending on the behavior of the fluid flowing through the second current path, and to detect the behavior using the output value, wherein the cover member may further comprise a second hole which encloses the behavior detector and exposes the behavior detector in the second current path.

Nach der Ausbildung kann neben dem Durchfluss des Strömungsmittels auch das Verhalten des Strömungsmittels erfasst werden.After training, not only the flow of the fluid but also the behavior of the fluid can be recorded.

Selbst wenn die Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung des Strömungsmittels vom Verhalten des Strömungsmittels abhängt, kann daher das erfasste Verhalten des Strömungsmittels zur Korrektur des erfassten Durchflusses des Strömungsmittels verwendet werden. Daher ist es möglich, den Durchfluss mit hoher Genauigkeit zu messen. Nach der Ausbildung wird, wenn die Durchflusserfassung und die Verhaltenserfassung auf demselben Substrat montiert sind, die Vermischung der Verunreinigungen von der Substratseite zur Durchflusserfassung und zur Verhaltenserfassung leicht unterdrückt werden, indem das eine Abdeckelement auf dem Substrat vorgesehen wird. Da sich die Verhaltenserfassung und das Abdeckelement nach der Ausbildung in der Höhenrichtung nicht überlappen, kann der Abschnitt, an dem die Verhaltenserfassung angeordnet ist, verdünnt werden.Therefore, even if the temperature difference in the flow direction of the fluid depends on the behavior of the fluid, the detected behavior of the fluid can be used to correct the detected flow of the fluid. Therefore, it is possible to measure the flow with high accuracy. After formation, when the flow detection and behavior detection are mounted on the same substrate, the mixing of impurities from the substrate side to the flow detection and behavior detection can be easily suppressed by providing the one cover member on the substrate. Since the behavior detection and the cover member do not overlap in the height direction after formation, the portion where the behavior detection is arranged can be thinned.

Nach der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Technik zur Unterdrückung der Schwankung der Ausgabe eines Sensorelements aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen, die durch einen Strompfad fließen, bereitzustellen.According to the present invention, it is possible to provide a technique for suppressing the fluctuation of the output of a sensor element due to the influence of impurities flowing through a current path.

KURZE ERLÄUTERUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF EXPLANATION OF THE DRAWINGS

1A and 1B show an overview of a flow meter. 1A shows an example of a cross-sectional view of the flowmeter according to an embodiment. 1B shows an example of a cross-sectional view of a flowmeter according to a comparative example;
2A to 2C show the principle of flow measurement by a detection element schematically. 2A is a view illustrating the direction in which the detecting element is arranged. 2B shows a schematic example of the temperature distribution that occurs when a micro heater is activated without gas flow. 2C shows a schematic example of the temperature distribution that occurs when the microheater is activated while gas is flowing;
3 shows an example of the simulation results of the number of dust particles entering the vicinity of a thermopile;
4 shows an example of the output of the difference between the outputs of the two thermopiles with respect to the actual gas flow;
5 shows an example of an exploded perspective view of the measuring device according to a modified example;
6 is a view illustrating the orientation in which a behavior detection element is arranged;
7A and 7B show an example of a flow tube to which a cover is attached and the cover attached to the flow tube. 7A shows a perspective top view of the flow tube to which the cover is attached. 7B shows a top view of the cover on the 7A shown flow tube; and
8A and 8B show an overview of the coverage. 8A shows an example of a perspective view of the cross-section of the cover attached to the flow tube. 8B is a front view of the cross section in 8A .

AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNGEMBODIMENT OF THE INVENTION

Im Folgenden wird eine Ausführungsform gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung (im Folgenden auch als „Ausführungsform“ bezeichnet) unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Die im Folgenden erläuterte Ausführungsform ist jedoch in jeder Hinsicht lediglich ein Beispiel der vorliegenden Erfindung. Es ist selbstverständlich, dass verschiedene Verbesserungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. D. h., bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung kann eine konkrete Ausbildung entsprechend der Ausführungsform in geeigneter Weise aufgenommen werden.In the following, an embodiment according to one aspect of the present invention (hereinafter also referred to as “embodiment”) net) with reference to the drawings. However, the embodiment explained below is merely an example of the present invention in every respect. It should be understood that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention. That is, in carrying out the present invention, a concrete configuration according to the embodiment may be appropriately adopted.

§1 Anwendungsbeispiel§1 Application example

Unter Verwendung von 1A wird ein Beispiel für eine Situation erläutert, in der die vorliegende Erfindung angewandt wird. 1A zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgerätes 100 gemäß der Ausführungsform. Das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform ist mit einem Erfassungselement 1 und einem Substrat 5 versehen, auf dem das Erfassungselement 1 montiert ist. Das Erfassungselement 1 ist mit einem Mikroheizer 40 und zwei Thermosäulen 41A, 41B versehen und erfasst eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung von Gas, die mit dem Durchfluss des Gases korreliert (Einzelheiten werden später erläutert). Das Erfassungselement 1 ist ferner auf dem halben Weg eines Nebenstrompfads 4 angeordnet, der teilweise in einem Hauptstrompfad 3 eines Strömungsrohrs 2 vorgesehen ist.Using 1A An example of a situation in which the present invention is applied is explained. 1A shows an example of a cross-sectional view of a flowmeter 100 according to the embodiment. The flowmeter 100 according to the embodiment is provided with a detection element 1 and a substrate 5 on which the detection element 1 is mounted. The detection element 1 is provided with a microheater 40 and two thermopiles 41A, 41B, and detects a temperature difference in the flow direction of gas, which correlates with the flow rate of the gas (details will be explained later). The detection element 1 is further arranged halfway through a side flow path 4 partially provided in a main flow path 3 of a flow pipe 2.

Das Durchflussmessgerät 100 ist mit einer Abdeckung 7 versehen, die das Erfassungselement 1 abdeckt. Im Inneren der Abdeckung 7 wird ein Raum 8 gebildet, der das Erfassungselement 1 aufnehmen kann. Auf der unteren Fläche 9 der Abdeckung 7 sind ein Einlassloch 27, durch das Gas aus dem Nebenstrompfad 4 in den Raum 8 einströmen kann, sowie ein Auslassloch 28 vorgesehen, durch das Gas aus dem Innenraum des Raums 8 in den Nebenstrompfad 4 ausströmen kann.The flowmeter 100 is provided with a cover 7 that covers the sensing element 1. A space 8 is formed inside the cover 7, which can accommodate the sensing element 1. On the lower surface 9 of the cover 7, an inlet hole 27 through which gas from the bypass flow path 4 can flow into the space 8, and an outlet hole 28 through which gas from the interior of the space 8 can flow out into the bypass flow path 4 are provided.

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 wird durch das Vorsehen der Abdeckung 7 verhindert, dass Staub oder Schmutz usw., die im Hauptstrompfad 3 oder im Nebenstrompfad 4 strömen, zu einer Stelle gelangen, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Daher wird verhindert, dass die Ausgabe der Thermosäule 41A und die Ausgabe der Thermosäule 41B, die im Erfassungselement 1 vorgesehen sind, durch Staub, Schmutz usw. schwankt.According to the flow meter 100 explained above, the provision of the cover 7 prevents dust or dirt, etc., flowing in the main flow path 3 or the sub-flow path 4 from reaching a location where the detection element 1 is arranged. Therefore, the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B provided in the detection element 1 are prevented from fluctuating due to dust, dirt, etc.

§2 Ausbildungsbeispiel§2 Training example

[Hardware-Ausbildung][Hardware training]

1A und 1B zeigen eine Übersicht des Durchflussmessgeräts. 1A zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgerätes 100 gemäß der Ausführungsform. 1B zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgeräts 200 gemäß einem Vergleichsbeispiel. Das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform ist mit einem Erfassungselement 1 und einem Substrat 5 versehen, auf dem das Erfassungselement 1 montiert ist. Das Erfassungselement 1 ist mit einem Mikroheizer 40 und zwei Thermosäulen 41A, 41B versehen und erfasst eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung von Gas, die mit dem Durchfluss des Gases korreliert (Einzelheiten werden später erläutert). Das Substrat 5 ist an einer Seitenwand angeordnet, die den Hauptstrompfad 3 des Strömungsrohrs 2 bildet, so dass eine Montagefläche 6, auf der das Erfassungselement 1 montiert ist, der Mitte des Strömungsrohrs 2 zugewandt ist. Im Nahbereich der Seitenwand ist ferner teilweise der Nebenstrompfad 4 vorgesehen, der vom Hauptstrompfad 3 des Strömungsrohrs 2 abzweigt. Das Erfassungselement 1 wird auf dem halben Weg des Nebenstrompfads 4 angeordnet. Das Durchflussmessgerät 100 ist hier ein Beispiel für das „Durchflussmessgerät“ der vorliegenden Erfindung. Das Erfassungselement 1 ist ferner ein Beispiel für die „Strömungserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Der Nebenstrompfad 4 ist ferner ein Beispiel für den „Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung. 1A and 1B show an overview of the flow meter. 1A shows an example of a cross-sectional view of a flowmeter 100 according to the embodiment. 1B 1 shows an example of a cross-sectional view of a flowmeter 200 according to a comparative example. The flowmeter 100 according to the embodiment is provided with a detection element 1 and a substrate 5 on which the detection element 1 is mounted. The detection element 1 is provided with a microheater 40 and two thermopiles 41A, 41B, and detects a temperature difference in the flow direction of gas, which correlates with the flow rate of the gas (details will be explained later). The substrate 5 is arranged on a side wall forming the main flow path 3 of the flow tube 2, so that a mounting surface 6 on which the detection element 1 is mounted faces the center of the flow tube 2. In the vicinity of the side wall, the sub-flow path 4 is also partially provided, which branches off from the main flow path 3 of the flow tube 2. The detection element 1 is arranged halfway along the sub-flow path 4. Here, the flowmeter 100 is an example of the "flowmeter" of the present invention. The sensing element 1 is also an example of the "flow sensing" of the present invention. The bypass flow path 4 is also an example of the "current path" and the "bypass flow path" of the present invention.

Hierbei strömt das Gas in 1A und 1B von der linken Seite zur rechten Seite im Hauptstrompfad 3 und im Nebenstrompfad 4 des Strömungsrohrs 2. In der folgenden Erläuterung bezieht sich die linke Richtung auf die stromaufwärts gelegene Richtung. Die richtige Richtung bezieht sich ferner auf die stromabwärts gelegene Richtung. Die Abwärtsrichtung bezieht sich ferner auf die Richtung, in der das Erfassungselement 1 in Bezug auf das Substrat 5 vorsteht. Die Aufwärtsrichtung bezieht sich ferner auf eine der Abwärtsrichtung entgegengesetzten Richtung.The gas flows into 1A and 1B from the left side to the right side in the main flow path 3 and the sub-flow path 4 of the flow tube 2. In the following explanation, the left direction refers to the upstream direction. The right direction further refers to the downstream direction. The downward direction further refers to the direction in which the sensing element 1 protrudes relative to the substrate 5. The upward direction further refers to a direction opposite to the downward direction.

Das Durchflussmessgerät 100 ist ferner mit einer Abdeckung 7 versehen. Der Querschnitt der Abdeckung 7 hat eine nach unten konvexe Form, wie in 1A gezeigt. Eine linke Seite 10, die in den Nebenstrompfad 4 der Abdeckung 7 freiliegt, weist eine nach unten rechts abfallende Neigung auf. Die rechte Seite 11, die in den Nebenstrompfad 4 der Abdeckung 7 freiliegt, weist eine nach unten links abfallende Neigung auf. Innerhalb der Abdeckung 7 wird ferner ein Raum 8 gebildet, der das Erfassungselement 1 aufnehmen kann. Das Erfassungselement 1, das auf der Montagefläche 6 montiert ist, wird durch eine solche Abdeckung 7 abgedeckt und im Raum 8 angeordnet. Die Abdeckung 7 ist ferner mit einem Einlassloch 27 versehen, das es ermöglicht, Gas aus dem Nebenstrompfad 4 in den Raum 8 zu strömen. Das Einlassloch 27 ist derart vorgesehen, dass dieses einen Teil der linken Seite 10 und einen Teil der unteren Fläche 9 durchdringt. Die Abdeckung 7 ist ferner mit einem Auslassloch 28 versehen, das ermöglicht, dass Gas vom Innenraum des Raums 8 in den Nebenstrompfad 4 ausströmt. Das Auslassloch 28 ist derart vorgesehen, dass dieses einen Teil der rechten Seite 11 und einen Teil der unteren Fläche 9 durchdringt. Die Abdeckung 7 ist hier ein Beispiel für das „Abdeckelement“ der vorliegenden Erfindung. Das in der Abdeckung 7 vorgesehene Einlassloch 27 ist ein Beispiel für das „Einlassloch“ und das „Loch, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird“ der vorliegenden Erfindung. Das in der Abdeckung 7 vorgesehene Auslassloch 28 ist ferner ein Beispiel für das „Auslassloch“ der vorliegenden Erfindung.The flowmeter 100 is further provided with a cover 7. The cross section of the cover 7 has a downwardly convex shape, as shown in 1A shown. A left side 10, which is exposed in the bypass flow path 4 of the cover 7, has a downward right slope. The right side 11, which is exposed in the bypass flow path 4 of the cover 7, has a downward left slope. Within the cover 7, a space 8 is further formed, which can accommodate the detection element 1. The detection element 1, which is mounted on the mounting surface 6, is covered by such a cover 7 and arranged in the space 8. The cover 7 is further provided with an inlet hole 27, which allows gas to flow from the bypass flow path 4 into the space 8. The inlet hole 27 is such provided to penetrate a part of the left side 10 and a part of the lower surface 9. The cover 7 is further provided with an outlet hole 28 that allows gas to flow out from the interior of the space 8 into the bypass flow path 4. The outlet hole 28 is provided to penetrate a part of the right side 11 and a part of the lower surface 9. Here, the cover 7 is an example of the "cover member" of the present invention. The inlet hole 27 provided in the cover 7 is an example of the "inlet hole" and the "hole passed through the protrusion" of the present invention. The outlet hole 28 provided in the cover 7 is further an example of the "outlet hole" of the present invention.

Der untere Teil des Nebenstrompfads 4 gegenüber der unteren Fläche 9 der Abdeckung 7 weist ferner eine Vertiefung 12 auf, die nach unten vertieft ist. Der Teil, der sich links von der Vertiefung 12 befindet und der linken Seite 10 der Abdeckung 7 gegenüberliegt, weist ferner eine linke Seite 13 auf. Die linke Seite 13 weist eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie der geneigten Fläche auf, die auf der linken Seite 10 der Abdeckung 7 vorgesehen ist. Ebenfalls weist der Teil, der sich rechts von der Vertiefung 12 befindet und der rechten Seite 11 der Abdeckung 7 gegenüberliegt, eine rechte Seite 14 auf. Die rechte Seite 14 weist eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie der auf der rechten Seite 11 der Abdeckung 7 vorgesehenen geneigten Fläche auf.The lower part of the bypass flow path 4 opposite the lower surface 9 of the cover 7 further has a recess 12 that is recessed downwards. The part located to the left of the recess 12 and opposite the left side 10 of the cover 7 further has a left side 13. The left side 13 has an inclined surface with the same inclination angle as the inclined surface provided on the left side 10 of the cover 7. Likewise, the part located to the right of the recess 12 and opposite the right side 11 of the cover 7 has a right side 14. The right side 14 has an inclined surface with the same inclination angle as the inclined surface provided on the right side 11 of the cover 7.

Demgegenüber ist das Durchflussmessgerät 200 gemäß dem Vergleichsbeispiel in 1B, so wie das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform, mit dem Erfassungselement 1 und dem Substrat 5 versehen. Das Erfassungselement 1 wird unter dem halben Weg des Nebenstrompfads 4 angeordnet. Das Durchflussmessgerät 200 ist jedoch nicht mit der Abdeckung 7 versehen.In contrast, the flow meter 200 according to the comparative example in 1B , like the flowmeter 100 according to the embodiment, is provided with the sensing element 1 and the substrate 5. The sensing element 1 is arranged under the halfway of the bypass flow path 4. However, the flowmeter 200 is not provided with the cover 7.

[Prinzip der Durchflussmessung][Principle of flow measurement]

Das Prinzip der Durchflussmessung unter Verwendung des Erfassungselements 1 wird hier erläutert. 2A bis 2C zeigen schematisch ein Beispiel für das Prinzip der Durchflussmessung mit dem Erfassungselement 1. 2A zeigt eine Draufsicht auf das Erfassungselement 1. 2B ist eine Querschnittsansicht des auf dem Substrat 5 montierten Erfassungselements 1, die die Temperaturverteilung zeigt, die entsteht, wenn der Mikroheizer 40 aktiviert wird, ohne dass Gas strömt. Demgegenüber ist 2C eine Querschnittsansicht des auf dem Substrat 5 montierten Erfassungselements 1, die die Temperaturverteilung zeigt, die erzeugt wird, wenn der Mikroheizer 40 bei strömendem Gas aktiviert wird. Wie in 2A gezeigt, sind die Thermosäulen 41A, 41B in einer Reihe in Richtung der Gasströmung über den Mikroheizer 40 angeordnet. Wie ferner in 2B gezeigt, ist das Erfassungselement 1 mit einem dünnen Film 42 versehen, der auf dem Substrat 5 gebildet ist, und der Mikroheizer 40 und die Thermosäulen 41A, 41B sind derart gebildet, dass diese in dem dünnen Film 42 enthalten sind. Am Substrat 5 unterhalb dem dünnen Film 42 ist eine Kavität 43 vorgesehen. Aufgrund des Vorsehens der Kavität 43 liegen ein warmer Kontakt des Mikroheizers 40 und der Thermosäulen 41A, 41B auf der Kavität 43 und ein kalter Kontakt der Thermosäulen 41A, 41B auf dem Substrat 5. Dann wird die Ausgabe, die der Differenz zwischen der Temperatur am warmen Kontakt und der Temperatur am kalten Kontakt entspricht, von den jeweiligen Thermosäulen 41A, 41B erzeugt.The principle of flow measurement using the sensing element 1 is explained here. 2A to 2C show a schematic example of the principle of flow measurement with the detection element 1. 2A shows a top view of the detection element 1. 2B is a cross-sectional view of the sensing element 1 mounted on the substrate 5, showing the temperature distribution that occurs when the microheater 40 is activated without gas flow. In contrast, 2C a cross-sectional view of the sensing element 1 mounted on the substrate 5, showing the temperature distribution generated when the microheater 40 is activated with gas flowing. As in 2A As shown, the thermopiles 41A, 41B are arranged in a row in the direction of gas flow over the microheater 40. As further shown in 2B As shown, the sensing element 1 is provided with a thin film 42 formed on the substrate 5, and the micro heater 40 and the thermopiles 41A, 41B are formed to be contained in the thin film 42. A cavity 43 is provided on the substrate 5 below the thin film 42. Due to the provision of the cavity 43, a hot contact of the micro heater 40 and the thermopiles 41A, 41B is located on the cavity 43, and a cold contact of the thermopiles 41A, 41B is located on the substrate 5. Then, the output corresponding to the difference between the temperature at the hot contact and the temperature at the cold contact is generated from the respective thermopiles 41A, 41B.

Wie in 2B gezeigt, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40 symmetrisch um den Mikroheizer 40, wenn kein Gas im Raum 8 strömt. Daher wird keine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B erzeugt. Demgegenüber, wie in 2C gezeigt, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40 aufgrund des Einflusses der Gasströmung nicht symmetrisch um den Mikroheizer 40 und weiter zur stromabwärts gelegenen Thermosäule 41B, wenn das Gas in den Raum 8 strömt. Daher wird eine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B erzeugt. Die Differenz in der obigen Ausgabe ändert sich je nach dem Durchfluss des Gases. Mit anderen Worten, der Durchfluss des Gases wird aus der Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B ermittelt.As in 2B As shown, the heat from the micro-heater 40 diffuses symmetrically around the micro-heater 40 when no gas flows in the space 8. Therefore, no difference is generated between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B. In contrast, as shown in 2C As shown, when the gas flows into the space 8, the heat from the micro heater 40 diffuses non-symmetrically around the micro heater 40 and further to the downstream thermopile 41B due to the influence of the gas flow. Therefore, a difference is generated between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B. The difference in the above output changes depending on the gas flow rate. In other words, the gas flow rate is determined from the difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B.

Die Differenz ΔV zwischen der von der Thermosäule 41A ausgegebenen Spannung und der von der Thermosäule 41B ausgegebenen Spannung ist z. B. in der folgenden Formel (1) dargestellt.
[Formel 1] $Δ V = A \cdot {(T_{h} - T_{a})}^{b} \sqrt{V_{f}}$ The difference ΔV between the voltage output from the thermopile 41A and the voltage output from the thermopile 41B is shown, for example, in the following formula (1).
[Formula 1] $Δ V = A \cdot {(T_{h} - T_{a})}^{b} \sqrt{V_{f}}$

Hierbei stellt T_h die Temperatur des Mikroheizers 40 und T_a die Temperatur in der Umgebung des Erfassungselements 1 dar. Außerdem ist v_f die Geschwindigkeit der Gasströmung, und A und b sind Konstanten.Here, T _h represents the temperature of the microheater 40 and T _a represents the temperature in the vicinity of the sensing element 1. In addition, v _f is the velocity of the gas flow, and A and b are constants.

Als nächstes wird der Vorgang erläutert, in dem das im Hauptstrompfad 3 strömende Gas zu einer Stelle gelangt, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Das im Hauptstrompfad 3 strömende Gas strömt in einen linken Teil des Nebenstrompfads 4. Das Gas strömt dann durch das in der Abdeckung 7 vorgesehene Einlassloch 27 in den Raum 8 innerhalb der Abdeckung 7. Hier ist die linke Seite 10 der Abdeckung 7 mit einer nach unten rechts abfallenden Neigung versehen, so dass das Gas glatt zum Einlass des Einlasslochs 27 geführt wird. Das von dem Einlassloch 27 in den Raum 8 innerhalb der Abdeckung 7 strömende Gas strömt dann den Teil durch, in dem das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Das Gas strömt dann aus dem Raum 8 über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4. Da das Auslassloch 28 auf einem Teil der rechten Seite 11 mit einer geneigten Fläche vorgesehen ist, wird das über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4 ausströmende Gas entlang der geneigten Fläche zu einem Auslassloch glatt geführt, das mit dem Hauptstrompfad 3 kommuniziert. Das Gas strömt dann aus dem genannten Auslassloch in den Hauptstrompfad 3 aus.Next, the process in which the gas flowing in the main flow path 3 reaches a location where the detection element 1 is arranged will be explained. The gas flowing in the main flow path 3 flows into a left part of the sub-flow path 4. The gas then flows through the inlet hole 27 provided in the cover 7 into the space 8 inside the cover 7. Here, the left side 10 of the cover 7 is provided with a downward provided with a right-sloping incline so that the gas is smoothly guided to the inlet of the inlet hole 27. The gas flowing from the inlet hole 27 into the space 8 inside the cover 7 then flows through the part where the detection element 1 is arranged. The gas then flows out of the space 8 via the outlet hole 28 into the sub-flow path 4. Since the outlet hole 28 is provided on a part of the right side 11 with an inclined surface, the gas flowing out via the outlet hole 28 into the sub-flow path 4 is smoothly guided along the inclined surface to an outlet hole that communicates with the main flow path 3. The gas then flows out of said outlet hole into the main flow path 3.

3 zeigt ein Beispiel für die Simulationsergebnisse der Anzahl der Stäube, die vom Hauptstrompfad 3 in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41B in der Abdeckung 7 gelangen. Wie in 3 gezeigt, reduziert sich die Anzahl der Stäube, die in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41B in der Abdeckung 7 gelangen, wenn die Abdeckung 7 vorgesehen ist (die Ausführungsform in 1A), auf etwa 1/6 im Vergleich zu der Anzahl der Stäube, die in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41B in der Abdeckung 7 gelangen, wenn die Abdeckung 7 nicht vorgesehen ist (das Vergleichsbeispiel in 1B). 3 shows an example of the simulation results of the number of dusts that enter the vicinity of the thermopiles 41A, 41B in the cover 7 from the main current path 3. As shown in 3 As shown, the number of dusts that reach the vicinity of the thermopiles 41A, 41B in the cover 7 is reduced when the cover 7 is provided (the embodiment in 1A) , to about 1/6 compared to the number of dusts that enter the vicinity of the thermopiles 41A, 41B in the cover 7 when the cover 7 is not provided (the comparison example in 1B) .

4 zeigt ein Beispiel für die Ausgabe der Differenz zwischen den Ausgaben der beiden Thermosäulen 41A, 41B in Bezug auf den tatsächlichen Gasdurchfluss. Wie in 4 gezeigt, steht im Vergleich zwischen dem Fall, in dem die Abdeckung 7 vorhanden ist (die Ausführungsform in 1A) und dem Fall, in dem die Abdeckung 7 nicht vorhanden ist (das Vergleichsbeispiel in 1 B), die Ausgabe der Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B in einer linearen Beziehung zum betreffenden Durchfluss im Bereich mit einem niedrigen Durchfluss. Es ist ferner zu erkennen, dass beim Vorsehen der Abdeckung 7 die Empfindlichkeit des Erfassungselements 1 bei niedrigem Durchfluss im Vergleich zum Fall ohne Abdeckung 7 verbessert wird. 4 shows an example of the output of the difference between the outputs of the two thermopiles 41A, 41B with respect to the actual gas flow. As in 4 shown, is a comparison between the case where the cover 7 is present (the embodiment in 1A) and the case where the cover 7 is not present (the comparison example in 1B) , the output of the difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B is linearly related to the flow rate in question in the low-flow region. It can also be seen that when the cover 7 is provided, the sensitivity of the sensing element 1 at low flow is improved compared to the case without the cover 7.

[Wirkungen und Effekte][Effects and effects]

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 wird, wie in 3 gezeigt, durch das Vorsehen der Abdeckung 7 unterdrückt, dass Staub, Schmutz usw., die durch den Hauptstrompfad 3 oder den Nebenstrompfad 4 fließt, zu der Stelle gelangt, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B, die im Erfassungselement 1 vorgesehen sind, unterdrückt. Folglich wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt. Demgegenüber ist nach dem Durchflussmessgerät 200 im Vergleichsbeispiel die Abdeckung 7 nicht vorgesehen, wie in 1B gezeigt. Daher wird, wie in 3 gezeigt, davon ausgegangen, dass Staub, Schmutz usw. zur Stelle, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist, leichter gelangt als beim Durchflussmessgerät 100 in der Ausführungsform. Folglich wird angenommen, dass die Ausgabe der im dem Durchflussmessgerät 200 vorgesehenen Thermosäule schwankt. D. h., es wird davon ausgegangen, dass sich nach dem Durchflussmessgerät 200 gemäß dem Vergleichsbeispiel die Genauigkeit der Erfassung des Durchflusses verringert.After the flow meter 100 explained above, as shown in 3 As shown, the provision of the cover 7 suppresses dust, dirt, etc., flowing through the main flow path 3 or the sub-flow path 4, from reaching the location where the detection element 1 is arranged. Therefore, the fluctuation of the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B provided in the detection element 1 is suppressed. Consequently, the reduction in the detection accuracy of the flow is suppressed. In contrast, according to the flow meter 200 in the comparative example, the cover 7 is not provided, as shown in 1B Therefore, as shown in 3 As shown, it is assumed that dust, dirt, etc., are more likely to reach the location where the detection element 1 is disposed than in the flowmeter 100 of the embodiment. Therefore, it is assumed that the output of the thermopile provided in the flowmeter 200 fluctuates. That is, it is assumed that the flow detection accuracy decreases after the flowmeter 200 according to the comparative example.

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 weisen ferner die linke Seite 10 der Abdeckung 7 und die linke Seite 13 der Vertiefung 12 des Nebenstrompfads 4 eine geneigte Fläche auf, so dass die Ansammlung von Staub, Schmutz usw. auf der genannten geneigten Fläche unterdrückt wird. Das Gas im Nebenstrompfad 4 wird ferner entlang der linken Seite 10 der Abdeckung 7 mit der geneigten Fläche glatt zum Einlass des Einlasslochs 27 der Abdeckung 7 geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Nebenstrompfad 4 unterdrückt. D. h., die Ansammlung von Staub, Schmutz usw. im Nebenstrompfad 4 wird unterdrückt, und selbst wenn Staub, Schmutz usw. angesammelt werden, wird die Streuung durch turbulente Strömung unterdrückt. Folglich wird unterdrückt, dass Staub, Schmutz usw. zum Erfassungselement 1 erreichen.Furthermore, according to the flow meter 100 explained above, the left side 10 of the cover 7 and the left side 13 of the recess 12 of the bypass flow path 4 have an inclined surface, so that the accumulation of dust, dirt, etc. on the aforementioned inclined surface is suppressed. The gas in the bypass flow path 4 is further guided along the left side 10 of the cover 7 with the inclined surface to the inlet of the inlet hole 27 of the cover 7. Therefore, the generation of turbulent flow in the bypass flow path 4 is suppressed. That is, the accumulation of dust, dirt, etc. in the bypass flow path 4 is suppressed, and even if dust, dirt, etc. are accumulated, scattering due to turbulent flow is suppressed. Consequently, dust, dirt, etc. are suppressed from reaching the detection element 1.

§3 Abgewandelte Beispiele§3 Modified examples

Obwohl die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung oben näher erläutert sind, ist die vorangehende Erläuterung in jeder Hinsicht lediglich ein Beispiel für die Erfindung. Es ist selbstverständlich, dass verschiedene Verbesserungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Bspw. sind die folgenden Änderungen möglich. Im Folgenden wird das gleiche Bezugszeichen für dieselben Bestandteil wie die Ausführungsform verwendet, und die Erläuterung für denselben Punkt wie die Ausführungsform wurde in geeigneter Weise weggelassen. Die folgenden abgewandelten Beispiele können in geeigneter Weise kombiniert werden.Although the embodiments of the present invention are explained in detail above, the foregoing explanation is merely an example of the invention in every respect. It goes without saying that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, the following changes are possible. Hereinafter, the same reference numeral is used for the same components as the embodiment, and the explanation for the same point as the embodiment is omitted as appropriate. The following modified examples can be combined as appropriate.

<3.1><3.1>

5 zeigt ein Beispiel für eine perspektivische Explosionszeichnung eines Messgerätes 100A gemäß einem abgewandelten Beispiel. Das Messgerät 100A im abgewandelten Beispiel ist mit einem Durchflusserfassungselement 1A versehen, das in gleicher Weise angeordnet ist wie das Erfassungselement 1 in der obigen Ausführungsform und zur Erfassung des Durchflusses des Gases ausgebildet ist. Ferner ist das Messgerät 100A mit einem Verhaltenserfassungselement 1B versehen, das zur Erfassung des Verhaltens des Gases ausgebildet ist, obwohl dieses vom gleichen Elementtyp wie das Erfassungselement 1 in der obigen Ausführungsform ist. Das Durchflusserfassungselement 1A ist mit einem Mikroheizer 40A und Thermosäulen 41C, 41D vorgesehen. Das Verhaltenserfassungselement 1B ist mit einem Mikroheizer 40B und Thermosäulen 41E, 41F versehen (später in 6 erläutert). Das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B sind auf einer Montagefläche 6A eines Substrats 5A montiert. Das Messgerät 100A ist mit einer Abdeckung 7A versehen, die jedes Erfassungselement des Durchflusserfassungselements 1A und des Verhaltenserfassungselements 1B abdeckt. Das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B, die von der Abdeckung 7A abgedeckt werden, sind in einem Nebenstrompfad (später erläutert) angeordnet, der auf der oberen Fläche des Strömungsrohrs 2A ausgebildet ist. Hierbei ist das Messgerät 100A ein Beispiel für das „Durchflussmessgerät“ der vorliegenden Erfindung. Das Durchflusserfassungselement 1A ist ferner ein Beispiel für die „Durchflusserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Das Verhaltenserfassungselement 1B ist ferner ein Beispiel für die „Verhaltenserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Die Abdeckung 7A ist ferner ein Beispiel für das „Abdeckelement“ der vorliegenden Erfindung. 5 shows an example of an exploded perspective view of a measuring device 100A according to a modified example. The measuring device 100A in the modified example is provided with a flow detection element 1A, which is arranged in the same manner as the detection element 1 in the above embodiment and is designed to detect the flow of the gas. Furthermore, the measuring device 100A is provided with a behavior detection element 1B designed to detect the behavior of the gas, although this is of the same element type as the detection element 1 in the above embodiment. The flow detection element 1A is provided with a micro heater 40A and thermopiles 41C, 41D. The behavior detection element 1B is provided with a micro heater 40B and thermopiles 41E, 41F (later in 6 explained). The flow detection element 1A and the behavior detection element 1B are mounted on a mounting surface 6A of a substrate 5A. The measuring device 100A is provided with a cover 7A that covers each of the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B. The flow detection element 1A and the behavior detection element 1B covered by the cover 7A are arranged in a bypass flow path (explained later) formed on the upper surface of the flow tube 2A. Here, the measuring device 100A is an example of the "flow meter" of the present invention. The flow detection element 1A is further an example of the "flow detection" of the present invention. The behavior detection element 1B is further an example of the "behavior detection" of the present invention. The cover 7A is further an example of the "cover member" of the present invention.

6 ist eine Ansicht, die die Ausrichtung veranschaulicht, in der das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist. Wie in 6 gezeigt, sind die Thermosäulen 41E, 41F, die im Verhaltenserfassungselement 1B vorgesehen sind, in einer Reihe derart angeordnet, dass diese den Mikroheizer 40A überspannen, wobei die Richtung der Aufreihung eine Richtung orthogonal zur Richtung des Gasstroms ist. Wenn der Mikroheizer 40B des derart angeordneten Verhaltenserfassungselements 1B aktiviert wird, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40B symmetrisch in die Richtung, in der sich die Thermosäule 41E und die Thermosäule 41F um den Mikroheizer 40B ausrichten. Der Grad der Wärmediffusion hängt ferner vom Verhalten des Gases ab. Mit anderen Worten, der Ausgabewert der Thermosäule 41 E oder der Thermosäule 41F kann zur Berechnung des Gases verwendet werden. Hier ist das Verhalten des Gases z. B. die Wärmeleitfähigkeit und die Temperaturleitfähigkeit. Die Berechnung des Verhaltens des Gases kann ferner unter Verwendung der Ausgabe von einer der Thermosäulen 41 E und der Thermosäule 41 F oder unter Verwendung eines Mittelwertes der Ausgabe von der Thermosäule 41 E und der Ausgabe von der Thermosäule 41 F durchgeführt werden. 6 is a view illustrating the orientation in which the behavior detection element 1B is arranged. As shown in 6 As shown, the thermopiles 41E, 41F provided in the behavior detection element 1B are arranged in a row such that they span the micro-heater 40A, with the direction of the array being a direction orthogonal to the direction of the gas flow. When the micro-heater 40B of the thus arranged behavior detection element 1B is activated, heat from the micro-heater 40B diffuses symmetrically in the direction in which the thermopile 41E and the thermopile 41F align around the micro-heater 40B. The degree of heat diffusion further depends on the behavior of the gas. In other words, the output value of the thermopile 41E or the thermopile 41F can be used to calculate the gas. Here, the behavior of the gas is, for example, the thermal conductivity and the thermal diffusivity. The calculation of the behavior of the gas can further be performed using the output from one of the thermopiles 41 E and the thermopile 41 F or using an average of the output from the thermopile 41 E and the output from the thermopile 41 F.

7A und 7B sowie 8A und 8B zeigen eine Übersicht eines Strömungsrohrs 2A, an dem die Abdeckung 7A angebracht wird, und der Abdeckung 7A, die im Messgerät 100A vorgesehen ist. 7A zeigt eine perspektivische Draufsicht auf das Strömungsrohr 2A, an dem die Abdeckung 7A angebracht wird. 7B zeigt eine Draufsicht, bei der die Abdeckung 7A am in 7A gezeigten Strömungsrohr 2A angebracht ist. 8A ist eine perspektivische Ansicht des Querschnitts des Strömungsrohrs 2A und der Abdeckung 7A, die am Strömungsrohr 2A angebracht ist. 8B ist eine Vorderansicht des Querschnitts vor allem im Nahbereich der Abdeckung 7A. Die Abdeckung 7A wird, wie in 7B sowie 8A und 8B gezeigt, an der oberen Fläche des Strömungsrohrs 2A, wie in 7A gezeigt, durch Ultraschallschweißen angebracht. Ferner ist der obere Teil der Abdeckung 7A offen, und die Öffnung wird durch die Montagefläche 6A des Substrats 5A abgedeckt, auf der das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B montiert sind. 7A and 7B as well as 8A and 8B show an overview of a flow tube 2A to which the cover 7A is attached and the cover 7A provided in the measuring device 100A. 7A shows a perspective top view of the flow tube 2A to which the cover 7A is attached. 7B shows a plan view in which the cover 7A is 7A shown flow tube 2A. 8A is a perspective view of the cross section of the flow tube 2A and the cover 7A attached to the flow tube 2A. 8B is a front view of the cross section, especially in the vicinity of the cover 7A. The cover 7A is, as in 7B as well as 8A and 8B shown, on the upper surface of the flow tube 2A, as in 7A shown, attached by ultrasonic welding. Furthermore, the upper part of the cover 7A is open, and the opening is covered by the mounting surface 6A of the substrate 5A, on which the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B are mounted.

Wie in 7A gezeigt, ist das Strömungsrohr 2A mit Nebenstrompfaden 4A, 4B versehen, die vom Hauptstrompfad des Strömungsrohrs 2A abzweigen. Der Nebenstrompfad 4A ist mit einem Einlassloch 16 versehen, das das Einströmen von Gas aus dem Hauptstrompfad ermöglicht. Der Nebenstrompfad 4A ist mit einer Vertiefung 12A versehen, in der das von der Abdeckung 7A abgedeckte Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Weiterhin ist am Boden der Vertiefung 12A eine Nut 29 vorgesehen. Der Nebenstrompfad 4A ist ferner mit einem Auslassloch 18 versehen, durch das das Gas in den Hauptstrompfad ausströmen kann. Der Nebenstrompfad 4A ist hierbei ein Beispiel für den „Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung. Der Nebenstrompfad 4B ist ferner ein Beispiel für den „zweiten Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung.As in 7A As shown, the flow tube 2A is provided with bypass flow paths 4A, 4B branching off from the main flow path of the flow tube 2A. The bypass flow path 4A is provided with an inlet hole 16 for allowing gas to flow in from the main flow path. The bypass flow path 4A is provided with a recess 12A in which the flow detection element 1A covered by the cover 7A is arranged. Furthermore, a groove 29 is provided at the bottom of the recess 12A. The bypass flow path 4A is further provided with an outlet hole 18 for allowing gas to flow out into the main flow path. Here, the bypass flow path 4A is an example of the "flow path" and the "bypass flow path" of the present invention. The bypass flow path 4B is further an example of the "second flow path" and the "bypass flow path" of the present invention.

Demgegenüber ist im Nebenstrompfad 4B ein Einlassloch 17 vorgesehen, durch das das Gas vom Hauptstrompfad 3A einströmen kann. Im mittleren Teil des Nebenstrompfads 4B ist eine Vertiefung 20 vorgesehen, in der das Verhaltenserfassungselement 1B, das von der Abdeckung 7A abgedeckt wird, angeordnet ist. Der Nebenstrompfad 4B ist ferner mit einem Auslassloch 19 versehen, durch das das Gas in den Hauptstrompfad 3A ausströmen kann.In contrast, an inlet hole 17 is provided in the secondary flow path 4B, through which the gas can flow from the main flow path 3A. In the central part of the secondary flow path 4B, a recess 20 is provided in which the behavior detection element 1B, which is covered by the cover 7A, is arranged. The secondary flow path 4B is further provided with an outlet hole 19 through which the gas can flow out into the main flow path 3A.

Wie in 7B und 8A gezeigt, ist die Abdeckung 7A mit einer Vertiefung 21 versehen, in der das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Die äußere Form der Abdeckung 7A, die der Vertiefung 21 entspricht, erhebt sich nach unten, und die stromaufwärts gelegene Außenfläche und die stromabwärts gelegene Außenfläche der Erhebung weisen eine geneigte Fläche auf (Einzelheiten werden später erläutert). Die Vertiefung 21, in der das Durchflusserfassungselement 1A aufgenommen ist, ist innerhalb der in 7A gezeigten Vertiefung 12A. D. h., das Durchflusserfassungselement 1A liegt nicht im Nebenstrompfad 4A frei. Die Abdeckung 7A ist ferner mit einem Loch 24 versehen, in dem das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist. Das Verhaltenserfassungselement 1B im Zustand, in dem dieses in dem Loch 24 angeordnet ist, ist innerhalb der in 7A gezeigten Vertiefung 20 angeordnet. D. h., die untere Fläche des Verhaltenserfassungselements 1B liegt im Nebenstrompfad 4B frei.As in 7B and 8A As shown, the cover 7A is provided with a recess 21 in which the flow detection element 1A is arranged. The outer shape of the cover 7A, corresponding to the recess 21, rises downward, and the upstream outer surface and the downstream outer surface of the protrusion have an inclined surface (details will be explained later). The recess 21 in which the flow detection element 1A is accommodated, is within the 7A shown recess 12A. That is, the flow detection element 1A is not exposed in the bypass flow path 4A. The cover 7A is further provided with a hole 24 in which the behavior detection element 1B is arranged. The behavior detection element 1B in the state in which it is arranged in the hole 24 is within the 7A shown recess 20. That is, the lower surface of the behavior detection element 1B is exposed in the secondary current path 4B.

Wie in 7B gezeigt, ist die Vertiefung 21 der Abdeckung 7A mit zwei Einlasslöchern 22 versehen, durch die Gas vom Nebenstrompfad 4A einströmen kann. Die Vertiefung 21 ist ferner mit zwei Auslasslöchern 23 versehen, durch die Gas aus der Vertiefung 21 in den Nebenstrompfad 4A strömen kann. Das Einlassloch 22 und das Auslassloch 23 sind derart vorgesehen, dass sich das Einlassloch 22 stromaufwärts im Nebenstrompfad 4A und das Auslassloch 23 stromabwärts im Nebenstrompfad 4A befindet. Die beiden Einlasslöcher 22 und die beiden Auslasslöcher 23 sind in Bezug auf die Mittelachse entlang der Gasströmungsrichtung in der Vertiefung 21 symmetrisch vorgesehen. Zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 ist eine gleichrichtende Wand 25 vorgesehen, die in Richtung vom Einlassloch 22 zum Auslassloch 23 vorsteht. Auf die gleiche Weise ist zwischen den jeweiligen Einlässen der beiden Auslasslöchern 23 eine gleichrichtende Wand 26 vorgesehen, die in Richtung vom Auslassloch 23 zum Einlassloch 22 vorsteht. Die Oberfläche der gleichrichtenden Wand 25 weist einen flachen Abschnitt entlang der Richtung vom Einlassloch 22 zu dem Abschnitt auf, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Auf die gleiche Weise weist die Oberfläche der gleichrichtenden Wand 26 einen flachen Abschnitt entlang der Richtung vom Auslassloch 23 zu dem Abschnitt auf, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Daher fließt das Gas, das von jedem der beiden Einlasslöchern 22 einströmt, entlang der Ebene der gleichrichtenden Wände 25, 26. D. h., das Gas wird vom Auslass des Einlasslochs 22 bis zu dem Abschnitt gleichgerichtet, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Hierbei ist das Einlassloch 22 ein Beispiel für das „Einlassloch“ und das „Loch, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird“ der vorliegenden Erfindung. Das Auslassloch 23 ist ferner ein Beispiel für das „Auslassloch“ der vorliegenden Erfindung. Die gleichrichtende Wand 25 ist ferner ein Beispiel für das „Gleichrichterelement“ der vorliegenden Erfindung.As in 7B As shown, the recess 21 of the cover 7A is provided with two inlet holes 22 through which gas can flow in from the bypass flow path 4A. The recess 21 is further provided with two outlet holes 23 through which gas can flow from the recess 21 into the bypass flow path 4A. The inlet hole 22 and the outlet hole 23 are provided such that the inlet hole 22 is located upstream in the bypass flow path 4A and the outlet hole 23 is located downstream in the bypass flow path 4A. The two inlet holes 22 and the two outlet holes 23 are provided symmetrically with respect to the central axis along the gas flow direction in the recess 21. Between the respective outlets of the two inlet holes 22, a rectifying wall 25 is provided, which projects in the direction from the inlet hole 22 to the outlet hole 23. In the same way, between the respective inlets of the two outlet holes 23, a rectifying wall 26 is provided, which projects in the direction from the outlet hole 23 to the inlet hole 22. The surface of the rectifying wall 26 has a flat portion along the direction from the inlet hole 22 to the portion where the detection element 1A is arranged. In the same way, the surface of the rectifying wall 26 has a flat portion along the direction from the outlet hole 23 to the portion where the detection element 1A is arranged. Therefore, the gas flowing in from each of the two inlet holes 22 flows along the plane of the rectifying walls 25, 26. That is, the gas is rectified from the outlet of the inlet hole 22 to the portion where the detection element 1A is arranged. Here, the inlet hole 22 is an example of the "inlet hole" and the "hole through which the protrusion passes" of the present invention. The outlet hole 23 is also an example of the "outlet hole" of the present invention. The rectifying wall 25 is also an example of the "rectifying element" of the present invention.

Wie in 8B gezeigt, weist die linke Seite 10A der Vertiefung 21 der Abdeckung 7A eine nach unten rechts abfallende Neigung auf, so wie in der obigen Ausführungsform. Ebenfalls weist die rechte Seite 11A der Vertiefung 21 der Abdeckung 7A eine nach unten links abfallende Neigung auf.As in 8B As shown, the left side 10A of the recess 21 of the cover 7A has a downward right slope, as in the above embodiment. Likewise, the right side 11A of the recess 21 of the cover 7A has a downward left slope.

Wie ferner in 8B gezeigt, weist die linke Seite 13A der Nut 29, die im Nebenstrompfad 4A vorgesehen ist, eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie dem Neigungswinkel der geneigten Fläche auf, die in der gegenüberliegenden linken Seite 10A der Abdeckung 7A vorgesehen ist. Die rechte Seite 14A der Nut 29 weist ferner eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie dem Neigungswinkel der geneigten Fläche auf, die in der gegenüberliegenden rechten Seite 11A der Abdeckung 7A vorgesehen ist.As further stated in 8B As shown, the left side 13A of the groove 29 provided in the bypass flow path 4A has an inclined surface having the same inclination angle as the inclination angle of the inclined surface provided in the opposite left side 10A of the cover 7A. The right side 14A of the groove 29 further has an inclined surface having the same inclination angle as the inclination angle of the inclined surface provided in the opposite right side 11A of the cover 7A.

Als nächstes wird der Vorgang erläutert, in dem das im Hauptstrompfad 3A strömende Gas zur Stelle gelangt, an der das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B, die im Messgerät 100A vorgesehen sind, angeordnet sind. Ein Teil des im Hauptstrompfad 3A strömenden Gases strömt über das Einlassloch 16 in die Vertiefung 12A des Nebenstrompfads 4A. Das Gas strömt danach durch den Raum zwischen der unteren Fläche 9A der Abdeckung 7A und der Nut 29 des Nebenstrompfades 4A und gelangt zum Einlass des Einlasslochs 22, das in der Abdeckung 7A vorgesehen ist. Hierbei sind die linke Seite 10A der Abdeckung 7A und die linke Seite 13A der Nut 29 mit einer nach unten rechts abfallenden Neigung versehen, wie in 8B gezeigt, so dass das Gas entlang der Neigung zum Einlass des Einlasslochs 22 glatt geführt wird.Next, the process in which the gas flowing in the main flow path 3A reaches the location where the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B provided in the measuring device 100A are arranged will be explained. Part of the gas flowing in the main flow path 3A flows into the recess 12A of the sub-flow path 4A via the inlet hole 16. The gas then flows through the space between the lower surface 9A of the cover 7A and the groove 29 of the sub-flow path 4A and reaches the inlet of the inlet hole 22 provided in the cover 7A. Here, the left side 10A of the cover 7A and the left side 13A of the groove 29 are provided with a downward right slope, as shown in 8B shown so that the gas is smoothly guided along the slope to the inlet of the inlet hole 22.

Das Gas, das zu den Einlässen der beiden Einlasslöcher 22 gelangt, strömt von den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 in die Vertiefung 21 der Abdeckung 7A. Das Gas strömt dann den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41D durch, die innerhalb der Vertiefung 21 angeordnet sind. Hierbei sind die Thermosäulen 41C, 41D in Strömungsrichtung des Gases in der Reihe angeordnet. Das Gas, das den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41D durchströmt, wird ferner durch die gleichrichtende Wand 25 derart gleichgerichtet, dass es vom Auslass des Einlasslochs 22 zu dem Abschnitt geführt wird, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Daher tritt eine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41 C und der Ausgabe der Thermosäule 41D, die im Durchflusserfassungselement 1A vorgesehen sind, auf, und der Durchfluss des Gases, der mit der genannten Differenz korreliert, kann erfasst werden. Danach strömt das den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41 D durchströmende Gas über das Auslassloch 23 in den Nebenstrompfad 4A aus. Hierbei wird das Gas, das über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4 ausströmt, entlang einer auf der rechten Seite 11A der Abdeckung 7A vorgesehenen geneigten Fläche zu dem Auslassloch 18 glatt geführt, das mit dem Hauptstrompfad 3A kommuniziert. Das Gas strömt dann aus dem Auslassloch 18 in den Hauptstrompfad 3A aus.The gas reaching the inlets of the two inlet holes 22 flows from the respective outlets of the two inlet holes 22 into the recess 21 of the cover 7A. The gas then flows through the vicinity of the thermopiles 41C, 41D arranged within the recess 21. Here, the thermopiles 41C, 41D are arranged in series in the flow direction of the gas. The gas flowing through the vicinity of the thermopiles 41C, 41D is further rectified by the rectifying wall 25 so that it is guided from the outlet of the inlet hole 22 to the portion where the detection element 1A is arranged. Therefore, a difference occurs between the output of the thermopile 41C and the output of the thermopile 41D provided in the flow detection element 1A, and the flow rate of the gas that correlates with the aforementioned difference can be detected. Thereafter, the gas flowing through the vicinity of the thermopiles 41C, 41D flows out into the secondary flow path 4A via the outlet hole 23. Here, the gas flowing out into the secondary flow path 4 via the outlet hole 28 is smoothly guided along an inclined surface provided on the right side 11A of the cover 7A to the outlet hole 18, which is connected to the main flow path 3A. communicates. The gas then flows out of the outlet hole 18 into the main flow path 3A.

Demgegenüber strömt ein Teil des Gases, das durch den Hauptstrompfad 3A strömt, über das Einlassloch 17 auch in die Vertiefung 20 des Nebenstrompfads 4B. Das in die Vertiefung 20 einströmende Gas strömt den Nahbereich der Thermosäulen 41E, 41F durch, die im freigelegten Zustand in der Vertiefung 20 angeordnet sind. Daher können die Ausgabewerte der Thermosäulen 41E oder 41F verwendet werden, um das Verhalten des Gases zu ermitteln. Das Gas, das den Nahbereich der Thermosäulen 41E, 41F durchströmt, strömt dann über das Auslassloch 18 in den Hauptstrompfad 3A aus.In contrast, a portion of the gas flowing through the main flow path 3A also flows into the recess 20 of the secondary flow path 4B via the inlet hole 17. The gas flowing into the recess 20 flows through the vicinity of the thermopiles 41E, 41F, which are arranged in the recess 20 in the exposed state. Therefore, the output values of the thermopiles 41E or 41F can be used to determine the gas behavior. The gas flowing through the vicinity of the thermopiles 41E, 41F then flows out into the main flow path 3A via the outlet hole 18.

[Wirkungen und Effekte][Effects and effects]

Das oben erläuterte Messgerät 100A erzielt die gleiche Wirkung wie das Durchflussmessgerät 100 in der Ausführungsform. Da das Messgerät 100A mit gleichrichtenden Wänden 25, 26 versehen ist, wird außerdem das Gas, das aus den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 in das Innere der Abdeckung 7A strömt, derart gleichgerichtet, dass dieses entlang der Ebene der gleichrichtenden Wand 25 entlang der Richtung von den Einlasslöchern 22 zu dem Abschnitt, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist, ausgerichtet ist. Daher wird selbst bei niedrigem Durchfluss des in der Abdeckung 7A strömenden Gases die Empfindlichkeit der Thermosäulen 41C, 41 D des Durchflusserfassungselements 1A verbessert.The above-mentioned measuring device 100A achieves the same effect as the flow measuring device 100 in the embodiment. Furthermore, since the measuring device 100A is provided with rectifying walls 25, 26, the gas flowing from the respective outlets of the two inlet holes 22 into the interior of the cover 7A is rectified so that it is oriented along the plane of the rectifying wall 25 along the direction from the inlet holes 22 to the portion where the detection element 1A is arranged. Therefore, even at a low flow rate of the gas flowing in the cover 7A, the sensitivity of the thermopiles 41C, 41D of the flow detection element 1A is improved.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A ist ferner zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 die gleichrichtende Wand 25 vorgesehen. Daher wird eine plötzliche Änderung der Querschnittsfläche eines vertieften Teils der Vertiefung 21 in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Gases (die Richtung vom Auslass des Einlasslochs 22 bis zur Stelle, an der das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist) unterdrückt. Daher wird die Erzeugung von turbulenter Strömung in dem Nahbereich der jeweiligen Auslässe der beiden Einlasslöcher 22 unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Staub, Schmutz usw. im Nebenstrompfad 4A unterdrückt, so dass unterdrückt wird, dass Staub, Schmutz usw. mit dem Gas vermischt sind und zu dem Abschnitt gelangen, an dem das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Auch hierdurch wird die Schwankung der Ausgabe der Thermosäule 41 C und der Ausgabe der Thermosäule 41D unterdrückt, die in dem Durchflusserfassungselement 1A vorgesehen sind. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.According to the above-mentioned measuring device 100A, the rectifying wall 25 is further provided between the respective outlets of the two inlet holes 22. Therefore, a sudden change in the cross-sectional area of a recessed part of the recess 21 in a direction orthogonal to the flow direction of the gas (the direction from the outlet of the inlet hole 22 to the position where the flow detection element 1A is arranged) is suppressed. Therefore, the generation of turbulent flow in the vicinity of the respective outlets of the two inlet holes 22 is suppressed. Consequently, the scattering of dust, dirt, etc. in the bypass flow path 4A is suppressed, so that dust, dirt, etc. are mixed with the gas and reach the portion where the flow detection element 1A is arranged. This also suppresses the fluctuation of the output of the thermopile 41C and the output of the thermopile 41D provided in the flow detection element 1A. Therefore, the reduction in flow detection accuracy is suppressed.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A können ferner neben dem Durchfluss des Gases auch das Verhalten des Gases erfasst werden. Selbst wenn die Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung des Gases nicht lediglich vom Durchfluss des Gases, sondern auch vom Verhalten des Gases abhängt, kann daher eine hochgenaue Durchflussmessung vorgenommen werden, indem das vom Verhaltenserfassungselement 1B erfasste Verhalten des Gases verwendet und der vom Durchflusserfassungselement 1A erfasste Durchfluss des Gases korrigiert wird. Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A sind ferner das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B auf dem Substrat 5A montiert, und die Abdeckung 7A ist auf dem Substrat 5A vorgesehen. Daher wird es leicht unterdrückt, dass sich Verunreinigungen von der Seite, auf der das Substrat 5A angeordnet ist, in das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B vermischen.Furthermore, according to the above-mentioned measuring device 100A, in addition to the gas flow rate, the behavior of the gas can also be detected. Therefore, even if the temperature difference in the gas flow direction depends not only on the gas flow rate but also on the gas behavior, highly accurate flow measurement can be performed by using the gas behavior detected by the behavior detection element 1B and correcting the gas flow rate detected by the flow detection element 1A. Furthermore, according to the above-mentioned measuring device 100A, the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B are mounted on the substrate 5A, and the cover 7A is provided on the substrate 5A. Therefore, it is easy to suppress impurities from the side where the substrate 5A is arranged from mixing into the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A kann ferner der Durchfluss des in die Nebenstrompfade 4A, 4B abzweigenden Gases durch Breiteneinstellung der jeweiligen Nebenstrompfade einzeln gesteuert werden. Daher können der Durchfluss des Gases, das durch den Nebenstrompfad 4A strömt, entsprechend dem Erfassungsbereich des Durchflusserfassungselements 1A und der Durchfluss des Gases, das durch den Nebenstrompfad 4B strömt, entsprechend dem Erfassungsbereich des Verhaltenserfassungselements 1B gesteuert werden. Daher kann das Messgerät 100A den Durchfluss und das Verhalten des Gases bei einem optimalen Durchfluss entsprechend dem eigenen Erfassungsbereich der jeweiligen Erfassungselemente erfassen. Folglich können das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B den Durchfluss und das Verhalten des Gases mit hoher Genauigkeit messen. Weiterhin überschneiden sich das Verhaltenserfassungselement 1B und die Abdeckung 7A nach dem oben erläuterten Messgerät 100A in Höhenrichtung nicht, so dass der Abschnitt, an dem das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist, verdünnt werden kann.Furthermore, according to the measuring device 100A explained above, the flow rate of the gas branching into the bypass flow paths 4A, 4B can be individually controlled by adjusting the width of each bypass flow path. Therefore, the flow rate of the gas flowing through the bypass flow path 4A can be controlled according to the detection range of the flow detection element 1A, and the flow rate of the gas flowing through the bypass flow path 4B can be controlled according to the detection range of the behavior detection element 1B. Therefore, the measuring device 100A can detect the flow rate and behavior of the gas at an optimal flow rate according to the detection ranges of the respective detection elements. Consequently, the flow detection element 1A and the behavior detection element 1B can measure the flow rate and behavior of the gas with high accuracy. Furthermore, according to the above-mentioned measuring device 100A, the behavior detecting element 1B and the cover 7A do not overlap in the height direction, so that the portion where the behavior detecting element 1B is arranged can be thinned.

Die Form der Abdeckung 7A, die das Durchflusserfassungselement 1A gemäß dem abgewandelten Beispiel abdeckt, kann auf die Form der Abdeckung 7 gemäß der Ausführungsform (die Form der Abdeckung des lediglich mit dem Durchflusserfassungselement versehenen Messgeräts) auch angewandt werden. Obwohl das Messgerät 100A mit den gleichrichtenden Wänden 25, 26 als Beispiel für ein Gleichrichterelement versehen ist, ist das Gleichrichterelement nicht auf die Form der gleichrichtenden Wände 25, 26 beschränkt, und kann jede Form annehmen, solange Gas vom Auslass des Einlasslochs 22 zum Durchflusserfassungselement 1A hin gleichgerichtet werden kann. Die Form des Einlasslochs 22 und des Auslasslochs 23 ist ferner nicht auf die Angabe der obigen Ausführungsform und abgewandelten Beispiele beschränkt. Bspw. ist die Lage des Einlasslochs 22 nicht auf die Angabe der obigen abgewandelten Beispiele beschränkt und kann an einer Stelle stromaufwärts von der Stelle vorgesehen werden, an der das Durchflusserfassungselement 1A im Nebenstrompfad 4A angeordnet ist, und z. B. kann es unter dem halben Weg einer geneigten Fläche vorgesehen werden, die die linke Seite 10 der Abdeckung 7A aufweist. Die Lage des Auslasslochs 23 ist ferner nicht auf die Angabe der obigen abgewandelten Beispiele beschränkt und kann an einer Stelle stromabwärts der Stelle vorgesehen werden, an der das Durchflusserfassungselement 1A im Nebenstrompfad 4A angeordnet ist. Die Anzahl der Einlasslöcher 22 und die Anzahl der Auslasslöcher können beliebig sein. Die relative Lagebeziehung der beiden Einlasslöcher 22 kann geändert werden. Ebenfalls kann die relative Lagebeziehung der beiden Ausflusslöcher 23 geändert werden. Die geneigte Fläche, die die linke Seite 10 auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Abdeckung 7 aufweist, kann ferner in Richtung des Einlasslochs 22 geneigt vorgesehen werden, um der Position des Einlasslochs 22 zu entsprechen. Das oben erläuterte Durchflussmessgerät 100 kann ferner im Hauptstrompfad 3 vorgesehen werden.The shape of the cover 7A covering the flow detection element 1A according to the modified example can also be applied to the shape of the cover 7 according to the embodiment (the shape of the cover of the measuring device provided with only the flow detection element). Although the measuring device 100A is provided with the rectifying walls 25, 26 as an example of a rectifying element, the rectifying element is not limited to the shape of the rectifying walls 25, 26 and can take any shape as long as gas flows from the outlet of the inlet hole 22 toward the flow detection element 1A. can be rectified. Further, the shape of the inlet hole 22 and the outlet hole 23 is not limited to that specified in the above embodiment and modified examples. For example, the position of the inlet hole 22 is not limited to that specified in the above modified examples and may be provided at a position upstream of the position where the flow detection element 1A is arranged in the sub-flow path 4A, and, for example, it may be provided under the halfway of an inclined surface provided on the left side 10 of the cover 7A. Further, the position of the outlet hole 23 is not limited to that specified in the above modified examples and may be provided at a position downstream of the position where the flow detection element 1A is arranged in the sub-flow path 4A. The number of inlet holes 22 and the number of outlet holes can be arbitrary. The relative positional relationship of the two inlet holes 22 can be changed. The relative positional relationship of the two outflow holes 23 can also be changed. The inclined surface provided by the left side 10 on the upstream side of the cover 7 can also be inclined toward the inlet hole 22 to correspond to the position of the inlet hole 22. The above-described flowmeter 100 can also be provided in the main flow path 3.

Die oben offenbarten Ausführungsformen und abgewandelten Beispiele können jeweils kombiniert werden.The above-disclosed embodiments and modified examples may each be combined.

Damit die Merkmale der vorliegenden Erfindung mit den Ausbildungen der Ausführungsbeispiele verglichen werden können, sind die Merkmale der vorliegenden Erfindung mit den Bezugszeichen in den Zeichnungen angegeben.In order to enable the features of the present invention to be compared with the embodiments, the features of the present invention are indicated by reference numerals in the drawings.

Durchflussmessgerät (100, 100A), versehen mit:

einer Durchflusserfassung (1, 1A), die in einem Strompfad (4, 4A) angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad (4, 4A) strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, und
einem Abdeckelement (7, 7A), das zum Abdecken der Durchflusserfassung (1, 1A) in dem Strompfad (4, 4A) ausgebildet ist,
wobei das Abdeckelement (7, 7A) aufweist:
- ein Einlassloch (27, 22), das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A) in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, und
- ein Auslassloch (28, 23), das stromabwärts der Durchflusserfassung (1, 1A) vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, in den Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A) ausströmt,
- wobei eine Außenfläche (10, 10A) des Abdeckelements (7, 7A) stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs (27, 22) geneigt ist.

Flow meter (100, 100A), equipped with:

a flow detector (1, 1A) arranged in a current path (4, 4A) for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid, which changes depending on the flow rate of the fluid flowing through the current path (4, 4A), and for detecting the flow using the output value, and
a cover element (7, 7A) designed to cover the flow detection (1, 1A) in the current path (4, 4A),
wherein the cover element (7, 7A) comprises:
- an inlet hole (27, 22) provided upstream of a portion where the flow detector (1, 1A) is arranged, and allowing a fluid to flow from the flow path (4, 4A) outside the cover member (7, 7A) into a portion located inside the cover member (7, 7A) and where the flow detector (1, 1A) is arranged, and
- an outlet hole (28, 23) provided downstream of the flow detector (1, 1A) and allowing a fluid to flow out from the portion located inside the cover element (7, 7A) and at which the flow detector (1, 1A) is arranged into the flow path (4, 4A) outside the cover element (7, 7A),
- wherein an outer surface (10, 10A) of the cover member (7, 7A) upstream of the portion at which the flow detector (1, 1A) is arranged has an inclined surface which is inclined towards the inlet of the inlet hole (27, 22).

Durchflussmessgerät (100A) nach dem Nachtrag 1, weiter versehen mit einem Gleichrichterelement (25), das zum Gleichrichten der Strömungsrichtung des vom Einlassloch (22) einströmenden Strömungsmittels in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1A) angeordnet ist, ausgebildet ist,
wobei das Gleichrichterelement (25) am Auslass des Einlasslochs (22) vorgesehen ist und eine Ebene entlang einer Richtung vom Auslass des Einlasslochs (22) zu dem Abschnitt aufweist, an dem die Durchflusserfassung (1A) angeordnet ist.A flow meter (100A) according to Addendum 1, further comprising a rectifying element (25) designed to rectify the flow direction of the fluid flowing in from the inlet hole (22) toward the portion where the flow detector (1A) is arranged,
wherein the rectifying element (25) is provided at the outlet of the inlet hole (22) and has a plane along a direction from the outlet of the inlet hole (22) to the portion where the flow detector (1A) is arranged.

Durchflussmessgerät (100A) nach dem Nachtrag 2, wobei das Einlassloch (22) in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels zweifach vorgesehen ist und das Gleichrichterelement (25) zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher (22) vorgesehen ist.A flow meter (100A) according to Addendum 2, wherein the inlet hole (22) is provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid and the rectifying element (25) is provided between the respective outlets of the two inlet holes (22).

Durchflussmessgerät (100, 100A) nach einem der Nachträge 1 bis 3, wobei der Strompfad (4, 4A) eine Vertiefung (12, 12A) an einer Seitenwand aufweist, und eine stromaufwärts gelegene Seite der Vertiefung (12, 12A) eine geneigte Fläche (13, 13A) aufweist, die zum Boden der Vertiefung hin geneigt ist,
wobei das Abdeckelement (7, 7A) eine Erhebung aufweist, die in einem Abschnitt des Strompfads (4, 4A) gegenüber dem Boden der Vertiefung (12, 12A) des Strompfads (4, 4A) angeordnet ist und von dem angeordneten Abschnitt in Richtung des Bodens vorsteht, und
das Einlassloch (27, 22) ein Loch umfasst, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird.A flowmeter (100, 100A) according to any one of claims 1 to 3, wherein the flow path (4, 4A) has a recess (12, 12A) on a side wall, and an upstream side of the recess (12, 12A) has an inclined surface (13, 13A) inclined towards the bottom of the recess,
wherein the cover element (7, 7A) has a raised which is arranged in a section of the current path (4, 4A) opposite the bottom of the recess (12, 12A) of the current path (4, 4A) and projects from the arranged section towards the bottom, and
the inlet hole (27, 22) comprises a hole which is passed through the elevation.

Durchflussmessgerät nach einem der Nachträge 1 bis 4, wobei der Strompfad (4, 4A) ein Nebenstrompfad ist, der vom Hauptstrompfad (3, 3A) abzweigt, durch den das Strömungsmittel fließt, wobei das Durchflussmessgerät in dem Nebenstrompfad (4, 4A) angeordnet ist.Flowmeter according to one of the appendices 1 to 4, wherein the flow path (4, 4A) is a secondary flow path branching off from the main flow path (3, 3A) through which the fluid flows, the flowmeter being arranged in the secondary flow path (4, 4A).

Durchflussmessgerät (100A) nach einem der Nachträge 1 bis 5, weiter versehen mit einer Verhaltenserfassung (1B), die in einem zweiten, von dem Strompfad (4A) unterschiedlichen Strompfad (4B) angeordnet ist und zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf die Temperatur des zweiten Strompfads (4B), die sich abhängig vom Verhalten des durch den zweiten Strompfad (4B) strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Verhaltens unter der Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist,
wobei das Abdeckelement (7A) ein zweites Loch (24) weiter aufweist, das die Verhaltenserfassung (1B) umschließt und die Verhaltenserfassung (1B) in dem zweiten Strompfad (4B) freilegt.A flowmeter (100A) according to any one of the appendices 1 to 5, further comprising a behavior detector (1B) arranged in a second current path (4B) different from the current path (4A) and configured to output a value relating to the temperature of the second current path (4B) which changes depending on the behavior of the fluid flowing through the second current path (4B), and to detect the behavior using the output value,
wherein the cover member (7A) further comprises a second hole (24) enclosing the behavior detector (1B) and exposing the behavior detector (1B) in the second current path (4B).

Claims

A flowmeter (100, 100A) comprising: a flow detector (1, 1A) arranged in a flow path (4, 4A) for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid, which temperature difference changes depending on the flow rate of the fluid flowing through the flow path (4, 4A), and for detecting the flow using the output value; and a cover element (7, 7A) arranged to cover the flow detector (1, 1A) in the flow path (4, 4A), wherein the flow path (4, 4A) is a secondary flow path branching off from a main flow path (3, 3A) through which the fluid flows, wherein the flowmeter is arranged in the secondary flow path (4, 4A), wherein the cover element (7, 7A) comprises: an inlet hole (27, 22) arranged upstream of a portion on which the flow detection device (1, 1A) is arranged, and it allows the fluid to flow from the flow path (4, 4A) outside the cover element (7, 7A), wherein the flow path (4, 4A) leads past the cover element (7, 7A), into a section located inside the cover element (7, 7A) and on which the flow detection device (1, 1A) is arranged, and an outlet hole (28, 33) provided downstream of the flow detection device (1, 1A), and it allows the fluid to flow from the section located inside the cover element (7, 7A) and on which the flow detection device (1, 1A) is arranged into the flow path (4, 4A) outside the cover element (7, 7A), wherein the flow path (4, 4A) leads past the cover element (7, 7A), flows out, wherein an outer surface (10, 10A) of the cover element (7, 7A) upstream of the portion at which the flow detection (1, 1A) is arranged has an inclined surface that is inclined toward the inlet of the inlet hole (27, 22).

Flowmeter (100A) according to Claim 1 , further provided with a rectifying element (25) configured to rectify the flow direction of the fluid flowing in from the inlet hole (22) toward the portion at which the flow detector (1A) is arranged, wherein the rectifying element (25) is provided at the outlet of the inlet hole (22) and has a plane along a direction from the outlet of the inlet hole (22) to the portion at which the flow detector (1A) is arranged.

Flowmeter (100A) according to Claim 2 , wherein the inlet hole (22) is provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid and the rectifying element (25) is provided between the respective outlets of the two inlet holes (22).

Flowmeter (100, 100A) according to one of the Claims 1 until 3 , wherein the current path (4, 4A) has a recess (12, 12A) on a side wall, and an upstream side of the recess (12, 12A) has an inclined surface (13, 13A) inclined towards the bottom of the recess, wherein the cover member (7, 7A) has a protrusion arranged in a portion of the current path (4, 4A) opposite the bottom of the recess (12, 12A) of the current path (4, 4A) and protrudes from the arranged portion towards the bottom, and the inlet hole (27, 22) comprises a hole passed through the protrusion.

Flowmeter (100A) according to one of the Claims 1 until 4 , further provided with a behavior detection device (1B) which is arranged in a second current path (4B) different from the current path (4A) is arranged and is designed to output a value relating to the temperature of the second current path (4B), which changes depending on the behavior of the fluid flowing through the second current path (4B), and to detect the behavior using the output value, wherein the cover element (7A) further comprises a second hole (24) which encloses the behavior detection (1B) and exposes the behavior detection (1B) in the second current path (4B).