DE102020123698A1

DE102020123698A1 - FLOW METER

Info

Publication number: DE102020123698A1
Application number: DE102020123698.0A
Authority: DE
Inventors: Hideyuki Nakao; Makoto Kamei; Katsuyuki Yamamoto
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2019-10-08
Filing date: 2020-09-11
Publication date: 2021-04-08
Anticipated expiration: 2040-09-12
Also published as: CN112629606A; JP2021060298A; JP7415412B2; DE102020123698B4; CN112629606B

Abstract

Eine Technik bereitzustellen, die zur Unterdrückung von Schwankungen der Ausgabe eines Sensorelements aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen, die durch einen Strompfad fließen, ausgebildet ist. Durchflussmessgerät nach einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist, versehen mit:einer Durchflusserfassung, die in einem Strompfad angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, undeinem Abdeckelement, das zum Abdecken der Durchflusserfassung in dem Strompfad ausgebildet ist,wobei das Abdeckelement aufweist:ein Einlassloch, das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Strompfad außerhalb des Abdeckelements in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, undein Auslassloch, das stromabwärts der Durchflusserfassung vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, in den Strompfad außerhalb des Abdeckelements ausströmt,wobei eine Außenfläche des Abdeckelements stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs geneigt ist.To provide a technique capable of suppressing fluctuations in the output of a sensor element due to the influence of contaminants flowing through a current path. Flow measuring device according to one aspect of the present invention is provided with: a flow rate detector, which is arranged in a flow path, for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid which changes as a function of the flow rate of the fluid flowing through the flow path, and is configured to detect the flow rate using the outputted value, anda cover member configured to cover the flow rate detection in the flow path, the cover member comprising: an inlet hole provided upstream of a portion on which the flow rate detection is arranged, and allows a fluid from the flow path outside of the cover member to flow into a portion that is inside the cover member and on which the flow rate detector is arranged and an outlet hole that is provided downstream of the flow rate detector t that a fluid from the portion that is inside the cover element, and on which the flow rate detection is arranged, flows out into the flow path outside of the cover element, an outer surface of the cover element upstream of the section on which the flow rate detection is arranged, an inclined surface which is inclined toward the inlet of the inlet hole.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGCROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATION

Diese Anmeldung basiert auf der japanischen Patentanmeldung Nr. 2019-185006 , eingereicht beim japanischen Patentamt am 8. Oktober 2019, wobei deren gesamter Gehalt hier durch Bezugnahme aufgenommen ist.This application is based on Japanese Patent Application No. 2019-185006 , filed in the Japanese Patent Office on October 8, 2019, the entire contents of which are incorporated herein by reference.

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Durchflussmessgerät.The present invention relates to a flow meter.

HINTERGRUNDTECHNIKBACKGROUND TECHNOLOGY

Eine Technik ist offenbart, die zur Messung des Durchflusses eines in einem Strompfad strömenden Strömungsmittels mit einem Flusssensor ausgebildet ist (z.B. JP Patentschrift Nr. 3658321 , JP Patentoffenlegungsschrift Nr. 2007-086085 und JP Patentoffenlegungsschrift Nr. 2012-141181 ). JP Patentschrift Nr. 3658321 offenbart, dass die Temperaturverteilungsinformation eines Strompfads durch eine Thermosäule in einem thermischen Flusssensor erfasst wird und der Durchfluss eines Strömungsmittels auf der Basis der Temperaturverteilungsinformation berechnet wird. JP Patentoffenlegungsschrift Nr. 2007-086085 offenbart, dass ein Durchflusssensor und ein Gleichrichter in einem Strompfad in einem elektronischen Gaszähler installiert sind. JP Patentoffenlegungsschrift Nr. 2012-141181 offenbart einen thermischen Flusssensor, der mit einem Substrat mit einem ersten Substrat und einem zweiten Substrat sowie einem auf dem Substrat installierten Abschnitt zur Bildung eines oberen Strompfads ausgebildet ist. Es ist offenbart, dass eine rechteckige Vertiefung auf der unteren Fläche des Abschnitt zur Bildung eines oberen Strompfads vorgesehen ist, wobei die Vertiefung einen zweiten Strompfad mit der oberen Fläche des zweiten Substrats bildet und wobei die Vertiefung mit einem Einlass und einem Auslass versehen ist, die zum äußeren Bereich führen.A technique is disclosed which is adapted to measure the flow rate of a fluid flowing in a flow path with a flow sensor (e.g., JP Patent Publication No. 3658321 , JP Patent Laid-Open No. 2007-086085 and JP Patent Laid-Open No. 2012-141181 ). JP Patent No. 3658321 discloses that the temperature distribution information of a current path through a thermopile is detected in a thermal flow sensor and the flow rate of a fluid is calculated based on the temperature distribution information. JP Patent Laid-Open No. 2007-086085 discloses that a flow sensor and a rectifier are installed in a current path in an electronic gas meter. JP Patent Laid-Open No. 2012-141181 discloses a thermal flow sensor formed with a substrate having a first substrate and a second substrate, and a portion installed on the substrate to form an upper current path. It is disclosed that a rectangular recess is provided on the lower surface of the portion for forming an upper current path, the recess forming a second current path with the upper surface of the second substrate and wherein the recess is provided with an inlet and an outlet, the lead to the outer area.

ÜBERSICHT DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION

Wenn der Durchfluss eines in einem Strompfad strömenden Strömungsmittels mit einem thermischen Flusssensor gemessen wird, ist der thermische Flusssensor derart angeordnet, dass ein Sensorelement, das die Temperaturverteilung des Strompfads erfasst, im Strompfad freiliegt. Wenn das Sensorelement jedoch auf diese Weise angeordnet ist, kann die Ausgabe des Sensorelements, das die Temperaturverteilung erfasst, aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen wie Staub oder Schmutz schwanken, die mit dem im Strompfad strömenden Strömungsmittel vermischt sind. D. h. der Erfinder hat festgestellt, dass die Genauigkeit der Durchflussmessung verringert wird, falls der Flusssensor auf die oben erläuterte Weise angeordnet wird.When the flow rate of a fluid flowing in a current path is measured with a thermal flow sensor, the thermal flow sensor is arranged in such a way that a sensor element that detects the temperature distribution of the current path is exposed in the current path. However, when the sensor element is arranged in this way, the output of the sensor element that detects the temperature distribution may fluctuate due to the influence of impurities such as dust or dirt mixed with the fluid flowing in the current path. I. E. the inventor has found that the accuracy of the flow measurement is reduced if the flow sensor is arranged in the manner explained above.

Einem Aspekt der vorliegenden Erfindung liegt der Sachverhalt zugrunde und ihr Zweck liegt darin, eine Technik bereitzustellen, die zur Unterdrückung von Schwankungen der Ausgabe eines Sensorelements aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen, die durch einen Strompfad fließen, ausgebildet ist.It is an aspect of the present invention, and its purpose is to provide a technique capable of suppressing fluctuations in the output of a sensor element due to the influence of contaminants flowing through a current path.

Zum Lösen der obigen Aufgabe wird die folgende Ausbildung auf die vorliegende Erfindung angewendet.In order to achieve the above object, the following constitution is applied to the present invention.

D. h. das Durchflussmessgerät nach einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist mit einer Durchflusserfassung, die in einem Strompfad angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad strömenden Strömungsmittels ändert, ausgebildet ist, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, und einem Abdeckelement, das zum Abdecken der Durchflusserfassung in dem Strompfad ausgebildet ist, wobei das Abdeckelement aufweist: ein Einlassloch, das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Strompfad außerhalb des Abdeckelements in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, und ein Auslassloch, das stromabwärts der Durchflusserfassung vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements liegt, und an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, in den Strompfad außerhalb des Abdeckelements ausströmt, wobei eine Außenfläche des Abdeckelements stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs geneigt ist.I. E. The flow measuring device according to one aspect of the present invention is designed with a flow rate detector, which is arranged in a flow path, for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid which changes as a function of the flow rate of the fluid flowing through the flow path , and configured to detect the flow rate using the outputted value, and a cover member configured to cover the flow rate detection in the flow path, the cover member comprising: an inlet hole provided upstream of a portion where the flow rate detection is arranged and allows a fluid from the flow path outside the cover member to flow into a portion that is inside the cover member and where the flow rate detector is disposed, and an outlet hole that is provided downstream of the flow rate detector, and the like nd allows a fluid to flow out of the portion that lies inside the cover element and on which the flow rate detection is arranged into the flow path outside the cover element, wherein an outer surface of the cover element upstream of the portion on which the flow rate detection is arranged, a has inclined surface inclined toward the inlet of the inlet hole.

Wenn die Verunreinigungen zu einer Stelle gelangen, an der die Durchflusserfassung angeordnet ist, ist es denkbar, dass die Information über die Temperaturdifferenz in der Strömungsrichtung des Strömungsmittels, die von der Durchflusserfassung ausgegebenen wird, schwankt. Nach der Ausbildung wird jedoch verhindert, dass die im Strompfad strömenden Verunreinigungen zur Durchflusserfassung gelangen, indem das Abdeckelement vorgesehen ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe von der Durchflusserfassung unterdrückt. Folglich wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt. Wenn der Strompfad innerhalb des Abdeckelements vorgesehen ist, wird die Strömung des Strömungsmittels in dem Nahbereich der Stelle, an der die Durchflusserfassung angeordnet ist, gleichgerichtet. D. h., die Empfindlichkeit des Durchflussmessgeräts wird verbessert.When the impurities reach a point where the flow rate detector is arranged, it is conceivable that the information about the temperature difference in the flow direction of the fluid, which is output by the flow rate detector, fluctuates. After the formation, however, the impurities flowing in the current path are prevented from reaching the flow rate detection by providing the cover element. Therefore, the fluctuation in the output from the flow rate detection is suppressed. As a result, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed. If the current path is provided within the cover element, will the flow of the fluid in the vicinity of the point at which the flow meter is arranged, rectified. That is, the sensitivity of the flow meter is improved.

Da ferner das Strömungsmittel nach der vorliegenden Ausbildung entlang der geneigten Fläche der Außenfläche des Abdeckelements im Strompfad strömt, wird dieses zum Einlass des Einlasslochs glatt geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Strompfad unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass die Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Ferner wird die Ansammlung der Verunreinigungen auf der geneigten Fläche unterdrückt. Daher wird unterdrückt, dass die angesammelten Verunreinigungen durch die im Strompfad erzeugten Turbulenzen usw. gestreut werden und zur Durchflusserfassung gelangen. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.Further, according to the present embodiment, since the fluid flows along the inclined surface of the outer surface of the cover member in the flow path, it is smoothly guided to the inlet of the inlet hole. Therefore, the generation of a turbulent flow in the current path is suppressed. As a result, the scattering of impurities in the current path is suppressed, and thus the impurities are prevented from reaching the portion where the flow rate detector is arranged. Therefore, the fluctuation in the output of the flow rate detection is suppressed. Furthermore, the accumulation of the impurities on the inclined surface is suppressed. Therefore, the accumulated impurities are suppressed from being scattered by the turbulence etc. generated in the flow path and coming to the flow rate detection. As a result, the fluctuation in the output of the flow rate detection is suppressed. Therefore, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed.

Das Durchflussmessgerät gemäß dem einem Aspekt ist mit einem Gleichrichterelement weiter versehen, das zum Gleichrichten der Strömungsrichtung des vom Einlassloch einströmenden Strömungsmittels in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, ausgebildet ist, wobei das Gleichrichterelement am Auslass des Einlasslochs vorgesehen sein und eine Ebene entlang einer Richtung vom Auslass des Einlasslochs zu dem Abschnitt, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, auch aufweisen kann.The flow meter according to one aspect is further provided with a rectifier element which is designed to rectify the flow direction of the fluid flowing in from the inlet hole in the direction of the section on which the flow rate detection is arranged, the rectifier element being provided at the outlet of the inlet hole and a plane along a direction from the outlet of the inlet hole to the portion at which the flow rate detection is arranged, may also have.

Nach der Ausbildung wird das Strömungsmittel, das von dem Einlassloch in das Abdeckelement einströmt, derart gleichgerichtet, dass dieses entlang der Ebene des Gleichrichterelements in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist, ausgerichtet ist. Daher wird die Empfindlichkeit der Durchflusserfassung bei niedrigem Durchfluss zuverlässiger verbessert.After the formation, the fluid flowing into the cover element from the inlet hole is rectified in such a way that it is aligned along the plane of the rectifier element in the direction of the section on which the flow rate detection is arranged. Therefore, the sensitivity of the flow rate detection is improved more reliably at low flow rates.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt kann das Einlassloch in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels zweifach vorgesehen sein und das Gleichrichterelement kann zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher vorgesehen sein.In the flow meter according to the one aspect, the inlet hole can be provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid, and the rectifier element can be provided between the respective outlets of the two inlet holes.

Nach der Ausbildung wird eine plötzliche Änderung der Querschnittsfläche eines Raumes innerhalb des Abdeckelements orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels am Auslass des Einlasslochs unterdrückt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung in dem Nahbereich des Einlasslochs unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass sich die Verunreinigungen mit dem Strömungsmittels vermischen und zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.After the formation, a sudden change in the cross-sectional area of a space inside the cover member orthogonal to the flow direction of the fluid at the outlet of the inlet hole is suppressed. Therefore, the generation of a turbulent flow in the vicinity of the intake hole is suppressed. As a result, the scattering of impurities in the current path is suppressed and thus the impurities are prevented from mixing with the fluid and arriving at the portion where the flow rate detection is arranged. As a result, the fluctuation in the output of the flow rate detection is suppressed. Therefore, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt weist der Strompfad eine Vertiefung an einer Seitenwand auf, und eine stromaufwärts gelegene Seite der Vertiefung weist eine geneigte Fläche auf, die zum Boden der Vertiefung hin geneigt ist, wobei das Abdeckelement eine Erhebung aufweisen kann, die in einem Abschnitt des Strompfads gegenüber dem Boden der Vertiefung des Strompfads angeordnet ist und von dem angeordneten Abschnitt in Richtung des Bodens vorsteht, und das Einlassloch ein Loch umfassen kann, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird.In the flow meter according to one aspect, the current path has a recess on a side wall, and an upstream side of the recess has an inclined surface that is inclined toward the bottom of the recess, wherein the cover member may have a protrusion formed in a Portion of the current path is arranged opposite the bottom of the recess of the current path and protrudes from the arranged portion in the direction of the bottom, and the inlet hole may include a hole that is passed through the elevation.

Nach der Ausbildung strömt das Strömungsmittel im Strompfad entlang der geneigten Fläche der Vertiefung und läuft somit glatt durch die Vertiefung. D. h., das Strömungsmittel wird zum Einlass des Einlasslochs glatt geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Strompfad unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Verunreinigungen im Strompfad unterdrückt und somit verhindert, dass die Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Da ferner die Seite der Vertiefung die geneigte Fläche aufweist, wird die Ansammlung der Verunreinigungen auf der Seite unterdrückt. Daher wird unterdrückt, dass die angesammelten Verunreinigungen durch die im Strompfad erzeugten Turbulenzen usw. gestreut werden und zur Durchflusserfassung gelangen. Folglich wird die Schwankung der Ausgabe der Durchflusserfassung unterdrückt. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.After the formation, the fluid flows in the flow path along the inclined surface of the recess and thus smoothly passes through the recess. That is, the fluid is smoothly guided to the inlet of the inlet hole. Therefore, the generation of a turbulent flow in the current path is suppressed. As a result, the scattering of impurities in the current path is suppressed, and thus the impurities are prevented from reaching the portion where the flow rate detector is arranged. Therefore, the fluctuation in the output of the flow rate detection is suppressed. Further, since the side of the recess has the inclined surface, the accumulation of the impurities on the side is suppressed. Therefore, the accumulated impurities are suppressed from being scattered by the turbulence etc. generated in the flow path and coming to the flow rate detection. As a result, the fluctuation in the output of the flow rate detection is suppressed. Therefore, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt ist der Strompfad ein Nebenstrompfad, der vom Hauptstrompfad abzweigt, durch den das Strömungsmittel fließt, wobei das Durchflussmessgerät in dem Nebenstrompfad auch angeordnet sein kann.In the flow measuring device according to one aspect, the flow path is a secondary flow path which branches off from the main flow path through which the fluid flows, wherein the flow measurement device can also be arranged in the secondary flow path.

Nach der Ausbildung durchströmt das im Hauptstrompfad fließende Strömungsmittel über den Nebenstrompfad die im Abdeckelement vorgesehenen Einlasslöcher und gelangt zu dem Abschnitt, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. D. h., da das durch den Hauptstrompfad fließende Strömungsmittel nicht direkt in das Abdeckelement einströmt, wird verhindert, dass mit dem Strömungsmittel vermischte Verunreinigungen zu dem Abschnitt gelangen, an dem die Durchflusserfassung angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe von der Durchflusserfassung unterdrückt.After the formation, the fluid flowing in the main flow path flows through the secondary flow path through the inlet holes provided in the cover element and arrives at the section on which the flow rate detection is arranged. That is, since the fluid flowing through the main flow path does not flow directly into the cover element, it is prevented that with the Fluid mixed contaminants arrive at the portion where the flow meter is located. Therefore, the fluctuation in the output from the flow rate detection is suppressed.

In dem Durchflussmessgerät gemäß dem einen Aspekt ist eine Verhaltenserfassung weiter vorgesehen, die in einem zweiten, von dem Strompfad unterschiedlichen Strompfad angeordnet ist und zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf die Temperatur des zweiten Strompfads, die sich abhängig vom Verhalten des durch den zweiten Strompfad strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Verhaltens unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, wobei das Abdeckelement ein zweites Loch weiter aufweisen kann, das die Verhaltenserfassung umschließt und die Verhaltenserfassung in dem zweiten Strompfad freilegt.In the flow measuring device according to one aspect, a behavior detection is further provided, which is arranged in a second current path that is different from the current path and for outputting a value relating to the temperature of the second current path, which is dependent on the behavior of the current path flowing through the second current path Fluid changes, and is designed to detect the behavior using the output value, wherein the cover element can further have a second hole which surrounds the behavior detection and exposes the behavior detection in the second current path.

Nach der Ausbildung kann neben dem Durchfluss des Strömungsmittels auch das Verhalten des Strömungsmittels erfasst werden. Selbst wenn die Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung des Strömungsmittels vom Verhalten des Strömungsmittels abhängt, kann daher das erfasste Verhalten des Strömungsmittels zur Korrektur des erfassten Durchflusses des Strömungsmittels verwendet werden. Daher ist es möglich, den Durchfluss mit hoher Genauigkeit zu messen. Nach der Ausbildung wird, wenn die Durchflusserfassung und die Verhaltenserfassung auf demselben Substrat montiert sind, die Vermischung der Verunreinigungen von der Substratseite zur Durchflusserfassung und zur Verhaltenserfassung leicht unterdrückt werden, indem das eine Abdeckelement auf dem Substrat vorgesehen wird. Da sich die Verhaltenserfassung und das Abdeckelement nach der Ausbildung in der Höhenrichtung nicht überlappen, kann der Abschnitt, an dem die Verhaltenserfassung angeordnet ist, verdünnt werden.After the training, in addition to the flow of the fluid, the behavior of the fluid can also be recorded. Even if the temperature difference in the flow direction of the fluid depends on the behavior of the fluid, the recorded behavior of the fluid can therefore be used to correct the recorded flow of the fluid. Therefore, it is possible to measure the flow rate with high accuracy. After the formation, when the flow detection and the behavior detection are mounted on the same substrate, the mixing of the impurities from the substrate side for flow detection and behavior detection is easily suppressed by providing the one cover member on the substrate. Since the behavior detection and the cover member do not overlap in the height direction after the formation, the portion where the behavior detection is arranged can be thinned.

Nach der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Technik zur Unterdrückung der Schwankung der Ausgabe eines Sensorelements aufgrund des Einflusses von Verunreinigungen, die durch einen Strompfad fließen, bereitzustellen.According to the present invention, it is possible to provide a technique for suppressing the fluctuation in the output of a sensor element due to the influence of impurities flowing through a current path.

FigurenlisteFigure list

1A and 1B show an overview of a flow meter. 1A FIG. 10 shows an example of a cross-sectional view of the flowmeter according to an embodiment. 1 B Fig. 10 shows an example of a cross-sectional view of a flow meter according to a comparative example;
2A to 2C show the principle of flow measurement through a sensing element schematically. 2A Fig. 13 is a view illustrating the direction in which the sensing element is arranged. 2 B shows schematically an example of the temperature distribution that occurs when a micro heater is activated without gas flowing. 2C shows schematically an example of the temperature distribution that arises when the microheater is activated while gas is flowing;
3 shows an example of the simulation results of the number of dust particles that come into the vicinity of a thermopile;
4th shows an example of outputting the difference between the outputs of the two thermopiles with respect to the actual gas flow rate;
5 shows an example of a perspective exploded view of the measuring device according to a modified example;
6th Fig. 13 is a view illustrating the orientation in which a behavior sensing element is placed;
7A and 7B show an example of a flow tube to which a cover is attached and the cover attached to the flow tube. 7A Figure 13 shows a top perspective view of the flow tube to which the cover is attached. 7B FIG. 13 shows a plan view in which the cover on FIG 7A flow tube shown is attached; and
8A and 8B show an overview of the coverage. 8A Fig. 13 shows an example of a perspective view of the cross section of the cover attached to the flow tube. 8B Figure 13 is a front view of the cross section in 8A .

AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNGEMBODIMENT OF THE INVENTION

Im Folgenden wird eine Ausführungsform gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung (im Folgenden auch als „Ausführungsform“ bezeichnet) unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Die im Folgenden erläuterte Ausführungsform ist jedoch in jeder Hinsicht lediglich ein Beispiel der vorliegenden Erfindung. Es ist selbstverständlich, dass verschiedene Verbesserungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. D. h., bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung kann eine konkrete Ausbildung entsprechend der Ausführungsform in geeigneter Weise aufgenommen werden.In the following, an embodiment according to one aspect of the present invention (hereinafter also referred to as “embodiment”) will be explained with reference to the drawings. However, the embodiment explained below is only an example of the present invention in all respects. It is understood that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention. That is, in carrying out the present invention, a concrete configuration corresponding to the embodiment can be appropriately incorporated.

§1 Anwendungsbeispiel§1 application example

Unter Verwendung von 1A wird ein Beispiel für eine Situation erläutert, in der die vorliegende Erfindung angewandt wird. 1A zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgerätes 100 gemäß der Ausführungsform. Das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform ist mit einem Erfassungselement 1 und einem Substrat 5 versehen, auf dem das Erfassungselement 1 montiert ist. Das Erfassungselement 1 ist mit einem Mikroheizer 40 und zwei Thermosäulen 41A, 41B versehen und erfasst eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung von Gas, die mit dem Durchfluss des Gases korreliert (Einzelheiten werden später erläutert). Das Erfassungselement 1 ist ferner auf dem halben Weg eines Nebenstrompfads 4 angeordnet, der teilweise in einem Hauptstrompfad 3 eines Strömungsrohrs 2 vorgesehen ist.Under the use of 1A an example of a situation in which the present invention is applied will be explained. 1A Fig. 10 shows an example of a cross-sectional view of a Flow meter 100 according to the embodiment. The flow meter 100 according to the embodiment is with a sensing element 1 and a substrate 5 provided on which the sensing element 1 is mounted. The capture element 1 is with a micro heater 40 and two thermopiles 41A , 41B provides and detects a temperature difference in the direction of flow of gas, which correlates with the flow of the gas (details will be explained later). The capture element 1 is also halfway down a bypass path 4th arranged partially in a main current path 3 a flow pipe 2 is provided.

Das Durchflussmessgerät 100 ist mit einer Abdeckung 7 versehen, die das Erfassungselement 1 abdeckt. Im Inneren der Abdeckung 7 wird ein Raum 8 gebildet, der das Erfassungselement 1 aufnehmen kann. Auf der unteren Fläche 9 der Abdeckung 7 sind ein Einlassloch 27, durch das Gas aus dem Nebenstrompfad 4 in den Raum 8 einströmen kann, sowie ein Auslassloch 28 vorgesehen, durch das Gas aus dem Innenraum des Raums 8 in den Nebenstrompfad 4 ausströmen kann.The flow meter 100 is with a cover 7th provided that the sensing element 1 covers. Inside the cover 7th becomes a room 8th formed of the sensing element 1 can accommodate. On the lower surface 9 the cover 7th are an inlet hole 27 , through the gas from the bypass flow path 4th in the room 8th can flow in, as well as an outlet hole 28 provided by the gas from the interior of the room 8th in the bypass path 4th can flow out.

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 wird durch das Vorsehen der Abdeckung 7 verhindert, dass Staub oder Schmutz usw., die im Hauptstrompfad 3 oder im Nebenstrompfad 4 strömen, zu einer Stelle gelangen, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Daher wird verhindert, dass die Ausgabe der Thermosäule 41A und die Ausgabe der Thermosäule 41B, die im Erfassungselement 1 vorgesehen sind, durch Staub, Schmutz usw. schwankt.According to the flow meter explained above 100 is achieved by providing the cover 7th prevents dust or debris etc from being in the main circuit 3 or in the bypass path 4th flow, arrive at a point where the sensing element 1 is arranged. Hence, it prevents the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B that are in the acquisition element 1 fluctuates due to dust, dirt, etc.

§2 Ausbildungsbeispiel§2 training example

[Hardware-Ausbildung][Hardware training]

1A und 1B zeigen eine Übersicht des Durchflussmessgeräts. 1A zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgerätes 100 gemäß der Ausführungsform. 1B zeigt ein Beispiel für eine Querschnittsansicht eines Durchflussmessgeräts 200 gemäß einem Vergleichsbeispiel. Das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform ist mit einem Erfassungselement 1 und einem Substrat 5 versehen, auf dem das Erfassungselement 1 montiert ist. Das Erfassungselement 1 ist mit einem Mikroheizer 40 und zwei Thermosäulen 41A, 41B versehen und erfasst eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung von Gas, die mit dem Durchfluss des Gases korreliert (Einzelheiten werden später erläutert). Das Substrat 5 ist an einer Seitenwand angeordnet, die den Hauptstrompfad 3 des Strömungsrohrs 2 bildet, so dass eine Montagefläche 6, auf der das Erfassungselement 1 montiert ist, der Mitte des Strömungsrohrs 2 zugewandt ist. Im Nahbereich der Seitenwand ist ferner teilweise der Nebenstrompfad 4 vorgesehen, der vom Hauptstrompfad 3 des Strömungsrohrs 2 abzweigt. Das Erfassungselement 1 wird auf dem halben Weg des Nebenstrompfads 4 angeordnet. Das Durchflussmessgerät 100 ist hier ein Beispiel für das „Durchflussmessgerät“ der vorliegenden Erfindung. Das Erfassungselement 1 ist ferner ein Beispiel für die „Strömungserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Der Nebenstrompfad 4 ist ferner ein Beispiel für den „Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung. 1A and 1B show an overview of the flowmeter. 1A shows an example of a cross-sectional view of a flow meter 100 according to the embodiment. 1B Figure 11 shows an example of a cross-sectional view of a flow meter 200 according to a comparative example. The flow meter 100 according to the embodiment is with a sensing element 1 and a substrate 5 provided on which the sensing element 1 is mounted. The capture element 1 is with a micro heater 40 and two thermopiles 41A , 41B provides and detects a temperature difference in the direction of flow of gas, which correlates with the flow of the gas (details will be explained later). The substrate 5 is arranged on a side wall, which is the main current path 3 of the flow pipe 2 forms so that a mounting surface 6th on which the acquisition element 1 is mounted, the center of the flow tube 2 is facing. In the vicinity of the side wall is also partially the bypass flow path 4th provided that of the main current path 3 of the flow pipe 2 branches off. The capture element 1 will be halfway down the bypass path 4th arranged. The flow meter 100 here is an example of the “flow meter” of the present invention. The capture element 1 is also an example of the "flow detection" of the present invention. The bypass path 4th is also an example of the “current path” and the “bypass current path” of the present invention.

Hierbei strömt das Gas in 1A und 1B von der linken Seite zur rechten Seite im Hauptstrompfad 3 und im Nebenstrompfad 4 des Strömungsrohrs 2. In der folgenden Erläuterung bezieht sich die linke Richtung auf die stromaufwärts gelegene Richtung. Die richtige Richtung bezieht sich ferner auf die stromabwärts gelegene Richtung. Die Abwärtsrichtung bezieht sich ferner auf die Richtung, in der das Erfassungselement 1 in Bezug auf das Substrat 5 vorsteht. Die Aufwärtsrichtung bezieht sich ferner auf eine der Abwärtsrichtung entgegengesetzten Richtung.The gas flows in here 1A and 1B from the left to the right in the main circuit 3 and in the bypass path 4th of the flow pipe 2 . In the following explanation, the left direction refers to the upstream direction. The correct direction also relates to the downstream direction. The downward direction also refers to the direction in which the sensing element 1 in relation to the substrate 5 protrudes. The upward direction also refers to a direction opposite to the downward direction.

Das Durchflussmessgerät 100 ist ferner mit einer Abdeckung 7 versehen. Der Querschnitt der Abdeckung 7 hat eine nach unten konvexe Form, wie in 1A gezeigt. Eine linke Seite 10, die in den Nebenstrompfad 4 der Abdeckung 7 freiliegt, weist eine nach unten rechts abfallende Neigung auf. Die rechte Seite 11, die in den Nebenstrompfad 4 der Abdeckung 7 freiliegt, weist eine nach unten links abfallende Neigung auf. Innerhalb der Abdeckung 7 wird ferner ein Raum 8 gebildet, der das Erfassungselement 1 aufnehmen kann. Das Erfassungselement 1, das auf der Montagefläche 6 montiert ist, wird durch eine solche Abdeckung 7 abgedeckt und im Raum 8 angeordnet. Die Abdeckung 7 ist ferner mit einem Einlassloch 27 versehen, das es ermöglicht, Gas aus dem Nebenstrompfad 4 in den Raum 8 zu strömen. Das Einlassloch 27 ist derart vorgesehen, dass dieses einen Teil der linken Seite 10 und einen Teil der unteren Fläche 9 durchdringt. Die Abdeckung 7 ist ferner mit einem Auslassloch 28 versehen, das ermöglicht, dass Gas vom Innenraum des Raums 8 in den Nebenstrompfad 4 ausströmt. Das Auslassloch 28 ist derart vorgesehen, dass dieses einen Teil der rechten Seite 11 und einen Teil der unteren Fläche 9 durchdringt. Die Abdeckung 7 ist hier ein Beispiel für das „Abdeckelement“ der vorliegenden Erfindung. Das in der Abdeckung 7 vorgesehene Einlassloch 27 ist ein Beispiel für das „Einlassloch“ und das „Loch, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird“ der vorliegenden Erfindung. Das in der Abdeckung 7 vorgesehene Auslassloch 28 ist ferner ein Beispiel für das „Auslassloch“ der vorliegenden Erfindung.The flow meter 100 is also with a cover 7th Mistake. The cross section of the cover 7th has a downwardly convex shape, as in 1A shown. A left side 10 that are in the bypass path 4th the cover 7th exposed, has a downward sloping slope to the right. The right side 11 that are in the bypass path 4th the cover 7th exposed, has a sloping downward slope to the left. Inside the cover 7th also becomes a room 8th formed of the sensing element 1 can accommodate. The capture element 1 that is on the mounting surface 6th is mounted is through such a cover 7th covered and in the room 8th arranged. The cover 7th is also with an inlet hole 27 provided that allows gas from the bypass flow path 4th in the room 8th to stream. The inlet hole 27 is provided in such a way that this is part of the left side 10 and part of the lower surface 9 penetrates. The cover 7th is also with an outlet hole 28 provided that allows gas to flow from the interior of the room 8th in the bypass path 4th emanates. The outlet hole 28 is provided in such a way that this is part of the right side 11 and part of the lower surface 9 penetrates. The cover 7th here is an example of the “cover member” of the present invention. That in the cover 7th provided inlet hole 27 is an example of the “inlet hole” and the “hole passed through the bump” of the present invention. That in the cover 7th provided outlet hole 28 is also an example of the “exhaust hole” of the present invention.

Der untere Teil des Nebenstrompfads 4 gegenüber der unteren Fläche 9 der Abdeckung 7 weist ferner eine Vertiefung 12 auf, die nach unten vertieft ist. Der Teil, der sich links von der Vertiefung 12 befindet und der linken Seite 10 der Abdeckung 7 gegenüberliegt, weist ferner eine linke Seite 13 auf. Die linke Seite 13 weist eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie der geneigten Fläche auf, die auf der linken Seite 10 der Abdeckung 7 vorgesehen ist. Ebenfalls weist der Teil, der sich rechts von der Vertiefung 12 befindet und der rechten Seite 11 der Abdeckung 7 gegenüberliegt, eine rechte Seite 14 auf. Die rechte Seite 14 weist eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie der auf der rechten Seite 11 der Abdeckung 7 vorgesehenen geneigten Fläche auf.The lower part of the bypass path 4th opposite the lower surface 9 the cover 7th shows also a deepening 12th on, which is deepened to the bottom. The part that is to the left of the indentation 12th located and the left 10 the cover 7th opposite, also has a left side 13th on. The left side 13th has an inclined surface with the same inclination angle as the inclined surface on the left 10 the cover 7th is provided. Also has the part to the right of the depression 12th located and the right side 11 the cover 7th opposite, a right side 14th on. The right side 14th has an inclined face with the same inclination angle as that on the right 11 the cover 7th provided inclined surface.

Demgegenüber ist das Durchflussmessgerät 200 gemäß dem Vergleichsbeispiel in 1B, so wie das Durchflussmessgerät 100 gemäß der Ausführungsform, mit dem Erfassungselement 1 und dem Substrat 5 versehen. Das Erfassungselement 1 wird unter dem halben Weg des Nebenstrompfads 4 angeordnet. Das Durchflussmessgerät 200 ist jedoch nicht mit der Abdeckung 7 versehen.In contrast, the flow meter is 200 according to the comparative example in 1B like the flow meter 100 according to the embodiment, with the detection element 1 and the substrate 5 Mistake. The capture element 1 is under halfway up the bypass path 4th arranged. The flow meter 200 however is not with the cover 7th Mistake.

[Prinzip der Durchflussmessung][Principle of flow measurement]

Das Prinzip der Durchflussmessung unter Verwendung des Erfassungselements 1 wird hier erläutert. 2A bis 2C zeigen schematisch ein Beispiel für das Prinzip der Durchflussmessung mit dem Erfassungselement 1. 2A zeigt eine Draufsicht auf das Erfassungselement 1. 2B ist eine Querschnittsansicht des auf dem Substrat 5 montierten Erfassungselements 1, die die Temperaturverteilung zeigt, die entsteht, wenn der Mikroheizer 40 aktiviert wird, ohne dass Gas strömt. Demgegenüber ist 2C eine Querschnittsansicht des auf dem Substrat 5 montierten Erfassungselements 1, die die Temperaturverteilung zeigt, die erzeugt wird, wenn der Mikroheizer 40 bei strömendem Gas aktiviert wird. Wie in 2A gezeigt, sind die Thermosäulen 41A, 41B in einer Reihe in Richtung der Gasströmung über den Mikroheizer 40 angeordnet. Wie ferner in 2B gezeigt, ist das Erfassungselement 1 mit einem dünnen Film 42 versehen, der auf dem Substrat 5 gebildet ist, und der Mikroheizer 40 und die Thermosäulen 41A, 41B sind derart gebildet, dass diese in dem dünnen Film 42 enthalten sind. Am Substrat 5 unterhalb dem dünnen Film 42 ist eine Kavität 43 vorgesehen. Aufgrund des Vorsehens der Kavität 43 liegen ein warmer Kontakt des Mikroheizers 40 und der Thermosäulen 41A, 41B auf der Kavität 43 und ein kalter Kontakt der Thermosäulen 41A, 41B auf dem Substrat 5. Dann wird die Ausgabe, die der Differenz zwischen der Temperatur am warmen Kontakt und der Temperatur am kalten Kontakt entspricht, von den jeweiligen Thermosäulen 41A, 41B erzeugt.The principle of flow measurement using the sensing element 1 is explained here. 2A to 2C schematically show an example of the principle of flow measurement with the detection element 1 . 2A Figure 10 shows a top view of the sensing element 1 . 2 B Figure 3 is a cross-sectional view of the on top of the substrate 5 mounted sensing element 1 which shows the temperature distribution that arises when the micro heater 40 is activated without gas flowing. In contrast is 2C a cross-sectional view of the on the substrate 5 mounted sensing element 1 , which shows the temperature distribution generated when the micro heater 40 is activated when the gas is flowing. As in 2A shown are the thermopiles 41A , 41B in a row in the direction of gas flow over the micro heater 40 arranged. As also in 2 B shown is the sensing element 1 with a thin film 42 provided on the substrate 5 is formed, and the micro heater 40 and the thermopiles 41A , 41B are formed so as to be in the thin film 42 are included. On the substrate 5 below the thin film 42 is a cavity 43 intended. Due to the provision of the cavity 43 there is a warm contact of the micro heater 40 and the thermopiles 41A , 41B on the cavity 43 and a cold contact of the thermopiles 41A , 41B on the substrate 5 . Then the output corresponding to the difference between the temperature at the warm contact and the temperature at the cold contact is from the respective thermopiles 41A , 41B generated.

Wie in 2B gezeigt, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40 symmetrisch um den Mikroheizer 40, wenn kein Gas im Raum 8 strömt. Daher wird keine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B erzeugt. Demgegenüber, wie in 2C gezeigt, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40 aufgrund des Einflusses der Gasströmung nicht symmetrisch um den Mikroheizer 40 und weiter zur stromabwärts gelegenen Thermosäule 41B, wenn das Gas in den Raum 8 strömt. Daher wird eine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B erzeugt. Die Differenz in der obigen Ausgabe ändert sich je nach dem Durchfluss des Gases. Mit anderen Worten, der Durchfluss des Gases wird aus der Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41 B ermittelt.As in 2 B shown, the heat diffuses from the micro heater 40 symmetrical around the micro heater 40 when there is no gas in the room 8th flows. Hence there will be no difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B generated. In contrast, as in 2C shown, the heat diffuses from the micro heater 40 not symmetrical around the microheater due to the influence of the gas flow 40 and on to the downstream thermopile 41B when the gas in the room 8th flows. Therefore, there will be a difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41B generated. The difference in the above output changes depending on the flow rate of the gas. In other words, the flow of the gas is the difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41 B determined.

Die Differenz ΔV zwischen der von der Thermosäule 41A ausgegebenen Spannung und der von der Thermosäule 41B ausgegebenen Spannung ist z. B. in der folgenden Formel (1) dargestellt.
[Formel 1] $Δ V = A \cdot {(T_{h} - T_{a})}^{b} \sqrt{V_{f}}$

The difference ΔV between that from the thermopile 41A output voltage and that of the thermopile 41B output voltage is z. B. shown in the following formula (1).
[Formula 1]

Δ V = A. \cdot {(T_{H} - T_{a})}^{b} \sqrt{V_{f}}

Hierbei stellt T_h die Temperatur des Mikroheizers 40 und T_a die Temperatur in der Umgebung des Erfassungselements 1 dar. Außerdem ist v_f die Geschwindigkeit der Gasströmung, und A und b sind Konstanten.Here, T _{h represents} the temperature of the micro heater 40 and T _{a is} the temperature in the vicinity of the sensing element 1 In addition, v _{f is} the velocity of the gas flow and A and b are constants.

Als nächstes wird der Vorgang erläutert, in dem das im Hauptstrompfad 3 strömende Gas zu einer Stelle gelangt, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Das im Hauptstrompfad 3 strömende Gas strömt in einen linken Teil des Nebenstrompfads 4. Das Gas strömt dann durch das in der Abdeckung 7 vorgesehene Einlassloch 27 in den Raum 8 innerhalb der Abdeckung 7. Hier ist die linke Seite 10 der Abdeckung 7 mit einer nach unten rechts abfallenden Neigung versehen, so dass das Gas glatt zum Einlass des Einlasslochs 27 geführt wird. Das von dem Einlassloch 27 in den Raum 8 innerhalb der Abdeckung 7 strömende Gas strömt dann den Teil durch, in dem das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Das Gas strömt dann aus dem Raum 8 über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4. Da das Auslassloch 28 auf einem Teil der rechten Seite 11 mit einer geneigten Fläche vorgesehen ist, wird das über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4 ausströmende Gas entlang der geneigten Fläche zu einem Auslassloch glatt geführt, das mit dem Hauptstrompfad 3 kommuniziert. Das Gas strömt dann aus dem genannten Auslassloch in den Hauptstrompfad 3 aus.Next, the process in which this occurs in the main current path will be explained 3 flowing gas reaches a point where the sensing element 1 is arranged. That in the main current path 3 flowing gas flows into a left part of the bypass flow path 4th . The gas then flows through the one in the cover 7th provided inlet hole 27 in the room 8th inside the cover 7th . Here is the left side 10 the cover 7th provided with a slope sloping down to the right so that the gas smoothly to the inlet of the inlet hole 27 to be led. The one from the inlet hole 27 in the room 8th inside the cover 7th flowing gas then flows through the part in which the sensing element 1 is arranged. The gas then flows out of the room 8th via the outlet hole 28 in the bypass path 4th . Because the outlet hole 28 on part of the right side 11 with an inclined surface is provided, that is via the outlet hole 28 in the bypass path 4th Escaping gas is smoothly guided along the inclined surface to an outlet hole that is connected to the main flow path 3 communicates. The gas then flows out of said outlet hole into the main flow path 3 out.

3 zeigt ein Beispiel für die Simulationsergebnisse der Anzahl der Stäube, die vom Hauptstrompfad 3 in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41B in der Abdeckung 7 gelangen. Wie in 3 gezeigt, reduziert sich die Anzahl der Stäube, die in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41 B in der Abdeckung 7 gelangen, wenn die Abdeckung 7 vorgesehen ist (die Ausführungsform in 1A), auf etwa 1/6 im Vergleich zu der Anzahl der Stäube, die in den Nahbereich der Thermosäulen 41A, 41B in der Abdeckung 7 gelangen, wenn die Abdeckung 7 nicht vorgesehen ist (das Vergleichsbeispiel in 1B). 3 shows an example of the simulation results of the number of dusts coming from the main current path 3 in the vicinity of the thermopiles 41A , 41B in the cover 7th reach. As in 3 shown, the number of dusts in the vicinity of the thermopile is reduced 41A , 41 B in the cover 7th get when the cover 7th is provided (the embodiment in 1A) , to about 1/6 compared to the number of dusts in the vicinity of the thermopiles 41A , 41B in the cover 7th get when the cover 7th is not provided (the comparative example in 1B) .

4 zeigt ein Beispiel für die Ausgabe der Differenz zwischen den Ausgaben der beiden Thermosäulen 41A, 41B in Bezug auf den tatsächlichen Gasdurchfluss. Wie in 4 gezeigt, steht im Vergleich zwischen dem Fall, in dem die Abdeckung 7 vorhanden ist (die Ausführungsform in 1A) und dem Fall, in dem die Abdeckung 7 nicht vorhanden ist (das Vergleichsbeispiel in 1 B), die Ausgabe der Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41 B in einer linearen Beziehung zum betreffenden Durchfluss im Bereich mit einem niedrigen Durchfluss. Es ist ferner zu erkennen, dass beim Vorsehen der Abdeckung 7 die Empfindlichkeit des Erfassungselements 1 bei niedrigem Durchfluss im Vergleich zum Fall ohne Abdeckung 7 verbessert wird. 4th shows an example of the output of the difference between the outputs of the two thermopiles 41A , 41B in relation to the actual gas flow. As in 4th shown stands in comparison between the case in which the cover 7th is present (the embodiment in 1A) and the case where the cover 7th is not available (the comparative example in 1 B) , the output of the difference between the output of the thermopile 41A and the output of the thermopile 41 B in a linear relationship to the flow in question in the low flow area. It can also be seen that when the cover is provided 7th the sensitivity of the sensing element 1 at low flow compared to the case with no cover 7th is improved.

[Wirkungen und Effekte][Effects and effects]

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 wird, wie in 3 gezeigt, durch das Vorsehen der Abdeckung 7 unterdrückt, dass Staub, Schmutz usw., die durch den Hauptstrompfad 3 oder den Nebenstrompfad 4 fließt, zu der Stelle gelangt, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist. Daher wird die Schwankung der Ausgabe der Thermosäule 41A und der Ausgabe der Thermosäule 41B, die im Erfassungselement 1 vorgesehen sind, unterdrückt. Folglich wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt. Demgegenüber ist nach dem Durchflussmessgerät 200 im Vergleichsbeispiel die Abdeckung 7 nicht vorgesehen, wie in 1B gezeigt. Daher wird, wie in 3 gezeigt, davon ausgegangen, dass Staub, Schmutz usw. zur Stelle, an der das Erfassungselement 1 angeordnet ist, leichter gelangt als beim Durchflussmessgerät 100 in der Ausführungsform. Folglich wird angenommen, dass die Ausgabe der im dem Durchflussmessgerät 200 vorgesehenen Thermosäule schwankt. D. h., es wird davon ausgegangen, dass sich nach dem Durchflussmessgerät 200 gemäß dem Vergleichsbeispiel die Genauigkeit der Erfassung des Durchflusses verringert.According to the flow meter explained above 100 will, as in 3 shown by the provision of the cover 7th suppresses dust, debris, etc., passing through the main current path 3 or the bypass path 4th flows, arrives at the point where the sensing element 1 is arranged. Therefore, the fluctuation in the output of the thermopile becomes 41A and the output of the thermopile 41B that are in the acquisition element 1 are provided, suppressed. As a result, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed. In contrast, after the flow meter 200 in the comparative example the cover 7th not provided, as in 1B shown. Hence, as in 3 shown, assumes that dust, dirt, etc. at the point where the sensing element 1 is arranged more easily than with the flow meter 100 in the embodiment. Consequently, it is assumed that the output is the in the flowmeter 200 provided thermopile fluctuates. That is, it is assumed that after the flowmeter 200 according to the comparative example, the accuracy of the detection of the flow rate is reduced.

Nach dem oben erläuterten Durchflussmessgerät 100 weisen ferner die linke Seite 10 der Abdeckung 7 und die linke Seite 13 der Vertiefung 12 des Nebenstrompfads 4 eine geneigte Fläche auf, so dass die Ansammlung von Staub, Schmutz usw. auf der genannten geneigten Fläche unterdrückt wird. Das Gas im Nebenstrompfad 4 wird ferner entlang der linken Seite 10 der Abdeckung 7 mit der geneigten Fläche glatt zum Einlass des Einlasslochs 27 der Abdeckung 7 geführt. Daher wird die Erzeugung einer turbulenten Strömung im Nebenstrompfad 4 unterdrückt. D. h., die Ansammlung von Staub, Schmutz usw. im Nebenstrompfad 4 wird unterdrückt, und selbst wenn Staub, Schmutz usw. angesammelt werden, wird die Streuung durch turbulente Strömung unterdrückt. Folglich wird unterdrückt, dass Staub, Schmutz usw. zum Erfassungselement 1 erreichen.According to the flow meter explained above 100 also show the left side 10 the cover 7th and the left side 13th the deepening 12th of the bypass path 4th has an inclined surface so that the accumulation of dust, dirt, etc. on the aforesaid inclined surface is suppressed. The gas in the bypass flow path 4th is also along the left side 10 the cover 7th with the inclined surface smooth to the inlet of the inlet hole 27 the cover 7th guided. Therefore, a turbulent flow is generated in the bypass flow path 4th suppressed. That is, the accumulation of dust, dirt, etc. in the bypass flow path 4th is suppressed, and even if dust, dirt, etc. are accumulated, the turbulent flow scattering is suppressed. As a result, dust, dirt, etc. are suppressed from reaching the detection element 1 to reach.

§3 Abgewandelte Beispiele§3 Modified Examples

Obwohl die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung oben näher erläutert sind, ist die vorangehende Erläuterung in jeder Hinsicht lediglich ein Beispiel für die Erfindung. Es ist selbstverständlich, dass verschiedene Verbesserungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Bspw. sind die folgenden Änderungen möglich. Im Folgenden wird das gleiche Bezugszeichen für dieselben Bestandteil wie die Ausführungsform verwendet, und die Erläuterung für denselben Punkt wie die Ausführungsform wurde in geeigneter Weise weggelassen. Die folgenden abgewandelten Beispiele können in geeigneter Weise kombiniert werden.Although the embodiments of the present invention are explained in detail above, the foregoing explanation is in all respects only an example of the invention. It is understood that various improvements and modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, the following changes are possible. In the following, the same reference numeral is used for the same component as the embodiment, and the explanation for the same point as the embodiment is appropriately omitted. The following modified examples can be appropriately combined.

<3.1 ><3.1>

5 zeigt ein Beispiel für eine perspektivische Explosionszeichnung eines Messgerätes 100A gemäß einem abgewandelten Beispiel. Das Messgerät 100A im abgewandelten Beispiel ist mit einem Durchflusserfassungselement 1A versehen, das in gleicher Weise angeordnet ist wie das Erfassungselement 1 in der obigen Ausführungsform und zur Erfassung des Durchflusses des Gases ausgebildet ist. Ferner ist das Messgerät 100A mit einem Verhaltenserfassungselement 1B versehen, das zur Erfassung des Verhaltens des Gases ausgebildet ist, obwohl dieses vom gleichen Elementtyp wie das Erfassungselement 1 in der obigen Ausführungsform ist. Das Durchflusserfassungselement 1A ist mit einem Mikroheizer 40A und Thermosäulen 41C, 41D vorgesehen. Das Verhaltenserfassungselement 1B ist mit einem Mikroheizer 40B und Thermosäulen 41E, 41F versehen (später in 6 erläutert). Das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B sind auf einer Montagefläche 6A eines Substrats 5A montiert. Das Messgerät 100A ist mit einer Abdeckung 7A versehen, die jedes Erfassungselement des Durchflusserfassungselements 1A und des Verhaltenserfassungselements 1B abdeckt. Das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B, die von der Abdeckung 7A abgedeckt werden, sind in einem Nebenstrompfad (später erläutert) angeordnet, der auf der oberen Fläche des Strömungsrohrs 2A ausgebildet ist. Hierbei ist das Messgerät 100A ein Beispiel für das „Durchflussmessgerät“ der vorliegenden Erfindung. Das Durchflusserfassungselement 1A ist ferner ein Beispiel für die „Durchflusserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Das Verhaltenserfassungselement 1B ist ferner ein Beispiel für die „Verhaltenserfassung“ der vorliegenden Erfindung. Die Abdeckung 7A ist ferner ein Beispiel für das „Abdeckelement“ der vorliegenden Erfindung. 5 shows an example of a perspective exploded view of a measuring device 100A according to a modified example. The measuring device 100A in the modified example is with a flow rate measuring element 1A provided, which is arranged in the same way as the detection element 1 is designed in the above embodiment and for detecting the flow rate of the gas. Furthermore, the measuring device is 100A with a behavior detection element 1B provided, which is designed to detect the behavior of the gas, although this is of the same element type as the detection element 1 in the above embodiment. The flow sensing element 1A is with a micro heater 40A and thermopiles 41C , 41D intended. The behavior detection element 1B is with a micro heater 40B and thermopiles 41E , 41F provided (later in 6th explained). The flow sensing element 1A and the behavior detection element 1B are on a mounting surface 6A of a substrate 5A assembled. The measuring device 100A is with a cover 7A provided that each sensing element of the flow sensing element 1A and the behavior detection element 1B covers. The flow sensing element 1A and the behavior detection element 1B that of the cover 7A are arranged in a bypass flow path (explained later) which is on the upper surface of the flow tube 2A is trained. Here is the measuring device 100A an example of the “flow meter” of the present invention. The flow sensing element 1A is also an example of the "flow rate sensing" of the present invention. The behavior detection element 1B is also an example of the “behavior detection” of the present invention. The cover 7A is also an example of the “cover member” of the present invention.

6 ist eine Ansicht, die die Ausrichtung veranschaulicht, in der das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist. Wie in 6 gezeigt, sind die Thermosäulen 41E, 41F, die im Verhaltenserfassungselement 1B vorgesehen sind, in einer Reihe derart angeordnet, dass diese den Mikroheizer 40A überspannen, wobei die Richtung der Aufreihung eine Richtung orthogonal zur Richtung des Gasstroms ist. Wenn der Mikroheizer 40B des derart angeordneten Verhaltenserfassungselements 1B aktiviert wird, diffundiert die Wärme aus dem Mikroheizer 40B symmetrisch in die Richtung, in der sich die Thermosäule 41E und die Thermosäule 41F um den Mikroheizer 40B ausrichten. Der Grad der Wärmediffusion hängt ferner vom Verhalten des Gases ab. Mit anderen Worten, der Ausgabewert der Thermosäule 41 E oder der Thermosäule 41F kann zur Berechnung des Gases verwendet werden. Hier ist das Verhalten des Gases z. B. die Wärmeleitfähigkeit und die Temperaturleitfähigkeit. Die Berechnung des Verhaltens des Gases kann ferner unter Verwendung der Ausgabe von einer der Thermosäulen 41 E und der Thermosäule 41 F oder unter Verwendung eines Mittelwertes der Ausgabe von der Thermosäule 41 E und der Ausgabe von der Thermosäule 41 F durchgeführt werden. 6th Fig. 13 is a view illustrating the orientation in which the behavior detection element 1B is arranged. As in 6th shown are the thermopiles 41E , 41F that are in the behavior detection element 1B are provided, arranged in a row in such a way that these the microheater 40A span, the direction of alignment being a direction orthogonal to the direction of gas flow. When the micro heater 40B of the behavior detection element thus arranged 1B is activated, the heat diffuses from the micro heater 40B symmetrical in the direction in which the thermopile is 41E and the thermopile 41F around the micro heater 40B align. The degree of heat diffusion also depends on the behavior of the gas. In other words, the output value from the thermopile 41 E or the thermopile 41F can be used to calculate the gas. Here is the behavior of the gas z. B. the thermal conductivity and the thermal conductivity. The calculation of the behavior of the gas can also be made using the output from one of the thermopiles 41 E and the thermopile 41 F or using an average of the output from the thermopile 41 E and the output from the thermopile 41 F can be carried out.

7A und 7B sowie 8A und 8B zeigen eine Übersicht eines Strömungsrohrs 2A, an dem die Abdeckung 7A angebracht wird, und der Abdeckung 7A, die im Messgerät 100A vorgesehen ist. 7A zeigt eine perspektivische Draufsicht auf das Strömungsrohr 2A, an dem die Abdeckung 7A angebracht wird. 7B zeigt eine Draufsicht, bei der die Abdeckung 7A am in 7A gezeigten Strömungsrohr 2A angebracht ist. 8A ist eine perspektivische Ansicht des Querschnitts des Strömungsrohrs 2A und der Abdeckung 7A, die am Strömungsrohr 2A angebracht ist. 8B ist eine Vorderansicht des Querschnitts vor allem im Nahbereich der Abdeckung 7A. Die Abdeckung 7A wird, wie in 7B sowie 8A und 8B gezeigt, an der oberen Fläche des Strömungsrohrs 2A, wie in 7A gezeigt, durch Ultraschallschweißen angebracht. Ferner ist der obere Teil der Abdeckung 7A offen, und die Öffnung wird durch die Montagefläche 6A des Substrats 5A abgedeckt, auf der das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B montiert sind. 7A and 7B as 8A and 8B show an overview of a flow tube 2A on which the cover 7A attached, and the cover 7A that are in the meter 100A is provided. 7A Figure 3 shows a top perspective view of the flow tube 2A on which the cover 7A is attached. 7B shows a plan view in which the cover 7A on in 7A flow tube shown 2A is appropriate. 8A Fig. 3 is a perspective view of the cross section of the flow tube 2A and the cover 7A that are on the flow tube 2A is appropriate. 8B Fig. 3 is a front view of the cross-section especially in the vicinity of the cover 7A . The cover 7A will, as in 7B as 8A and 8B shown on the top surface of the flow tube 2A , as in 7A shown attached by ultrasonic welding. Further is the upper part of the cover 7A open, and the opening is through the mounting surface 6A of the substrate 5A covered on which the flow rate sensing element 1A and the behavior detection element 1B are mounted.

Wie in 7A gezeigt, ist das Strömungsrohr 2A mit Nebenstrompfaden 4A, 4B versehen, die vom Hauptstrompfad des Strömungsrohrs 2A abzweigen. Der Nebenstrompfad 4A ist mit einem Einlassloch 16 versehen, das das Einströmen von Gas aus dem Hauptstrompfad ermöglicht. Der Nebenstrompfad 4A ist mit einer Vertiefung 12A versehen, in der das von der Abdeckung 7A abgedeckte Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Weiterhin ist am Boden der Vertiefung 12A eine Nut 29 vorgesehen. Der Nebenstrompfad 4A ist ferner mit einem Auslassloch 18 versehen, durch das das Gas in den Hauptstrompfad ausströmen kann. Der Nebenstrompfad 4A ist hierbei ein Beispiel für den „Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung. Der Nebenstrompfad 4B ist ferner ein Beispiel für den „zweiten Strompfad“ und den „Nebenstrompfad“ der vorliegenden Erfindung.As in 7A shown is the flow tube 2A with bypass paths 4A , 4B provided by the main flow path of the flow tube 2A branch off. The bypass path 4A is with an inlet hole 16 provided that allows gas to flow in from the main flow path. The bypass path 4A is with a recess 12A provided in that of the cover 7A covered flow sensing element 1A is arranged. Furthermore, the depression is at the bottom 12A a groove 29 intended. The bypass path 4A is also with an outlet hole 18th through which the gas can flow out into the main flow path. The bypass path 4A is an example of the “current path” and the “auxiliary current path” of the present invention. The bypass path 4B is also an example of the “second current path” and the “bypass current path” of the present invention.

Demgegenüber ist im Nebenstrompfad 4B ein Einlassloch 17 vorgesehen, durch das das Gas vom Hauptstrompfad 3A einströmen kann. Im mittleren Teil des Nebenstrompfads 4B ist eine Vertiefung 20 vorgesehen, in der das Verhaltenserfassungselement 1B, das von der Abdeckung 7A abgedeckt wird, angeordnet ist. Der Nebenstrompfad 4B ist ferner mit einem Auslassloch 19 versehen, durch das das Gas in den Hauptstrompfad 3A ausströmen kann.In contrast, it is in the bypass path 4B an inlet hole 17th provided, through which the gas from the main flow path 3A can flow in. In the middle part of the bypass flow path 4B is a deepening 20th provided in which the behavior detection element 1B that from the cover 7A is covered, is arranged. The bypass path 4B is also with an outlet hole 19th through which the gas enters the main flow path 3A can flow out.

Wie in 7B und 8A gezeigt, ist die Abdeckung 7A mit einer Vertiefung 21 versehen, in der das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Die äußere Form der Abdeckung 7A, die der Vertiefung 21 entspricht, erhebt sich nach unten, und die stromaufwärts gelegene Außenfläche und die stromabwärts gelegene Außenfläche der Erhebung weisen eine geneigte Fläche auf (Einzelheiten werden später erläutert). Die Vertiefung 21, in der das Durchflusserfassungselement 1A aufgenommen ist, ist innerhalb der in 7A gezeigten Vertiefung 12A. D. h., das Durchflusserfassungselement 1A liegt nicht im Nebenstrompfad 4Afrei. Die Abdeckung 7A ist ferner mit einem Loch 24 versehen, in dem das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist. Das Verhaltenserfassungselement 1B im Zustand, in dem dieses in dem Loch 24 angeordnet ist, ist innerhalb der in 7A gezeigten Vertiefung 20 angeordnet. D. h., die untere Fläche des Verhaltenserfassungselements 1B liegt im Nebenstrompfad 4B frei.As in 7B and 8A shown is the cover 7A with a depression 21 provided in which the flow rate sensing element 1A is arranged. The outer shape of the cover 7A that of the deepening 21 corresponds to, rises downward, and the upstream outer surface and the downstream outer surface of the ridge have an inclined surface (details will be explained later). The depression 21 , in which the flow metering element 1A is included is within the in 7A depression shown 12A . That is, the flow rate sensing element 1A is not free in the auxiliary current path 4A. The cover 7A is also with a hole 24 provided in which the behavior detection element 1B is arranged. The behavior detection element 1B in the state in which this is in the hole 24 is located within the in 7A depression shown 20th arranged. That is, the lower surface of the behavior sensing element 1B lies in the bypass path 4B free.

Wie in 7B gezeigt, ist die Vertiefung 21 der Abdeckung 7A mit zwei Einlasslöchern 22 versehen, durch die Gas vom Nebenstrompfad 4A einströmen kann. Die Vertiefung 21 ist ferner mit zwei Auslasslöchern 23 versehen, durch die Gas aus der Vertiefung 21 in den Nebenstrompfad 4A strömen kann. Das Einlassloch 22 und das Auslassloch 23 sind derart vorgesehen, dass sich das Einlassloch 22 stromaufwärts im Nebenstrompfad 4A und das Auslassloch 23 stromabwärts im Nebenstrompfad 4A befindet. Die beiden Einlasslöcher 22 und die beiden Auslasslöcher 23 sind in Bezug auf die Mittelachse entlang der Gasströmungsrichtung in der Vertiefung 21 symmetrisch vorgesehen. Zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 ist eine gleichrichtende Wand 25 vorgesehen, die in Richtung vom Einlassloch 22 zum Auslassloch 23 vorsteht. Auf die gleiche Weise ist zwischen den jeweiligen Einlässen der beiden Auslasslöchern 23 eine gleichrichtende Wand 26 vorgesehen, die in Richtung vom Auslassloch 23 zum Einlassloch 22 vorsteht. Die Oberfläche der gleichrichtenden Wand 25 weist einen flachen Abschnitt entlang der Richtung vom Einlassloch 22 zu dem Abschnitt auf, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Auf die gleiche Weise weist die Oberfläche der gleichrichtenden Wand 26 einen flachen Abschnitt entlang der Richtung vom Auslassloch 23 zu dem Abschnitt auf, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Daher fließt das Gas, das von jedem der beiden Einlasslöchern 22 einströmt, entlang der Ebene der gleichrichtenden Wände 25, 26. D. h., das Gas wird vom Auslass des Einlasslochs 22 bis zu dem Abschnitt gleichgerichtet, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Hierbei ist das Einlassloch 22 ein Beispiel für das „Einlassloch“ und das „Loch, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird“ der vorliegenden Erfindung. Das Auslassloch 23 ist ferner ein Beispiel für das „Auslassloch“ der vorliegenden Erfindung. Die gleichrichtende Wand 25 ist ferner ein Beispiel für das „Gleichrichterelement“ der vorliegenden Erfindung.As in 7B shown is the depression 21 the cover 7A with two inlet holes 22nd provided by the gas from the bypass flow path 4A can flow in. The depression 21 is also with two outlet holes 23 provided, through the gas from the recess 21 in the bypass path 4A can flow. The inlet hole 22nd and the outlet hole 23 are provided in such a way that the inlet hole 22nd upstream in the bypass path 4A and the outlet hole 23 downstream in the bypass flow path 4A is located. The two inlet holes 22nd and the two outlet holes 23 are in relation to the central axis along the gas flow direction in the recess 21 provided symmetrically. Between the respective outlets of the two inlet holes 22nd is a rectifying wall 25th provided in the direction from the inlet hole 22nd to the outlet hole 23 protrudes. The same way is between the respective inlets of the two outlet holes 23 a rectifying wall 26th provided in the direction from the outlet hole 23 to the inlet hole 22nd protrudes. The surface of the rectifying wall 25th has a flat portion along the direction from the inlet hole 22nd to the section where the sensing element 1A is arranged. In the same way, the surface of the rectifying wall faces 26th a flat portion along the direction from the exhaust hole 23 to the section where the sensing element 1A is arranged. Therefore, the gas flows from each of the two inlet holes 22nd flows in along the plane of the rectifying walls 25th , 26th . That is, the gas is discharged from the outlet of the inlet hole 22nd rectified up to the section at which the sensing element 1A is arranged. Here is the inlet hole 22nd an example of the “inlet hole” and the “hole passed through the bump” of the present invention. The outlet hole 23 is also an example of the “exhaust hole” of the present invention. The rectifying wall 25th is also an example of the “rectifying element” of the present invention.

Wie in 8B gezeigt, weist die linke Seite 10A der Vertiefung 21 der Abdeckung 7Aeine nach unten rechts abfallende Neigung auf, so wie in der obigen Ausführungsform. Ebenfalls weist die rechte Seite 11A der Vertiefung 21 der Abdeckung 7Aeine nach unten links abfallende Neigung auf.As in 8B shown faces the left side 10A the deepening 21 of the cover 7A has an inclination sloping downward to the right, as in the above embodiment. Also shows the right side 11A the deepening 21 of the cover 7A has a slope sloping downwards to the left.

Wie ferner in 8B gezeigt, weist die linke Seite 13A der Nut 29, die im Nebenstrompfad 4A vorgesehen ist, eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie dem Neigungswinkel der geneigten Fläche auf, die in der gegenüberliegenden linken Seite 10A der Abdeckung 7A vorgesehen ist. Die rechte Seite 14A der Nut 29 weist ferner eine geneigte Fläche mit dem gleichen Neigungswinkel wie dem Neigungswinkel der geneigten Fläche auf, die in der gegenüberliegenden rechten Seite 11A der Abdeckung 7A vorgesehen ist.As also in 8B shown faces the left side 13A the groove 29 that are in the bypass path 4A is provided, an inclined surface having the same inclination angle as the inclination angle of the inclined surface on the opposite left side 10A the cover 7A is provided. The right side 14A the groove 29 further has an inclined surface having the same inclination angle as the inclination angle of the inclined surface, that in the opposite right side 11A the cover 7A is provided.

Als nächstes wird der Vorgang erläutert, in dem das im Hauptstrompfad 3A strömende Gas zur Stelle gelangt, an der das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B, die im Messgerät 100A vorgesehen sind, angeordnet sind. Ein Teil des im Hauptstrompfad 3A strömenden Gases strömt über das Einlassloch 16 in die Vertiefung 12A des Nebenstrompfads 4A. Das Gas strömt danach durch den Raum zwischen der unteren Fläche 9A der Abdeckung 7A und der Nut 29 des Nebenstrompfades 4A und gelangt zum Einlass des Einlasslochs 22, das in der Abdeckung 7A vorgesehen ist. Hierbei sind die linke Seite 10A der Abdeckung 7A und die linke Seite 13A der Nut 29 mit einer nach unten rechts abfallenden Neigung versehen, wie in 8B gezeigt, so dass das Gas entlang der Neigung zum Einlass des Einlasslochs 22 glatt geführt wird.Next, the process in which this occurs in the main current path will be explained 3A flowing gas reaches the point where the flow rate sensing element 1A and the behavior detection element 1B that are in the meter 100A are provided, are arranged. Part of the main circuit 3A flowing gas flows through the inlet hole 16 into the recess 12A of the bypass path 4A . The gas then flows through the space between the lower surface 9A the cover 7A and the groove 29 of the bypass path 4A and comes to the inlet of the inlet hole 22nd that is in the cover 7A is provided. Here are the left side 10A the cover 7A and the left side 13A the groove 29 provided with a slope sloping downwards to the right, as in 8B shown so that the gas along the slope to the inlet of the inlet hole 22nd is performed smoothly.

Das Gas, das zu den Einlässen der beiden Einlasslöcher 22 gelangt, strömt von den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 in die Vertiefung 21 der Abdeckung 7A. Das Gas strömt dann den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41D durch, die innerhalb der Vertiefung 21 angeordnet sind. Hierbei sind die Thermosäulen 41C, 41D in Strömungsrichtung des Gases in der Reihe angeordnet. Das Gas, das den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41D durchströmt, wird ferner durch die gleichrichtende Wand 25 derart gleichgerichtet, dass es vom Auslass des Einlasslochs 22 zu dem Abschnitt geführt wird, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist. Daher tritt eine Differenz zwischen der Ausgabe der Thermosäule 41 C und der Ausgabe der Thermosäule 41D, die im Durchflusserfassungselement 1A vorgesehen sind, auf, und der Durchfluss des Gases, der mit der genannten Differenz korreliert, kann erfasst werden. Danach strömt das den Nahbereich der Thermosäulen 41C, 41D durchströmende Gas über das Auslassloch 23 in den Nebenstrompfad 4A aus. Hierbei wird das Gas, das über das Auslassloch 28 in den Nebenstrompfad 4 ausströmt, entlang einer auf der rechten Seite 11A der Abdeckung 7A vorgesehenen geneigten Fläche zu dem Auslassloch 18 glatt geführt, das mit dem Hauptstrompfad 3A kommuniziert. Das Gas strömt dann aus dem Auslassloch 18 in den Hauptstrompfad 3A aus.The gas going to the inlets of the two inlet holes 22nd flows from the respective outlets of the two inlet holes 22nd into the recess 21 the cover 7A . The gas then flows in the vicinity of the thermopiles 41C , 41D through that within the indentation 21 are arranged. Here are the thermopiles 41C , 41D arranged in series in the direction of flow of the gas. The gas that is close to the thermopile 41C , 41D flows through, is also through the rectifying wall 25th rectified so that it is from the outlet of the inlet hole 22nd is guided to the portion where the sensing element 1A is arranged. Therefore, there occurs a difference between the output of the thermopile 41 C and the output of the thermopile 41D that are in the flow metering element 1A are provided, and the flow rate of the gas, which correlates with said difference, can be recorded. Then it flows in the vicinity of the thermopiles 41C , 41D gas flowing through via the outlet hole 23 in the bypass path 4A out. This is the gas that comes through the outlet hole 28 in the bypass path 4th emanates, along one on the right 11A the cover 7A provided inclined surface to the outlet hole 18th led smoothly, the one with the main current path 3A communicates. The gas then flows out of the outlet hole 18th in the main current path 3A out.

Demgegenüber strömt ein Teil des Gases, das durch den Hauptstrompfad 3A strömt, über das Einlassloch 17 auch in die Vertiefung 20 des Nebenstrompfads 4B. Das in die Vertiefung 20 einströmende Gas strömt den Nahbereich der Thermosäulen 41E, 41F durch, die im freigelegten Zustand in der Vertiefung 20 angeordnet sind. Daher können die Ausgabewerte der Thermosäulen 41E oder 41F verwendet werden, um das Verhalten des Gases zu ermitteln. Das Gas, das den Nahbereich der Thermosäulen 41E, 41F durchströmt, strömt dann über das Auslassloch 18 in den Hauptstrompfad 3A aus.In contrast, some of the gas flows through the main flow path 3A flows through the inlet hole 17th also in the recess 20th of the bypass path 4B . That in the recess 20th Inflowing gas flows in the vicinity of the thermopiles 41E , 41F by that in the exposed state in the recess 20th are arranged. Therefore, the output values of the thermopile 41E or 41F can be used to determine the behavior of the gas. The gas that is close to the thermopile 41E , 41F flows through, then flows through the outlet hole 18th in the main current path 3A out.

[Wirkungen und Effekte][Effects and effects]

Das oben erläuterte Messgerät 100A erzielt die gleiche Wirkung wie das Durchflussmessgerät 100 in der Ausführungsform. Da das Messgerät 100A mit gleichrichtenden Wänden 25, 26 versehen ist, wird außerdem das Gas, das aus den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 in das Innere der Abdeckung 7A strömt, derart gleichgerichtet, dass dieses entlang der Ebene der gleichrichtenden Wand 25 entlang der Richtung von den Einlasslöchern 22 zu dem Abschnitt, an dem das Erfassungselement 1A angeordnet ist, ausgerichtet ist. Daher wird selbst bei niedrigem Durchfluss des in der Abdeckung 7A strömenden Gases die Empfindlichkeit der Thermosäulen 41C, 41D des Durchflusserfassungselements 1A verbessert.The measuring device explained above 100A achieves the same effect as the flow meter 100 in the embodiment. Because the meter 100A with rectifying walls 25th , 26th is also provided, the gas that comes out of the respective outlets of the two inlet holes 22nd inside the cover 7A flows, rectified in such a way that this flows along the plane of the rectifying wall 25th along the direction from the inlet holes 22nd to the section where the sensing element 1A is arranged, is aligned. Therefore, even with low flow, the in the cover 7A flowing gas, the sensitivity of the thermopile 41C , 41D of the flow rate sensing element 1A improved.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A ist ferner zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher 22 die gleichrichtende Wand 25 vorgesehen. Daher wird eine plötzliche Änderung der Querschnittsfläche eines vertieften Teils der Vertiefung 21 in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Gases (die Richtung vom Auslass des Einlasslochs 22 bis zur Stelle, an der das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist) unterdrückt. Daher wird die Erzeugung von turbulenter Strömung in dem Nahbereich der jeweiligen Auslässe der beiden Einlasslöcher 22 unterdrückt. Folglich wird die Streuung von Staub, Schmutz usw. im Nebenstrompfad 4A unterdrückt, so dass unterdrückt wird, dass Staub, Schmutz usw. mit dem Gas vermischt sind und zu dem Abschnitt gelangen, an dem das Durchflusserfassungselement 1A angeordnet ist. Auch hierdurch wird die Schwankung der Ausgabe der Thermosäule 41C und der Ausgabe der Thermosäule 41D unterdrückt, die in dem Durchflusserfassungselement 1A vorgesehen sind. Daher wird die Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Durchflusses unterdrückt.According to the measuring device explained above 100A is also between the respective outlets of the two inlet holes 22nd the rectifying wall 25th intended. Therefore, there is a sudden change in the cross-sectional area of a recessed part of the recess 21 in a direction orthogonal to the direction of flow of the gas (the direction from the outlet of the inlet hole 22nd to the point where the flow metering element 1A is arranged) suppressed. Therefore, turbulent flow is generated in the vicinity of the respective outlets of the two inlet holes 22nd suppressed. As a result, the scattering of dust, dirt, etc. in the bypass flow path becomes 4A suppressed, so that it is suppressed that dust, dirt, etc. are mixed with the gas and come to the portion where the flow rate detection element 1A is arranged. This also reduces the fluctuation in the output of the thermopile 41C and the output of the thermopile 41D suppressed in the flow rate sensing element 1A are provided. Therefore, the decrease in the flow rate detection accuracy is suppressed.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A können ferner neben dem Durchfluss des Gases auch das Verhalten des Gases erfasst werden. Selbst wenn die Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung des Gases nicht lediglich vom Durchfluss des Gases, sondern auch vom Verhalten des Gases abhängt, kann daher eine hochgenaue Durchflussmessung vorgenommen werden, indem das vom Verhaltenserfassungselement 1B erfasste Verhalten des Gases verwendet und der vom Durchflusserfassungselement 1A erfasste Durchfluss des Gases korrigiert wird. Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A sind ferner das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B auf dem Substrat 5A montiert, und die Abdeckung 7A ist auf dem Substrat 5A vorgesehen. Daher wird es leicht unterdrückt, dass sich Verunreinigungen von der Seite, auf der das Substrat 5A angeordnet ist, in das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B vermischen.According to the measuring device explained above 100A In addition to the flow rate of the gas, the behavior of the gas can also be recorded. Even if the temperature difference in the flow direction of the gas depends not only on the flow rate of the gas, but also on the behavior of the gas, a highly accurate flow measurement can therefore be carried out by the behavior detection element 1B behavior of the gas used and that of the flow rate measuring element 1A detected flow rate of the gas is corrected. According to the measuring device explained above 100A are also the flow rate sensing element 1A and the behavior detection element 1B on the substrate 5A mounted, and the cover 7A is on the substrate 5A intended. Therefore, it is easy to suppress impurities from getting from the side on which the substrate 5A is arranged in the flow rate sensing element 1A and the behavior detection element 1B mix.

Nach dem oben erläuterten Messgerät 100A kann ferner der Durchfluss des in die Nebenstrompfade 4A, 4B abzweigenden Gases durch Breiteneinstellung der jeweiligen Nebenstrompfade einzeln gesteuert werden. Daher können der Durchfluss des Gases, das durch den Nebenstrompfad 4A strömt, entsprechend dem Erfassungsbereich des Durchflusserfassungselements 1A und der Durchfluss des Gases, das durch den Nebenstrompfad 4B strömt, entsprechend dem Erfassungsbereich des Verhaltenserfassungselements 1B gesteuert werden. Daher kann das Messgerät 100A den Durchfluss und das Verhalten des Gases bei einem optimalen Durchfluss entsprechend dem eigenen Erfassungsbereich der jeweiligen Erfassungselemente erfassen. Folglich können das Durchflusserfassungselement 1A und das Verhaltenserfassungselement 1B den Durchfluss und das Verhalten des Gases mit hoher Genauigkeit messen. Weiterhin überschneiden sich das Verhaltenserfassungselement 1B und die Abdeckung 7A nach dem oben erläuterten Messgerät 100A in Höhenrichtung nicht, so dass der Abschnitt, an dem das Verhaltenserfassungselement 1B angeordnet ist, verdünnt werden kann.According to the measuring device explained above 100A can also be the flow of the in the bypass flow paths 4A , 4B branching gas can be controlled individually by setting the width of the respective secondary flow paths. Therefore, the flow rate of the gas passing through the bypass flow path 4A flows, corresponding to the detection range of the flow detection element 1A and the flow rate of the gas passing through the bypass flow path 4B flows according to the detection range of the behavior detection element 1B being controlled. Therefore, the meter can 100A record the flow and the behavior of the gas with an optimal flow according to the own detection area of the respective detection elements. Consequently, the flow rate sensing element 1A and the behavior detection element 1B measure the flow and behavior of the gas with high accuracy. Furthermore, the behavior detection elements overlap 1B and the cover 7A according to the measuring device explained above 100A not in the height direction, so that the section at which the behavior detection element 1B is arranged, can be diluted.

Die Form der Abdeckung 7A, die das Durchflusserfassungselement 1A gemäß dem abgewandelten Beispiel abdeckt, kann auf die Form der Abdeckung 7 gemäß der Ausführungsform (die Form der Abdeckung des lediglich mit dem Durchflusserfassungselement versehenen Messgeräts) auch angewandt werden. Obwohl das Messgerät 100A mit den gleichrichtenden Wänden 25, 26 als Beispiel für ein Gleichrichterelement versehen ist, ist das Gleichrichterelement nicht auf die Form der gleichrichtenden Wände 25, 26 beschränkt, und kann jede Form annehmen, solange Gas vom Auslass des Einlasslochs 22 zum Durchflusserfassungselement 1A hin gleichgerichtet werden kann. Die Form des Einlasslochs 22 und des Auslasslochs 23 ist ferner nicht auf die Angabe der obigen Ausführungsform und abgewandelten Beispiele beschränkt. Bspw. ist die Lage des Einlasslochs 22 nicht auf die Angabe der obigen abgewandelten Beispiele beschränkt und kann an einer Stelle stromaufwärts von der Stelle vorgesehen werden, an der das Durchflusserfassungselement 1A im Nebenstrompfad 4A angeordnet ist, und z. B. kann es unter dem halben Weg einer geneigten Fläche vorgesehen werden, die die linke Seite 10 der Abdeckung 7A aufweist. Die Lage des Auslasslochs 23 ist ferner nicht auf die Angabe der obigen abgewandelten Beispiele beschränkt und kann an einer Stelle stromabwärts der Stelle vorgesehen werden, an der das Durchflusserfassungselement 1A im Nebenstrompfad 4A angeordnet ist. Die Anzahl der Einlasslöcher 22 und die Anzahl der Auslasslöcher können beliebig sein. Die relative Lagebeziehung der beiden Einlasslöcher 22 kann geändert werden. Ebenfalls kann die relative Lagebeziehung der beiden Ausflusslöcher 23 geändert werden. Die geneigte Fläche, die die linke Seite 10 auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Abdeckung 7 aufweist, kann ferner in Richtung des Einlasslochs 22 geneigt vorgesehen werden, um der Position des Einlasslochs 22 zu entsprechen.
Das oben erläuterte Durchflussmessgerät 100 kann ferner im Hauptstrompfad 3 vorgesehen werden.The shape of the cover 7A that is the flow sensing element 1A According to the modified example, covers can be based on the shape of the cover 7th according to the embodiment (the shape of the cover of the meter provided with only the flow rate detecting element) can also be applied. Although the meter 100A with the rectifying walls 25th , 26th is provided as an example of a rectifier element, the rectifier element does not depend on the shape of the rectifying walls 25th , 26th restricted, and can take any form as long as gas from the outlet of the inlet hole 22nd to the flow rate measuring element 1A can be rectified. The shape of the inlet hole 22nd and the outlet hole 23 is also not limited to the specification of the above embodiment and modified examples. For example, is the location of the inlet hole 22nd not limited to the above modified examples and may be provided at a position upstream of the position where the flow rate detection element 1A in the bypass path 4A is arranged, and z. B. it can be provided under half way of a sloping surface that is the left side 10 the cover 7A having. The location of the outlet hole 23 is also not limited to the specification of the above modified examples and can be provided at a position downstream of the position where the flow rate detection element 1A in the bypass path 4A is arranged. The number of inlet holes 22nd and the number of outlet holes can be arbitrary. The relative positional relationship of the two inlet holes 22nd can be changed. The relative positional relationship of the two outflow holes 23 be changed. The inclined Area that the left side 10 on the upstream side of the cover 7th can further in the direction of the inlet hole 22nd be provided inclined to the position of the inlet hole 22nd correspond to.
The flow meter explained above 100 can also be in the main current path 3 are provided.

Die oben offenbarten Ausführungsformen und abgewandelten Beispiele können jeweils kombiniert werden.The embodiments and modified examples disclosed above can be combined in each case.

Damit die Merkmale der vorliegenden Erfindung mit den Ausbildungen der Ausführungsbeispiele verglichen werden können, sind die Merkmale der vorliegenden Erfindung mit den Bezugszeichen in den Zeichnungen angegeben.So that the features of the present invention can be compared with the configurations of the exemplary embodiments, the features of the present invention are indicated with the reference symbols in the drawings.

Durchflussmessgerät (100, 100A), versehen mit:

einer Durchflusserfassung (1, 1A), die in einem Strompfad (4, 4A) angeordnet ist, zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf eine Temperaturdifferenz in Strömungsrichtung eines Strömungsmittels, die sich in Abhängigkeit vom Durchfluss des durch den Strompfad (4, 4A) strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Durchflusses unter Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist, und
einem Abdeckelement (7, 7A), das zum Abdecken der Durchflusserfassung (1, 1A) in dem Strompfad (4, 4A) ausgebildet ist,
wobei das Abdeckelement (7, 7A) aufweist:
- ein Einlassloch (27, 22), das stromaufwärts eines Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A) in einen Abschnitt einströmt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, und
- ein Auslassloch (28, 23), das stromabwärts der Durchflusserfassung (1, 1A) vorgesehen ist, und es ermöglicht, dass ein Strömungsmittel von dem Abschnitt, der innerhalb des Abdeckelements (7, 7A) liegt, und an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, in den Strompfad (4, 4A) außerhalb des Abdeckelements (7, 7A) ausströmt,
wobei eine Außenfläche (10, 10A) des Abdeckelements (7, 7A) stromaufwärts des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1, 1A) angeordnet ist, eine geneigte Fläche aufweist, die in Richtung des Einlasses des Einlasslochs (27, 22) geneigt ist.

Flow meter ( 100 , 100A ), provided with:

a flow rate measurement ( 1 , 1A ) that are in a rung ( 4th , 4A ) is arranged to output a value relating to a temperature difference in the direction of flow of a fluid, which is dependent on the flow rate of the flow through the flow path ( 4th , 4A ) flowing fluid changes, and is designed to detect the flow rate using the output value, and
a cover element ( 7th , 7A ), which is used to cover the flow meter ( 1 , 1A ) in the current path ( 4th , 4A ) is trained,
where the cover element ( 7th , 7A ) having:
- an inlet hole ( 27 , 22nd ), which is upstream of a section where the flow metering ( 1 , 1A ) is arranged, is provided, and it allows a fluid to flow from the flow path ( 4th , 4A ) outside the cover element ( 7th , 7A ) flows into a section that is inside the cover element ( 7th , 7A ) and on which the flow metering ( 1 , 1A ) is arranged, and
- an outlet hole ( 28 , 23 ) downstream of the flow meter ( 1 , 1A ) is provided and it allows a fluid to flow from the portion that is inside the cover element ( 7th , 7A ) and on which the flow metering ( 1 , 1A ) is arranged in the current path ( 4th , 4A ) outside the cover element ( 7th , 7A ) flows out,
where an outer surface ( 10 , 10A ) of the cover element ( 7th , 7A ) upstream of the section where the flow metering ( 1 , 1A ) is arranged, has an inclined surface facing towards the inlet of the inlet hole ( 27 , 22nd ) is inclined.

Durchflussmessgerät (100A) nach dem Nachtrag 1, weiter versehen mit einem Gleichrichterelement (25), das zum Gleichrichten der Strömungsrichtung des vom Einlassloch (22) einströmenden Strömungsmittels in Richtung des Abschnitts, an dem die Durchflusserfassung (1A) angeordnet ist, ausgebildet ist,
wobei das Gleichrichterelement (25) am Auslass des Einlasslochs (22) vorgesehen ist und eine Ebene entlang einer Richtung vom Auslass des Einlasslochs (22) zu dem Abschnitt aufweist, an dem die Durchflusserfassung (1A) angeordnet ist.Flow meter ( 100A ) after the addendum 1 , further provided with a rectifier element ( 25th ), which is used to rectify the flow direction of the from the inlet hole ( 22nd ) inflowing fluid in the direction of the section where the flow meter ( 1A ) is arranged, is formed,
where the rectifier element ( 25th ) at the outlet of the inlet hole ( 22nd ) is provided and a plane along a direction from the outlet of the inlet hole ( 22nd ) to the section at which the flow metering ( 1A ) is arranged.

Durchflussmessgerät (100A) nach dem Nachtrag 2, wobei das Einlassloch (22) in einer Richtung orthogonal zur Strömungsrichtung des Strömungsmittels zweifach vorgesehen ist und das Gleichrichterelement (25) zwischen den jeweiligen Auslässen der beiden Einlasslöcher (22) vorgesehen ist.Flow meter ( 100A ) after the addendum 2 , where the inlet hole ( 22nd ) is provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid and the rectifier element ( 25th ) between the respective outlets of the two inlet holes ( 22nd ) is provided.

Durchflussmessgerät (100, 100A) nach einem der Nachträge 1 bis 3, wobei der Strompfad (4, 4A) eine Vertiefung (12, 12A) an einer Seitenwand aufweist, und eine stromaufwärts gelegene Seite der Vertiefung (12, 12A) eine geneigte Fläche (13, 13A) aufweist, die zum Boden der Vertiefung hin geneigt ist,
wobei das Abdeckelement (7, 7A) eine Erhebung aufweist, die in einem Abschnitt des Strompfads (4, 4A) gegenüber dem Boden der Vertiefung (12, 12A) des Strompfads (4, 4A) angeordnet ist und von dem angeordneten Abschnitt in Richtung des Bodens vorsteht, und
das Einlassloch (27, 22) ein Loch umfasst, das durch die Erhebung hindurchgeführt wird.Flow meter ( 100 , 100A ) according to one of the supplements 1 to 3 , where the rung ( 4th , 4A ) a deepening ( 12th , 12A ) on one side wall, and an upstream side of the recess ( 12th , 12A ) an inclined surface ( 13th , 13A ), which is inclined towards the bottom of the recess,
where the cover element ( 7th , 7A ) has an elevation which in a section of the current path ( 4th , 4A ) opposite the bottom of the recess ( 12th , 12A ) of the rung ( 4th , 4A ) is arranged and protrudes from the arranged portion in the direction of the floor, and
the inlet hole ( 27 , 22nd ) comprises a hole which is passed through the elevation.

Durchflussmessgerät nach einem der Nachträge 1 bis 4, wobei der Strompfad (4, 4A) ein Nebenstrompfad ist, der vom Hauptstrompfad (3, 3A) abzweigt, durch den das Strömungsmittel fließt, wobei das Durchflussmessgerät in dem Nebenstrompfad (4, 4A) angeordnet ist.Flow meter according to one of the supplements 1 to 4th , where the rung ( 4th , 4A ) is a secondary current path that is separated from the main current path ( 3 , 3A) branches through which the fluid flows, whereby the flowmeter in the bypass flow path ( 4th , 4A ) is arranged.

Durchflussmessgerät (100A) nach einem der Nachträge 1 bis 5, weiter versehen mit einer Verhaltenserfassung (1B), die in einem zweiten, von dem Strompfad (4A) unterschiedlichen Strompfad (4B) angeordnet ist und zur Ausgabe eines Werts in Bezug auf die Temperatur des zweiten Strompfads (4B), die sich abhängig vom Verhalten des durch den zweiten Strompfad (4B) strömenden Strömungsmittels ändert, und zur Erfassung des Verhaltens unter der Verwendung des ausgegebenen Werts ausgebildet ist,
wobei das Abdeckelement (7A) ein zweites Loch (24) weiter aufweist, das die Verhaltenserfassung (1B) umschließt und die Verhaltenserfassung (1B) in dem zweiten Strompfad (4B) freilegt.Flow meter ( 100A ) according to one of the supplements 1 to 5 , further provided with a behavior recording ( 1B ), which in a second, from the current path ( 4A ) different current path ( 4B ) and to output a value relating to the temperature of the second current path ( 4B ), which depends on the behavior of the circuit through the second current path ( 4B ) flowing fluid changes, and is designed to detect the behavior using the output value,
where the cover element ( 7A ) a second hole ( 24 ) further has that the behavior detection ( 1B ) and the behavioral recording ( 1B ) in the second rung ( 4B ) exposed.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

JP 2019185006 [0001]
JP 3658321 [0003]
JP 2007086085 [0003]
JP 2012141181 [0003]

Claims

Flow meter, provided with: a flow rate detection, which is arranged in a flow path, for outputting a value relating to a temperature difference in the flow direction of a fluid, which changes depending on the flow rate of the fluid flowing through the flow path, and for detecting the flow rate using the output value , and a cover element which is designed to cover the flow rate detection in the current path, wherein the cover element comprises: an inlet hole which is provided upstream of a portion on which the flow rate detector is arranged and allows a fluid from the flow path outside the cover member to flow into a portion which is located inside the cover member and on which the flow rate detector is arranged, and an outlet hole which is provided downstream of the flow rate detection and allows a fluid to flow out from the portion located inside the cover member and at which the flow rate detection is located into the flow path outside the cover member, wherein an outer surface of the cover member upstream of the portion on which the flow rate detection is arranged has an inclined surface that is inclined toward the inlet of the inlet hole.

Flow meter according to Claim 1 , further provided with a rectifier element which is designed to rectify the flow direction of the fluid flowing in from the inlet hole in the direction of the section on which the flow rate detection is arranged, the rectifier element being provided at the outlet of the inlet hole and a plane along a direction from the outlet of the Having inlet hole to the portion at which the flow rate detection is arranged.

Flow meter according to Claim 2 wherein the inlet hole is provided twice in a direction orthogonal to the flow direction of the fluid and the rectifier element is provided between the respective outlets of the two inlet holes.

Flow meter according to one of the Claims 1 to 3 wherein the current path has a recess on a side wall, and an upstream side of the recess has an inclined surface which is inclined towards the bottom of the recess, the cover member having an elevation formed in a portion of the current path opposite the bottom of the recess of the flow path is arranged and protrudes from the arranged portion toward the bottom, and the inlet hole includes a hole that is passed through the bump.

Flow meter according to one of the Claims 1 to 4th , wherein the flow path is a secondary flow path which branches off from the main flow path through which the fluid flows, wherein the flow meter is arranged in the secondary flow path.

Flow meter according to one of the Claims 1 to 5 , further provided with a behavior detection, which is arranged in a second current path different from the current path and for outputting a value relating to the temperature of the second current path, which changes depending on the behavior of the fluid flowing through the second current path, and for detection of the behavior is formed using the output value, wherein the cover element further has a second hole which encloses the behavior detection and exposes the behavior detection in the second current path.